JP7205056B2 - 粒子検出装置 - Google Patents
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- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims description 139
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 52
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 25
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 22
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 12
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 6
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 5
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 5
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 5
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 4
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 4
- 229920001213 Polysorbate 20 Polymers 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 3
- 239000000256 polyoxyethylene sorbitan monolaurate Substances 0.000 description 3
- 235000010486 polyoxyethylene sorbitan monolaurate Nutrition 0.000 description 3
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- BGTOWKSIORTVQH-UHFFFAOYSA-N cyclopentanone Chemical compound O=C1CCCC1 BGTOWKSIORTVQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000010828 elution Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 150000002484 inorganic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000002572 peristaltic effect Effects 0.000 description 1
- 239000008363 phosphate buffer Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 polydimethylsiloxane Polymers 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 description 1
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 1
- 230000010349 pulsation Effects 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 238000012552 review Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000002174 soft lithography Methods 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
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Description
しかしながら、粒子検出を行う部分を使い回す必要があり、測定ごとに洗浄し、サンプルのキャリーオーバーがないよう管理する必要があり、操作が煩雑となる。
流体中に存在する粒子を検出する粒子検出装置であって、
一端が流体導入口である導入流路と、
前記導入流路に分岐して接続された、2以上の排出流路とを含み、
前記排出流路が、アパーチャと電気検出器とを含む粒子検出部を備え、
前記粒子検出部より下流部に電極を配置した流体排出口を備えていることを特徴とする。
本発明による粒子検出装置の実施形態を備えたマイクロチップ10は、一般的なフォトリソグラフィーとソフトリソグラフィー技術を用いて作製した。具体的な手順を以下の通り示す。
4インチベアシリコンウェハ(株式会社フィルテック)上へ、フォトレジストSU-8 3005(Microchem社)を滴下後、スピンコーター(MIKASA社)を用いてフォトレジスト薄膜を形成した。この時、目的膜厚に応じて、SU-8 3005へ希釈剤Cyclopentanone(東京応化工業社)を添加した。
続いて、マスクアライナー(ウシオ電機社)と、任意のパターンを形成したクロムマスクを用いて流路パターンをフォトレジスト膜へ形成し、SU-8Developer(Microchem社)を用いて流路パターンを現像することで、用いたい流路の鋳型を作製した。
続いて、作製した鋳型へ、未硬化のLSR7070FC(モメンティブパフォーマンス社)を流し込み、80℃で2時間加熱することで、流路の形状を転写されたポリジメチルシロキサン(PDMS)を作製した。硬化したPDMSを鋳型から慎重に剥がし、カッターで任意の大きさに成形後、パンチャーを用いて流路のインレット、アウトレットを形成した。剥離したPDMSとスライドガラス(松浪ガラス社)を酸素プラズマ発生装置(メイワフォーシス社)で表面処理後、PDMSとスライドガラスを貼り合わせることでマイクロチップ10を作製した。
作製したマイクロチップ10は、基板上へ載置され、マイクロチップ10内の複数の粒子検出部103へ電極を接続した。電極は一対の白金線より構成され、一方の電極は導線を介してプログラマブル電流増幅器CA5350(エヌエフ回路社)へ接続され、ADコンバーターを介してPCへと接続され、送信されてきたデジタルの信号をLabViewにより解析した。また粒子検出部103へ接続される電極のもう一方は9Vの乾電池へ導線を介して接続した。
各インレットは、テフロンチューブを介してシリンジポンプ(KDS社)へ接続し、一定の流量で送液した。
検出対象の粒子を含有する流体100P中の粒子としては以下の標準粒子を用いた。
0.1μm粒子としてポリスチレン標準粒子3100A(ThermoFisher製)
0.2μm粒子としてポリスチレン標準粒子3200A(ThermoFisher製)
0.5μm粒子としてポリスチレン標準粒子3500A(ThermoFisher製)
1.0μm粒子としてポリスチレン標準粒子4009A(ThermoFisher製)
2.0μm粒子としてポリスチレン標準粒子4202A(ThermoFisher製)
分離対象の粒子を含有する流体100Pとしては、0.05%(v/v)ツイーン20含有の1×PBS溶液(リン酸緩衝液)を用いた。0.05%(v/v)ツイーン20含有の1×PBS溶液は、実験前にポアサイズ0.1μmのシリンジフィルター(メルクミリポア社製)を用いて異物除去を行ってから用いた。
図1で示されるマイクロチップ10を、上述の製造実施例に基づき作製し、上述のサンプル調製実施例に基づき調製した。0.5、1.0、2.0μm標準粒子は、0.05%(v/v)ツイーン20含有の1×PBS溶液により、それぞれ5μg/mLの濃度となるよう調製した。従って、サンプル中に含まれるポリスチレン粒子全体の濃度は15μg/mLとなるよう調製した。
この時、マイクロチップ10の各流路について、流路の高さはすべて4.5μmとし、流路の端部に、基板11の上面に貫通するインレット14a、流体排出口104a、104b(それぞれ穴の直径2mm)を設けた。また、粒子検出部102の2つのアパーチャは、どちらも幅3.5μm、長さ20μmとした。また、式(1)において算出されるk値は、アパーチャ抵抗と、アパーチャから電極が挿入されているアウトレットまでの流路の抵抗比から、2.6とした。
また、測定結果をヒストグラムへまとめると図6の通りとなり、混合粒子でもピークが分離することを確認した。また、測定結果から得られた0.5μm標準粒子の濃度は、5.24μg/mLであり、1.0μm標準粒子の濃度は、4.38μg/mLであり、2.0μm標準粒子の濃度は、7.86μg/mLであった。また、測定結果から得られた0.5μm標準粒子の平均粒径は、0.511μmであり、1.0μm標準粒子の平均粒径は、0.991μmであり、2.0μm標準粒子の平均粒径は、2.145μmであった。
11 基板
14a インレット
50 粒子
51 粒子の流れる方向
52 アパーチャ形成構造
53 アパーチャ
54 電極
55 導線
56 電気測定器
57 電源
61 解析部
62 粒子検出流路
101 導入流路
101d 分岐流路
102 排出流路
102a’分岐流路
103 粒子検出部
104 アウトレット
110 分岐部
Claims (6)
- 流体中に存在する粒子を検出する粒子検出装置であって、
一端が流体導入口である導入流路と、
前記導入流路に分岐して接続された、2以上の排出流路とを含み、
前記排出流路が粒子検出部を備え、前記粒子検出部が、アパーチャと、電気検出器とを含み、
それぞれの前記粒子検出部のアパーチャ下流部に、前記電気検出器の電極が配置されているか、または外部接続可能な前記電極を配置可能な流体排出口を備えており、
前記2以上の排出流路における前記電極同士が導線を介して電気的に接続され、かつ、前記導線が電気測定器及び電源と電気的に接続されており、
電気的検知帯法により、前記アパーチャを通過する粒子を検出することを特徴とする前記装置。 - 2つの粒子検出部で粒子径の測定を行い、1つの粒子検出部で電気的な測定を行い、電気的な測定結果から前記粒子径を測定する前記2つの粒子検出部のうち、どちらを粒子が通過したかを判別することを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記導入流路にさらに設けた分岐流路が、電気的な測定を行う粒子検出部を備えることを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 前記排出流路にさらに設けた分岐流路にもアパーチャと電気検出器とを含む粒子検出部を備え、前記粒子検出部のアパーチャより下流部に電極を配置した流体排出口を備えていることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の装置。
- 各粒子検出部にあるアパーチャの検出できる粒子径範囲が実質的に同じであることを特徴とする、請求項1~4のいずれかに記載の装置。
- 各排出流路に備えたアパーチャの検出できる粒子径範囲の一部が互いに重複し、排出流路と当該排出流路に設けた分岐流路とに備えたアパーチャの検出できる粒子径範囲が実質的に同じであることを特徴とする請求項4に記載の装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017249651A JP7205056B2 (ja) | 2017-12-26 | 2017-12-26 | 粒子検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017249651A JP7205056B2 (ja) | 2017-12-26 | 2017-12-26 | 粒子検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019117050A JP2019117050A (ja) | 2019-07-18 |
JP7205056B2 true JP7205056B2 (ja) | 2023-01-17 |
Family
ID=67304246
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017249651A Active JP7205056B2 (ja) | 2017-12-26 | 2017-12-26 | 粒子検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7205056B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102575983B1 (ko) * | 2021-01-25 | 2023-09-06 | 서울대학교산학협력단 | 공기 중 에어로졸의 실시간 분석 장치 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20060286549A1 (en) | 2005-05-06 | 2006-12-21 | The Regents Of The University Of California | Microfluidic system for identifying or sizing individual particles passing through a channel |
JP2007017302A (ja) | 2005-07-07 | 2007-01-25 | Horiba Ltd | 粒子数計測装置 |
JP2007205831A (ja) | 2006-02-01 | 2007-08-16 | Omron Corp | 微粒子検出装置および微粒子検出方法 |
JP2013015496A (ja) | 2011-07-06 | 2013-01-24 | Sharp Corp | 粒子測定装置および粒子測定方法 |
WO2014155932A1 (ja) | 2013-03-26 | 2014-10-02 | ソニー株式会社 | 測定装置及び測定方法 |
-
2017
- 2017-12-26 JP JP2017249651A patent/JP7205056B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20060286549A1 (en) | 2005-05-06 | 2006-12-21 | The Regents Of The University Of California | Microfluidic system for identifying or sizing individual particles passing through a channel |
JP2007017302A (ja) | 2005-07-07 | 2007-01-25 | Horiba Ltd | 粒子数計測装置 |
JP2007205831A (ja) | 2006-02-01 | 2007-08-16 | Omron Corp | 微粒子検出装置および微粒子検出方法 |
JP2013015496A (ja) | 2011-07-06 | 2013-01-24 | Sharp Corp | 粒子測定装置および粒子測定方法 |
WO2014155932A1 (ja) | 2013-03-26 | 2014-10-02 | ソニー株式会社 | 測定装置及び測定方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019117050A (ja) | 2019-07-18 |
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