JP7194552B2 - 真空吸引装置 - Google Patents
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基体と、前記基体の主面において線状に延在して前記基体の主面から上方に突出するリブと、3つ以上の前記リブが指定方向に並列されて構成されている複数のリブ群と、前記リブ群において隣り合う一対の前記リブによって画定されている複数の溝と、前記基体に形成されて前記複数の溝のぞれぞれと連通する複数の吸引経路と、を備えている真空吸引装置であって、
前記リブ群を構成する隣り合う一対の前記リブのそれぞれによって画定される前記複数の溝のそれぞれに対して前記基体の主面に開口する開口部を介して前記吸引経路が連通しており、
前記リブ群のなかで、前記複数の溝に対する複数の前記開口部のそれぞれは、平面視で前記基体の中心から半径方向外側に向かって直線状の一列の群になるように配列され、さらに前記開口部の一列の群は前記基体の中心に対して回転対称性を有するように配置されており、
前記リブ群を構成する前記リブの前記指定方向におけるピッチは、前記リブの前記指定方向における幅の1.5倍~1.5倍+3mmの範囲に含まれ、かつ、前記リブ群を構成する前記リブの前記指定方向における幅が0.05~3mmの範囲に含まれていることを特徴とする。
以下、図面を用いて本発明の第1実施形態を説明する。図1及び図2に示すように、本発明の第1実施形態に係る真空吸引装置10は、ウエハ1をチャック部11に吸着する装置である。真空吸引装置10は、台部(不図示)に設けられ平面視で円形状を呈するチャック部11と、チャック部11に接続されウエハ1を吸引する吸引部30とを備えている。
吸引部30は、環状リブ群20を構成する隣り合う一対の環状リブ15のそれぞれによって画定される複数の溝16のそれぞれに対して基体13の主面14に開口する複数の開口部31と、基体13に形成され複数の開口部31のそれぞれを介して複数の溝16のそれぞれと連通する複数の吸引経路32と、複数の開口部31のそれぞれから複数の吸引経路32のそれぞれに吸引される空気の流れを制御する複数の吸引制御弁33と、複数の吸引経路32の空気を吸引する吸引ポンプ34と、該吸引ポンプ34及び複数の吸引制御弁33の作動を制御する制御部35とを備えている。
図4Aに示すように、ウエハ1は、全体として円盤状であり、チャック部11に吸着される前の状態では、完全に平坦な形状ではなく、若干波打ち形状を呈している。真空吸引装置10の上端面18に吸引しない状態でウエハ1を載置すると、一部が上端面18に接触し、一部が上端面18から浮いた状態となる。吸引ポンプ34を作動させ、第1のリブ群20aに連通する第1の吸引制御弁33aを開く。すると矢印(1)のように、第1のリブ群20aの溝16内の空気が吸引され、ウエハ1が第1のリブ群20aを構成するリブ15の上端面18に吸着される。
真空吸引装置10は、基体13の主面14から上方に突出する3つ以上のリブ15を等間隔に指定方向に並列に並べたリブ群20を有し、隣り合う一対のリブ15のそれぞれによって画定される複数の溝16のそれぞれに開口部31を設けて吸引経路32を連通させただけであるので、構造を簡単にできる。
次に本発明の第2実施形態を説明する。なお、第1実施形態と同様の構成については、説明を省略し、符号を流用するものとする。
第1領域20a1では、一方の開口部31の列と他方の開口部31の列との中間線と平行に、基準点(中心)Aから扇形状の弧まで2本のリブ15が形成され、これら2本のリブ15と平行に、複数の開口部31それぞれの基準点A側から残りのリブ15が形成されている。
さらに、リブ群20毎に独立して吸引を制御することによりウエハ1を揺動させ、大きく撓んだウエハ1に対し吸引に適切な個所から吸引を開始でき、ウエハ1の平面度矯正が容易になる。
13… 基体
14… 主面
15… リブ(環状リブ)
16… 溝
20、20a~20f… リブ群(環状リブ群)
31… 開口部
32、32a~32e… 吸引経路
W… リブ幅
L… ピッチ
Claims (6)
- 基体と、前記基体の主面において線状に延在して前記基体の主面から上方に突出するリブと、3つ以上の前記リブが指定方向に並列されて構成されている複数のリブ群と、前記リブ群において隣り合う一対の前記リブによって画定されている複数の溝と、前記基体に形成されて前記複数の溝のぞれぞれと連通する複数の吸引経路と、を備えている真空吸引装置であって、
前記リブ群を構成する隣り合う一対の前記リブのそれぞれによって画定される前記複数の溝のそれぞれに対して前記基体の主面に開口する開口部を介して前記吸引経路が連通しており、
前記リブ群のなかで、前記複数の溝に対する複数の前記開口部のそれぞれは、平面視で前記基体の中心から半径方向外側に向かって直線状の一列の群になるように配列され、さらに前記開口部の一列の群は前記基体の中心に対して回転対称性を有するように配置されており、
前記リブ群を構成する前記リブの前記指定方向におけるピッチは、前記リブの前記指定方向における幅の1.5倍~1.5倍+3mmの範囲に含まれ、かつ、前記リブ群を構成する前記リブの前記指定方向における幅が0.05~3mmの範囲に含まれていることを特徴とする真空吸引装置。 - 請求項1記載の真空吸引装置であって、
前記基体の主面に前記複数のリブ群を備え、前記複数のリブ群のうち一のリブ群によって画定される前記複数の溝のそれぞれと連通する前記吸引経路と、前記複数のリブ群のうち他のリブ群によって画定される前記複数の溝のそれぞれと連通する前記吸引経路とは、相互に独立した吸引経路を構成していることを特徴とする真空吸引装置。 - 請求項2記載の真空吸引装置であって、
前記複数のリブ群を構成するリブ群のそれぞれは、同心状に配置されている3つ以上の前記リブとしての3つ以上の環状リブにより構成される環状リブ群であることを特徴とする真空吸引装置。 - 請求項3記載の真空吸引装置であって、
複数の前記環状リブ群のうち一の前記環状リブ群の内周側に、他の前記環状リブ群が配置されていることを特徴とする真空吸引装置。 - 請求項4項記載の真空吸引装置であって、
前記一の環状リブ群の環状リブと、前記他の環状リブ群の環状リブとが同心状に配置されていることを特徴とする真空吸引装置。 - 請求項1~5のいずれか1項に記載の真空吸引装置であって、
前記基体の主面に垂直な方向から見たときに、前記基体の主面の面積に対する前記リブ群と前記溝が形成される領域の面積の割合が60%以上100%以下であることを特徴とする真空吸引装置。
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