JP2011120968A - ペースト供給装置及びペースト供給方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】装置コストの上昇や装置破損を抑えながらペースト供給時間の短縮により生産性を向上させ、さらに、高粘度ペーストを安定して供給する。
【解決手段】ペースト供給装置において、第1経路K1及び第1経路K1の側面に接続された第2経路K2を有するブロック5aと、第2経路K2にペーストを注入して第1経路K1に押し出す注入機構5bと、第1経路K1に往復移動可能に設けられ、第2経路K2から第1経路K1に押し出されたペーストPを切り取り、第1経路K1からブロック5aの外に出すピストン5cと、ピストン5cを往復移動させる駆動機構5dとを備える。
【選択図】図2
【解決手段】ペースト供給装置において、第1経路K1及び第1経路K1の側面に接続された第2経路K2を有するブロック5aと、第2経路K2にペーストを注入して第1経路K1に押し出す注入機構5bと、第1経路K1に往復移動可能に設けられ、第2経路K2から第1経路K1に押し出されたペーストPを切り取り、第1経路K1からブロック5aの外に出すピストン5cと、ピストン5cを往復移動させる駆動機構5dとを備える。
【選択図】図2
Description
本発明は、ペースト供給装置及びペースト供給方法に関する。
配線基板に対する半導体パッケージや抵抗部品などの電子部品の実装において、電子部品の端子と配線基板の電極パッドとの接続には、はんだ付けが多用される。この場合、はんだを予め接続部分へ供給しておき、電子部品、配線基板及びはんだを加熱してはんだ接合するリフロー法(リフロー方式)が採られることが多い。このとき用いられるはんだは、はんだペーストと呼称される。このはんだペーストは、直径数μmから数十μmのはんだボールとフラックスを混ぜ合わせて構成されており、電極パッドなどの接合部に供給される。フラックスは電子部品の端子及び配線基板の電極パッドの表面の酸化を取り除き、溶融したはんだを端子及び電極パッドへ良く濡れるようにする。
はんだペーストの配線基板への供給方法としては、印刷法(印刷方式)が一般的である。配線基板の電極パッドに対応した部分に開口を設けたメタルマスクを配線基板へ被せ、開口部分にスキージなどによってはんだペーストを充填した後にメタルマスクを引き上げ、はんだペーストを配線基板の電極パッドに供給する。印刷法で供給するはんだペーストの粘度は200Pa・s前後であり、フラックス含有率は10%前後である。印刷法には、多数の電極パッドへ同時にはんだペーストを供給できるという利点がある。その一方で、配線基板に対応したメタルマスクを個別に製作しなくてはならず、また、大きな段差を有する配線基板には対応が難しい。
はんだペーストのもう一つの供給方法としては、ディスペンス法(ディスペンス方式)がある。はんだペーストは中空シリンジに充填され、そのペースト上にプランジャが入れられている。シリンジ下部に取り付けた中空ノズルの先端を配線基板の電極パッドへ近接あるいは当接させ、高圧空気などによってシリンジ内のプランジャを下方へ加圧し、ノズル先端から任意の量のはんだペーストを吐出させる。その後、シリンジ及びノズルを引き上げてペーストを切断し、ペースト塗布を完了させる。
このディスペンス法では、ノズルを下降させる位置及びその高さを装置プログラムによって任意に設定できるため、様々なパターンを有する配線基板や段差を有する配線基板などに対応することができる。ところが、塗布を一点ずつ行うため、多点塗布においては印刷法と比較して長い時間を要し生産性が低い。また、微細なピッチで配置された電極パッドへ少量のはんだペーストを塗布する場合には、細径のノズルを用いることになりノズル先端からのペースト吐出が困難になる。これを解決するために、低粘度のフラックスあるいはフラックスの含有率を増加させた低粘度のはんだペーストを用いるが、塗布後のフラックス分の滲みが多く、隣接する電極パッド同士のショートが発生しやすい。
このため、高粘度のペーストを用いることが望ましく、ディスペンス法において高粘度ペーストに対応する方法としては、円形のノズルに芯線を挿入した構造が提案されている(例えば、特許文献1参照)。芯線はバネ作用を得るためシリンジ内にて曲げられ、その一端がシリンジ内の側壁部分に固定されている。もう一端の芯線先端はノズルから飛び出しており、シリンジ内のペーストは芯線を伝わってノズルの外に導出されている。この状態でシリンジ及びノズルを下降させ、芯線を配線基板に当接させ、さらにシリンジ及びノズルを下降させて、芯線側面に付着したペーストを配線基板に供給する。すなわち、芯線が配線基板に当接した後、さらにノズルが下降すると、芯線はバネ作用によりノズル内に引っ込むように上方向に移動し、逆にノズルは下方向に移動して配線基板に近づく。このとき、芯線側面のペーストは掻き落とされて配線基板に供給される。最後に、シリンジ及びノズルを引き上げて塗布を完了する。
前述のディスペンス法においては、装置プログラムにより様々な形状の基板に対応できるという利点がある反面、シリンジ及びノズルの上下動を伴うためペースト供給時間(塗布時間)は長く、生産性が低い。シリンジ及びノズルの上下駆動速度を増加させ、一点あたりに要するペースト供給時間を短くすれば、生産性を向上させることは可能であるが、その場合には出力の高い上下駆動機構を要するため装置コストが増加したり、あるいは、ノズルが配線基板に当接した際の衝撃荷重が増加してノズル先端が破損したりする。
また、前述のディスペンス法における高粘度ペーストに対応する構造を用いた場合では、芯線がノズルに対して平行に縮まず、芯線はノズルに対して斜めに曲がりながらノズルに格納される。このため、繰り返し塗布を行うと芯線が折れ曲がり、はんだペーストが供給されなくなることがある。特に、印刷法用の高粘度はんだペースト、すなわち塗布後のペースト滲みを抑止することが可能な粘度を有する高粘度ペースト(以下、単に高粘度ペーストという)を用いると、繰り返し塗布後にノズル内のはんだペーストと芯線の間に隙間が出来て芯線が空回りするようになるため、はんだペーストが供給されなくなることがある。
本発明はこのような課題を鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、装置コストの上昇や装置破損を抑えながらペースト供給時間の短縮により生産性を向上させることができ、さらに、高粘度ペーストを安定して供給することができるペースト供給装置及びペースト供給方法を提供することである。
本発明の実施の形態に係る第1の特徴は、ペースト供給装置において、第1経路及び第1経路の側面に接続された第2経路を有するブロックと、第2経路にペーストを注入して第1経路に押し出す注入機構と、第1経路に往復移動可能に設けられ、第2経路から第1経路に押し出されたペーストを切り取り、第1経路からブロックの外に出すピストンと、ピストンを往復移動させる駆動機構とを備えることである。
本発明の実施の形態に係る第2の特徴は、ペースト供給方法において、第1経路及び第1経路の側面に接続された第2経路を有するブロックと、第2経路にペーストを注入して第1経路に押し出す注入機構と、第1経路に往復移動可能に設けられ、第2経路から第1経路に押し出されたペーストを切り取り、第1経路からブロックの外に出すピストンと、ピストンを往復移動させる駆動機構とを備えるペースト供給装置を用いて、第2経路にペーストを注入して第1経路に押し出し、押し出したペーストを切り取って第1経路からブロックの外に出し、供給対象物に供給することである。
本発明によれば、装置コストの上昇や装置破損を抑えながらペースト供給時間の短縮により生産性を向上させることができ、さらに、高粘度ペーストを安定して供給することができる。
本発明の実施の一形態について図面を参照して説明する。
図1に示すように、本発明の実施の形態に係るペースト供給装置1は、供給対象物として配線基板などの基板Wが載置されるステージ2と、そのステージ2を支持して平面方向(例えばXY軸方向)に移動させる移動機構3と、はんだペーストなどのペーストPを貯留する貯留部4と、ステージ2上の基板WにペーストPを供給する供給ヘッド5と、ステージ2上の基板Wの表面を撮像する撮像部6と、各部を制御する制御部7とを備えている。
ここで、基板Wには、電極パッドなどのパッドWaが複数個(例えば、数百から数千個)設けられているが、図中には一つのパッドWaだけが示されている。
ステージ2は、移動機構3上にXY軸方向に移動可能に設けられている。このステージ2は移動機構3によりX軸方向及びY軸方向に移動する。ステージ2の載置面には、基板Wが静電チャックや吸着チャックなどの機構により保持されるが、これに限るものではなく、例えば、自重により載置されるだけでもよい。
移動機構3は、ステージ2をX軸方向及びY軸方向に案内して移動させる移動機構である。この移動機構3は制御部7に電気的に接続されており、その駆動が制御部7により制御される。移動機構3としては、例えば、サーボモータを駆動源とする送りねじ式の機構やリニアモータを駆動源とするリニアモータ式の機構などが用いられる。
貯留部4は、液状のペーストPを貯留して供給ヘッド5に供給するタンクである。この貯留部4は供給チューブ4aを介して供給ヘッド5に接続されており、供給ヘッド5にペーストPを供給する。このペーストPは、例えば、直径数μmから数十μmのはんだボールとフラックスを混ぜ合わせて構成されている。
供給ヘッド5は、図2に示すように、ピストン経路K1及びペースト経路K2を有するブロック5aと、ペースト経路K2にペーストを注入する注入機構5bと、ピストン経路K1内で往復移動するピストン5cと、そのピストン5cを往復移動させる駆動機構5dと、各部を覆う筐体としてのケース5eとを具備している。
ブロック5aは、ピストン経路K1を第1経路として有しており、そのピストン経路K1の側面に接続されたペースト経路K2を第2経路として有している。ピストン経路K1はブロック5aの上面から下面まで真っ直ぐ貫通する貫通孔である。このピストン経路K1の断面は例えば一辺が0.4mmである略正方形状となっている。
ペースト経路K2はブロック5aの上面からピストン経路K1まで湾曲して貫通する貫通孔である。すなわち、ペースト経路K2は、ブロック5aの上端に開口したペースト注入口H1と、ピストン経路K1との接続部分となる接続口としてのペースト吐出口H2とを繋いでいる。さらに、ペースト経路K2は、ペースト注入口H1からペースト吐出口H2にかけて緩やかに曲がり、かつ徐々に狭くなっている。
ペースト注入口H1は例えば一辺が0.5mmである正方形状であり、ペースト吐出口H2は例えば一辺が0.3mmである正方形状である。なお、ペースト吐出口H2の下端とブロック5aの外面(図2中における下側の外面)とは例えば0.5mm離れている。
このようなブロック5aは、ピストン経路K1の一部を形成する溝とペースト経路K2の一部を形成する溝とを有する例えばステンレス製のブロックに、透明アクリル板などの透光性部材を接着することによって構成されている。これにより、ピストン経路K1及びペースト経路K2の様子を外部から視認して観察することが可能となる。
注入機構5bは、ペーストを収容する収容部としてのシリンダ11と、そのシリンダ11の内部に回転可能に設けられたスクリュー12と、そのスクリュー12を回転させるモータ13とを備えている。
シリンダ11は、ペースト経路K2に繋がる中空の収容筒である。このシリンダ11の側壁には、供給チューブ4aが接続されており、その供給チューブ4aを介して貯留部4からペーストPがシリンダ11の内部に供給される。
スクリュー12は、その外周にらせん状のネジ部を有している。このスクリュー12はモータ13に連結されている。モータ13は、シリンダ11の端部に固定されて設けられている。このモータ13は制御部7に電気的に接続されており、その駆動が制御部7により制御される。
モータ13が制御部7の制御に応じて回転すると、スクリュー12が回転し、そのスクリュー12の回転量に応じた量のペーストがシリンダ11からブロック5aのペースト経路K2に注入される。このとき、所定量のペーストPがペースト経路K2からピストン経路K1に押し出されて吐出される。なお、注入機構5bとしては、スクリューポンプ式の機構の他にも、気体供給による加圧式の機構などが用いられてもよい。
ピストン5cは、ピストン経路K1に往復移動可能に設けられている。このピストン5cは、ペースト経路K2からピストン経路K1に押し出されたペーストを切り取り、ピストン経路K1からブロック5aの外に出す。ピストン5cの上部は駆動機構5dに連結されている。
このピストン5cの材質は例えばチタニウム合金であり、ピストン経路K1の断面形状に合わせて例えば角柱状に形成されている。ピストン5cは例えば断面が0.3mm四方である略角柱形状となっており、その角には面取り加工が施されている。また、ピストン5cとピストン経路K1との離間距離は、例えば約50μmとなるよう設定されている。
駆動機構5dは、ピストン5cに連結されたエアシンダあるいは油圧シリンダである。この駆動機構5dは制御部7に電気的に接続されており、その駆動が制御部7により制御される。なお、駆動機構5dとしては、エアシリンダや油圧シリンダ以外にも、電動シリンダなどの他の機構が用いられてもよい。
図1に戻り、撮像部6は、基板W上のパッドWaの位置を把握するための認識カメラである。この撮像部6は供給ヘッド5に固定して設けられている。撮像部6は、ステージ2上の基板Wの表面を撮像し、その画像を制御部7に送信する。制御部7は画像を処理し、基板W上のパッドWaの位置を把握する。
制御部7は、各部を集中的に制御するマイクロコンピュータと、各種のプログラムやデータなどを記憶する記憶部とを具備している。各種のデータには、ペースト供給に関する供給情報、例えばペーストの供給量や供給位置などの情報が含まれている。制御部7は、記憶部に格納されている各種プログラムや各種データに基づいて各部の制御などを行う一連の処理を行う。なお、記憶部としては、例えば、RAM(Random Access Memory)や不揮発メモリ、ハードディスクドライブなどが用いられる。
次に、前述のペースト供給装置1が行う供給動作(供給方法)について説明する。なお、ペースト供給装置1の制御部7は供給処理を実行して各部を制御する。
制御部7は、撮像部6によりステージ2上の基板Wの表面を撮像し、その画像に基づいて基板W上のパッドWaの位置を認識し、供給ヘッド5を位置付ける供給位置を把握する。その後、制御部7は移動機構3によりステージ2を平面方向(XY軸方向)、すなわち基板Wの表面(パッドWaが設けられている面)に沿って移動させ、供給ヘッド5を所定の供給位置(塗布位置)に位置付ける。
このとき、供給ヘッド5の下端はステージ2上の基板WのパッドWaから約1mmの高さに位置している。また、ピストン5cの底面(下端)はペースト吐出口H2よりも上に位置している。なお、注入機構5bのシリンダ11内のペーストPは、例えば、直径15〜25μmのはんだボールとフラックスにより構成されており、フラックスの含有率は10%であり、25℃における粘度は約200Pa・sである。
次いで、制御部7は、供給位置に移動した供給ヘッド5を制御し、図3に示すように、注入機構5bによりシリンダ11からブロック5aのペースト経路K2にペーストPを注入し、そのペースト経路K2のペースト吐出口H2からペーストPをピストン経路K1へ吐出させる。このときの吐出量は例えば3×10−9リットルである。
その後、制御部7は、駆動機構5dを制御し、図4に示すように、ピストン5cを待機位置から下降させ、ピストン経路K1に流入したペーストPを切り取って下方へ押し出し、ピストン5cの底面(下端)を基板WのパッドWaに当接させ、その状態でピストン5cを例えば0.05秒保持した後に、図5に示すように、ピストン5cを元の待機位置まで上昇させる。これにより、ペーストPがピストン5cの底面から基板W上のパッドWaに転写され、ペースト供給が完了する。
このペースト供給動作では、ペースト供給中に上下に動作するものは軽量で高速駆動が容易なピストン5cのみであり、ペーストPを吐出させるのに必要な時間0.1秒と、ピストン5cの上下動に必要な時間0.1秒と、パッドWa上の位置におけるピストン5cの保持時間0.05秒を併せた0.25秒が1点あたりの供給時間となる。従来のディスペンス方法では、シリンジ及びノズルの上下動だけで0.5秒を要しているため、従来に比べペーストPの供給時間を大幅に短縮することが可能であり、生産性を向上させることができる。なお、通常、パッドWaは基板W上に数百から数千個存在しているため、パッドWaの一個あたりに対するペースト供給時間の削減により生産性を大きく向上させることができる。
加えて、軽量なピストン5cのみが基板W上のパッドWaに当接することから、出力の高い駆動機構は不要であり、装置コストを抑えることができ、さらに、軽量なピストン5cによる衝撃荷重はシリンジ及びノズルによる衝撃荷重に比べ小さくなり、ピストン5cなどの装置破損や、ピストン5cによるパッドWaあるいは基板Wの破損などを防止することができる。
また、ピストン5cが、ペースト経路K2からピストン経路K1に出ているペーストPを切り離し、そのペーストPをピストン5cの底面に保持して基板WのパッドWa上に供給する。ピストン5cの強度も従来の芯線に比べ強く、また、ピストン経路K1に押し出したペーストPをピストン5cにより切り取って基板W上のパッドWaに供給するので、高粘度のペーストPを安定して供給することができる。特に、ピストン5cによるペーストPの切り取り後、ペースト経路K2内のペーストPと、ピストン5cの底面に付着したペーストPとは別体としてつながっておらず切り離されている。したがって、必要とする量のペーストPだけが切り取られて供給されるので、高粘度のペーストPを安定して精度良く供給することができる。
以上説明したように、本発明の実施の形態によれば、ピストン経路K1及びそのピストン経路K1の側面に接続されたペースト経路K2を有するブロック5aと、ペースト経路K2にペーストPを注入してピストン経路K1に押し出す注入機構5bと、ピストン経路K1に往復移動可能に設けられ、ペースト経路K2からピストン経路K1に押し出されたペーストPを切り取り、ピストン経路K1からブロック5aの外に出すピストン5cと、そのピストン5cを往復移動させる駆動機構5dとを設けることによって、ペーストPが注入機構5bによりペースト経路K2に注入されてピストン経路K1に押し出され、そのペーストPがピストン5cにより切り取られてピストン経路K1からブロック5aの外に出され、基板W上のパッドWaに供給される。
これにより、従来のようなシリンジ及びノズルの上下動がなく、ピストン5cの移動によりペーストPが供給されるので、前述の説明のように装置コストの上昇や装置破損を抑えながらペーストPの供給時間を短縮することが可能になり、生産性を向上させることができる。さらに、ピストン5cの強度も従来の芯線に比べ強く、また、ピストン経路K1に押し出したペーストPをピストン5cにより切り取って基板W上のパッドWaに供給するので、高粘度のペーストPを安定して供給することができ、加えて、必要とする量のペーストPだけが切り取られて供給されるので、高粘度のペーストPを安定して精度良く供給することができる。
また、ピストン5cの断面積はピストン経路K1の断面積の二分の一以上である。これにより、ピストン5cは高粘度のペーストPを確実に切り取ることが可能であり、高粘度のペーストPを安定して精度良く供給することができる。
また、ブロック5aの少なくとも一部がピストン経路K1及びペースト経路K2のどちらか一方あるいは両方を外部から視認可能に透光性材料により形成されている。これにより、ピストン経路K1やペースト経路K2などの内部を視認すること可能となるので、掃除などのメンテナンスの必要性を容易に確認することができる。したがって、不具合が発生する前にメンテナンスを行うことが可能となり、その結果、ペーストPの安定供給を実現することができる。
ここで、ピストン5cの制御例として、図6に示すように、ピストン5cの停止位置が制御部7により変更され、ペーストPの供給量が調整されてもよい。すなわち、ピストン5cは駆動機構5dにより移動して停止し、ペースト経路K2のペースト吐出口H2の開口度(開度:開口の度合)を変える。例えば、ペーストPがペースト経路K2からピストン経路K1に注入される際に、ピストン5cによりペースト経路K2のペースト吐出口H2の一部分が塞がれる。このとき、ピストン5cの底面は、ペースト吐出口H2の上端よりも下であって下端よりも上に位置している。
制御部7の記憶部には、ピストン5cの停止位置がペーストPの供給量に応じて停止位置情報として設定されており、制御部7はその停止位置情報に基づいてピストン5cを移動させる。例えば、必要とする供給量がキーボードなどの操作部により入力されると、その供給量に応じた停止位置が停止位置情報から決定され、ピストン5cはその停止位置まで移動する。その後、ペーストPが注入機構5bによりペースト経路K2からピストン経路K1に押し出される。このとき、ペースト経路K2のペースト吐出口H2の一部分がピストン5cの側面により塞がれており、ペースト吐出口H2がピストン5cの側面により塞がれていない場合に比べ、ペーストPの供給量が減少する。
ここで、微小量のペーストを精度良く押し出して供給することは困難である。例えば、通常の供給時間が1.0秒であるとすると、前述の供給ヘッド5を用いたい場合には、供給時間は0.25秒となり、四分の一に短縮される。このような短い供給時間で高粘度のペーストPの供給量をスクリューポンプ式や気体供給による加圧式などの機構だけで調整することは難しい。そこで、前述のようにピストン5cによりペースト吐出口H2の開口度を変えることによって、ペーストPの供給量を調整することが可能となる。これにより、必要とする量のペーストPを安定して供給することができ、特に、微小量のペーストPを精度良く押し出して供給することができる。
また、ピストン5cの第1変形例として、図7に示すように、ピストン5cの底面(すなわちペーストPと接触する端面)に凹部21が設けられていてもよい。例えば、深さ30μmの凹部21がピストン5cの底面中央に設けられている。これにより、ピストン5cが基板W上のパッドWaに当接した際、ペーストPが飛び散ることが抑止されるので、ペーストPによる基板Wの汚染やペーストPがパッドWa上に環状に供給されることを防止することができ、その結果、ペーストPの安定供給を実現することができる。さらに、ピストン5cの底面におけるペーストPとの接触面積が増加するので、ペーストPを保持する保持力を向上させることができる。
また、ピストン5cの第2変形例として、図8に示すように、ピストン5cと駆動機構5dとの間に、ゴムや硬質スポンジなどの弾性体31が設けられていてもよい。これにより、ピストン5cが基板W上のパッドWaに当接した際、その当接力が弾性体31により吸収されて弱められるので、ピストン5cの破損、さらに、ピストン5cによるパッドWaや基板Wの破損を確実に防止することができる。
また、ピストン5cの外面には、ペーストPに対する撥液性を与えるコーティング処理などが施されてもよい。例えば、基板W上のパッドWaよりも撥液性が高くなるようにコーティング処理が施される。ピストン5cは基板W上のパッドWaに当接してペーストPを転写し、その転写後、ピストン5cは元の待機位置まで上昇する。この転写時、ペーストPはコーティング処理による撥液膜によりピストン5cから容易に離れ、確実にパッドWa側に付着する。これにより、ペーストPがピストン5cの上昇により引き上げられることがなくなるので、ペーストPの引きずりの発生を防止することができる。
なお、本発明は、前述の実施の形態に限るものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能である。例えば、前述の実施の形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施の形態に亘る構成要素を適宜組み合わせてもよい。また、前述の実施の形態においては、各種の数値を挙げているが、それらの数値は例示であり、限定されるものではない。
前述の実施の形態においては、ピストン5cの材質をチタニウム合金としているが、これに限るものではなく、例えば、他の金属あるいはセラミック、樹脂材料としてもよい。ブロック5aの材質についても同様である。
また、前述の実施の形態においては、移動機構3によりステージ2を移動させて基板Wと供給ヘッド5との相対移動を行っているが、これに限るものではなく、供給ヘッド5を移動させて基板Wと供給ヘッド5との相対移動を行うようにしてもよい。
また、前述の実施の形態においては、ペーストPとしてはんだペーストを例に挙げているが、これに限るものではなく、例えば、銀フィラーとエポキシ樹脂を混合した導電性接着剤など、様々な種類のペーストを用いることが可能である。
1…ペースト供給装置、5a…ブロック、5b…注入機構、5c…ピストン、5d…駆動機構、21…凹部、H2…ペースト吐出口(接続口)、K1…ピストン経路(第1経路)、K2…ペースト経路(第2経路)、W…基板(供給対象物)
Claims (5)
- 第1経路及び前記第1経路の側面に接続された第2経路を有するブロックと、
前記第2経路にペーストを注入して前記第1経路に押し出す注入機構と、
前記第1経路に往復移動可能に設けられ、前記第2経路から前記第1経路に押し出された前記ペーストを切り取り、前記第1経路から前記ブロックの外に出すピストンと、
前記ピストンを往復移動させる駆動機構と、
を備えることを特徴とするペースト供給装置。 - 前記ピストンは前記駆動機構により移動して停止し、前記第1経路と前記第2経路との接続口の開口度を変えることを特徴とする請求項1記載のペースト供給装置。
- 前記ブロックの少なくとも一部は前記第1経路及び前記第2経路のどちらか一方あるいは両方を外部から視認可能に透光性材料により形成されていることを特徴とする請求項1記載のペースト供給装置。
- 前記ピストンにおける前記ペーストと接触する端面は一つ以上の凹部を有していることを特徴とする請求項1記載のペースト供給装置。
- 第1経路及び前記第1経路の側面に接続された第2経路を有するブロックと、前記第2経路にペーストを注入して前記第1経路に押し出す注入機構と、前記第1経路に往復移動可能に設けられ、前記第2経路から前記第1経路に押し出された前記ペーストを切り取り、前記第1経路から前記ブロックの外に出すピストンと、前記ピストンを往復移動させる駆動機構とを備えるペースト供給装置を用いて、前記第2経路にペーストを注入して前記第1経路に押し出し、押し出した前記ペーストを切り取って前記第1経路から前記ブロックの外に出し、供給対象物に供給することを特徴とするペースト供給方法。
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2009
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018030060A (ja) * | 2016-08-23 | 2018-03-01 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 液体吐出装置および液体吐出方法 |
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