JP7226087B2 - 電気特性評価治具 - Google Patents

電気特性評価治具 Download PDF

Info

Publication number
JP7226087B2
JP7226087B2 JP2019094707A JP2019094707A JP7226087B2 JP 7226087 B2 JP7226087 B2 JP 7226087B2 JP 2019094707 A JP2019094707 A JP 2019094707A JP 2019094707 A JP2019094707 A JP 2019094707A JP 7226087 B2 JP7226087 B2 JP 7226087B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
evaluation board
electronic device
evaluation
radiator
heat dissipation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2019094707A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2020190436A (ja
Inventor
篤司 岡村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP2019094707A priority Critical patent/JP7226087B2/ja
Publication of JP2020190436A publication Critical patent/JP2020190436A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7226087B2 publication Critical patent/JP7226087B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Structure Of Printed Boards (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Description

本発明は、主に携帯電話等の基地局通信用の電力増幅器又はRFモジュール等の電子デバイスの電気特性評価治具に関する。
現在、CDMAをはじめとする携帯電話基地局用電力増幅器として、LDMOS、GaN-HEMT、GaAs-HBTが広く用いられている。一般的に、基地局用電力増幅器には基地局の大きさに応じて、数Wから数百Wの出力電力が求められるが、出力電力に比例して電力増幅器の発熱量が増加する。このため、電力増幅器の電気特性の評価の際には、熱による電力増幅器の破壊とRF性能低下の対策として、電力増幅器が動作した際に発生させる熱の効率的な放熱対策が不可欠となる。電力増幅器から発生した熱を効率的に放熱させるためには一般的に電力増幅器と放熱体の密着度を上げることが効果的であると考えられている。基地局用電力増幅器の電気特性評価において、電力増幅器のパッケージ形状により、電力増幅器を放熱体にネジで固定する方法又は電力増幅器が実装された評価基板をはんだ材又はねじ等で放熱体に固定する方法等がある(例えば、特許文献1参照)。
このうち、評価基板等に実装することを前提とした電子デバイス(QFNパッケージの電力増幅器又はRFモジュール等)の開発においては電子デバイスのRF性能出しのために評価基板に実装された電子デバイスと周辺部品の取替が頻繁に行われる。評価基板と放熱体を導電性接着材又ははんだ材等で接合すると、評価基板と放熱体の密着度は良くなるが、評価基板に実装された電子デバイスと周辺部品の取替え時に評価治具全体の温度をはんだ材等の融点まで上げる必要がある。このため、加熱や冷却に時間がかかり、取替不要な部材も同時に加熱されることによる作業性の阻害及びはんだ材等の劣化の問題を考慮して、しばしば電子デバイスが実装された評価基板をねじ等で放熱体に締結する方法が選択される。
特開2013-242228号公報
従来は、評価基板の実装面側からねじを締結して評価基板と放熱体を密着させていた。電子デバイスから発生する熱の放熱性を上げるために電子デバイスの直近でねじを締結するのが一般的である。しかし、周辺部品のレイアウトの制約により電子デバイスから離れた場所でしか締結できないことがある。この場合、評価基板の反り等の影響により評価基板と放熱体の間に密着度が低い箇所ができ、電子デバイスから発生した熱の放熱を阻害する。このため、電子デバイスのRF性能の低下と破壊の問題が発生する。
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、その目的は評価基板と放熱体の密着度を上げ、電子デバイスから発生する熱の放熱性を向上させることができる電子デバイスの電気特性評価治具を得るものである。
本発明に係る電気特性評価治具は、互いに反対側の実装面と裏面を有する評価基板と、前記評価基板の前記実装面に実装された電子デバイスと、前記評価基板の前記裏面において前記電子デバイスと対向する位置に接合され、前記評価基板との接合面とは反対側の裏面に第1のねじ穴が設けられた放熱ブロックと、互いに反対側の表面と裏面を有し、前記表面に前記放熱ブロックが収まる凹部が設けられ、前記裏面に前記凹部に繋がる第2のねじ穴が設けられた放熱体と、前記放熱体の前記裏面から前記放熱体の前記第2のねじ穴と前記放熱ブロックの前記第1のねじ穴に締結されたねじとを備えることを特徴とする。
本発明では、評価基板の裏面において電子デバイスと対向する位置に放熱ブロックを設ける。放熱体の裏面からねじを放熱体のねじ穴と放熱ブロックのねじ穴に締結する。これにより、評価基板と放熱体の密着度を上げ、電子デバイスから発生する熱の放熱性を向上させることができる。
実施の形態1に係る電子デバイスの電気特性評価治具を示す断面図である。 実施の形態1に係る電子デバイスの電気特性評価治具を分割した状態を示す断面図である。 比較例に係る電子デバイスの電気特性評価治具を示す断面図である。 放熱ブロックの接合面積と電子デバイスの評実装面積が同じ場合の評価基板を示す側面図である。 放熱ブロックの接合面積が電子デバイスの評実装面積より大きい場合の評価基板を示す側面図である。 実施の形態2に係る電子デバイスの電気特性評価治具を示す断面図である。 実施の形態3に係る電子デバイスの電気特性評価治具を示す断面図である。 実施の形態3に係る評価基板を示す断面図である。
実施の形態に係る電子デバイスの電気特性評価治具について図面を参照して説明する。同じ又は対応する構成要素には同じ符号を付し、説明の繰り返しを省略する場合がある。
実施の形態1.
図1は、実施の形態1に係る電子デバイスの電気特性評価治具を示す断面図である。図2は、実施の形態1に係る電子デバイスの電気特性評価治具を分割した状態を示す断面図である。
評価基板1は互いに反対側の実装面と裏面を有するガラスエポキシ等の有機系材料の基板である。電子デバイス2と、表面実装部品(SMD: Surface Mount Device)等の周辺部品3が、評価基板1の実装面にレイアウトされた電極パターン(不図示)にはんだ又は導電性樹脂等で実装されている。
評価基板1の裏面において電子デバイス2と対向する位置に放熱ブロック4がはんだ等で接合されている。なお、放熱ブロック4は評価基板1と一体的に構成されていてもよい。放熱ブロック4の評価基板1との接合面積は電子デバイス2の評価基板1との実装面積よりも小さい。放熱ブロック4には評価基板1との接合面とは反対側の裏面にねじ穴5が設けられている。
放熱体6は互いに反対側の表面と裏面を有する。放熱体6の表面には、放熱ブロック4が収まる凹部7が設けられている。放熱体6の裏面には、凹部7に繋がるねじ穴8が設けられている。放熱体6の裏面からねじ9を放熱体6のねじ穴5と放熱ブロック4のねじ穴8に締結する。放熱ブロック4及び放熱体6は、例えば銅、真鍮、アルミニウムなど、電子デバイス2等よりも熱伝導の良い金属系の材質からなる。放熱体6は冷却システムと組み合わされる。
本実施の形態の効果を比較例と比較して説明する。図3は比較例に係る電子デバイスの電気特性評価治具を示す断面図である。比較例では評価基板1の実装面側からねじ9を締結して評価基板1と放熱体6を密着させる。電子デバイス2から発生した熱を効率よく評価基板1の裏面へ伝達するために、電子デバイス2の直下において評価基板1にスルーホール又は銅インレイ等の熱経路が設けられている。しかし、比較例では、評価基板1の反り等の影響により評価基板1と放熱体6の間に密着度が低い箇所ができ、電子デバイス2から発生した熱の放熱を阻害する。このため、電子デバイス2のRF性能の低下と破壊の問題が発生する。これに対して、本実施の形態では、評価基板1の裏面において電子デバイス2と対向する位置に放熱ブロック4を設ける。放熱体6の裏面からねじ9を放熱体6のねじ穴5と放熱ブロック4のねじ穴8に締結する。これにより、評価基板1と放熱体6の密着度を上げ、電子デバイス2から発生する熱の放熱性を向上させることができる。
図4は、放熱ブロックの接合面積と電子デバイスの実装面積が同じ場合の評価基板を示す側面図である。評価基板1に実装された電子デバイス2と周辺部品3の取替作業時において、電子デバイス2の直下を加熱することで電子デバイス2の取替は比較的容易である。しかし、評価基板1が放熱体となることから周辺部品3の取替は困難になる。周辺部品3の加熱を行った場合、放熱ブロック4が放熱体となり温度を下げる効果が加わり同様に部品取替作業を阻害する。
図5は、放熱ブロックの接合面積が電子デバイスの実装面積より大きい場合の評価基板を示す側面図である。この場合、放熱ブロック4を加熱することで電子デバイス2と周辺部品3の取替は比較的容易になるが、放熱ブロック4を含む評価基板1全体の加熱、冷却の時間が必要となり取替作業の効率が悪くなる。また、頻繁に作業することで評価基板1と放熱ブロック4を接合したはんだ材が酸化し、接合面の部分的な剥離から密着性を阻害する。
これに対して本実施の形態では、放熱ブロック4の評価基板1との接合面積は電子デバイス2の評価基板1との実装面積よりも小さい。従って、電子デバイス2と周辺部品3の直下において評価基板1の裏面にホットプレート等の発熱体を設置できる。このため、評価基板1に実装された電子デバイス2と周辺部品3の取替作業が容易である。
実施の形態2.
図6は、実施の形態2に係る電子デバイスの電気特性評価治具を示す断面図である。1つの評価基板1に対して放熱ブロック4が複数設けられている。評価基板1と放熱体6の密着度が低下する箇所又は効果的に放熱したい箇所が複数ある場合でも、電子デバイス2と周辺部品3の取替作業を阻害することなく、評価基板1と放熱体6の密着度を上げて放熱性を向上させることができる。その他の構成及び効果は実施の形態1と同様である。
実施の形態3.
図7は、実施の形態3に係る電子デバイスの電気特性評価治具を示す断面図である。図8は、実施の形態3に係る評価基板を示す断面図である。放熱ブロック4の評価基板1との接合面積aよりも、ねじ穴5が設けられた放熱ブロック4の裏面の面積bを小さくしている。これにより、放熱体6の裏面からねじ9を放熱ブロック4のねじ穴8に締結した際に締めつけ力が寄与する放熱ブロック4と放熱体6の接触面積が増える。このため、電子デバイス2から発生する熱を実施の形態1よりも効果的に放熱体6へ伝えることができる。その他の構成及び効果は実施の形態1と同様である。
1 評価基板、2 電子デバイス、5 第1のねじ穴、4 放熱ブロック、7 凹部、8 第2のねじ穴、6 放熱体、9 ねじ

Claims (4)

  1. 互いに反対側の実装面と裏面を有する評価基板と、
    前記評価基板の前記実装面に実装された電子デバイスと、
    前記評価基板の前記裏面において前記電子デバイスと対向する位置に接合され、前記評価基板との接合面とは反対側の裏面に第1のねじ穴が設けられた放熱ブロックと、
    互いに反対側の表面と裏面を有し、前記表面に前記放熱ブロックが収まる凹部が設けられ、前記裏面に前記凹部に繋がる第2のねじ穴が設けられた放熱体と、
    前記放熱体の前記裏面から前記放熱体の前記第2のねじ穴と前記放熱ブロックの前記第1のねじ穴に締結されたねじとを備えることを特徴とする電気特性評価治具。
  2. 前記放熱ブロックの前記評価基板との接合面積は前記電子デバイスの前記評価基板との実装面積よりも小さいことを特徴とする請求項1に記載の電気特性評価治具。
  3. 1つの前記評価基板に対して前記放熱ブロックが複数設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の電気特性評価治具。
  4. 前記第1のねじ穴が設けられる前の前記放熱ブロックの前記裏面の面積は、前記放熱ブロックの前記評価基板との接合面積よりも小さいことを特徴とする請求項1~3の何れか1項に記載の電気特性評価治具。
JP2019094707A 2019-05-20 2019-05-20 電気特性評価治具 Active JP7226087B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019094707A JP7226087B2 (ja) 2019-05-20 2019-05-20 電気特性評価治具

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019094707A JP7226087B2 (ja) 2019-05-20 2019-05-20 電気特性評価治具

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2020190436A JP2020190436A (ja) 2020-11-26
JP7226087B2 true JP7226087B2 (ja) 2023-02-21

Family

ID=73454462

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019094707A Active JP7226087B2 (ja) 2019-05-20 2019-05-20 電気特性評価治具

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7226087B2 (ja)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009170493A (ja) 2008-01-11 2009-07-30 Hitachi Kokusai Electric Inc 配線基板
DE102008029410A1 (de) 2008-06-23 2009-12-24 Brose Fahrzeugteile GmbH & Co. Kommanditgesellschaft, Würzburg Vorrichtung, insbesondere zur Stromleitung, und ein Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung, insbesondere zur Stromleitung
WO2015177993A1 (ja) 2014-05-22 2015-11-26 パナソニックIpマネジメント株式会社 回路基板
JP2016152349A (ja) 2015-02-18 2016-08-22 株式会社オートネットワーク技術研究所 回路構成体
WO2017094670A1 (ja) 2015-12-03 2017-06-08 三菱電機株式会社 半導体装置
JP2018101661A (ja) 2016-12-19 2018-06-28 新電元工業株式会社 実装基板及び発熱部品実装モジュール
WO2018124288A1 (ja) 2016-12-28 2018-07-05 三菱電機株式会社 電源装置及び電源装置の製造方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55165657A (en) * 1979-06-11 1980-12-24 Chiyou Lsi Gijutsu Kenkyu Kumiai Multi-chip package
JP2002057259A (ja) * 2000-08-11 2002-02-22 Furukawa Electric Co Ltd:The ハイブリッド型放熱板
KR101004842B1 (ko) * 2008-07-25 2010-12-28 삼성전기주식회사 전자 칩 모듈
JP6252000B2 (ja) * 2013-07-09 2017-12-27 三菱電機株式会社 基板

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009170493A (ja) 2008-01-11 2009-07-30 Hitachi Kokusai Electric Inc 配線基板
DE102008029410A1 (de) 2008-06-23 2009-12-24 Brose Fahrzeugteile GmbH & Co. Kommanditgesellschaft, Würzburg Vorrichtung, insbesondere zur Stromleitung, und ein Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung, insbesondere zur Stromleitung
WO2015177993A1 (ja) 2014-05-22 2015-11-26 パナソニックIpマネジメント株式会社 回路基板
JP2016152349A (ja) 2015-02-18 2016-08-22 株式会社オートネットワーク技術研究所 回路構成体
WO2017094670A1 (ja) 2015-12-03 2017-06-08 三菱電機株式会社 半導体装置
JP2018101661A (ja) 2016-12-19 2018-06-28 新電元工業株式会社 実装基板及び発熱部品実装モジュール
WO2018124288A1 (ja) 2016-12-28 2018-07-05 三菱電機株式会社 電源装置及び電源装置の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2020190436A (ja) 2020-11-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5388598B2 (ja) 素子の放熱構造
US11062972B2 (en) Electronic module for power control and method for manufacturing an electronic module power control
US10398019B2 (en) Circuit structure and electrical junction box
CN111771276A (zh) 高频模块
WO2021215187A1 (ja) 電子機器
JP2014179376A (ja) 半導体装置及びその製造方法
JP2007324016A (ja) 誘導加熱装置
US20140182818A1 (en) Heat sink
JP4438526B2 (ja) パワー部品冷却装置
JP7226087B2 (ja) 電気特性評価治具
US20070104926A1 (en) Circuit device in particular frequency converter
US20060274497A1 (en) Electronic apparatus with thermal module
JP2007088272A (ja) セラミックス回路基板およびこれを用いたモジュール
JP2007035843A (ja) 電子回路装置
JP4770518B2 (ja) 高出力増幅器
JP2011199213A (ja) パワーモジュール
JP4743094B2 (ja) 電気回路装置
KR101281043B1 (ko) 히트 싱크
JP2004259948A (ja) 電子制御装置
JP2022022924A (ja) 放熱端子付きプリント基板と及び放熱用ヒートシンク
US20240096738A1 (en) Power semiconductor component and method for producing a power semiconductor component
WO2023090102A1 (ja) 実装基板、及び実装基板を搭載した電気機器
CN210958936U (zh) 一种散热效率高的电路基板
JP2009188192A (ja) 回路装置
RU2617559C2 (ru) Сборный корпус микросхемы и способ его использования

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20211115

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20220817

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20220830

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20220929

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20230110

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20230123

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7226087

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150