JP7224000B2 - 液剤供給装置及び液剤供給方法 - Google Patents

Description

本開示は、液剤供給装置及び液剤供給方法に関する。

基板上のはんだの塗布対象位置を示す塗布位置情報に基づいて、ディスペンサのノズルを基板上の塗布対象位置へ順々に移動させながら、はんだを塗布対象位置に塗布していく技術が開示されている（例えば、特許文献１）。これにより、基板上の塗布対象位置に高い精度ではんだを塗布することができる。

特開２００９－１６４４５０号公報

基板上へはんだを塗布する方法としては、上記特許文献１に開示された方法であるディスペンサにより行う方法の他に、スクリーン印刷により行う方法がある。しかし、近年、実装部品の小型化等により塗布範囲が小径化していることから、スクリーン印刷には、小径化した塗布範囲に対応するスクリーンマスクを形成することが難しいといった問題がある。また、近年、柔らかく固定が難しいフレキシブル基板等が用いられることが多くなっていることから、スクリーン印刷には、スキージでの印刷時に印刷ずれが生じるといった問題がある。これに対して、ディスペンサを用いる場合には、小径化した塗布範囲にノズルによってピンポイントにはんだを塗布することが可能であり、また、スキージ等を用いないため印刷ずれの問題も生じにくい。

しかし、基板上における塗布対象位置は数千点等になることもあり、塗布に要する時間の短縮のために、各塗布対象位置をディスペンサのノズルが移動する際に急加減速を繰り返している。このような急加減速を実現するために、強力な駆動源及び急加減速に伴う振動を収束させる高剛体な筺体を用いており、装置が高コスト化し、また、大型化していた。

そこで、本開示は、装置の低コスト化及び小型化が可能な液剤供給装置等を提供することを目的とする。

本開示の一態様に係る液剤供給装置は、基板を保持する保持部と、前記保持部により保持された前記基板上の複数の供給位置に液剤を供給する複数のノズルが配設された供給ヘッドと、前記基板と前記供給ヘッドとを相対的に移動させる相対移動部と、を備え、前記相対移動部は、前記複数の供給位置を含む供給範囲において、供給位置に関わらず定められた特定の方向に沿って前記基板と前記供給ヘッドとが相対的に移動する第１の移動方式によって、前記基板と前記供給ヘッドとを相対的に移動させる。

なお、これらの包括的又は具体的な側面は、システム、装置、方法、記録媒体、又は、コンピュータプログラムで実現されてもよく、システム、装置、方法、記録媒体、及び、コンピュータプログラムの任意な組み合わせで実現されてもよい。

本開示に係る液剤供給装置等によれば、装置の低コスト化及び小型化が可能となる。

図１は、実施の形態１に係る液剤供給装置の上面図である。 図２は、実施の形態１に係る液剤供給装置の側面図である。 図３は、実施の形態１に係る供給ヘッド周辺の外観斜視図である。 図４は、実施の形態１に係るコンピュータの構成図である。 図５は、実施の形態１に係る供給ヘッドの側面透視図である。 図６は、実施の形態１に係る供給ヘッドの液剤の吐出の仕組みを説明するための図である。 図７は、実施の形態１に係る液剤供給装置の動作の一例を示すフローチャートである。 図８は、第１の移動方式の一例を説明するための図である。 図９は、第１の移動方式の他の一例を説明するための図である。 図１０は、第２の移動方式の一例を説明するための図である。 図１１は、実施の形態２に係る供給ヘッド周辺の外観斜視図である。 図１２は、実施の形態２に係る液剤供給装置の動作の一例を示すフローチャートである。

本開示の液剤供給装置は、基板を保持する保持部と、前記保持部により保持された前記基板上の複数の供給位置に液剤を供給する複数のノズルが配設された供給ヘッドと、前記基板と前記供給ヘッドとを相対的に移動させる相対移動部と、を備え、前記相対移動部は、前記複数の供給位置を含む供給範囲において、供給位置に関わらず定められた特定の方向に沿って前記基板と前記供給ヘッドとが相対的に移動する第１の移動方式によって、前記基板と前記供給ヘッドとを相対的に移動させる。

例えば、第１の移動方式は、特定の方向として、直線上に配設された複数のノズルの配設方向と略直交する方向へ供給ヘッドが移動する方式である。供給ヘッドには、複数のノズルが配設されており、当該第１の移動方式によって基板と供給ヘッドとが特定の方向に相対的に移動しながら複数のノズルによって複数の供給位置に液剤を供給できる。つまり、基板と複数のノズルが配設された供給ヘッドとの特定の方向における一度の相対的な移動によってまとめて多くの供給位置に液剤を供給できるため、複数の供給位置への液剤の供給に要する時間を短縮できる。また、まとめて多くの供給位置に液剤を供給することで時間短縮を実現できることから、時間短縮のために基板と供給ヘッドを必ずしも相対的に高速移動させる必要はない。このため、基板と供給ヘッドとを相対的に低速移動させることで、急加減速を実現するための強力な駆動源及び急加減速に伴う振動を収束させる高剛体な筺体を準備しなくてもよくなり、装置の低コスト化及び小型化が可能となる。

また、前記複数のノズルは、前記第１の移動方式による移動を行う際には、前記供給ヘッドが前記供給位置において相対的に止まらずに前記液剤を前記供給位置に供給してもよい。

このように、供給ヘッドを供給位置において相対的に止まらせることを要しないため、急加減速を実現するための強力な駆動源及び急加減速に伴う振動を収束させる高剛体な筺体を準備しなくてもよいことがわかる。

また、前記第１の移動方式では、前記特定の方向に沿って前記基板と前記供給ヘッドとが相対的に往復移動してもよい。

これによれば、基板上の複数の供給位置への液剤の供給を柔軟に行うことができる。

例えば、前記基板と前記供給ヘッドとが相対的に往復移動する経路には、間隔をあけて隣り合う往路及び復路が含まれていてもよい。

これによれば、供給ヘッドが基板の一端から他端へ向けて相対的に移動するように、往路及び復路間に一定の間隔をあけて特定の方向に沿って基板と供給ヘッドとが相対的に往復移動する。このため、例えば、複数のノズルが配設された供給ヘッドの長さよりも基板の上記一端から上記他端までの長さの方が大きく、特定の方向における一度の移動で基板上の複数の供給位置のすべてに液剤を供給できない場合であっても、基板と供給ヘッドとの相対的な往復移動によって、複数の供給位置のすべてに液剤を供給できる。

また、前記間隔は、前記複数のノズルが配設される間隔よりも狭くてもよい。

これによれば、液剤を精度良く供給位置に供給することができる。

また、前記基板と前記供給ヘッドとが相対的に往復移動する経路には、互いに同じ経路となる往路及び復路が含まれていてもよい。

これによれば、特定の方向における基板と供給ヘッドとの一度の相対的な移動で、供給位置に十分な量の液剤を供給できない場合であっても、基板と供給ヘッドとの相対的な往復移動が同じ経路でなされ、往路及び復路のそれぞれにおいて同じ供給位置に液剤が供給されることで、当該供給位置に十分な量の液剤を供給できる。

また、前記液剤供給装置は、さらに、前記第１の移動方式を含む複数の移動方式から前記基板と前記供給ヘッドとの相対的な移動方式を選択する選択部と、前記複数の供給位置に対して前記液剤を供給する際にかかる供給時間を前記複数の移動方式のそれぞれ毎に計算する計算部と、を備え、前記選択部は、前記供給時間の計算結果に基づいて、前記複数の移動方式から前記基板と前記供給ヘッドとの相対的な移動方式を選択してもよい。具体的には、前記相対移動部は、前記複数の供給位置のそれぞれの位置関係に基づいて前記基板と前記供給ヘッドとが相対的に移動する第２の移動方式によって、前記基板と前記供給ヘッドとを相対的に移動させ、前記選択部は、前記複数の移動方式のうち、前記第１の移動方式と、前記第２の移動方式とのいずれかを選択してもよい。

これによれば、複数の移動方式（具体的には第１の移動方式及び第２の移動方式）の中から最適な移動方式を選択することで、最適な供給時間とすることができる。

また、前記相対移動部は、前記第１の移動方式と前記第２の移動方式とを組み合わせて、前記基板と前記供給ヘッドとを相対的に移動させてもよい。

これによれば、第１の移動方式及び第２の移動方式を組み合わせることで、より最適な供給時間とすることができる。

また、前記液剤供給装置は、さらに、前記基板に付されたマークを認識する認識部を備えていてもよい。

これによれば、例えば、量産工程等において用いられる搬送装置等によって、特定の位置（例えば液剤を基板上の供給位置に供給するための位置）に基板が搬送されてきたことを認識できる。

また、前記保持部は、前記基板の端部を挟むクランプ機構を有していてもよい。

これによれば、基板上の供給位置に液剤を供給する際に、クランプ機構によって基板を固定することができ、所望の供給位置とずれた位置に液剤が供給されることを抑制できる。

また、前記液剤は、はんだであってもよい。

これによれば、はんだを基板上の供給位置に供給できる。

本開示の液剤供給方法は、基板を保持する保持部と、前記保持部により保持された前記基板上の複数の供給位置に液剤を供給する複数のノズルが配設された供給ヘッドと、前記基板と前記供給ヘッドとを相対的に移動させる相対移動部と、を備える液剤供給装置の液剤供給方法であって、前記複数の供給位置を含む供給範囲において、供給位置に関わらず定められた特定の方向に沿って前記基板と前記供給ヘッドとが相対的に移動する第１の移動方式によって、前記相対移動部に前記基板と前記供給ヘッドとを相対的に移動させる。

これによれば、装置の低コスト化及び小型化が可能となる液剤供給方法を提供できる。

なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的又は具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、ステップ、ステップの順序などは、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。また、各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。

また、明細書及び図面において、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸を用いて説明している。Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸は、三次元直交座標系の三軸を示している。実施の形態では、例えば、Ｚ軸方向を鉛直方向とし、Ｚ軸に垂直な方向（ＸＹ平面に平行な方向）を水平方向としている。なお、Ｚ軸のプラス方向を鉛直上方としている。

（実施の形態１）
以下、図１から図１０を用いて実施の形態１について説明する。

［液剤供給装置の全体構成］
まず、実施の形態１に係る液剤供給装置１の全体構成について図１から図３を用いて説明する。

図１は、実施の形態１に係る液剤供給装置１の上面図（Ｚ軸方向プラス側から見た図）である。図２は、実施の形態１に係る液剤供給装置１の側面図（Ｙ軸方向プラス側から見た図）である。図３は、実施の形態１に係る供給ヘッド２０周辺の外観斜視図である。

液剤供給装置１は、量産工程等において用いられる装置であり、具体的には、基板２００に部品を実装するための液剤を供給する装置である。

基板２００は、部品が実装される基板であり、例えば、リジッド基板又はフレキシブル基板等のプリント基板である。リジッド基板の材料は、紙フェノール、ガラスエポキシ等であるが、特に限定されない。フレキシブル基板の材料は、ポリイミド、ポリエステル等であるが、特に限定されない。また、基板２００は、板形状に限らず、立方体、球体のような形状であってもよい。

液剤は、例えばはんだ（具体的には液状のクリームはんだ等）である。なお、液剤は、部品を基板２００に接着するための接着剤等であってもよい。また、液剤は、基板２００上の導体パターン等となる銀ペースト等であってもよい。

液剤供給装置１は、保持部１０、搬送部１１、搬入部１２、搬出部１３、供給ヘッド２０及び認識部３０を備える。また、液剤供給装置１は、基板２００と供給ヘッド２０との相対的な移動及び液剤の吐出を行うための構成として、相対移動部、駆動力供給部２２及び液剤供給部２３を備える。なお、実施の形態１では、相対移動部として供給ヘッド移動部２１が供給ヘッド２０を移動させることで基板２００と供給ヘッド２０とが相対的に移動する。図１から図３では、供給ヘッド移動部２１、駆動力供給部２２及び液剤供給部２３の具体的な構成の図示を省略している。このため、供給ヘッド２０が浮いているように示されている。

搬送部１１、搬入部１２及び搬出部１３は、例えばＸ軸方向において搬入部１２、搬送部１１、搬出部１３の順序で並んで配置されている。搬送部１１、搬入部１２及び搬出部１３は、例えば、それぞれ一対のコンベアからなる。搬入部１２は、外部から供給された基板２００を搬送部１１へ搬入し、搬送部１１は、搬入された基板２００への液剤の供給が終了した後に基板２００を搬出部１３へ受け渡し、搬出部１３は、受け取った基板２００を外部へ搬出する。このように、基板２００は、図中のＸ軸方向プラス側へ搬入部１２、搬送部１１、搬出部１３によって搬送される。

保持部１０は、搬送部１１が配置された箇所に設けられる。保持部１０は、搬送部１１へ搬入された基板２００を保持するための機構であり、例えば、基板２００の端部を挟むクランプ機構を有する。これにより、基板２００上の液剤の供給位置２１０に液剤を供給する際に、クランプ機構によって基板２００を固定することができ、所望の供給位置とずれた位置に液剤が供給されることを抑制できる。また、保持部１０は、基板２００が載置されるステージを含んでいてもよく、基板２００が保持部１０（ステージ）に載置されることを、基板２００が保持されるともいう。

供給ヘッド２０は、保持部１０により保持された基板２００上の複数の供給位置２１０に液剤を供給する複数のノズル２６（後述する図５等参照）が配設されている。図３には、液剤が供給された複数の供給位置２１０が示されている。供給ヘッド２０は、保持部１０により保持された基板２００の上方でＸ、Ｙ、Ｚ軸方向に移動可能であり、当該移動中に液剤を基板２００上の複数の供給位置２１０に供給可能となっている。

供給ヘッド移動部２１は、供給ヘッド２０をＸ、Ｙ、Ｚ軸方向に移動させる。例えば、供給ヘッド移動部２１は、供給ヘッド２０が取り付けられ供給ヘッド２０をＸ、Ｙ、Ｚ軸方向へ移動可能なリニアモータ等から構成される。なお、供給ヘッド移動部２１は、ボールねじ等によって構成されていてもよい。供給ヘッド移動部２１は、複数の供給位置２１０を含む供給範囲において、供給位置２１０に関わらず定められた所定の方向に沿って基板２００と供給ヘッド２０とが相対的に移動する第１の移動方式によって、基板２００と供給ヘッド２０とを相対的に移動させる。具体的には、供給ヘッド移動部２１は、第１の移動方式によって供給ヘッド２０を移動させる。例えば、本実施の形態では、所定の方向は、供給位置２１０に関わらずＸ軸方向に定められている。また、供給ヘッド移動部２１は、複数の供給位置２１０のそれぞれの位置関係に基づいて基板２００と供給ヘッド２０とが相対的に移動する第２の移動方式によって、基板２００と供給ヘッド２０とを相対的に移動させる。具体的には、供給ヘッド移動部２１は、第２の移動方式によって、供給ヘッド２０を移動させる。複数のノズル２６は、供給ヘッド２０が第１の移動方式による移動を行う際には、供給ヘッド２０が供給位置２１０において相対的に止まらずに（具体的には供給ヘッド２０自体が供給位置２１０において止まらずに）液剤を供給位置２１０に供給する。第１の移動方式及び第２の移動方式については、後述する図７から図１０で詳細に説明する。

駆動力供給部２２は、液剤をノズル２６から吐出させるための駆動力を供給ヘッド２０に供給する。液剤供給部２３は、液剤を供給ヘッド２０に供給（充填）する。駆動力供給部２２及び液剤供給部２３については後述する図５及び図６で詳細に説明する。

認識部３０は、例えば、カメラであり、基板２００に付されたマークＭ（アライメントマーク）を認識する。これにより、特定の位置（例えば液剤を基板２００上に供給するための位置）に基板が搬送されてきたことを認識でき、正確な位置で保持部１０に基板２００を保持させることができる。

［液剤供給装置のコンピュータ］
供給ヘッド２０の移動及び液剤の吐出等に関する制御は、例えば、液剤供給装置１が備えるコンピュータ１００によって行われる。コンピュータ１００について、図４を用いて説明する。なお、コンピュータ１００は、液剤供給装置１とは別体に設けられていてもよい。例えば、コンピュータ１００は、サーバ装置等であってもよい。

図４は、実施の形態１に係るコンピュータ１００の構成図である。

コンピュータ１００は、プロセッサ１１０（マイクロプロセッサ）、メモリ１２０、ユーザインタフェース（図示せず）等を含むコンピュータである。ユーザインタフェースは、例えば、ディスプレイ、キーボード、タッチパネル等の入力装置を含む。メモリ１２０は、ＲＯＭ、ＲＡＭ等であり、プロセッサ１１０により実行される制御プログラム（コンピュータプログラム）を記憶することができる。プロセッサ１１０が、制御プログラムに従って動作することにより、プロセッサ１１０が有する機能構成要素である制御部１１１、選択部１１２及び計算部１１３が実現される。なお、コンピュータ１００は、１つのメモリを有していてもよく、また、複数のメモリを有していてもよく、ここでは、１つ又は複数のメモリをメモリ１２０として示している。

制御部１１１は、基板２００と供給ヘッド２０との相対的な移動及び液剤の吐出に関する制御を行う。具体的には、制御部１１１は、供給ヘッド移動部２１、駆動力供給部２２及び液剤供給部２３を制御する。制御部１１１が供給ヘッド移動部２１を制御することで、供給ヘッド２０は移動可能となっている。具体的には、制御部１１１が、供給ヘッド２０を移動させるための駆動力を発生させるリニアモータ等を制御することで、供給ヘッド２０は移動可能となっている。また、制御部１１１が駆動力供給部２２及び液剤供給部２３を制御することで、供給ヘッド２０は液剤を基板２００に供給可能となっている。

選択部１１２は、第１の移動方式を含む複数の移動方式から基板２００と供給ヘッド２０との相対的な移動方式を選択する。具体的には、選択部１１２は、複数の移動方式のうち、第１の移動方式と、第２の移動方式とのいずれかを選択する。第１の移動方式及び第２の移動方式のように、特定の移動方式で基板２００と供給ヘッド２０とを相対的に移動可能とするようなプログラムは、メモリ１２０に記憶されている。供給ヘッド移動部２１は、選択された移動方式によって、供給ヘッド２０を移動させる。

計算部１１３は、複数の供給位置２１０に対して液剤を供給する際にかかる供給時間を複数の移動方式のそれぞれ毎に計算する。例えば、基板２００に関するデータ（具体的には、複数の供給位置２１０のそれぞれの大きさ、複数の供給位置２１０のそれぞれの基板２００上での座標、及び、基板２００の大きさ等を示すガーバーデータ等）がメモリ１２０に記憶されており、計算部１１３は、当該データに基づいて供給時間を計算する。なお、認識部３０が複数の供給位置２１０のそれぞれの大きさ、複数の供給位置２１０のそれぞれの基板２００上での座標、及び、基板２００の大きさ等を認識し、計算部１１３は、当該認識結果に基づいて供給時間を計算してもよい。なお、供給時間には、複数の供給位置２１０に液剤を供給するために供給ヘッド２０が基板２００上を相対的に移動する時間だけでなく、液剤の供給のために行う必要がある予備動作のための時間等が含まれていてもよい。また、供給時間は、複数の供給位置２１０のすべてに液剤を供給する際にかかる時間であってもよいし、基板２００上の特定の領域（例えば複数の供給位置２１０が密集している領域又は離散している領域等）毎に、各領域に含まれる供給位置２１０に液剤を供給する際にかかる時間であってもよい。

［供給ヘッドの構成及び液剤の吐出の仕組み］
次に、供給ヘッド２０の具体的な構成及び供給ヘッド２０による液剤の吐出の仕組みについて図５及び図６を用いて説明する。

図５は、実施の形態１に係る供給ヘッド２０の側面透視図である。

供給ヘッド２０には、複数のノズル２６が配設されている。また、複数のノズル２６のそれぞれ毎に駆動源２４及び液剤貯留部２５が設けられている。駆動源２４、液剤貯留部２５及びノズル２６は、例えば、供給ヘッド２０の内部に設けられるため実際には供給ヘッド２０の側面からは見えないが、図５は側面透視図であるため、これらが示されている。

複数のノズル２６は、供給ヘッド２０の下端（Ｚ軸方向マイナス側）において、Ｙ軸方向に直線上に配設され、それぞれが基板２００に向けて液剤を吐出する。図５では、ノズル２６は供給ヘッド２０に１０個配設されているが、実際には例えば数千個配設される。ノズル２６の液剤の吐出口の径は、例えば、数十マイクロメートルのスケールである。この場合、ノズル２６から吐出された液剤が基板２００に供給された際の基板２００上の供給位置２１０での液剤の径は、例えば数百マイクロメートル程度のスケールとなる。また、複数のノズル２６から塗布される液剤の間隔についても、例えば、数十マイクロメートルのスケールである。なお、複数のノズル２６は、複数列に分かれて配設されていてもよい。

液剤供給部２３から液剤貯留部２５に液剤が供給されることで、液剤貯留部２５に液剤が貯留される。例えば、液剤供給部２３と液剤貯留部２５とは、液剤が流れるチューブ等により接続される。

駆動源２４は、駆動力供給部２２から供給される駆動力によって、液剤貯留部２５に貯留された液剤をノズル２６から吐出させる。駆動源２４は、例えば、ピエゾ素子により構成される。ピエゾ素子は、電圧が印加されることでその形状が微細に変形するという特性を有している。駆動源２４がピエゾ素子により構成される場合、駆動力供給部２２から供給される駆動力は電圧となり、駆動力供給部２２と駆動源２４とは例えば配線等によって接続される。ここで、駆動源２４による液剤の吐出の仕組みについて図６を用いて説明する。

図６は、実施の形態１に係る供給ヘッド２０の液剤の吐出の仕組みを説明するための図である。

駆動源２４がピエゾ素子により構成される場合、ピエゾ素子の上記特性を利用してノズル２６から液剤が吐出される。具体的には、駆動源２４を構成するピエゾ素子に電圧を印加することで、図６の右側に示されるように、ピエゾ素子の形状が液剤貯留部２５へ向けて変形し液剤貯留部２５から液剤が押し出されるようにして、ノズル２６から液剤が吐出される。そして、電圧の印加を停止することで、図６の左側に示されるように、ピエゾ素子の形状が元に戻り、その際に、液剤供給部２３から液剤貯留部２５に液剤が供給されることで、液剤貯留部２５に液剤が充填される。

なお、駆動源２４は、例えば、エアシリンダ及びバネにより構成されてもよい。エアシリンダは、圧縮空気のエネルギーを直動運動に変換する特性を有し、バネは、力を加えると変形し、力を取り除くと元に戻るという特性を有している。駆動源２４がエアシリンダ及びバネにより構成される場合、駆動力供給部２２から供給される駆動力は圧縮空気となり、駆動力供給部２２と駆動源２４とは例えば空気が流れるチューブ等によって接続される。

駆動源２４がエアシリンダ及びバネにより構成される場合、エアシリンダ及びバネの上記特性を利用してノズル２６から液剤が吐出される。具体的には、駆動源２４を構成するエアシリンダに圧縮空気を供給することで、図６の右側に示されるように、エアシリンダ内のピストンが液剤貯留部２５へ向けて移動し液剤貯留部２５から液剤が押し出されるようにして、ノズル２６から液剤が吐出される。その際にバネが変形する（例えば伸びる）。そして、電圧の印加を停止し、ピエゾ素子にチャージされた電荷が放電されることで、図６の左側に示されるように、バネの元に戻る力によってエアシリンダ内のピストンが元の位置に戻り、その際に、液剤供給部２３から液剤貯留部２５に液剤が供給されることで、液剤貯留部２５に液剤が充填される。

なお、エアシリンダに圧縮空気が供給されることで液剤貯留部２５に液剤が充填され、バネの元に戻る力によってエアシリンダ内のピストンが液剤貯留部２５へ向けて移動してもよい。つまり、バネが変形していない状態（エアシリンダに圧縮空気が供給されていない状態）が図６の右側の状態であり、バネが変形している状態（エアシリンダに圧縮空気が供給されている状態）が図６の左側の状態であってもよい。

［供給ヘッドの移動方式］
次に、基板２００と供給ヘッド２０との相対的な移動方式として、具体的には供給ヘッド２０の移動方式について、図７から図１０を用いて説明する。まず、第１の移動方式について、図７から図９を用いて説明する。

図７は、実施の形態１に係る液剤供給装置１の動作の一例を示すフローチャートである。図８は、第１の移動方式の一例を説明するための図である。図９は、第１の移動方式の他の一例を説明するための図である。図８及び図９は、基板２００の上面図（Ｚ軸方向プラス側から見た図）であり、供給ヘッド２０の移動経路（経路Ｒ１及びＲ２等）を示している。また、複数の供給位置２１０を含む供給範囲Ａを示している。供給範囲Ａにおいて、基板２００上の複数の供給位置２１０に液剤が供給される。また、ここでは、複数のノズル２６として５つのノズル２６を示している。

図７に示されるように、まず、制御部１１１は、複数の供給位置２１０を含む供給範囲Ａにおいて、供給位置２１０に関わらず定められた特定の方向に沿って供給ヘッド２０が移動する第１の移動方式によって、供給ヘッド移動部２１に供給ヘッド２０を移動させる（ステップＳ１１）。特定の方向は、ここでは、Ｘ軸方向であり、複数のノズル２６の配設方向（Ｙ軸方向）と略直交する方向である。例えば、供給ヘッド２０は、第１の移動方式では、供給範囲Ａ内においては特定の方向から移動方向を変えずに当該特定の方向に沿って直線上を移動する。

供給ヘッド２０には、複数のノズル２６が配設されており、第１の移動方式によって供給ヘッド２０が特定の方向に移動しながら複数のノズル２６によって複数の供給位置２１０に液剤を供給できる。図８に示されるように、複数のノズル２６が配設された供給ヘッド２０の特定の方向における一度の移動（例えば経路Ｒ１上の移動）によってまとめて多くの供給位置２１０（ここでは６つの供給位置２１０）に液剤を供給できるため、複数の供給位置２１０への液剤の供給に要する時間（供給時間）を短縮できる。図８では、複数のノズル２６として、５つのノズル２６が示されているが、実際には数千個のノズル２６が供給ヘッド２０に配設されている。このため、供給ヘッド２０の特定の方向における一度の移動によって、実際には数千か所の供給位置２１０に液剤を供給できる。また、まとめて多くの供給位置２１０に液剤を供給することで時間短縮を実現できることから、時間短縮のために供給ヘッド２０を必ずしも高速移動させる必要はない。例えば、一万点の供給位置２１０に対して、１つのノズルを有する供給ヘッドを用いて供給位置２１０の１つ１つに対して高速移動させて液剤を供給した場合と、供給ヘッド２０を低速移動させて複数の供給位置２１０にまとめて液剤を供給した場合とでそれぞれ供給時間を検証したところ、前者と比べて後者は、１０倍以上の時間短縮が可能となった。

例えば、制御部１１１は、供給ヘッド２０が第１の移動方式による移動を行う際には、供給ヘッド２０を供給位置２１０において止めずに、複数のノズル２６に液剤を供給位置２１０に供給させる（ステップＳ１２）。上述したように、時間短縮のために供給ヘッド２０を必ずしも高速移動させる必要はないため、供給ヘッド２０を低速移動させることで、供給ヘッド２０が供給位置２１０において止まらずに、すなわち、供給範囲Ａにおいて供給ヘッド２０を急加減速させることなく、液剤を供給することができる。したがって、急加減速を実現するための強力な駆動源及び急加減速に伴う振動を収束させる高剛体な筺体を準備しなくてもよくなり、装置の低コスト化及び小型化が可能となる。なお、第１の移動方式では、供給範囲Ａにおいて特定の方向に供給ヘッド２０が等速移動してもよい。これにより、供給範囲Ａにおいて供給ヘッド２０が急加減速することだけでなく、単に加減速することも抑制でき、装置のさらなる低コスト化及び小型化が可能となる。

また、第１の移動方式では、特定の方向に沿って基板２００と供給ヘッド２０とが相対的に往復移動する。具体的には、図８及び図９に示されるように、第１の移動方式では、特定の方向に沿って供給ヘッド２０が往復移動する。これにより、基板２００上の複数の供給位置２１０への液剤の供給を柔軟に行うことができる。

また、基板２００と供給ヘッド２０とが相対的に往復移動する経路には、間隔をあけて隣り合う往路及び復路が含まれる。具体的には、供給ヘッド２０が往復移動する経路には、間隔をあけて隣り合う往路及び復路が含まれる。図８及び図９に示される経路Ｒ１及びＲ２は、間隔Ｌをあけて隣り合う往路及び復路である。

間隔Ｌは、例えば、供給ヘッド２０の経路Ｒ１上の移動範囲と経路Ｒ２上の移動範囲とが、基板２００の平面視、つまり基板２００をＺ軸方向プラス側から見た場合において重複しないように定められる。図８に示される間隔Ｌは、供給ヘッド２０（具体的には複数のノズル２６群）の経路Ｒ１上の移動範囲と経路Ｒ２上の移動範囲とが、基板２００の平面視において重複しないように定められたものである。これにより、供給ヘッド２０が基板２００の一端から他端（例えばＹ軸方向マイナス側からプラス側）へ向けて移動するように、往路及び復路間に一定の間隔Ｌをあけて特定の方向に沿って往復移動する。したがって、例えば、図８に示されるように、複数のノズル２６が配設された供給ヘッド２０の長さよりも基板２００の上記一端から上記他端までの長さの方が大きく、特定の方向における一度の移動で基板２００上の複数の供給位置２１０のすべてに液剤を供給できない場合であっても、供給ヘッド２０の往復移動によって、複数の供給位置２１０のすべてに液剤を供給できる。

また、間隔Ｌは、複数のノズル２６が配設される間隔よりも狭くてもよい。例えば、図９に示される供給位置２１０ａ及び２１０ｂのように、供給位置２１０間の間隔が複数のノズル２６が配設される間隔よりも狭い場合がある。近年、いわゆる０２０１サイズ等の肉眼で視認するのも難しいほどの大きさの部品の使用が増えてきており、このような部品の実装ランドに対応して、供給位置２１０間の間隔も狭くなってきているためである。このような場合に、図８に示されるように、供給ヘッド２０の経路Ｒ１上の移動範囲と経路Ｒ２上の移動範囲とが、基板２００の平面視において重複しないように間隔Ｌが定められると、例えば供給位置２１０ｂへ液剤を供給できない場合がある。そこで、図９に示されるように、間隔Ｌを複数のノズル２６が配設される間隔よりも狭くする。言い換えると、供給ヘッド２０の経路Ｒ１上の移動範囲と経路Ｒ２上の移動範囲とが、基板２００の平面視において重複するように間隔Ｌを定める。これにより、供給ヘッド２０が基板２００の一端から他端へ向けて少しずつ移動するようになり、液剤を精度良く供給位置２１０に供給することができるようになる。例えば、間隔Ｌは、複数のノズル２６が配設される間隔の１／４程度に定められる。

また、図示しないが、基板２００と供給ヘッド２０とが相対的に往復移動する経路（具体的には供給ヘッド２０が往復移動する経路）には、互いに同じ経路となる往路及び復路が含まれていてもよい。つまり、供給ヘッド２０が往復移動する際に、移動してきた経路を引き返して再度同じ経路を移動してもよい。部品の実装ランドの大きさが大きいほど、必要な液剤の量も多くなるため、当該実装ランドの大きさによっては、特定の方向における供給ヘッド２０の一度の移動で、当該実装ランドに対応する供給位置２１０に十分な量の液剤を供給できない場合がある。この場合、供給位置２１０において液剤の高さが十分ではなく、部品の実装等において不良が発生するおそれがある。これに対して、供給ヘッド２０の往復移動が同じ経路でなされ、往路及び復路のそれぞれにおいて同じ供給位置２１０に液剤が供給されることで、当該供給位置２１０に十分な量の液剤を供給できる。

なお、往復移動する際の間隔Ｌの大きさ、及び、同じ経路を往復移動するか否か等については、メモリ１２０に記憶された基板２００に関するデータ（具体的には、ガーバーデータ等）に基づいて定められる。つまり、間隔Ｌが大きくなる箇所や小さくなる箇所、また、供給ヘッド２０が同じ経路を往復する箇所等、１つの基板２００の場所毎に供給ヘッド２０の移動の仕方が異なる場合があってもよい。

次に、第２の移動方式について図１０を用いて説明する。

図１０は、第２の移動方式の一例を説明するための図である。図１０は、基板２００の上面図（Ｚ軸方向プラス側から見た図）であり、供給ヘッド２０の移動経路を示している。

図１０に示されるように、第２の移動方式は、複数の供給位置２１０のそれぞれの位置関係に基づいて、供給ヘッド２０が複数の供給位置２１０のそれぞれに対して一点一点、順々に移動していく方式である。具体的には、各供給位置２１０への液剤の供給時間が例えば最短となるように、複数の供給位置２１０のそれぞれの位置関係に基づいて液剤の供給のための順路が決められる。また、液剤の供給に用いられるノズル２６としては、供給ヘッド２０の現在位置に対して次に液剤が供給される供給位置２１０までの距離が最も近いノズル２６が選ばれる。なお、当該ノズル２６の液剤貯留部２５への液剤の充填が完了していない場合には、例えば、その次に近いノズル２６が選ばれてもよい。

また、液剤が供給されるタイミングは、複数の供給位置２１０のそれぞれに対して一点一点、順番にする必要は無く、複数のノズル２６が同時に液剤を供給できる位置関係に供給位置２１０があるときは、同時に供給しても良い。

第２の移動方式は、例えば、複数の供給位置２１０の数が少ない場合に、供給時間に関して有利となる方式である。複数の供給位置２１０の数が少ない場合に、第１の移動方式によって供給ヘッド２０が移動するときには、供給ヘッド２０は、供給位置２１０が存在しない領域を移動する割合が多くなり得る。つまり、複数の供給位置２１０の数が少ない場合には、供給ヘッド２０は、第１の移動方式では無駄な移動をし得る。一方で、第２の移動方式では、供給ヘッド２０は複数の供給位置２１０のそれぞれに向けて直接的に移動するため、複数の供給位置２１０の数が少ない場合には、無駄な移動がなくなり、供給時間に関して有利となる。

上述したように、計算部１１３は、複数の供給位置２１０に対して液剤を供給する際にかかる供給時間を第１の移動方式及び第２の移動方式のそれぞれ毎に計算する。具体的には、計算部１１３は、基板２００における複数の供給位置２１０のそれぞれの大きさ、複数の供給位置２１０のそれぞれの基板２００上での座標、及び、基板２００の大きさ等に応じて、供給時間を第１の移動方式及び第２の移動方式のそれぞれ毎に計算する。また、選択部１１２は、供給時間の計算結果に基づいて、複数の移動方式から供給ヘッド２０の移動方式を選択する。例えば、複数の供給位置２１０の数が多い場合には、第１の移動方式についての供給時間が第２の移動方式についての供給時間よりも短くなり、選択部１１２は、第１の移動方式を選択する。複数の供給位置２１０の数が少ない場合には、第２の移動方式についての供給時間が第１の移動方式についての供給時間よりも短くなり、選択部１１２は、第２の移動方式を選択する。なお、量産におけるタクトタイム（ラインタクト）等によっては、必ずしも供給時間が短くなる移動方式が選択されなくてもよい。このように、複数の移動方式（具体的には第１の移動方式及び第２の移動方式）の中から最適な移動方式を選択することで、最適な供給時間とすることができる。

また、基板２００におけるある領域においては複数の供給位置２１０が密集しており、他の領域においては複数の供給位置２１０が離散しているということがあり得る。このような場合に、第１の移動方式及び第２の移動方式のいずれかのみでしか供給ヘッド２０を移動させることができないとすれば、第１の移動方式では複数の供給位置２１０が離散している箇所において液剤の供給に時間を要し、第２の移動方式では複数の供給位置２１０が密集している箇所において液剤の供給に時間を要する。

そこで、供給ヘッド移動部２１は、第１の移動方式と第２の移動方式とを組み合わせて、供給ヘッド２０を移動させてもよい。この場合、供給時間として、例えば、基板２００上の複数の供給位置２１０が密集している領域及び離散している領域毎に、各領域に含まれる供給位置２１０に液剤を供給する際にかかる時間が計算される。そして、当該供給時間の計算結果に基づいて、複数の供給位置２１０が密集している領域においては供給ヘッド２０を第１の移動方式によって移動させ、複数の供給位置２１０が離散している領域においては供給ヘッド２０を第２の移動方式によって移動させる。これにより、第１の移動方式及び第２の移動方式を組み合わせることでより最適な供給時間とすることができる。

（実施の形態２）
実施の形態１では、供給ヘッド２０が移動することで複数のノズル２６は基板２００上の複数の供給位置２１０に液剤を供給したが、供給ヘッド２０自体が移動しなくてもよく、供給ヘッド２０が基板２００に対して相対的に移動すればよい。実施の形態２に係る液剤供給装置２では、保持部１０は、基板２００が載置されるステージ（図１１参照）を含み、基板２００が載置された保持部１０が移動することで供給ヘッド２０が基板２００に対して相対的に移動する。なお、以下では、保持部１０がステージを含むものとして説明するが、保持部１０は基板２００をクランプするクランプ機構を含んでいてもよく、基板２００をクランプした保持部１０が移動することで供給ヘッド２０が基板２００に対して相対的に移動してもよい。その他の点は、実施の形態１におけるものと同じであるため説明は省略し、以下、実施の形態１と異なる点を中心に図１１及び図１２を用いて説明する。

図１１は、実施の形態２に係る供給ヘッド２０周辺の外観斜視図である。

図１１に示されるように、基板２００が保持部１０（ステージ）に載置される。液剤供給装置２は、基板２００が載置された保持部１０の移動を行うための構成として、ステージ移動部４１を備える。なお、実施の形態２では、相対移動部としてステージ移動部４１が保持部１０を移動させることで基板２００と供給ヘッド２０とが相対的に移動する。図１１では、ステージ移動部４１の具体的な構成の図示を省略している。

基板２００が載置される保持部１０は、供給ヘッド２０の下方でＸ、Ｙ、Ｚ軸方向に移動可能であり、供給ヘッド２０は当該移動中に液剤を基板２００上の複数の供給位置２１０に供給可能となっている。保持部１０がＸ、Ｙ、Ｚ軸方向に移動することで、供給ヘッド２０は、基板２００に対して相対的にＸ、Ｙ、Ｚ軸方向に移動することになる。

ステージ移動部４１は、保持部１０をＸ、Ｙ、Ｚ軸方向に移動させる。例えば、ステージ移動部４１は、保持部１０が取り付けられ保持部１０をＸ、Ｙ、Ｚ軸方向へ移動可能なリニアモータ等から構成される。なお、ステージ移動部４１は、ボールねじ等によって構成されていてもよい。ステージ移動部４１は、複数の供給位置２１０を含む供給範囲において、供給位置２１０に関わらず定められた所定の方向に沿って基板２００と供給ヘッド２０とが相対的に移動する第１の移動方式によって、基板２００と供給ヘッド２０とを相対的に移動させる。具体的には、ステージ移動部４１は、第１の移動方式によって、保持部１０を移動させる。例えば、本実施の形態では、所定の方向は、供給位置２１０に関わらずＸ軸方向に定められている。また、ステージ移動部４１は、複数の供給位置２１０のそれぞれの位置関係に基づいて基板２００と供給ヘッド２０とが相対的に移動する第２の移動方式によって、基板２００と供給ヘッド２０とを相対的に移動させる。具体的には、ステージ移動部４１は、第２の移動方式によって、保持部１０を移動させる。複数のノズル２６は、保持部１０が第１の移動方式による移動を行う際には、供給ヘッド２０が供給位置２１０において相対的に止まらずに液剤を供給位置２１０に供給する。つまり、複数のノズル２６が供給位置２１０に液剤を供給する際には、保持部１０は止まらない。

保持部１０の移動に関する制御は、例えば、液剤供給装置２が備えるコンピュータ１００によって行われる。

制御部１１１は、保持部１０の移動に関する制御を行う。具体的には、制御部１１１は、ステージ移動部４１を制御する。制御部１１１がステージ移動部４１を制御することで、保持部１０は移動可能となっている。具体的には、制御部１１１が、保持部１０を移動させるための駆動力を発生させるリニアモータ等を制御することで、保持部１０は移動可能となっている。また、制御部１１１が駆動力供給部２２及び液剤供給部２３を制御することで、供給ヘッド２０は液剤を基板２００に供給可能となっている。

選択部１１２は、第１の移動方式を含む複数の移動方式から基板２００と供給ヘッド２０との相対的な移動方式を選択する。具体的には、選択部１１２は、複数の移動方式のうち、第１の移動方式と、第２の移動方式とのいずれかを選択する。第１の移動方式及び第２の移動方式のように、特定の移動方式で保持部１０を移動可能とするようなプログラムは、メモリ１２０に記憶されている。ステージ移動部４１は、選択された移動方式によって、保持部１０を移動させる。

計算部１１３は、複数の供給位置２１０に対して液剤を供給する際にかかる供給時間を複数の移動方式のそれぞれ毎に計算する。なお、供給時間には、複数の供給位置２１０に液剤を供給するために保持部１０が移動（言い換えると供給ヘッド２０が基板２００上を相対的に移動）する時間だけでなく、液剤の供給のために行う必要がある予備動作のための時間等が含まれていてもよい。

次に、基板２００と供給ヘッド２０との相対的な移動方式として、具体的には基板２００が載置された保持部１０の移動方式について、図８から図１０及び図１２を用いて説明する。まず保持部１０の第１の移動方式について説明する。

図１２は、実施の形態２に係る液剤供給装置２の動作の一例を示すフローチャートである。

まず、制御部１１１は、複数の供給位置２１０を含む供給範囲Ａにおいて、供給位置２１０に関わらず定められた特定の方向に沿って供給ヘッド２０が基板２００に対して相対的に移動するように保持部１０が移動する第１の移動方式によって、ステージ移動部４１に保持部１０を移動させる（ステップＳ２１）。特定の方向は、ここでは、Ｘ軸方向であり、複数のノズル２６の配設方向（Ｙ軸方向）と略直交する方向である。例えば、第１の移動方式では、供給ヘッド２０が供給範囲Ａ内においては基板２００に対して相対的に、特定の方向から移動方向を変えずに当該特定の方向に沿って直線上を移動するように、保持部１０が移動する。

供給ヘッド２０には、複数のノズル２６が配設されており、保持部１０が第１の移動方式によって移動することで、供給ヘッド２０が基板２００に対して相対的に特定の方向に移動しながら複数のノズル２６によって複数の供給位置２１０に液剤を供給できる。例えば、図８において、保持部１０が特定の方向（Ｘ軸方向）のマイナス側への一度の移動によって、複数のノズル２６が配設された供給ヘッド２０が特定の方向（Ｘ軸方向）のプラス側へ基板２００に対して相対的に経路Ｒ１上を移動し、まとめて多くの供給位置２１０（ここでは６つの供給位置２１０）に液剤を供給できるため、複数の供給位置２１０への液剤の供給に要する時間（供給時間）を短縮できる。図８では、複数のノズル２６として、５つのノズル２６が示されているが、実際には数千個のノズル２６が供給ヘッド２０に配設されている。このため、保持部１０の特定の方向における一度の移動によって、実際には数千か所の供給位置２１０に液剤を供給できる。また、まとめて多くの供給位置２１０に液剤を供給することで時間短縮を実現できることから、時間短縮のために保持部１０を必ずしも高速移動させる必要はない。

例えば、制御部１１１は、保持部１０が第１の移動方式による移動を行う際には、供給ヘッド２０を供給位置２１０において相対的に止めずに、複数のノズル２６に液剤を供給位置２１０に供給させる（ステップＳ２２）。上述したように、時間短縮のために保持部１０を必ずしも高速移動させる必要はないため、保持部１０を低速移動させることで、供給ヘッド２０が供給位置２１０において相対的に止まらずに、すなわち、保持部１０を急加減速させることなく、液剤を供給することができる。したがって、急加減速を実現するための強力な駆動源及び急加減速に伴う振動を収束させる高剛体な筺体を準備しなくてもよくなり、装置の低コスト化及び小型化が可能となる。なお、第１の移動方式では、供給範囲Ａにおいて特定の方向に供給ヘッド２０が等速移動するように保持部１０を移動させてもよい。これにより、保持部１０が急加減速することだけでなく、単に加減速することも抑制でき、装置のさらなる低コスト化及び小型化が可能となる。

また、第１の移動方式では、特定の方向に沿って基板２００と供給ヘッド２０とが相対的に往復移動する。具体的には、第１の移動方式では、特定の方向に沿って保持部１０が往復移動する。これにより、図８及び図９に示されるように、第１の移動方式では、特定の方向に沿って供給ヘッド２０が基板２００に対して相対的に往復移動する。これにより、基板２００上の複数の供給位置２１０への液剤の供給を柔軟に行うことができる。

また、基板２００と供給ヘッド２０とが相対的に往復移動する経路には、間隔をあけて隣り合う往路及び復路が含まれる。具体的には、保持部１０が往復移動する経路には、間隔をあけて隣り合う往路及び復路が含まれる。例えば、保持部１０が間隔Ｌをあけて往復移動していくことで、図８及び図９に示されるように、供給ヘッド２０は、間隔Ｌをあけて隣り合う経路Ｒ１及びＲ２のように、基板２００に対して相対的に往復移動する。

間隔Ｌは、例えば、供給ヘッド２０の経路Ｒ１上の移動範囲と経路Ｒ２上の移動範囲とが、基板２００の平面視、つまり基板２００をＺ軸方向プラス側から見た場合において重複しないように定められる。図８に示される間隔Ｌは、供給ヘッド２０（具体的には複数のノズル２６群）の経路Ｒ１上の移動範囲と経路Ｒ２上の移動範囲とが、基板２００の平面視において重複しないように定められたものである。これにより、供給ヘッド２０が基板２００の一端から他端（例えばＹ軸方向マイナス側からプラス側）へ向けて移動するように、保持部１０は、往路及び復路間に一定の間隔Ｌをあけて特定の方向に沿って往復移動しながら、例えばＹ軸方向プラス側からマイナス側へ向けて移動する。したがって、例えば、図８に示されるように、複数のノズル２６が配設された供給ヘッド２０の長さよりも基板２００の上記一端から上記他端までの長さの方が大きく、保持部１０の特定の方向における一度の移動で基板２００上の複数の供給位置２１０のすべてに液剤を供給できない場合であっても、保持部１０の往復移動によって、複数の供給位置２１０のすべてに液剤を供給できる。

また、間隔Ｌは、複数のノズル２６が配設される間隔よりも狭くてもよい。例えば、図９に示される供給位置２１０ａ及び２１０ｂのように、供給位置２１０間の間隔が複数のノズル２６が配設される間隔よりも狭い場合がある。近年、いわゆる０２０１サイズ等の肉眼で視認するのも難しいほどの大きさの部品の使用が増えてきており、このような部品の実装ランドに対応して、供給位置２１０間の間隔も狭くなってきているためである。このような場合に、図８に示されるように、供給ヘッド２０の基板２００に対する相対的な経路Ｒ１上の移動範囲と経路Ｒ２上の移動範囲とが、基板２００の平面視において重複しないように間隔Ｌが定められると、例えば供給位置２１０ｂへ液剤を供給できない場合がある。そこで、図９に示されるように、間隔Ｌを複数のノズル２６が配設される間隔よりも狭くする。言い換えると、供給ヘッド２０の基板２００に対する相対的な経路Ｒ１上の移動範囲と経路Ｒ２上の移動範囲とが、基板２００の平面視において重複するように間隔Ｌを定める。これにより、供給ヘッド２０が基板２００の一端から他端へ向けて相対的に少しずつ移動するようになり、液剤を精度良く供給位置２１０に供給することができるようになる。例えば、間隔Ｌは、複数のノズル２６が配設される間隔の１／４程度に定められる。

また、図示しないが、基板２００と供給ヘッド２０とが相対的に往復移動する経路（具体的には保持部１０が往復移動する経路）には、互いに同じ経路となる往路及び復路が含まれていてもよい。つまり、保持部１０が往復移動する際に、移動してきた経路を引き返して再度同じ経路を移動してもよい。部品の実装ランドの大きさが大きいほど、必要な液剤の量も多くなるため、当該実装ランドの大きさによっては、特定の方向における保持部１０の一度の移動で、当該実装ランドに対応する供給位置２１０に十分な量の液剤を供給できない場合がある。この場合、供給位置２１０において液剤の高さが十分ではなく、部品の実装等において不良が発生するおそれがある。これに対して、保持部１０の往復移動が同じ経路でなされ、往路及び復路のそれぞれにおいて同じ供給位置２１０に液剤が供給されることで、当該供給位置２１０に十分な量の液剤を供給できる。

なお、往復移動する際の間隔Ｌの大きさ、及び、同じ経路を往復移動するか否か等については、メモリ１２０に記憶された基板２００に関するデータ（具体的には、ガーバーデータ等）に基づいて定められる。つまり、間隔Ｌが大きくなる箇所や小さくなる箇所、また、保持部１０が同じ経路を往復する箇所等、１つの基板２００の供給ヘッド２０に対する場所毎に保持部１０の移動の仕方が異なる場合があってもよい。

次に、保持部１０の第２の移動方式について説明する。

図１０に示されるように、第２の移動方式は、複数の供給位置２１０のそれぞれの位置関係に基づいて、供給ヘッド２０が複数の供給位置２１０のそれぞれに対して一点一点、順々に相対的に移動していくように、保持部１０を移動させる方式である。具体的には、各供給位置２１０への液剤の供給時間が例えば最短となるように、複数の供給位置２１０のそれぞれの位置関係に基づいて液剤の供給のための順路が決められる。また、液剤の供給に用いられるノズル２６としては、供給ヘッド２０の現在位置に対して次に液剤が供給される供給位置２１０までの距離が最も近いノズル２６が選ばれる。なお、当該ノズル２６の液剤貯留部２５への液剤の充填が完了していない場合には、例えば、その次に近いノズル２６が選ばれてもよい。

第２の移動方式は、例えば、複数の供給位置２１０の数が少ない場合に、供給時間に関して有利となる方式である。複数の供給位置２１０の数が少ない場合に、第１の移動方式によって保持部１０が移動するときには、供給ヘッド２０は、供給位置２１０が存在しない領域を相対的に移動する割合が多くなり得る。つまり、複数の供給位置２１０の数が少ない場合には、保持部１０は、第１の移動方式では無駄な移動をし得る。一方で、第２の移動方式では、供給ヘッド２０が複数の供給位置２１０のそれぞれに向けて直接的に移動するように保持部１０が移動するため、複数の供給位置２１０の数が少ない場合には、無駄な移動がなくなり、供給時間に関して有利となる。

上述したように、計算部１１３は、複数の供給位置２１０に対して液剤を供給する際にかかる供給時間を第１の移動方式及び第２の移動方式のそれぞれ毎に計算する。具体的には、計算部１１３は、基板２００における複数の供給位置２１０のそれぞれの大きさ、複数の供給位置２１０のそれぞれの基板２００上での座標、及び、基板２００の大きさ等に応じて、供給時間を第１の移動方式及び第２の移動方式のそれぞれ毎に計算する。また、選択部１１２は、供給時間の計算結果に基づいて、複数の移動方式から保持部１０の移動方式を選択する。例えば、複数の供給位置２１０の数が多い場合には、第１の移動方式についての供給時間が第２の移動方式についての供給時間よりも短くなり、選択部１１２は、第１の移動方式を選択する。複数の供給位置２１０の数が少ない場合には、第２の移動方式についての供給時間が第１の移動方式についての供給時間よりも短くなり、選択部１１２は、第２の移動方式を選択する。なお、量産におけるタクトタイム（ラインタクト）等によっては、必ずしも供給時間が短くなる移動方式が選択されなくてもよい。このように、複数の移動方式（具体的には第１の移動方式及び第２の移動方式）の中から最適な移動方式を選択することで、最適な供給時間とすることができる。

また、基板２００におけるある領域においては複数の供給位置２１０が密集しており、他の領域においては複数の供給位置２１０が離散しているということがあり得る。このような場合に、第１の移動方式及び第２の移動方式のいずれかのみでしか保持部１０を移動させることができないとすれば、第１の移動方式では複数の供給位置２１０が離散している箇所において液剤の供給に時間を要し、第２の移動方式では複数の供給位置２１０が密集している箇所において液剤の供給に時間を要する。

そこで、ステージ移動部４１は、第１の移動方式と第２の移動方式とを組み合わせて、保持部１０を移動させてもよい。この場合、供給時間として、例えば、基板２００上の複数の供給位置２１０が密集している領域及び離散している領域毎に、各領域に含まれる供給位置２１０に液剤を供給する際にかかる時間が計算される。そして、当該供給時間の計算結果に基づいて、供給ヘッド２０が複数の供給位置２１０が密集している領域上にある場合においては保持部１０を第１の移動方式によって移動させ、供給ヘッド２０が複数の供給位置２１０が離散している領域上にある場合においては保持部１０を第２の移動方式によって移動させる。これにより、第１の移動方式及び第２の移動方式を組み合わせることでより最適な供給時間とすることができる。

（その他の実施の形態）
以上、本開示の液剤供給装置１及び２について、実施の形態に基づいて説明したが、本開示は、上記実施の形態に限定されるものではない。本開示の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施の形態に施したもの、及び、異なる実施の形態における構成要素を組み合わせて構築される形態も、本開示の範囲内に含まれる。

例えば、上記実施の形態において、複数のノズル２６は、供給ヘッド２０又は保持部１０が第１の移動方式による移動を行う際には、供給ヘッド２０が供給位置２１０において止まらずに（相対的に止まらずに）液剤を供給位置２１０に供給したが、止まることがあってもよい。

また、例えば、上記実施の形態において、第１の移動方式では、特定の方向に沿って供給ヘッド２０又は保持部１０が往復移動したが、往復移動しなくてもよく、特定の方向における一度の移動をするだけでもよい。

また、例えば、上記実施の形態において、複数の移動方式から供給ヘッド２０又は保持部１０の移動方式が選択されたが、これに限らない。例えば、供給ヘッド２０又は保持部１０の移動方式は、第１の移動方式のみであってもよい。

また、例えば、上記実施の形態において、液剤供給装置１及び２は、認識部３０を備えたが備えていなくてもよい。

また、例えば、上記実施の形態において、保持部１０は、クランプ機構を有したが、有していなくてもよい。

また、例えば、本開示は、液剤供給装置１及び２として実現できるだけでなく、液剤供給装置１及び２を構成する各構成要素が行うステップ（処理）を含む液剤供給方法として実現できる。

具体的には、液剤供給方法は、基板２００を保持する保持部１０と、保持部１０により保持された基板２００上の複数の供給位置２１０に液剤を供給する複数のノズル２６が配設された供給ヘッド２０と、基板２００と供給ヘッド２０とを相対的に移動させる相対移動部（供給ヘッド移動部２１又はステージ移動部４１）と、を備える液剤供給装置１又は２の液剤供給方法である。当該液剤供給方法では、図７又は図１２に示されるように、複数の供給位置２１０を含む供給範囲Ａにおいて、供給位置２１０に関わらず定められた特定の方向に沿って基板２００と供給ヘッド２０とが相対的に移動する第１の移動方式によって、相対移動部に基板２００と供給ヘッド２０とを相対的に移動させる（ステップＳ１１又はステップＳ２１）。

また、例えば、それらのステップは、コンピュータ（コンピュータシステム）によって実行されてもよい。そして、本開示は、それらの方法に含まれるステップを、コンピュータに実行させるためのプログラムとして実現できる。さらに、本開示は、そのプログラムを記録したＣＤ－ＲＯＭ等である非一時的なコンピュータ読み取り可能な記録媒体として実現できる。

例えば、本開示が、プログラム（ソフトウェア）で実現される場合には、コンピュータのＣＰＵ、メモリ及び入出力回路等のハードウェア資源を利用してプログラムが実行されることによって、各ステップが実行される。つまり、ＣＰＵがデータをメモリ又は入出力回路等から取得して演算したり、演算結果をメモリ又は入出力回路等に出力したりすることによって、各ステップが実行される。

また、上記実施の形態の液剤供給装置１及び２に含まれる複数の構成要素は、それぞれ、専用又は汎用の回路として実現されてもよい。これらの構成要素は、１つの回路として実現されてもよいし、複数の回路として実現されてもよい。

また、上記実施の形態の液剤供給装置１及び２に含まれる複数の構成要素は、集積回路（ＩＣ：Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）であるＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ Ｓｃａｌｅ Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）として実現されてもよい。これらの構成要素は、個別に１チップ化されてもよいし、一部又は全てを含むように１チップ化されてもよい。ＬＳＩは、集積度の違いにより、システムＬＳＩ、スーパーＬＳＩ又はウルトラＬＳＩと呼称される場合がある。

また、集積回路はＬＳＩに限られず、専用回路又は汎用プロセッサで実現されてもよい。プログラム可能なＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｇａｔｅ Ａｒｒａｙ）、又は、ＬＳＩ内部の回路セルの接続及び設定が再構成可能なリコンフィギュラブル・プロセッサが、利用されてもよい。

さらに、半導体技術の進歩又は派生する別技術によりＬＳＩに置き換わる集積回路化の技術が登場すれば、当然、その技術を用いて、液剤供給装置１及び２に含まれる各構成要素の集積回路化が行われてもよい。

その他、実施の形態に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態や、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で各実施の形態における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本開示に含まれる。

本開示は、例えば、はんだ等を実装基板に供給するための装置等に利用できる。

１、２ 液剤供給装置
１０ 保持部
１１ 搬送部
１２ 搬入部
１３ 搬出部
２０ 供給ヘッド
２１ 供給ヘッド移動部（相対移動部）
２２ 駆動力供給部
２３ 液剤供給部
２４ 駆動源
２５ 液剤貯留部
２６ ノズル
３０ 認識部
４１ ステージ移動部（相対移動部）
１００ コンピュータ
１１０ プロセッサ
１１１ 制御部
１１２ 選択部
１１３ 計算部
１２０ メモリ
２００ 基板
２１０、２１０ａ、２１０ｂ 供給位置
Ａ 供給範囲
Ｌ 間隔
Ｍ マーク
Ｒ１、Ｒ２ 経路

Claims (12)

1. 基板を保持する保持部と、
   前記保持部により保持された前記基板上の複数の供給位置に液剤を供給する複数のノズルが配設された供給ヘッドと、
   第１の移動方式を含む複数の移動方式から前記基板と前記供給ヘッドとの相対的な移動方式を選択する選択部と、
   前記複数の供給位置に対して前記液剤を供給する際にかかる供給時間を前記複数の移動方式のそれぞれ毎に計算する計算部と、
   前記基板と前記供給ヘッドとを相対的に移動させる相対移動部と、を備え、
   前記選択部は、前記供給時間の計算結果に基づいて、前記複数の移動方式から前記基板と前記供給ヘッドとの相対的な移動方式を選択し、
   前記相対移動部は、前記第１の移動方式が選択された場合、前記第１の移動方式によって、前記基板と前記供給ヘッドとを相対的に移動させ、
   前記第１の移動方式は、前記複数の供給位置を含む供給範囲において、供給位置に関わらず定められた特定の方向に沿って前記基板と前記供給ヘッドとが相対的に移動する移動方式である
   液剤供給装置。
2. 前記複数のノズルは、前記第１の移動方式による移動を行う際には、前記供給ヘッドが前記供給位置において相対的に止まらずに前記液剤を前記供給位置に供給する
   請求項１に記載の液剤供給装置。
3. 前記第１の移動方式では、前記特定の方向に沿って前記基板と前記供給ヘッドとが相対的に往復移動する
   請求項１又は２に記載の液剤供給装置。
4. 前記基板と前記供給ヘッドとが相対的に往復移動する経路には、間隔をあけて隣り合う往路及び復路が含まれる
   請求項３に記載の液剤供給装置。
5. 前記間隔は、前記複数のノズルが配設される間隔よりも狭い
   請求項４に記載の液剤供給装置。
6. 前記基板と前記供給ヘッドとが相対的に往復移動する経路には、互いに同じ経路となる往路及び復路が含まれる
   請求項３～５のいずれか１項に記載の液剤供給装置。
7. 前記相対移動部は、前記複数の供給位置のそれぞれの位置関係に基づいて前記基板と前記供給ヘッドとが相対的に移動する第２の移動方式によって、前記基板と前記供給ヘッドとを相対的に移動させ、
   前記選択部は、前記複数の移動方式のうち、前記第１の移動方式と、前記第２の移動方式とのいずれかを選択する
   請求項１～６のいずれか１項に記載の液剤供給装置。
8. 前記相対移動部は、前記第１の移動方式と前記第２の移動方式とを組み合わせて、前記基板と前記供給ヘッドとを相対的に移動させる
   請求項７に記載の液剤供給装置。
9. 前記液剤供給装置は、さらに、前記基板に付されたマークを認識する認識部を備える
   請求項１～８のいずれか１項に記載の液剤供給装置。
10. 前記保持部は、前記基板の端部を挟むクランプ機構を有する
    請求項１～９のいずれか１項に記載の液剤供給装置。
11. 前記液剤は、はんだである
    請求項１～１０のいずれか１項に記載の液剤供給装置。
12. 基板を保持する保持部と、
    前記保持部により保持された前記基板上の複数の供給位置に液剤を供給する複数のノズルが配設された供給ヘッドと、
    前記基板と前記供給ヘッドとを相対的に移動させる相対移動部と、を備える液剤供給装置の液剤供給方法であって、
    第１の移動方式を含む複数の移動方式から前記基板と前記供給ヘッドとの相対的な移動方式を選択し、
    前記複数の供給位置に対して前記液剤を供給する際にかかる供給時間を前記複数の移動方式のそれぞれ毎に計算し、
    前記選択では、前記供給時間の計算結果に基づいて、前記複数の移動方式から前記基板と前記供給ヘッドとの相対的な移動方式を選択し、
    前記第１の移動方式が選択された場合、前記第１の移動方式によって、前記相対移動部に前記基板と前記供給ヘッドとを相対的に移動させ、
    前記第１の移動方式は、前記複数の供給位置を含む供給範囲において、供給位置に関わらず定められた特定の方向に沿って前記基板と前記供給ヘッドとが相対的に移動する移動方式である
    液剤供給方法。

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