JP7223030B2 - 表面仕上げスタイラス - Google Patents
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Claims (15)
- 細長いスタイラスシャフト、および、測定される表面に接触するための細長いシャフトから突き出ている接触要素を備え、
前記接触要素は変形可能であり、前記スタイラスシャフトは前記接触要素を保持するためのクランプを含み、前記接触要素はクランプによって変形されることを特徴とする、表面仕上げスタイラス。 - 前記接触要素は、100μm未満の有効半径を有する、請求項1に記載の表面仕上げスタイラス。
- 前記接触要素が、1mm未満の厚さを有する材料のシートを含む、請求項1または2に記載の表面仕上げスタイラス。
- 前記接触要素が、150GPa未満のヤング率を有する材料から形成されている、請求項1から3のいずれか一項に記載の表面仕上げスタイラス。
- 前記接触要素が金属を含む、請求項1から4のいずれか一項に記載の表面仕上げスタイラス。
- 前記接触要素がクロム鋼およびニチノールのうちの少なくとも1つを含む、請求項1から5のいずれか一項に記載の表面仕上げスタイラス。
- 前記接触要素は、前記クランプによって保持されたときに必要な変形を引き起こすために1つまたは複数の弱点の領域を含む、請求項1から6のいずれか一項に記載の表面仕上げスタイラス。
- 前記クランプは、前記接触要素の一部を変形させて、前記接触要素を前記クランプに不動に固定する、請求項1から7のいずれか一項に記載の表面仕上げスタイラス。
- 前記接触要素がディスクを含む、請求項1から8のいずれか一項に記載の表面仕上げスタイラス。
- 前記クランプは、前記ディスクを変形させて、表面に接触するための周縁を有する中空円錐を形成する、請求項9に記載の表面仕上げスタイラス。
- 前記クランプは、前記接触要素を所望の形状に変形するように成形された一対の対向するクランプ面を含む、請求項1から10のいずれか一項に記載の表面仕上げスタイラス。
- 前記クランプは、接触要素がシャフトに解放可能に取り付けられることを可能にする、請求項1から11のいずれか一項に記載の表面仕上げスタイラス。
- 複数の接触要素と、複数の接触要素のそれぞれを保持するための複数のクランプとを備える、請求項1から12のいずれか一項に記載の表面仕上げスタイラス。
- プローブ本体、プローブ本体に移動可能に取り付けられたスタイラスホルダー、およびプローブ本体に対するスタイラスホルダーの撓みを測定するための撓みセンサーを備えて、請求項1から13のいずれか1項に記載の表面仕上げスタイラスが前記スタイラスホルダーに取り付けられている、工作機械走査プローブ。
- 測定される表面に接触するための細長いスタイラスシャフトおよび細長いシャフトから突出する接触要素を含む表面仕上げスタイラスを形成する方法であって、前記接触要素を前記細長いシャフトにクランプするステップにより特徴づけられ、前記クランプステップは前記接触要素を変形させる、方法。
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