JP7229124B2 - メモリ装置 - Google Patents

メモリ装置 Download PDF

Info

Publication number
JP7229124B2
JP7229124B2 JP2019150528A JP2019150528A JP7229124B2 JP 7229124 B2 JP7229124 B2 JP 7229124B2 JP 2019150528 A JP2019150528 A JP 2019150528A JP 2019150528 A JP2019150528 A JP 2019150528A JP 7229124 B2 JP7229124 B2 JP 7229124B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
clock signal
latency
signal
divided
divide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2019150528A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2020061201A (ja
Inventor
東建 李
慶洙 河
炯烈 黄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Samsung Electronics Co Ltd
Original Assignee
Samsung Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from KR1020180151160A external-priority patent/KR102669496B1/ko
Application filed by Samsung Electronics Co Ltd filed Critical Samsung Electronics Co Ltd
Publication of JP2020061201A publication Critical patent/JP2020061201A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7229124B2 publication Critical patent/JP7229124B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C7/00Arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
    • G11C7/22Read-write [R-W] timing or clocking circuits; Read-write [R-W] control signal generators or management 
    • G11C7/222Clock generating, synchronizing or distributing circuits within memory device
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/03Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
    • H01L25/04Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
    • H01L25/065Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • H01L25/0652Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00 the devices being arranged next and on each other, i.e. mixed assemblies
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F11/00Error detection; Error correction; Monitoring
    • G06F11/07Responding to the occurrence of a fault, e.g. fault tolerance
    • G06F11/08Error detection or correction by redundancy in data representation, e.g. by using checking codes
    • G06F11/10Adding special bits or symbols to the coded information, e.g. parity check, casting out 9's or 11's
    • G06F11/1008Adding special bits or symbols to the coded information, e.g. parity check, casting out 9's or 11's in individual solid state devices
    • G06F11/1048Adding special bits or symbols to the coded information, e.g. parity check, casting out 9's or 11's in individual solid state devices using arrangements adapted for a specific error detection or correction feature
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F11/00Error detection; Error correction; Monitoring
    • G06F11/07Responding to the occurrence of a fault, e.g. fault tolerance
    • G06F11/08Error detection or correction by redundancy in data representation, e.g. by using checking codes
    • G06F11/10Adding special bits or symbols to the coded information, e.g. parity check, casting out 9's or 11's
    • G06F11/1008Adding special bits or symbols to the coded information, e.g. parity check, casting out 9's or 11's in individual solid state devices
    • G06F11/1068Adding special bits or symbols to the coded information, e.g. parity check, casting out 9's or 11's in individual solid state devices in sector programmable memories, e.g. flash disk
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C11/00Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
    • G11C11/21Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
    • G11C11/34Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
    • G11C11/40Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
    • G11C11/401Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming cells needing refreshing or charge regeneration, i.e. dynamic cells
    • G11C11/4063Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing
    • G11C11/407Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing for memory cells of the field-effect type
    • G11C11/4076Timing circuits
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C11/00Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
    • G11C11/21Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
    • G11C11/34Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
    • G11C11/40Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
    • G11C11/401Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming cells needing refreshing or charge regeneration, i.e. dynamic cells
    • G11C11/4063Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing
    • G11C11/407Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing for memory cells of the field-effect type
    • G11C11/408Address circuits
    • G11C11/4087Address decoders, e.g. bit - or word line decoders; Multiple line decoders
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C11/00Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
    • G11C11/21Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
    • G11C11/34Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
    • G11C11/40Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
    • G11C11/401Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming cells needing refreshing or charge regeneration, i.e. dynamic cells
    • G11C11/4063Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing
    • G11C11/407Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing or timing for memory cells of the field-effect type
    • G11C11/409Read-write [R-W] circuits 
    • G11C11/4096Input/output [I/O] data management or control circuits, e.g. reading or writing circuits, I/O drivers or bit-line switches 
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C29/00Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
    • G11C29/02Detection or location of defective auxiliary circuits, e.g. defective refresh counters
    • G11C29/023Detection or location of defective auxiliary circuits, e.g. defective refresh counters in clock generator or timing circuitry
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C29/00Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
    • G11C29/02Detection or location of defective auxiliary circuits, e.g. defective refresh counters
    • G11C29/028Detection or location of defective auxiliary circuits, e.g. defective refresh counters with adaption or trimming of parameters
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C29/00Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
    • G11C29/04Detection or location of defective memory elements, e.g. cell constructio details, timing of test signals
    • G11C29/08Functional testing, e.g. testing during refresh, power-on self testing [POST] or distributed testing
    • G11C29/12Built-in arrangements for testing, e.g. built-in self testing [BIST] or interconnection details
    • G11C29/38Response verification devices
    • G11C29/42Response verification devices using error correcting codes [ECC] or parity check
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C7/00Arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
    • G11C7/10Input/output [I/O] data interface arrangements, e.g. I/O data control circuits, I/O data buffers
    • G11C7/1051Data output circuits, e.g. read-out amplifiers, data output buffers, data output registers, data output level conversion circuits
    • G11C7/1066Output synchronization
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C7/00Arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
    • G11C7/10Input/output [I/O] data interface arrangements, e.g. I/O data control circuits, I/O data buffers
    • G11C7/1078Data input circuits, e.g. write amplifiers, data input buffers, data input registers, data input level conversion circuits
    • G11C7/1093Input synchronization
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C7/00Arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
    • G11C7/22Read-write [R-W] timing or clocking circuits; Read-write [R-W] control signal generators or management 
    • G11C7/225Clock input buffers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/03Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
    • H01L25/04Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
    • H01L25/065Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • H01L25/0657Stacked arrangements of devices
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/18Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof the devices being of types provided for in two or more different subgroups of the same main group of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C29/00Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
    • G11C29/52Protection of memory contents; Detection of errors in memory contents
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/13Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/13001Core members of the bump connector
    • H01L2224/1302Disposition
    • H01L2224/13025Disposition the bump connector being disposed on a via connection of the semiconductor or solid-state body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16135Disposition the bump connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
    • H01L2224/16145Disposition the bump connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked
    • H01L2224/16146Disposition the bump connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked the bump connector connecting to a via connection in the semiconductor or solid-state body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/16227Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation the bump connector connecting to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/17Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of a plurality of bump connectors
    • H01L2224/1701Structure
    • H01L2224/1703Bump connectors having different sizes, e.g. different diameters, heights or widths
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/17Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of a plurality of bump connectors
    • H01L2224/171Disposition
    • H01L2224/1718Disposition being disposed on at least two different sides of the body, e.g. dual array
    • H01L2224/17181On opposite sides of the body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2225/00Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
    • H01L2225/03All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
    • H01L2225/04All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
    • H01L2225/065All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • H01L2225/06503Stacked arrangements of devices
    • H01L2225/06513Bump or bump-like direct electrical connections between devices, e.g. flip-chip connection, solder bumps
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2225/00Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
    • H01L2225/03All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
    • H01L2225/04All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
    • H01L2225/065All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • H01L2225/06503Stacked arrangements of devices
    • H01L2225/06517Bump or bump-like direct electrical connections from device to substrate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2225/00Details relating to assemblies covered by the group H01L25/00 but not provided for in its subgroups
    • H01L2225/03All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00
    • H01L2225/04All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers
    • H01L2225/065All the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/648 and H10K99/00 the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • H01L2225/06503Stacked arrangements of devices
    • H01L2225/06541Conductive via connections through the device, e.g. vertical interconnects, through silicon via [TSV]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/10Bump connectors ; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L24/13Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/10Bump connectors ; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L24/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/10Bump connectors ; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L24/17Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of a plurality of bump connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/153Connection portion
    • H01L2924/1531Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
    • H01L2924/15311Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Databases & Information Systems (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Dram (AREA)
  • Memory System (AREA)

Description

本発明は、メモリ装置に関し、より詳しくは、レイテンシ制御回路を含むメモリ装置等に関するものである
DRAM(Dynamic Random Access Memory)は、メインクロック信号に同期して、コマンドとアドレスを受信し、データクロック信号に同期して、データを受信又は伝送するように設計される。DRAMの主たる動作は、コア回路に属するメモリセルアレイにデータを書き込むか、メモリセルアレイからデータを読み出すことである。メインクロック信号に基づいて、コア回路を制御するように生成される制御信号と、データクロック信号に基づいて、コア回路部に入出力されるデータは、互いに異なるクロックドメイン領域より提供される。DRAMは、制御信号に応答して、入出力データを安定してラッチする動作を行うため、メインクロック信号とデータクロック信号の間の同期化動作は必須である。
本発明の目的は、内部で生成された位相情報を用いて、データ入出力時のレイテンシを調節するレイテンシ制御回路を含むメモリ装置を提供することである。
本発明の実施例によるメモリ装置は、クロックバッファと、データクロックバッファと、レイテンシ制御回路とを含む。前記クロックバッファは、メインクロック信号を受信し、内部メインクロック信号をコア回路に提供する。前記データクロックバッファは、データクロック信号を受信する。前記レイテンシ制御回路は、前記データクロック信号に基づいて、前記データクロック信号に関するレイテンシ情報を生成し、該当レイテンシ情報をデータ入出力回路に提供する。前記レイテンシ制御回路は、第1の分周器と、第2の分周器と、第1の同期検出器と、レイテンシ選択器とを含む。前記第1の分周器は、前記データクロック信号に基づいて、複数の2分周クロック信号を生成する。前記第2の分周器は、前記2分周クロック信号のうち、2つの2分周クロック信号を分周して、複数の4分周クロック信号を生成する。前記第1の同期検出器は、クロック同期化信号に応答して、前記2分周クロック信号のうち、他の2つの2分周クロック信号と前記データクロック信号の間の同期/非同期を示す2分周整列信号を出力する。前記レイテンシ選択器は、前記2分周整列信号に基づいて、自動で前記4分周クロック信号の位相を判別し、前記判別された4分周クロック信号の位相に基づいて、データの書込み・読出しに関する前記メインクロック信号のレイテンシを調節して、前記レイテンシ情報を出力する。
本発明によると、メモリ装置のレイテンシ制御回路は、クロック同期化信号に応答して、4分周クロック信号のうち、2つの位相を検出し、前記検出された位相とデータクロック信号の位相の同期/非同期を示す2分周整列信号に基づいて、4分周クロック信号の位相を検出し、前記検出された位相とデータクロック信号の同期/非同期を示す4分周整列信号を生成し、4分周整列信号に基づいて、4分周クロック信号のうち、同期された4分周クロック信号のレイテンシ情報により、データの受信及び伝送を行うことができる。そこで、メモリ装置は、データクロック信号のトグリングを最小化し、クロックドメインの変更による影響を最小化することができる。
図1は、本発明の実施例によるメモリシステムの構成を示すブロック図である。 図2は、図1のメモリ装置における高速のデータインタフェース動作を説明するタイミング図である。 図3は、図1のメモリ装置におけるクロック同期化動作を説明する図である。 図4は、図1のメモリ装置におけるクロック同期化動作を説明する図である。 図5は、本発明の実施例による図1のメモリ装置を説明する図である。 図6は、図5のメモリ装置をより詳しく示している図である。 図7は、図6のメモリ装置における第1のバンクアレイを示す図である。 図8は、図5のメモリ装置におけるクロック同期化回路を示すブロック図である。 図9は、図8のマルチプレクサ回路を示す回路図である。 図10は、本発明の実施例による図5のメモリ装置におけるレイテンシ制御回路を示すブロック図である。 図11は、図10のレイテンシ制御回路におけるレイテンシ選択器の構成を示すブロック図である。 図12は、図11のレイテンシ選択器における第2の同期検出器を示す図である。 図13は、図11のレイテンシ選択器における第3の同期検出器を示す図である。 図14は、図11のレイテンシ選択器における選択回路の一例を示すブロック図である。 図15は、図14のレイテンシ調節回路のうち、第1のレイテンシ調節回路の構成を示す回路図である。 図16は、図11のレイテンシ選択器における選択回路の他の例を示すブロック図である。 図10のレイテンシ制御回路において、2分周クロック信号、4分周クロック信号、2分周整列信号、及び4分周整列信号を示す図である。 図10のレイテンシ制御回路において、2分周クロック信号、4分周クロック信号、2分周整列信号、及び4分周整列信号を示す図である。 図10のレイテンシ制御回路において、2分周クロック信号、4分周クロック信号、2分周整列信号、及び4分周整列信号を示す図である。 図10のレイテンシ制御回路において、2分周クロック信号、4分周クロック信号、2分周整列信号、及び4分周整列信号を示す図である。 図10のレイテンシ制御回路において、2分周クロック信号、4分周クロック信号、2分周整列信号、及び4分周整列信号を示す図である。 図10のレイテンシ制御回路において、2分周クロック信号、4分周クロック信号、2分周整列信号、及び4分周整列信号を示す図である。 図10のレイテンシ制御回路において、2分周クロック信号、4分周クロック信号、2分周整列信号、及び4分周整列信号を示す図である。 図10のレイテンシ制御回路において、2分周クロック信号、4分周クロック信号、2分周整列信号、及び4分周整列信号を示す図である。 図19は、本発明の実施例によるメモリ装置の動作方法を示すフローチャートである。 図20は、本発明の実施例によるメモリ装置を示すブロック図である。 図21は、図20のメモリ装置が3Dチップ構造に適用される例を示すブロック図である。 図22は、本発明の実施例によるスタック型メモリ装置を含む半導体パッケージの例を示す構造図である。
以下、添付の図面を参照して、本発明の好適な実施例についてより詳しく説明する。図面上の同一の構成要素に対しては、同一の図面符号を付し、同一の構成要素に関する重複説明は、省略することにする。
図1は、本発明の実施例によるメモリシステムの構成を示すブロック図である。図1に示しているように、メモリシステム10は、メモリコントローラ20と、メモリ装置100とを含む。メモリシステム10は、メインクロック信号(CK)とデータクロック信号(WCK)を用いて、メモリコントローラ20とメモリ装置100の間のデータ通信をサポートする。
メモリコントローラ20とメモリ装置100の間には、第1のクロック信号ライン11、コマンドバス12、アドレスバス13、第2のクロック信号ライン14、及びデータバス15が連結される。本発明の実施例によって、メモリシステム10は、メインクロック信号(CK)とデータクロック信号(WCK)の他に、様々なクロック信号を用いて、データ通信をサポートすることができる。
メモリコントローラ20で生じたメインクロック信号(CK)は、第1のクロック信号ライン11を介して、メモリ装置100に提供される。例えば、メインクロック信号(CK)は、反転メインクロック信号(CKB)と共に、連続交番反転信号として提供される。メインクロック信号対(CK、CKB)は、これらの交点を基準に、立上り・立下りエッジが検出されるので、タイミング精度を向上することができる。
第1のクロック信号ライン11は、2つのメインクロック信号対(CK、CKB)を用いて、互いに相補的な連続交番反転信号を伝送することができる。この場合、第1のクロック信号ライン11は、メインクロック信号対(CK、CKB)を伝送する2つの信号ラインからなる。本発明の実施例で説明するクロック信号(CK)は、2つのメインクロック信号対(CK、CKB)として説明される。説明の便宜のために、2つのメインクロック信号対(CK、CKB)は、メインクロック信号(CK)と称して説明する。
メモリコントローラ20より提供されるコマンド(CMD)とアドレス信号(ADDR)のそれぞれは、コマンドバス12とアドレスバス13を介して、メモリ装置100に提供される。
メモリコントローラ20とメモリ装置100の間のデータインタフェースのために、データクロック信号(WCK)とデータ(DQ)が伝送される。メモリコントローラ20で発生したデータクロック信号(WCK)は、第2のクロック信号ライン14を介して、メモリ装置100に提供される。データクロック信号(WCK)は、反転データクロック信号(WCKB)と共に、連続交番反転信号として提供される。データクロック信号対(WCK、WCKB)は、これらの交点を基準に、立上り・立下りエッジが検出されるので、タイミング精度を向上することができる。
第2のクロック信号ライン14は、2つのデータクロック信号対(WCK、WCKB)を用いて、互いに相補的な連続交番反転信号を伝送することができる。この場合、第2のクロック信号ライン14は、データクロック信号対(WCK、WCKB)を伝送する2つの信号ラインからなる。説明の便宜のために、2つのデータクロック信号対(WCK、WCKB)は、データクロック信号(WCK)と称して説明する。
データクロック信号(WCK)に同期されるデータ(DQ)は、メモリコントローラ20とメモリ装置100の間のデータバス15を介して伝送される。例えば、メモリコントローラ20より提供されるバースト長さ(Burst Length、BL)に対応する書込みデータ(DQ)は、データクロック信号(WCK)に同期されて、データバス15を介して、メモリ装置100へ伝送される。メモリ装置100から読み出されるバースト長さ(BL)に対応する読出しデータ(DQ)は、データクロック信号(WCK)に同期しラッチされた後、データバス15を介して、メモリコントローラ20へ伝送される。
メモリコントローラ20とメモリ装置100の間のデータインタフェースの速度が増加している。メモリ装置100がDRAMとして具現される場合、DRAM内のコア回路の動作は、高速のデータインタフェースの速度に合わせて動作しないことが懸念される。すなわち、DRAMのコア回路に連結されるメインクロック信号(CK)の周波数を増やすだけでは限界がある。これによって、DRAMは、コア回路の動作速度は維持したまま、データインタフェース速度を増加させる方法を採用することになる。
図2は、図1のメモリ装置における高速のデータインタフェース動作を説明するタイミング図である。
図1及び図2に示しているように、メモリコントローラ20から、メインクロック信号(CK)が伝送され、メインクロック信号(CK)に基づいて、コマンド(CMD)とアドレス信号(ADDR)が伝送される。データ(DQ)は、データクロック信号(WCK)に基づいて伝送される。高速のデータインタフェースのために、データクロック信号(WCK)の周波数は、メインクロック信号(CK)の周波数に比して、整数倍に設定される。
メモリ装置100が書込み動作を行うと仮定する。メモリ装置100は、T1時点からメインクロック信号(CK)を受信し、T2時点で、メインクロック信号(CK)に基づいて、書込みコマンド(CMD)と書込みアドレス信号(ADDR)を受信する。そして、T2時点で、データクロック信号(WCK)に基づいて、バースト長さに対応する書込みデータ(DQ)を受信することができる。
図2では、メモリ装置100が、T2時点で、書込みコマンド(CMD)と書込みデータ(DQ)を受信することと説明している。本発明の実施例によって、メモリ装置100は、書込みコマンド(CMD)を受信した後、メインクロック信号(CK)サイクルの倍数で表される書込みレイテンシ後に、書込みデータ(DQ)を受信することもできる。
他の実施例において、メモリ装置100が読出し動作を行うと仮定する。メモリ装置100は、T1時点からメインクロック信号(CK)を受信し、T2時点で、メインクロック信号(CK)に基づいて、読出しコマンド(CMD)と読出アドレス信号(ADDR)を受信する。そして、読出しコマンド(CMD)を受信した後、メインクロック信号(CK)サイクルの倍数で表される読出しレイテンシ後に、データクロック信号(WCK)に基づいて、読出しデータ(DQ)を伝送する。
メモリ装置100は、書込み動作時、メモリコントローラ20から入力されるデータ(DQ)を、データクロック信号(WCK)に用いてサンプリングし、サンプリングされたデータは、メインクロック信号(CK)を用いて、メモリセルアレイに格納する。また、メモリ装置100は、読出し動作時、メインクロック信号(CK)を用いて、メモリセルアレイからデータを読出し、読出されたデータを、データクロック信号(WCK)を用いて、メモリコントローラ20に伝送する。このように、メモリ装置100は、互いに異なるクロックドメイン、すなわち、マルチプルクロックドメインで動作することができる。
メモリ装置100において、メインクロック信号(CK)に基づいて動作する領域と、データクロック信号(WCK)に基づいて動作する領域の間で、データ移動が必要である。この場合、メインクロック信号(CK)とデータクロック信号(WCK)の間でドメインクロッシングが発生するが、ここで、データの欠落が発生することがあるという不都合がある。これを防止するために、メインクロック信号(CK)とデータクロック信号(WCK)の間でクロック同期化動作が行われることは必須である。メインクロック信号(CK)とデータクロック信号(WCK)の間のクロック同期化動作は、図3及び図4を参照して説明する。
図3及び図4は、図1のメモリ装置におけるクロック同期化動作を説明する図である。図3は、メインクロック信号(CK)とデータクロック信号(WCK)の間にクロック同期化が行われたアライン状態を説明し、図4は、クロック同期化されないミスアライン状態を説明している。
図3に示しているように、メインクロック信号(CK)とデータクロック信号(WCK)が、メモリ装置100から受信される。データクロック信号(WCK)の周波数は、メインクロック信号(CK)の周波数よりも高く設定される。例えば、データクロック信号(WCK)の周波数は、メインクロック信号(CK)の周波数の整数倍である。
T1時点から、メインクロック信号(CK)が受信される。T1時点、T3時点、T5時点のそれぞれにおいて、メインクロック信号(CK)の立下りエッジが入力され、T2時点及びT4時点で、立上りエッジが入力される。
T2時点から、データクロック信号(WCK)が受信される。データクロック信号(WCK)は、書込みデータ(DQ)が入力、又は読出しデータ(DQ)が出力される度に、該当データ(DQ)と共に提供されるため、T1時点では、非活性化状態であり、該当データ(DQ)が提供されるT2時点から、活性化される。
メモリ装置100は、T2時点で、データクロック信号(WCK)が受信されると、データクロック信号(WCK)を分周し、複数の分周されたデータクロック信号(WCK_0、WCK_90、WCK_180、WCK_270)を生成する。例えば、メモリ装置100は、データクロック信号(WCK)を2分周し、複数の2分周クロック信号(WCK_0、WCK_90、WCK_180、WCK_270)を生成する。
データクロック信号(WCK)が受信されるT2時点以降において、第1の2分周クロック信号(WCK_0)は、メインクロック信号(CK)と同一の立上りエッジを有し、第2の2分周クロック信号(WCK_90)は、第1の2分周クロック信号(WCK_0)よりも90度シフトされた位相を有し、第3の2分周クロック信号(WCK_180)は、第1の2分周クロック信号(WCK_0)よりも180度シフトされた位相を有し、第4の2分周クロック信号(WCK_270)は、第1の2分周クロック信号(WCK_0)よりも270度シフトされた位相を有するように生成される。
メモリ装置100は、例えば、T3時点で、第1の2分周クロック信号(WCK_0)の立下りエッジを判断する場合、0.25tCK時間のセットアップ時間(S)と、0.25tCK時間の保持時間(H)とを含むアラインマージンを有する。メモリ装置100は、0.25tCK時間のセットアップ時間(S)と、0.25tCK時間の保持時間(H)とを有し、メインクロック信号(CK)の立下りエッジに応答して、第1の2分周クロック信号(WCK_0)のロジックレベルをキャプチャーすることができる。メモリ装置100は、キャプチャーされた第1の2分周クロック信号(WCK_0)のロジックレベルがロジックロウである場合、第1の2分周クロック信号(WCK_0)が立下りエッジであると判断する。
図3においては、メインクロック信号(CK)の立上りエッジに合わせて、第1の2分周データクロック信号(WCK_0)の立上りエッジが生成され、メインクロック信号(CK)の立下りエッジに合わせて、第1の2分周クロック信号(WCK_0)の立下りエッジが生成される。
図4に示しているように、第1の2分周クロック信号(WCK_0)をみると、データクロック信号(WCK)が受信されるT2時点で、メインクロック信号(CK)の立上りエッジと異なり、第1の2分周クロック信号(WCK_0)の立下りエッジが生成される。T3時点で、メインクロック信号(CK)の立下りエッジと異なり、第1の2分周クロック信号(WCK_0)の立上りエッジが生成される。
T4時点において、第1の2分周クロック信号(WCK_0)の立下りエッジが生成され、T5時点で、第1の2分周クロック信号(WCK_0)の立上りエッジが生成される。
図4においては、メインクロック信号(CK)の立上りエッジである時、第1の2分周クロック信号(WCK_0)の立下りエッジが生成され、メインクロック信号(CK)の立下りエッジである時、第1の2分周データクロック信号(WCK_0)の立上りエッジが生成されることが分かる。これは、メインクロック信号(CK)とデータクロック信号(WCK)の間に、クロック同期化されないミスアライン状態であることを示している。
例示として、T3時点において、メモリ装置100は、T3時点を基準に、0.25tCK時間のセットアップ時間(S)と、0.25tCK時間の保持時間(H)とを有し、メインクロック信号(CK)の立下りエッジに応答して、第1の2分周クロック信号(WCK_0)のロジックレベルをキャプチャーする。メモリ装置100は、キャプチャーされた第1の2分周クロック信号(WCK_0)のロジックレベルがロジックハイである場合、第1の2分周クロック信号(WCK_0)が立上りエッジであると判断する。
クロック同期化の動作時、アラインマージンの不足を解決するため、本発明の実施例では、可変的な周波数を有する、すなわち、ダイナミック周波数を有するデータクロック信号(WCK)を用いて、クロック同期化動作を行い、レイテンシ制御を行うことができる。
図5は、本発明の実施例による図1のメモリ装置を説明する図である。図5に示しているように、メモリ装置100は、コマンドデコーダ110と、メインクロックバッファ125と、コア回路130と、データクロックバッファ127と、クロック同期化回路300と、レイテンシ制御回路400と、データ入出力回路195とを含む。
コマンドデコーダ110は、メモリコントローラ20から伝送されるコマンド(CMD又はCMD_SYNC)を受信する。コマンドデコーダ110は、受信されたコマンド(CMD)を復号化して、内部コマンド信号(ICMD)とクロック同期化信号(ISYNC)を生成する。
コマンドデコーダ110は、受信される読出しコマンド又は書込みコマンドによって、読出し信号又は書込み信号を含む内部コマンド信号(ICMD)を生成する。コマンドデコーダ110は、内部コマンド信号(ICMD)を、コア回路130に提供する。内部コマンド信号(ICMD)は、コア回路130で行われるデータ読出し動作又はデータ書込み動作を制御することができる。
コマンドデコーダ110は、受信されるクロック同期化コマンド(CMD_SYNC)と、メインクロックバッファ125から提供される内部メインクロック信号(ICK)とに応答して、クロック同期化信号(ISYNC)を生成する。クロック同期化信号(ISYNC)は、クロック同期化コマンド(CMD_SYNC)に対応する区間のパルス信号として生成される。コマンドデコーダ110は、クロック同期化信号(ISYNC)を、クロック同期化回路300とレイテンシ制御回路400とに提供する。
メインクロックバッファ125は、メモリコントローラ20からメインクロック信号(CK)を受信する。メインクロックバッファ125は、メインクロック信号(CK)をバッファリングして、内部メインクロック信号(ICK)を生成し、内部メインクロック信号(ICK)をコマンドデコーダ110とコア回路130とに提供する。内部メインクロック信号(ICK)の位相は、メインクロック信号(CK)の位相とほぼ同一である。
コア回路130は、メモリセルアレイ200を含む。コア回路130は、メモリ装置100の読出し動作時、読出し信号である内部コマンド信号(ICMD)と内部メインクロック信号(ICK)に応答して、メモリセルアレイ200からデータを読み出す。コア回路130は、メモリ装置100の書込み動作時、書込み信号である内部コマンド信号(ICMD)と内部メインクロック信号(ICK)に応答して、書込みデータを、メモリセルアレイ200に書き込む。
コア回路130の詳細な構成については、図6を参照して後述する。
データクロックバッファ127は、メモリコントローラ20からデータクロック信号(WCK)を受信し、データクロック信号(WCK)をバッファリングして、クロック同期化回路300及びレイテンシ制御回路400に提供する。
クロック同期化回路300は、クロック同期化信号(ISYNC)とデータクロック信号(WCK)を受信して、クロック同期化動作を行う。クロック同期化回路300は、クロック同期化動作の結果として、第1~第4の内部データクロック信号(IWCK/2_0、IWCK/2_90、IWCK/2_180、IWCK/2_270)からなる内部データクロック信号(IWCK)を生成する。クロック同期化回路300は、内部データクロック信号(IWCK)を、データ入出力回路195に提供する。
データ入出力回路195は、データ入力回路と、データ出力回路とを含む。データ入力回路は、内部データクロック信号(IWCK)に応答して、書込みデータ(DQ)をアラインし、ラッチして、内部書込みデータ(DIN)としてメモリセルアレイ200に提供する。データ出力回路は、内部データクロック信号(IWCK)に応答して、メモリセルアレイ200から読み出される読出しデータ(DOUT)を、出力データ(DQ)として、メモリコントローラ20に伝送する。
データ入出力回路195は、書込み動作時、書込みデータ(DQ)を、内部データクロック信号(IWCK)に用いてサンプリングし、サンプリングされたデータは、内部メインクロック信号(ICK)を用いて、メモリセルアレイ200に書き込まれるように動作する。また、データ入出力回路195は、読出し動作時、内部メインクロック信号(ICK)を用いて、メモリセルアレイ200からデータが読み出されるようにし、読み出されたデータを、内部データクロック信号(IWCK)を用いて、メモリコントローラ20に伝送するように動作する。
レイテンシ制御回路400は、データクロック信号(WCK)を受信し、クロック同期化信号(ISYNC)に応答して、データクロック信号(WCK)を2分周して、複数の2分周クロック信号を生成し、2分周クロック信号のうち、2つを更に2分周して複数の4分周クロック信号を生成し、2分周クロック信号のうち、他の2つの位相を検出し、検出された位相とデータクロック信号(WCK)の位相とが一致するか否かを示す2分周整列信号に基づいて、4分周クロック信号の位相を検出し、検出された位相の一致可否を示す4分周整列信号を生成し、4分周整列信号のうち、位相が一致する1つに対応する4分周クロック信号の1つに基づいて、メインクロック信号のレイテンシを調節し、調節されたレイテンシを、データの受信及び伝送に用いられる内部データクロック信号(IWCK)のレイテンシ情報(LTI)として、データ入出力回路195に提供する。データ入出力回路195は、レイテンシ情報(LTI)に応答して、書込み動作と読出し動作で、レイテンシ情報(LTI)に対応するレイテンシによって、データを受信及び伝送することができる。
メモリ装置100において、クロック同期化回路300により、内部メインクロック信号(ICK)と内部データクロック信号(IWCK)が同期化され、レイテンシ制御回路400により、4分周クロック信号のうち、位相が一致した4分周クロック信号に基づいてレイテンシを制御するため、内部メインクロック信号(ICK)に基づいて動作される領域と、内部データクロック信号(IWCK)に基づいて動作される領域の間に同期化が行われ、レイテンシを正しく制御することができる。これによって、メモリ装置100は、高速データインタフェースにおいて、データの欠落を生じることなく、データ通信を行うことができる。
図6は、図5のメモリ装置をより詳しく示している。図6に示しているように、メモリ装置100は、制御ロジック回路105と、アドレスレジスタ120と、メインクロックバッファ125と、データクロックバッファ127と、バンク制御ロジック130と、リフレッシュカウンタ145と、行アドレスマルチプレクサ140と、列アドレスラッチ150と、行デコーダ160と、列デコーダ170と、メモリセルアレイ200と、センスアンプ部185と、入出力ゲーティング回路190と、ECC(error correction code)エンジン290と、データ入出力回路195と、クロック同期化回路300と、レイテンシ制御回路400とを含む。行デコーダ160、列デコーダ170、メモリセルアレイ200、センスアンプ部185、及び入出力ゲーティング回路190は、図5のコア回路130を構成し、図5と重複する説明は省略する。
メモリセルアレイ200は、第1~第8のバンクアレイ210~280を含む。また、行デコーダ160は、第1~第8のバンクアレイ210~280にそれぞれ連結された第1~第8のバンク行デコーダ160a~160hを含み、列デコーダ170は、第1~第8のバンクアレイ210~280にそれぞれ連結された第1~第8のバンク列デコーダ170a~170hを含み、センスアンプ部185は、第1~第8のバンクアレイ210~280にそれぞれ連結された第1~第8のバンクセンスアンプ185a~185hを含む。第1~第8のバンクアレイ210~280のそれぞれは、複数のワード線(WL)と、複数のビット線(BTL)と、ワード線(WL)とビット線(BTL)が交差する地点に形成される複数のメモリセル(MC)とを含む。
アドレスレジスタ120は、メモリコントローラ20から、バンクアドレス(BANK_ADDR)、行アドレス(ROW_ADDR)、及び列アドレス(COL_ADDR)を含むアドレス(ADDR)を受信する。アドレスレジスタ120は、受信されたバンクアドレス(BANK_ADDR)を、バンク制御ロジック130に提供し、受信された行アドレス(ROW_ADDR)を、行アドレスマルチプレクサ140に提供し、受信された列アドレス(COL_ADDR)を、列アドレスラッチ150に提供する。
バンク制御ロジック130は、バンクアドレス(BANK_ADDR)に応答して、バンク制御信号を生成する。バンク制御信号に応答して、第1~第8のバンク行デコーダ160a~160hのうち、バンクアドレス(BANK_ADDR)に対応するバンク行デコーダが活性化され、第1~第8のバンク列デコーダ170a~170hのうち、バンクアドレス(BANK_ADDR)に対応するバンク列デコーダが活性化される。
行アドレスマルチプレクサ140は、アドレスレジスタ120から行アドレス(ROW_ADDR)を受信し、リフレッシュカウンタ145からリフレッシュ行アドレス(REF_ADDR)を受信する。行アドレスマルチプレクサ140は、行アドレス(ROW_ADDR)又はリフレッシュ行アドレス(REF_ADDR)を、行アドレス(RA)として選択的に出力することができる。行アドレスマルチプレクサ140から出力された行アドレス(RA)は、第1~第8のバンク行デコーダ160a~160hにそれぞれ印加される。
リフレッシュカウンタ145は、制御ロジック回路105の制御により、リフレッシュ行アドレス(REF_ADDR)を順次出力することができる。
第1~第8のバンク行デコーダ160a~160hのうち、バンク制御ロジック130により活性化されたバンク行デコーダは、行アドレスマルチプレクサ140から出力された行アドレス(RA)を復号化して、行アドレスに対応するワード線を活性化することができる。例えば、活性化されたバンク行デコーダは、行アドレスに対応するワード線に、ワード線駆動電圧を印加することができる。
列アドレスラッチ150は、アドレスレジスタ120から列アドレス(COL_ADDR)を受信し、受信された列アドレス(COL_ADDR)を一時的に格納する。また、列アドレスラッチ150は、バーストモードで、受信された列アドレス(COL_ADDR)を逐次増加することができる。列アドレスラッチ150は、一時的に格納された又は逐次増加された列アドレス(COL_ADDR)を、第1~第8のバンク列デコーダ170a~170hに各々印加する。第1~第8のバンク列デコーダ170a~170hのうち、バンク制御ロジック130により活性化されたバンク列デコーダは、入出力ゲーティング回路190を介して、バンクアドレス(BANK_ADDR)及び列アドレス(COL_ADDR)に対応するセンスアンプを活性化させることができる。
入出力ゲーティング回路190は、入出力データをゲーティングする回路と共に、入力データマスクロジックと、第1~第8のバンクアレイ210~280から出力されたデータを格納するための読出しデータラッチと、第1~第8のバンクアレイ210~280にデータを書き込むための書込みドライバとを含む。
第1~第8のバンクアレイ210~280の1つのバンクアレイより読出される符号語(CW)は、1つのバンクアレイに対応するセンスアンプにより感知され、読出しデータラッチに格納される。読出しデータラッチに格納された符号語(CW)は、ECCエンジン290によりECC符号化が行われた後に、(DOUT)としてデータ入出力回路195に提供される。
第1~第8のバンクアレイ210~280の1つのバンクアレイに書込まれるデータ(DIN)は、ECCエンジン290に提供され、ECCエンジン297は、データ(DIN)に対して、ECC符号化を行う。
制御ロジック回路105は、メモリ装置100の動作を制御する。制御ロジック回路105は、メモリコントローラ20から受信されるコマンド(CMD)を復号化するコマンドデコーダ110と、メモリ装置100の動作モードを設定するためのモードレジスタ112とを含む。例えば、コマンドデコーダ110は、書込みイネーブル信号、行アドレスストロボ信号、列アドレスストロボ信号、チップセレクト信号などを復号化して、コマンド(CMD)に対応する制御信号を生成する。コマンドデコーダ110は、同期化コマンド(CMD_SYNC)を復号化して、クロック同期化信号(ISYNC)を生成する。
図7は、図6のメモリ装置における第1のバンクアレイを示す。図7に示しているように、第1のバンクアレイ210は、複数のワード線(WL1~WLm、mは、2以上の整数)と、複数のビット線(BL1~BLn、nは、2以上の整数)と、ワード線(WL1~WLm)とビット線(BL1~BLn)の間の交点に配置される複数のダイナミックメモリセル(MCs)とを含む。ダイナミックメモリセル(MCs)のそれぞれは、ワード線(WL1~WLm)のそれぞれとビット線(BL1~BLn)のそれぞれに連結されるセルトランジスタと、セルトランジスタに連結されるセルキャパシタとを含む。
図8は、図5のメモリ装置におけるクロック同期化回路を示すブロック図である。図8に示しているように、クロック同期化回路300は、データクロック信号(WCK)を分周して、複数の2分周クロック信号(WCK/2_0、WCK/2_90、WCK/2_180、WCK/2_270)を生成し、クロック同期化信号(ISYNC)に基づいて、内部メインクロック信号(ICK)に同期化される内部データクロック信号(IWCK)を生成する。
クロック同期化回路300は、多相発振機320と、第1及び第2の位相検出器331、332と、マルチプレクサ回路340とを含む。
多相発振機320は、分周器を用いて、データクロック信号(WCK)の位相を、0度、90度、180度、及び270度にそれぞれシフトして、第1~第4の2分周クロック信号(WCK/2_0、WCK/2_90、WCK/2_180、WCK/2_270)を生成する。例えば、多相発振機320は、データクロック信号(WCK)を受信する分周器の出力に基づいて、分周器の出力から、0度、90度、180度、及び270度に位相シフトされた第1~第4の2分周クロック信号(WCK/2_0、WCK/2_90、WCK/2_180、WCK/2_270)を生成する。
第1及び第2の位相検出器331、332のそれぞれは、第2及び第4の2分周クロック信号(WCK/2_90、WCK/2_270)に応答して、クロック同期化信号(ISYNC)をラッチし、第1及び第2の位相検出信号(PDS_90、PDS_270)を生成する。
第1の位相検出器331は、第2の2分周クロック信号(WCK/2_90)に応答して、クロック同期化信号(ISYNC)をラッチし、第1の位相検出信号(PDS_90)を出力するフリップフロップからなる。第2の位相検出器332は、第4の2分周クロック信号(WCK/2_270)に応答して、クロック同期化信号(ISYNC)をラッチし、第2の位相検出信号(PDS_270)を出力するフリップフロップからなる。
ここで、クロック同期化信号(ISYNC)は、内部メインクロック信号(ICK)に連携して生成されるため、クロック同期化信号(ISYNC)と、整列された第2の2分周クロック信号(WCK/2_90)とは、内部メインクロック信号(ICK)に同期化される信号として理解される。
図9は、図8のマルチプレクサ回路を示す回路図である。図9に示しているように、マルチプレクサ回路340は、第1~第4のマルチプレクサ341、343、345、347を含む。
第1のマルチプレクサ341は、第1の入力(I1)で第1の2分周クロック信号(WCK/2_0)を受信し、第2の入力(I2)で第3の2分周クロック信号(WCK/2_180)を受信する。第1のマルチプレクサ341は、第1及び第2の位相検出信号(PDS_90、PDS_270)に応答して、第1の入力(I1)の第1の2分周クロック信号(WCK/2_0)と、第2の入力(I2)の第3の2分周クロック信号(WCK/2_180)とのうち1つを選択して、第1の内部データクロック信号(IWCK/2_0)として出力する。
例えば、第1の位相検出信号(PDS_90)がロジックハイレベルであり、第2の位相検出信号(PDS_270)がロジックロウレベルであると、第1のマルチプレクサ341は、第1の2分周クロック信号(WCK/2_0)を選択して、第1の内部データクロック信号(IWCK/2_0)に出力する。これに対して、第1の位相検出信号(PDS_90)がロジックロウレベルであり、第2の位相検出信号(PDS_270)がロジックハイレベルであると、第1のマルチプレクサ341は、第3の2分周クロック信号(WCK/2_180)を選択して、第1の内部データクロック信号(IWCK/2_0)に出力する。
第2のマルチプレクサ343は、第1の入力(I1)で第2の2分周クロック信号(WCK/2_90)を受信し、第2の入力(I2)で第4の2分周クロック信号(WCK/2_270)を受信する。第2のマルチプレクサ343は、第1及び第2の位相検出信号(PDS_90、PDS_270)に応答して、第2の2分周クロック信号(WCK/2_90)と、第4の2分周クロック信号(WCK/2_270)とのうち1つを選択して、第2の内部データクロック信号(IWCK/2_90)として出力する。
第3のマルチプレクサ345は、第1の入力(I1)で第3の2分周クロック信号(WCK/2_180)を受信し、第2の入力(I2)で第1の2分周クロック信号(WCK/2_0)を受信する。第4のマルチプレクサ347は、第1の入力(I1)で第4の2分周クロック信号(WCK/2_270)を受信し、第2の入力(I2)で第2の2分周クロック信号(WCK/2_90)を受信する。
図10は、本発明の実施例による図5のメモリ装置におけるレイテンシ制御回路を示すブロック図である。図10に示しているように、レイテンシ制御回路400は、第1の分周器410と、第2の分周器420と、第1の遅延セル430と、第2の遅延セル440と、第1の同期検出器450と、レイテンシ選択器500とを含む。本発明の実施例において、第1の遅延セル430及び第2の遅延セル440は、レイテンシ制御回路400に含まれないこともある。また、レイテンシ制御回路400は、クロック同期化回路300から、第1~第4の2分周クロック信号(WCK/2_0、WCK/2_90、WCK/2_180、WCK/2_270)を提供されてもよい。この場合、第1の分周器410は、レイテンシ制御回路400に含まれない。
第1の分周器410は、データクロック信号(WCK、WCKB)を分周して、第1~第4の2分周クロック信号(WCK/2_0、WCK/2_90、WCK/2_180、WCK/2_270)を生成し、第1及び第3の2分周クロック信号(WCK/2_0、WCK/2_180)を、第2の分周器420に提供し、第2及び第4の2分周クロック信号(WCK/2_90、WCK/2_270)を、第1の遅延セル430に提供する。
第2の分周器420は、第1及び第3の2分周クロック信号(WCK/2_0、WCK/2_180)を分周して、第1~第4の4分周クロック信号(WCK/4_0_T、WCK/4_0_C、WCK/4_180_T、WCK/4_180_C)を生成し、第1~第4の4分周クロック信号(WCK/4_0_T、WCK/4_0_C、WCK/4_180_T、WCK/4_180_C)を、第2の遅延セル440に提供する。
第1の遅延セル430は、第2及び第4の2分周クロック信号(WCK/2_90、WCK/2_270)を遅らせて、第2及び第4の遅延2分周クロック信号(WCK/2_90D、WCK/2_270D)を、第1の同期検出器450に提供する。第2の遅延セル440は、第1~第4の4分周クロック信号(WCK/4_0_T、WCK/4_0_C、WCK/4_180_T、WCK/4_180_C)を遅らせて、第1~第4の遅延4分周クロック信号(WCK/4_0_TD、WCK/4_0_CD、WCK/4_180_TD、WCK/4_180_CD)を、レイテンシ選択器500に提供する。
第1の同期検出器450は、クロック同期化信号(ISYNC)に応答して、第2及び第4の遅延2分周クロック信号(WCK/2_90D、WCK/2_270D)の位相を検出し、第2及び第4の遅延2分周クロック信号(WCK/2_90D、WCK/2_270D)の位相と、データクロック信号(WCK)の位相との同期/非同期を示す2分周整列信号(ALG、MISALG)を、レイテンシ選択器500に提供する。第2の2分周クロック信号(WCK/2_90)の位相と、データクロック信号(WCK)の位相とが同期される場合、第1の2分周整列信号(ALG)がハイレベルとなり、第4の2分周クロック信号(WCK/2_270)の位相と、データクロック信号(WCK)の位相とが同期している場合、第2の2分周整列信号(MISALG)がハイレベルとなる。
レイテンシ選択器500は、第1~第4の遅延4分周クロック信号(WCK/4_0_TD、WCK/4_0_CD、WCK/4_180_TD、WCK/4_180_CD)の位相を検出し、第1~第4の遅延4分周クロック信号(WCK/4_0_TD、WCK/4_0_CD、WCK/4_180_TD、WCK/4_180_CD)のそれぞれの位相と、データクロック信号(WCK)の位相との同期/非同期を示す4分周整列信号を生成し、4分周整列信号のうち、データクロック信号(WCK)と同期されることを示す1つに対応する、第1~第4の遅延4分周クロック信号(WCK/4_0_TD、WCK/4_0_CD、WCK/4_180_TD、WCK/4_180_CD)のいずれか1つに基づいて、メインクロック信号に関するレイテンシ(LTC)を調節し、調節されたレイテンシを、データクロック信号(WCK)のレイテンシ情報(LTI)として、データ入出力回路195に提供する。
本発明の実施例において、レイテンシ選択器500は、第1~第4の遅延4分周クロック信号(WCK/4_0_TD、WCK/4_0_CD、WCK/4_180_TD、WCK/4_180_CD)の代わりに、第1~第4の4分周クロック信号(WCK/4_0_T、WCK/4_0_C、WCK/4_180_T、WCK/4_180_C)の位相を検出して、4分周整列信号を生成することができる。
図11は、図10のレイテンシ制御回路におけるレイテンシ選択器の構成を示すブロック図である。図11に示しているように、レイテンシ選択器500は、第2の同期検出器510と、第3の同期検出器520と、選択回路530とを含む。
第2の同期検出器510は、第1の2分周整列信号(ALG)に応答して、第1及び第2の4分周クロック信号(WCK/4_0_T、WCK/4_0_C)の位相を検出し、第1及び第2の4分周クロック信号(WCK/4_0_T、WCK/4_0_C)の位相の同期/非同期を示す第1及び第2の4分周整列信号(ALG_C、ALG_T)を、選択回路530に提供する。第3の同期検出器520は、第2の2分周整列信号(MISALG)に応答して、第3及び第4の4分周クロック信号(WCK/4_180_T、WCK/4_180_C)の位相を検出し、第3及び第4の4分周クロック信号(WCK/4_180_T、WCK/4_180_C)の位相の同期/非同期を示す第3及び第4の4分周整列信号(MISALG_C、MISALG_T)を、選択回路530に提供する。
選択回路530は、第1~第4の4分周クロック信号(WCK/4_0_T、WCK/4_0_C、WCK/4_180_T、WCK/4_180_C)を受信し、第1~第4の4分周整列信号(ALG_C、ALG_T、MISALG_C、MISALG_T)に応答して、メインクロック信号(CK)に関するレイテンシ(LTC)を調節し、データクロック信号(WCK)に関するレイテンシ情報(LTI)を、データ入出力回路195に提供する。
選択回路530は、メインクロック信号(CK)に関するレイテンシ(LTC)に基づいて、第1~第4の4分周整列信号(ALG_C、ALG_T、MISALG_C、MISALG_T)のうち、活性化される1つに対応する、第1~第4の4分周クロック信号(WCK/4_0_T、WCK/4_0_C、WCK/4_180_T、WCK/4_180_C)のいずれか1つのレイテンシを調節し、データクロック信号(WCK)のレイテンシ情報(LTI)を、データ入出力回路195に提供する。
図12は、図11のレイテンシ選択器における第2の同期検出器を示している。図12に示しているように、第2の同期検出器510は、デーフリップフロップ511、513と、インバータ512、514とを含む。
インバータ512は、第1の4分周クロック信号(WCK/4_0_T)を反転させる。デーフリップフロップ511は、第1の2分周整列信号(ALG)の立上りエッジで、第1の4分周クロック信号(WCK/4_0_T)のレベルをラッチして、第1の4分周整列信号(ALG_T)に出力する。インバータ514は、第2の4分周クロック信号(WCK/4_0_C)を反転させる。デーフリップフロップ513は、第1の2分周整列信号(ALG)の立上りエッジで、第2の4分周クロック信号(WCK/4_0_C)のレベルをラッチして、第2の4分周整列信号(ALG_C)に出力する。
図13は、図11のレイテンシ選択器における第3の同期検出器を示している。図13に示しているように、第3の同期検出器520は、デーフリップフロップ521、523と、インバータ522、524とを含む。
インバータ522は、第3の4分周クロック信号(WCK/4_180_T)を反転させる。デーフリップフロップ521は、第2の2分周整列信号(MISALG)の立上りエッジで、第3の4分周クロック信号(WCK/4_180_T)のレベルをラッチして、第3の4分周整列信号(MISALG_T)に出力する。インバータ524は、第4の4分周クロック信号(WCK/4_180_C)を反転させる。デーフリップフロップ523は、第2の2分周整列信号(MISALG)の立上りエッジで、第4の4分周クロック信号(WCK/4_180_C)のレベルをラッチして、第4の4分周整列信号(MISALG_C)に出力する。
図14は、図11のレイテンシ選択器における選択回路の一例を示すブロック図である。図14に示しているように、選択回路530aは、レイテンシ調節回路540、560、570、580と、オアゲート590とを含む。レイテンシ調節回路540、560、570、580はそれぞれ、メインクロック信号(CK)に関するレイテンシ(LTC)を受信し、4分周整列信号(ALG_C、ALG_T、MISALG_C、MISALG_T)のうち、対応する1つを受信し、4分周整列信号(ALG_C、ALG_T、MISALG_C、MISALG_T)のうち、活性化された1つに応答して活性化され、活性化される場合、メインクロック信号(CK)に関するレイテンシ(LTC)を、4分周クロック信号(WCK/4_0_T、WCK/4_0_C、WCK/4_180_T、WCK/4_180_C)のそれぞれに基づいて調節し、調節されたレイテンシを、サブレイテンシ情報(SLTI1~SLTI3)として、オアゲート590に提供する。オアゲート590は、サブレイテンシ情報(SLTI1~SLTI3)のいずれか1つをレイテンシ情報(LTI)として、データ入出力回路195に提供する。
図15は、図14のレイテンシ調節回路のうち、第1のレイテンシ調節回路の構成を示す回路図である。
図14におけるレイテンシ調節回路560、570、580のそれぞれの構成は、第1のレイテンシ調節回路540の構成と同様である。
図15に示しているように、第1のレイテンシ調節回路540は、デーフリップフロップ541~545と、アンドゲート546と、マルチプレクサ547~549と、クロック制御ロジック551~555とを含む。
デーフリップフロップ541~545、アンドゲート546、マルチプレクサ547~549、及びクロック制御ロジック551~555は、図15に示しているように連結されている。
デーフリップフロップ541は、クロック制御ロジック551より提供される第1の遅延4分周クロック信号(WCK/4_TD)の立上りエッジで、メインクロック信号(CK)に関するレイテンシ541のレベルをラッチして出力する。ナンドゲート546は、選択信号(FS1)とデーフリップフロップ541の出力をナンド演算する。デーフリップフロップ542は、クロック制御ロジック552に提供される遅延した4分周クロック信号(WCK/4_TD3)の立上りエッジで、ナンドゲート542の出力をラッチする。マルチプレクサ547~549はそれぞれ、選択信号(FS2~FS4)のそれぞれに応答して、デーフリップフロップ541の出力である第1の入力と第2の入力のいずれか1つを選択して出力する。クロック制御ロジック551~555はそれぞれ、第1の4分周整列制御信号(ALG_T)に応答して、第1の4分周クロック信号(WCK/4_T)と、第1の4分周クロック信号(WCK/4_T)が遅らせたクロック信号(WCK/4_TD1、WCK/4_TD2、WCK/4_TD3、WCK/4_TD4)を、デーフリップフロップ541~545それぞれの第1の入力として提供する。選択信号(FS1~FS4)により、メインクロック信号(CK)に関するレイテンシ(LTC)が調節され、第1のサブレイテンシ情報(SLTI1)として提供される。選択信号(FS1~FS4)は、レイテンシ選択器500の外部に提供される。
図16は、図11のレイテンシ選択器における選択回路の他の例を示すブロック図である。図16に示しているように、選択回路530bは、レイテンシ調節回路540a、560a、570a、580aと、マルチプレクサ595とを含む。レイテンシ調節回路540a、560a、570a、580aは、メインクロック信号(CK)に関するレイテンシ(LTC)を、4分周クロック信号(WCK/4_0_T、WCK/4_0_C、WCK/4_180_T、WCK/4_180_C)のそれぞれに基づいて調節し、調節されたレイテンシを、サブレイテンシ情報(SLTI1~SLTI3)としてマルチプレクサ595に提供する。マルチプレクサ595は、4分周整列信号(ALG_C、ALG_T、MISALG_C、MISALG_T)のうち、活性化された1つに応答して、サブレイテンシ情報(SLTI1~SLTI3)のいずれか1つを、レイテンシ情報(LTI)としてデータ入出力回路195に提供する。
図17a乃至図17dは、図10のレイテンシ制御回路において、2分周クロック信号、4分周クロック信号、2分周整列信号、及び4分周整列信号を示す。
図17a乃至図17dでは、データクロック信号(WCK)が正常に入力される場合を示している。
図17aに示しているように、図面符号611、613のように、第2の2分周クロック信号(WCK/2_90)の位相と、第1の4分周クロック信号(WCK/4_0_T)の位相とが、データクロック信号(WCK)に同期され、T21時点から、第1の2分周整列信号(ALG)と、第1の4分周整列信号(ALG_T)とがハイレベルとなることが分かる。
図17bに示しているように、図面符号611、615のように、第2の2分周クロック信号(WCK/2_90)の位相と、第2の4分周クロック信号(WCK/4_0_C)の位相とが、データクロック信号(WCK)に同期され、T21時点から、第1の2分周整列信号(ALG)と、第2の4分周整列信号(ALG_C)とがハイレベルとなることが分かる。
図17cに示しているように、図面符号621、623のように、第4の2分周クロック信号(WCK/2_270)の位相と、第3の4分周クロック信号(WCK/4_180_T)の位相とが、データクロック信号(WCK)に同期され、T31時点から、第2の2分周整列信号(MISALG)と、第3の4分周整列信号(MISALG_T)とがハイレベルとなることが分かる。
図17dに示しているように、図面符号621、625のように、第4の2分周クロック信号(WCK/2_270)の位相と、第4の4分周クロック信号(WCK/4_180_C)の位相とが、データクロック信号(WCK)に同期され、T31時点から、第2の2分周整列信号(MISALG)と、第4の4分周整列信号(MISALG_C)とがハイレベルとなることが分かる。
図18a乃至図18dは、図10のレイテンシ制御回路において、2分周クロック信号、4分周クロック信号、2分周整列信号、及び4分周整列信号を示している。
図18a乃至図18dでは、図面符号630のように、データクロック信号(WCK)が、クロック同期化信号(ISYNC)がハイレベルとなるまで、正常に入力されない場合を示している。
図18aに示しているように、図面符号631、633のように、第2の2分周クロック信号(WCK/2_90)の位相と、第1の4分周クロック信号(WCK/4_0_T)の位相とがデータクロック信号(WCK)に同期され、T41時点から、第1の2分周整列信号(ALG)と、第1の4分周整列信号(ALG_T)とがハイレベルとなることが分かる。
図18bに示しているように、図面符号631、635のように、第2の2分周クロック信号(WCK/2_90)の位相と、第2の4分周クロック信号(WCK/4_0_C)の位相とがデータクロック信号(WCK)に同期され、T41時点から、第1の2分周整列信号(ALG)と、第2の4分周整列信号(ALG_C)とがハイレベルとなることが分かる。
図18cに示しているように、図面符号641、643のように、第4の2分周クロック信号(WCK/2_270)の位相と、第3の4分周クロック信号(WCK/4_180_T)の位相とがデータクロック信号(WCK)に同期され、T51時点から、第2の2分周整列信号(MISALG)と、第3の4分周整列信号(MISALG_T)とがハイレベルとなることが分かる。
図18dに示しているように、図面符号641、645のように、第4の2分周クロック信号(WCK/2_270)の位相と、第4の4分周クロック信号(WCK/4_180_C)の位相とがデータクロック信号(WCK)に同期され、T51時点から、第2の2分周整列信号(MISALG)と、第4の4分周整列信号(MISALG_C)とがハイレベルとなることが分かる。
図10乃至図18dにおいて、第2の分周器420は、2分周クロック信号(WCK/2_0、WCK/2_180)の代わりに、2分周クロック信号(WCK/2_90、WCK/2_270)を使うことができる。
図19は、本発明の実施例によるメモリ装置の動作方法を示すフローチャートである。
図5乃至図19に示しているように、メモリ装置100の動作方法では、レイテンシ制御回路400が、データクロック信号(WCK)に基づいて、複数の2分周クロック信号(WCK/2_0、WCK/2_90、WCK/2_180、WCK/2_270)を生成する(S510)。2分周クロック信号(WCK/2_0、WCK/2_90、WCK/2_180、WCK/2_270)のうち、2つの2分周クロック信号(WCK/2_0、WCK/2_180)を分周して、複数の4分周クロック信号(WCK/4_0_T、WCK/4_0_C、WCK/4_180_T、WCK/4_180_C)を生成する(S520)。レイテンシ制御回路400は、2分周クロック信号(WCK/2_0、WCK/2_90、WCK/2_180、WCK/2_270)のうち、2つの2分周クロック信号(WCK/2_0、WCK/2_180)の他の2つの(WCK/2_90、WCK/2_270)の位相の同期/非同期を検出して、2分周整列信号(ALG、MISALG)を生成する(S530)。レイテンシ制御回路400は、2分周整列信号に基づいて、自動で、4分周クロック信号(WCK/4_0_T、WCK/4_0_C、WCK/4_180_T、WCK/4_180_C)の位相を判別し、判別された位相に基づいて、関するレイテンシ情報(LTI)を提供する(S540)。データ入出力回路195は、レイテンシ情報(LTI)に対応するレイテンシによって、データ(DQ)を受信又は伝送する(S550)。
図20は、本発明の実施例によるメモリ装置を示すブロック図である。
図20に示しているように、積層タイプのメモリ装置700は、第1群のダイ710と、第2群のダイ720とを含む。
第1群のダイ710は、少なくとも1つの緩衝ダイ711を含む。第2群のダイ720は、第1群のダイ710上に積層され、複数のシリコン貫通ビア(以下、TSV)ラインを介して、データを通信する複数のメモリダイ720-1、720-2、…、720-pを含む。
複数のメモリダイ720-1、720-2、…、720-pの少なくとも1つは、データを格納するメモリセルアレイ722を含む。
緩衝ダイ711は、複数のTSVラインを介して受信される伝送データに伝送誤りが発生した場合、伝送パリティービットを用いて、伝送誤りを訂正することによって、誤り訂正されたデータを生成するECCエンジン712を含む。ここで、ECCエンジン712は、伝送路のフェイルを訂正するための回路であるので、ビアECCエンジンと称する。緩衝ダイ711は、更に、クロック制御回路714と、データ入出力回路716とを含む。クロック制御回路714は、上述したクロック同期化回路及びレイテンシ制御回路を含み、データクロック信号(WCK)を受信して、内部データクロック信号(IWCK)とレイテンシ情報(LTI)をデータ入出力回路716に提供する。データ入出力回路716は、レイテンシ情報(LTI)に対応するレイテンシによって、内部データクロック信号(IWCK)を用いたデータ入出力を行う。
メモリ装置700は、TSVラインを介して、データ及び制御信号を通信するスタックトチップタイプのメモリ装置、又はスタックトメモリ装置である。TSVラインは、シリコン貫通電極としても称する。
1つのメモリダイ720-pに形成されるデータTSVライン群732は、TSVライン(L1~Lp)からなり、パリティーTSVライン群734は、TSVライン(L10~Lq)からなる。データTSVライン群732のTSVライン(L1~Lp)と、パリティーTSVライン群734のTSVライン(L10~Lq)とは、複数のメモリダイ720-1~720-pの間に対応して形成されたマイクロバンプ(MCB)に連結される。
メモリ装置700は、データバス(B10)を介して、外部のメモリコントローラと通信するために3Dチップ構造又は2.5Dチップ構造を有する。緩衝ダイ710は、データバス(B10)を介して、メモリコントローラに連結される。
ビアECCエンジンであるECCエンジン712は、データTSVライン群732を介して受信される伝送データに伝送誤りが発生したか否かを、パリティーTSVライン群734を介して受信される伝送パリティービットを用いて、チェックする。伝送誤りが発生する場合、第2タイプのECCエンジン712は、伝送パリティービットを用いて、伝送データに対する伝送誤りを訂正する。伝送誤りのビット数が訂正不可の場合、第2タイプのECCエンジン712は、データ誤りの発生を報知する情報を出力することができる。
図21は、図20のメモリ装置が3Dチップ構造に適用される例を示すブロック図である。図21は、介在層を介することなく、ホストとHBMを直接連結した3Dチップ構造800を示している。
図21に示しているように、PCB820上には、フリップチップバンプ(FB)を介して、SoC、CPG、あるいは、CPUであるホストダイ810が配置される。ホストダイ810上には、第2群のダイ720のようなHBM構造を形成するためのメモリダイ(D11~D14)が積層される。
図21においては、図20の緩衝ダイ711又は論理ダイが省略されているが、緩衝ダイ711は、メモリダイ(D11)とホストダイ810の間に配置されることができる。HBM構造を具現するために、メモリダイ(D11~D14)には、シリコン貫通電極と呼ばれるTSVラインが形成される。TSVラインは、メモリダイの間に形成されたマイクロバンプ(MCB)と電気的に連結される。
図22は、本発明の実施例によるスタック型メモリ装置を含む半導体パッケージの例を示す構造図である。図22に示しているように、半導体パッケージ900は、1以上のスタック型メモリ装置910と、メモリコントローラ920とを含む。スタック型メモリ装置910とメモリコントローラ920は、インターポーザ930上に装着され、スタック型メモリ装置910とメモリコントローラ920が装着されたインターポーザ930は、パッケージ基板940上に装着される。メモリコントローラ920は、メモリコントロール機能を果たす半導体装置に該当し、一例として、メモリコントローラ920は、アプリケーションプロセッサ(AP)として具現される。
スタック型メモリ装置910は、様々な形態で具現可能であり、一実施例によって、スタック型メモリ装置910は、多数のレイヤが積層されたHBM(High Bandwidth Memory)形態のメモリ装置である。これによって、スタック型メモリ装置910は、緩衝ダイ及び複数のメモリダイを含み、緩衝ダイは、クロック制御回路を含む。
インターポーザ930上には、多数のスタック型メモリ装置910が装着され、メモリコントローラ920は、多数のスタック型メモリ装置910と通信可能である。ここで、インターポーザ930は、シリコン(TSV)形状、PCB形状の有機、又はNon-TSV方式であるEMIB(embedded multi-die interconnect bridge)を含むことができる。
本発明は、データクロック信号とメインクロック信号を利用する様々なメモリ装置に使用可能である。
上述したように、本発明の実施例を参照して説明したが、当該技術の分野における通常の知識を有する者は、下記の請求の範囲に記載された本発明の思想及び領域から逸脱しない範囲内で、本発明を様々に修正及び変更できることを理解されるだろう。

Claims (20)

  1. メインクロック信号を受信し、内部メインクロック信号をコア回路に提供するクロックバッファと、
    データクロック信号を受信するデータクロックバッファと、
    前記データクロック信号に基づいて、前記データクロック信号に関するレイテンシ情報を生成し、該当レイテンシ情報をデータ入出力回路に提供するレイテンシ制御回路とを含み、
    前記レイテンシ制御回路は、
    前記データクロック信号に基づいて、複数の2分周クロック信号を生成する第1の分周器と、
    前記2分周クロック信号のうち、2つの2分周クロック信号を分周して、複数の4分周クロック信号を生成する第2の分周器と、
    クロック同期化信号に応答して、前記2分周クロック信号のうち、他の2つの2分周クロック信号と前記データクロック信号の間の同期/非同期を示す2分周整列信号を出力する第1の同期検出器と、
    前記2分周整列信号に基づいて、自動で前記4分周クロック信号の位相を判別し、前記判別された4分周クロック信号の位相に基づいて、データの書込み・読出しに関する前記メインクロック信号のレイテンシを調節して、前記レイテンシ情報を出力するレイテンシ選択器とを含むメモリ装置。
  2. 前記レイテンシ選択器は、前記2分周整列信号に応答して、前記4分周クロック信号と前記データクロック信号の間の同期/非同期を示す4分周整列信号を生成し、前記4分周整列信号の少なくとも1つ及び対応する前記4分周クロック信号の少なくとも1つを用いて、前記レイテンシを調節する請求項1に記載のメモリ装置。
  3. 前記2分周クロック信号は、第1~第4の2分周クロック信号を含み、
    前記2つの2分周クロック信号は、互いに180度の位相差を有する前記第2及び第4の2分周クロック信号を含み、
    前記他の2つの2分周クロック信号は、互いに180度の位相差を有する前記第1及び第3の2分周クロック信号を含み、
    前記第1の2分周クロック信号と前記第2の2分周クロック信号は、互いに90度の位相差を有する請求項1又は2に記載のメモリ装置。
  4. 前記第1の同期検出器は、前記クロック同期化信号の活性化区間で、前記第2の2分周クロック信号の立下りエッジが感知されると、前記2分周整列信号のうち、第1の2分周整列信号を活性化させる請求項3に記載のメモリ装置。
  5. 前記第1の同期検出器は、前記クロック同期化信号の活性化区間で、前記第4の2分周クロック信号の立下りエッジが感知されると、前記2分周整列信号のうち、第2の2分周整列信号を活性化させる請求項3に記載のメモリ装置。
  6. 前記レイテンシ選択器は、
    前記2分周整列信号のうち、第1の2分周整列信号に基づいて、前記4分周クロック信号のうち、第1及び第2の4分周クロック信号と前記データクロック信号の間の同期/非同期を示す第1及び第2の4分周整列信号を出力する第2の同期検出器と、
    前記2分周整列信号のうち、第2の2分周整列信号に基づいて、前記4分周クロック信号のうち、第3及び第4の4分周クロック信号と前記データクロック信号の間の同期/非同期を示す第3及び第4の4分周整列信号を出力する第3の同期検出器と、
    前記第1~第4の4分周クロック信号を受信し、前記第1~第4の4分周整列信号に基づいて、前記第1~第4の4分周クロック信号のそれぞれに関するレイテンシを調節し、前記調節されたレイテンシのいずれか1つを、前記レイテンシ情報として選択する選択回路とを含む請求項1~5のうち何れか一項に記載のメモリ装置。
  7. 前記選択回路は、前記第1~第4の4分周整列信号のうち、活性化される1つに対応する、前記1~第4の4分周クロック信号のいずれか1つに関するレイテンシを調節し、前記調節されたレイテンシを、前記レイテンシ情報として出力する請求項6に記載のメモリ装置。
  8. 前記第2の同期検出器は、
    前記第1の2分周整列信号のエッジで、前記第1の4分周クロック信号がロウレベルである場合、前記第1の4分周整列信号を活性化させ、
    前記第1の2分周整列信号のエッジで、前記第2の4分周クロック信号がロウレベルである場合、前記第2の4分周整列信号を活性化させる請求項6に記載のメモリ装置。
  9. 前記第3の同期検出器は、
    前記第2の2分周整列信号のエッジで、前記第3の4分周クロック信号がロウレベルである場合、前記第3の4分周整列信号を活性化させ、
    前記第2の2分周整列信号のエッジで前記第4の4分周クロック信号がロウレベルである場合、前記第4の4分周整列信号を活性化させる請求項6に記載のメモリ装置。
  10. 前記第2の同期検出器は、
    前記第1の4分周クロック信号を反転させる第1のインバータと、
    前記第1の2分周整列信号のエッジで、前記第1のインバータの出力をラッチし、前記第1の4分周整列信号として出力する第1のフリップフロップと、
    前記第2の4分周クロック信号を反転させる第2のインバータと、
    前記第1の2分周整列信号のエッジで、前記第2のインバータの出力をラッチし、前記第2の4分周整列信号として出力する第2のフリップフロップとを含む請求項6に記載のメモリ装置。
  11. 前記第3の同期検出器は、
    前記第3の4分周クロック信号を反転させる第3のインバータと、
    前記第2の2分周整列信号のエッジで、前記第3のインバータの出力をラッチし、前記第3の4分周整列信号として出力する第3のフリップフロップと、
    前記第4の4分周クロック信号を反転させる第4のインバータと、
    前記第2の2分周整列信号のエッジで、前記第4のインバータの出力をラッチし、前記第4の4分周整列信号として出力する第4のフリップフロップとを含む請求項10に記載のメモリ装置。
  12. 前記選択回路は、
    前記メインクロック信号に関するレイテンシを受信し、前記第1の4分周クロック信号を用いて、前記レイテンシを調節し、前記第1の4分周整列信号が活性化される場合、前記調節された第1のレイテンシを、第1のサブレイテンシ情報として出力する第1のレイテンシ調節回路と、
    前記メインクロック信号に関するレイテンシを受信し、前記第2の4分周クロック信号を用いて、前記レイテンシを調節し、前記第2の4分周整列信号が活性化される場合、前記調節された第2のレイテンシを、第2のサブレイテンシ情報として出力する第2のレイテンシ調節回路と、
    前記メインクロック信号に関するレイテンシを受信し、前記第3の4分周クロック信号を用いて、前記レイテンシを調節し、前記第3の4分周整列信号が活性化される場合、前記調節された第3のレイテンシを、第3のサブレイテンシ情報として出力する第3のレイテンシ調節回路と、
    前記メインクロック信号に関するレイテンシを受信し、前記第4の4分周クロック信号を用いて、前記レイテンシを調節し、前記第4の4分周整列信号が活性化される場合、前記調節された第4のレイテンシを、第4のサブレイテンシ情報として出力する第4のレイテンシ調節回路と、
    前記第1~第4のサブレイテンシ情報に対してオア演算を行い、前記レイテンシ情報を出力するオアゲートとを含む請求項6に記載のメモリ装置。
  13. 前記第1~第4のレイテンシ調節回路のいずれか1つは、前記第1~第4の4分周整列信号に応答して活性化される請求項12に記載のメモリ装置。
  14. 前記選択回路は、
    前記メインクロック信号に関するレイテンシを受信し、前記第1の4分周クロック信号を用いて、前記レイテンシを調節し、第1のサブレイテンシ情報として出力する第1のレイテンシ調節回路と、
    前記メインクロック信号に関するレイテンシを受信し、前記第2の4分周クロック信号を用いて、前記レイテンシを調節し、第2のサブレイテンシ情報として出力する第2のレイテンシ調節回路と、
    前記メインクロック信号に関するレイテンシを受信し、前記第3の4分周クロック信号を用いて、前記レイテンシを調節し、第3のサブレイテンシ情報として出力する第3のレイテンシ調節回路と、
    前記メインクロック信号に関するレイテンシを受信し、前記第4の4分周クロック信号を用いて、前記レイテンシを調節し、第4のサブレイテンシ情報として出力する第4のレイテンシ調節回路と、
    前記第1~第4の4分周整列信号に応答して、前記第1~第4のサブレイテンシ情報のいずれか1つを選択し、前記レイテンシ情報として出力するマルチプレクサとを含む請求項6に記載のメモリ装置。
  15. 複数のバンクアレイを備えるメモリセルアレイと、
    メインクロック信号に同期化されたクロック同期化コマンドを受信し、クロック同期化信号を出力するコマンドデコーダと、
    アドレス信号に含まれるバンクアドレスに基づいて、前記バンクアレイを制御するバンク制御信号を出力するバンク制御ロジックと、
    データクロック信号に基づいて、複数の2分周クロック信号を生成し、前記クロック同期化信号に応答して、前記2分周クロック信号のいずれか1つを、内部データクロック信号に出力するクロック同期化回路と、
    前記2分周クロック信号の一部に基づいて、4分周クロック信号を生成し、前記クロック同期化信号に応答して、前記2分周クロック信号と前記データクロック信号の同期/非同期を示す2分周整列信号を生成し、前記2分周整列信号に応答して、前記4分周クロック信号の位相を判別し、前記判別された4分周クロック信号の位相に基づいて、前記メインクロック信号のレイテンシを調節し、前記内部データクロック信号に関するレイテンシ情報を出力するレイテンシ制御回路と、
    前記レイテンシ情報に対応するレイテンシにより、前記内部データクロック信号を用いて、データを受信・伝送するデータ入出力回路とを含み、
    前記バンクアレイのそれぞれは、複数のワード線と複数のビット線に連結される複数のダイナミックメモリセルを含むメモリ装置。
  16. 前記レイテンシ制御回路は、
    前記2分周クロック信号のうち、2つの2分周クロック信号を分周して、前記複数の4分周クロック信号を生成する分周器と、
    前記クロック同期化信号に応答して、前記2分周クロック信号のうち、他の2つの2分周クロック信号と、前記データクロック信号の間の同期/非同期を示す前記2分周整列信号を出力する第1の同期検出器と、
    前記2分周整列信号に応答して、自動で前記4分周クロック信号の位相を判別し、前記判別された前記4分周クロック信号の位相に基づいて、前記メインクロック信号の前記レイテンシを調節し、前記レイテンシ情報を出力するレイテンシ選択器とを含む請求項15に記載のメモリ装置。
  17. 前記レイテンシ選択器は、前記2分周整列信号に応答して、前記4分周クロック信号と前記データクロック信号の間の同期/非同期を示す4分周整列信号を生成し、前記4分周整列信号の少なくとも1つ、及び対応する前記4分周クロック信号の少なくとも1つを用いて、前記レイテンシを調節する請求項16に記載のメモリ装置。
  18. 更に、前記データに対して、ECC符号化及びECC復号化を行うECCエンジンを含む請求項15~17のうち何れか一項に記載のメモリ装置。
  19. 更に、前記データクロック信号を受信し、前記データクロック信号を、前記クロック同期化回路及び前記レイテンシ制御回路に提供するデータクロックバッファを含む請求項15~18のうち何れか一項に記載のメモリ装置。
  20. 少なくとも1つの緩衝ダイと、
    前記少なくとも1つの緩衝ダイの上部に積層され、複数の貫通ラインを介して、データを通信する複数のメモリダイとを含み、
    前記複数のメモリダイの少なくとも1つは、データを格納するメモリセルアレイを含み、
    前記少なくとも1つの緩衝ダイは、
    データクロック信号に基づいて、複数の2分周クロック信号を生成し、クロック同期化信号に応答して、前記2分周クロック信号のいずれか1つを、内部データクロック信号に出力するクロック同期化回路と、
    前記2分周クロック信号の一部に基づいて、4分周クロック信号を生成し、クロック同期化信号に応答して、前記2分周クロック信号と前記データクロック信号の同期/非同期を示す2分周整列信号を生成し、前記2分周整列信号に応答して、前記4分周クロック信号の位相を判別し、前記判別された4分周クロック信号の位相に基づいて、メインクロック信号のレイテンシを調節し、前記内部データクロック信号に関するレイテンシ情報を出力するレイテンシ制御回路と、
    前記レイテンシ情報に対応するレイテンシにより、前記内部データクロック信号を用いて、データを受信・伝送するデータ入出力回路とを含むメモリ装置。
JP2019150528A 2018-10-04 2019-08-20 メモリ装置 Active JP7229124B2 (ja)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2018-0118038 2018-10-04
KR20180118038 2018-10-04
KR10-2018-0151160 2018-11-29
KR1020180151160A KR102669496B1 (ko) 2018-10-04 2018-11-29 메모리 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2020061201A JP2020061201A (ja) 2020-04-16
JP7229124B2 true JP7229124B2 (ja) 2023-02-27

Family

ID=70052259

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019150528A Active JP7229124B2 (ja) 2018-10-04 2019-08-20 メモリ装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US10762947B2 (ja)
JP (1) JP7229124B2 (ja)
CN (1) CN111009270A (ja)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10090026B2 (en) 2017-02-28 2018-10-02 Micron Technology, Inc. Apparatuses and methods for providing internal memory commands and control signals in semiconductor memories
US10210918B2 (en) * 2017-02-28 2019-02-19 Micron Technology, Inc. Apparatuses and methods for determining a phase relationship between an input clock signal and a multiphase clock signal
US10269397B2 (en) 2017-08-31 2019-04-23 Micron Technology, Inc. Apparatuses and methods for providing active and inactive clock signals
US11417388B2 (en) * 2020-06-17 2022-08-16 Micron Technology, Inc. Processing of unassigned row address in a memory
CN114187942A (zh) * 2020-09-15 2022-03-15 长鑫存储技术有限公司 时钟电路以及存储器
US11349481B1 (en) * 2021-02-19 2022-05-31 Skyechip Sdn Bhd I/O transmitter circuitry for supporting multi-modes serialization
CN113419598B (zh) * 2021-05-18 2022-09-20 武汉中海庭数据技术有限公司 一种多soc系统时钟同步系统及方法
US11588474B2 (en) 2021-06-15 2023-02-21 International Business Machines Corporation Low powered clock driving
US11727979B2 (en) * 2021-07-07 2023-08-15 Micron Technology, Inc. Methods of reducing clock domain crossing timing violations, and related devices and systems
US20230063347A1 (en) * 2021-08-30 2023-03-02 Micron Technology, Inc. Tuned datapath in stacked memory device
KR20230044605A (ko) * 2021-09-27 2023-04-04 에스케이하이닉스 주식회사 듀티보정회로를 포함하는 듀티보정장치 및 이를 포함하는 반도체 장치

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003203481A (ja) 2001-11-07 2003-07-18 Samsung Electronics Co Ltd Casレイテンシを利用してロッキングレゾリューション調節が可能な遅延同期ループ回路
JP2004164763A (ja) 2002-11-14 2004-06-10 Renesas Technology Corp 半導体記憶装置
JP2009117020A (ja) 2007-11-02 2009-05-28 Hynix Semiconductor Inc 半導体メモリ装置
US20180247683A1 (en) 2017-02-28 2018-08-30 Micron Technology, Inc. Apparatuses and methods for determining a phase relationship between an input clock signal and a multiphase clock signal

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6865135B2 (en) 2003-03-12 2005-03-08 Micron Technology, Inc. Multi-frequency synchronizing clock signal generator
KR100670654B1 (ko) 2005-06-30 2007-01-17 주식회사 하이닉스반도체 도메인 크로싱 마진을 증가시키기 위한 반도체메모리소자
US7664978B2 (en) * 2006-04-07 2010-02-16 Altera Corporation Memory interface circuitry with phase detection
JP5013768B2 (ja) 2006-08-03 2012-08-29 ルネサスエレクトロニクス株式会社 インターフェイス回路
US7975162B2 (en) 2006-11-28 2011-07-05 Samsung Electronics Co., Ltd. Apparatus for aligning input data in semiconductor memory device
US8207976B2 (en) 2007-03-15 2012-06-26 Qimonda Ag Circuit
KR100903370B1 (ko) 2007-11-02 2009-06-23 주식회사 하이닉스반도체 데이터 클록 트레이닝 회로, 그를 포함한 반도체 메모리 장치 및 시스템
KR101398196B1 (ko) * 2008-01-08 2014-05-26 삼성전자주식회사 반도체 장치, 상기 반도체 장치의 동작 방법, 및 이를포함하는 시스템
KR20180034738A (ko) 2016-09-26 2018-04-05 삼성전자주식회사 메모리 장치 및 그것의 분주 클록 보정 방법

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003203481A (ja) 2001-11-07 2003-07-18 Samsung Electronics Co Ltd Casレイテンシを利用してロッキングレゾリューション調節が可能な遅延同期ループ回路
JP2004164763A (ja) 2002-11-14 2004-06-10 Renesas Technology Corp 半導体記憶装置
JP2009117020A (ja) 2007-11-02 2009-05-28 Hynix Semiconductor Inc 半導体メモリ装置
US20180247683A1 (en) 2017-02-28 2018-08-30 Micron Technology, Inc. Apparatuses and methods for determining a phase relationship between an input clock signal and a multiphase clock signal

Also Published As

Publication number Publication date
CN111009270A (zh) 2020-04-14
JP2020061201A (ja) 2020-04-16
US20200111523A1 (en) 2020-04-09
US10762947B2 (en) 2020-09-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7229124B2 (ja) メモリ装置
US10186309B2 (en) Methods of operating semiconductor memory devices and semiconductor memory devices
US10692555B2 (en) Semiconductor memory devices enabling read strobe mode and related methods of operating semiconductor memory devices
US10354704B2 (en) Semiconductor memory device and memory system
US9281035B2 (en) Semiconductor integrated circuit capable of controlling read command
US7872940B2 (en) Semiconductor memory device and method for testing the same
US8477543B2 (en) Data input circuit with a valid strobe signal generation circuit
KR20200083641A (ko) 반도체 메모리를 위한 메모리 명령을 포함하는 장치 및 방법
TWI765932B (zh) 半導體記憶體裝置之資料對齊電路以及其資料對齊之方法
JP5456275B2 (ja) カウンタ回路、レイテンシカウンタ及びこれを備える半導体記憶装置、並びに、データ処理システム
US10840918B2 (en) Phase lock circuitry using frequency detection
US11329654B2 (en) Delay circuit of delay-locked loop circuit and delay-locked loop circuit
KR20190022965A (ko) 메모리 시스템, 및 이를 위한 메모리 모듈과 반도체 메모리 장치
US11699472B2 (en) Semiconductor memory device and memory system including the same
US11004531B2 (en) Test control circuit, semiconductor memory apparatus and semiconductor system using the test control circuit
US7995406B2 (en) Data writing apparatus and method for semiconductor integrated circuit
CN109949853B (zh) 涉及在低速操作环境中执行高速测试的半导体设备和系统
KR102669496B1 (ko) 메모리 장치
US8107315B2 (en) Double data rate memory device having data selection circuit and data paths
KR20200038833A (ko) 메모리 장치
JP2010198715A (ja) 半導体記憶装置
US20240135985A1 (en) Semiconductor memory device capable of synchronizing clock signals in cs geardown mode
KR20140146331A (ko) 데이터 스트로브 제어 장치
KR20180002467A (ko) 반도체 메모리 장치의 동작 방법 및 반도체 메모리 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20220225

TRDD Decision of grant or rejection written
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20230125

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20230131

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20230214

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7229124

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150