JP7198166B2 - イオン源異常検出装置、およびそれを用いた質量分析装置 - Google Patents
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Description
2:イオン源噴霧チャンバ
3:照明手段
4:撮影手段
5:照明保護窓
6:カメラ保護窓
7:照明およびカメラ制御手段
8:画像記憶手段
9:噴霧画素および輝度情報抽出手段
10:比較手段および異常判断手段
11:噴霧状態監視手段
12:異常判定画素および異常判定条件記憶手段
13:異常検知情報
14:異常判定条件情報
15:質量分析装置制御手段
16:噴霧制御手段
17:試料溶液供給管
18:噴霧ガス供給管
19:試料溶液
20:噴霧ガス流
21:加熱ガス流
22:噴霧領域(散乱領域)
23:噴霧領域(非散乱領域)
34:判定画素(発光検知領域)
35:判定画素(非発光検知領域)
26:噴霧観測信号
Claims (11)
- 被分析成分を含有する試料液体を、噴霧手段を用いて、イオン源噴霧チャンバ内に噴霧するとともに、前記被分析成分をイオン化するイオン源の異常を検知するイオン源異常検出装置であって、
前記イオン源噴霧チャンバ内に光を照射する照射手段と、前記イオン源噴霧チャンバ内を撮影する撮影手段と、前記撮影手段で撮影された前記噴霧手段の噴霧先端部分を含む撮影画像を記憶する撮影画像記憶手段と、前記撮影画像における少なくとも一つ以上の判定画素の輝度諧調値について、その設定値を予め設定し記憶する噴霧状態判定条件設定手段と、記憶された撮影画像における前記判定画素の輝度諧調値と前記設定値を用いて噴霧状態の異常を検出する噴霧異常検出手段を備え、
前記照射手段と前記撮影手段は、前記イオン源噴霧チャンバに設けた窓ガラスを介して前記イオン源噴霧チャンバの外側に、かつ反射光の入り込みを抑制可能な光線軸の角度に配置し、
前記噴霧異常検出手段は、前記噴霧手段の噴霧先端部分を含む前記撮影画像について、発光検知領域と非発光検知領域があらかじめ設定されており、発光検知領域内に設定された前記判定画素の輝度諧調値が前記設定値よりも低く、または非発光検知領域内に設定された前記判定画素の輝度諧調値が前記設定値よりも高いことをもって噴霧状態の異常を検出し、
前記発光検知領域は、前記噴霧手段の噴霧先端部分近傍に設定され、前記非発光検知領域は、前記噴霧手段の噴霧先端部分から離れた前記発光検知領域の外側の位置に設定されていることを特徴とするイオン源異常検出装置。 - 請求項1に記載のイオン源異常検出装置であって、
前記非発光検知領域内に設定された前記判定画素の位置は、前記噴霧手段の噴霧先端部分から離れた直下の位置、並びに前記噴霧手段の噴霧先端部分から離れた両側の位置に設定されていることを特徴とするイオン源異常検出装置。 - 請求項1記載のイオン源異常検出装置であって、
前記被分析成分を含有する試料液体を噴霧する噴霧手段は、試料液体を供給する試料供給細管と前記試料供給細管の先端部に高速気体噴流を供給する高速気体噴流供給手段より構成されることを特徴とするイオン源異常検出装置。 - 請求項1に記載のイオン源異常検出装置であって、
前記イオン源噴霧チャンバは、その内面およびその内部に設置される機器の全面もしくは一部に、照射光の反射を抑制する着色もしくは表面処理が施されていることを特徴とするイオン源異常検出装置。 - 請求項1に記載のイオン源異常検出装置であって、
前記噴霧異常検出手段が異常を判定した際に、噴霧異常発生信号を発生させことを特徴とするイオン源異常検出装置。 - 請求項1に記載のイオン源異常検出装置であって、
前記噴霧異常検出手段の判定結果に応じて、噴霧ガス圧、試料液体流量、ノズル印加電圧、噴霧ガス温度などの液体試料を噴霧しイオン化するためのイオン源パラメータの少なくとも一つ以上を可変調整する噴霧条件制御手段を備えることを特徴とするイオン源異常検出装置。 - 請求項1に記載のイオン源異常検出装置であって、
前記噴霧異常検出手段の判定結果に応じて、前記噴霧手段のつまり解消や洗浄を行うための噴霧手段洗浄プロセスを備えるとともに、前記噴霧異常検出手段の判定結果により、質量分析を中断し、前記噴霧手段洗浄プロセスを動作させることを特徴とするイオン源異常検出装置。 - 請求項1に記載のイオン源異常検出装置であって、
前記噴霧手段による噴霧を停止させた状態で画像を取得し、噴霧停止時の取得画像における判定画素が異常範囲か否かを判定することで、非噴霧時欠陥画素を判定する欠陥画素検出手段を備え、前記欠陥画素検出手段により検出された欠陥画素を、噴霧時の異常検知のための判定画素から除いて、噴霧異常の判定処理することを特徴とするイオン源異常検出装置。 - 請求項1に記載のイオン源異常検出装置であって、
噴霧停止時の画像を取得記憶するとともに、噴霧時の撮影画像の輝度情報から噴霧停止時の撮影画像の輝度情報を差分処理する差分処理手段を有し、前記差分処理後の画像を前記噴霧異常検出手段で異常判定画像として用いることを特徴とするイオン源異常検出装置。 - 請求項9に記載のイオン源異常検出装置であって、
少なくとも2つ以上の噴霧状態判定条件を記憶可能にするとともに、測定対象の試料または試料溶媒条件もしくは、噴霧ガス圧、試料液体流量、ノズル印加電圧、噴霧ガス温度などの液体試料を噴霧しイオン化するためのイオン源パラメータ条件の少なくとも一つ以上によって、前記2つ以上の噴霧状態判定条件を切替える噴霧状態判定条件切替手段を備えることを特徴とするイオン源異常検出装置。 - 請求項1に記載のイオン源異常検出装置を備えた質量分析装置。
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