JP7192602B2 - ガス濃度測定装置の較正方法 - Google Patents
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Description
所定の濃度を有する標準ガスをガス供給源から前記試料セル中に供給し、該試料セル中に光を通過させてその通過した光を検出器で検出するという動作を、互いに異なる濃度を有する複数の標準ガスについて繰り返し実行する測定ステップと、
前記検出器の出力と前記標準ガスの濃度との二次元プロットを多項式近似によりフィッティングして較正式を作成する較正式作成ステップと、
前記較正式について1階微分を行って1階微分式を算出する1階微分ステップと、
前記較正式について2階微分を行って2階微分式を算出する2階微分ステップと、
前記1階微分式及び前記2階微分式のそれぞれにおいて値がマイナスになるか否かを判定する判定ステップと、
前記判定ステップにおいて、前記1階微分式で値がマイナスになるか、又は、前記2階微分式で値がマイナスになるかのいずれか一方であるときに、前記較正式が異常であると判断する異常判定ステップと、
を有するものである。
図1は、本発明に係る較正方法を実施するガス濃度測定装置の一実施形態の概略構成図である。このガス濃度測定装置は、シングルビーム方式のNDIR法により試料ガス中の特定のガス成分の濃度を測定する装置である。但し、シングルビーム方式をダブルビーム方式に代えることは当業者にとって容易なことは明らかである。
本実施形態のガス濃度測定における特徴的な測定動作を概略的に説明する。このときには、較正式記憶部63に、ガス成分濃度と検出器出力との関係を較正するための較正式が格納されているものとする。
図3は、較正式記憶部63に格納される較正式を表す曲線(較正曲線)の一例を示す図である。較正式を算出する際には、標準ガス発生部9を試料セル4に接続し、目的成分のスパンバス(成分ガス貯留部92に貯留されているガス)を1、0.8、0.6、0.4、0.2に希釈したガスを標準ガスとして順番に測定する。そして、それら各濃度に対応する検出器出力を取得する。較正式作成部61は、導入したガスの濃度(「1」がスパンパスの濃度、「0」が濃度ゼロ)をx、ガス濃度「1」に対応する検出器出力を「1」とし、ガス濃度「0」に対応する検出器出力を「0」としたときの相対的な検出器出力をyとして、図3に示すようなグラフ上に実測による検出器出力をプロットする。そして、その複数(6点)のプロット点に基づく最小二乗法により所定の次数の多項式の係数を決定し、その多項式を較正式とする。
図2は、較正式チェック部62で実施される較正式異常検出処理の手順を示すフローチャートである。
まず、較正式チェック部62は較正式記憶部63から処理対象の較正式を読み込む(ステップS1)。この較正式は、図3や図4に示すような較正曲線を表す多項式である。次に、その較正式をxについて1階微分して1階微分式y’を算出する(ステップS2)。
例えば上記説明では、較正式のチェックを装置のメーカーが実施することを前提としていたが、ユーザー側で同様のチェックが可能であることは明白である。また、標準ガス分割部93にマスフローコントローラ式ガス希釈器を使用した場合でも、同様の効果が得られることは明白である。
以上、図面を参照して本発明における種々の実施形態を説明したが、最後に、本発明の種々の態様について説明する。
所定の濃度を有する標準ガスをガス供給源から前記試料セル中に供給し、該試料セル中に光を通過させてその通過した光を検出器で検出するという動作を、互いに異なる濃度を有する複数の標準ガスについて繰り返し実行する測定ステップと、
前記検出器の出力と前記標準ガスの濃度との二次元プロットを多項式近似によりフィッティングして較正式を作成する較正式作成ステップと、
前記較正式について1階微分を行って1階微分式を算出する1階微分ステップと、
前記較正式について2階微分を行って2階微分式を算出する2階微分ステップと、
前記1階微分式及び前記2階微分式のそれぞれにおいて値がマイナスになるか否かを判定する判定ステップと、
前記判定ステップにおいて、前記1階微分式で値がマイナスになるか、又は、前記2階微分式で値がマイナスになるかのいずれか一方であるときに、前記較正式が異常であると判断する異常判定ステップと、
を有するものである。
前記ガス供給源は、標準ガス分割器を有し、
前記異常判定ステップにおいて前記較正式が異常であると判断されたときに、前記標準ガス分割器を調整する調整ステップ、をさらに含む、ものとすることができる。
前記ガス濃度測定装置は、前記較正式を表示する表示部を備え、
前記異常判定ステップでは、前記較正式が異常であると判断したときに、前記表示部に警告表示を行うようにすることができる。
前記ガス濃度測定装置は、NDIR法により試料ガス中の特定のガス成分の濃度を測定するものであるものとすることができる。
2…回転セクタ
3…光学フィルタ
4…試料セル
5…検出器
6…信号処理部
61…較正式作成部
62…較正式チェック部
63…較正式記憶部
64…濃度換算部
7…操作部
8…表示部
9…標準ガス発生部
91…希釈ガス貯留部
92…成分ガス貯留部
93…標準ガス分割部
Claims (4)
- 試料ガスが収容される試料セルと、該試料セル中に光を通過させてその通過した光を検出する検出器と、該検出器の出力に基づいて前記試料ガスの濃度を求める演算部と、を備えたガス濃度測定装置を較正する方法であって、
所定の濃度を有する標準ガスをガス供給源から前記試料セル中に供給し、該試料セル中に光を通過させてその通過した光を検出器で検出するという動作を、互いに異なる濃度を有する複数の標準ガスについて繰り返し実行する測定ステップと、
前記検出器の出力と前記標準ガスの濃度との二次元プロットを多項式近似によりフィッティングして較正式を作成する較正式作成ステップと、
前記較正式について1階微分を行って1階微分式を算出する1階微分ステップと、
前記較正式について2階微分を行って2階微分式を算出する2階微分ステップと、
前記1階微分式及び前記2階微分式のそれぞれにおいて値がマイナスになるか否かを判定する判定ステップと、
前記判定ステップにおいて、前記1階微分式で値がマイナスになるか、又は、前記2階微分式で値がマイナスになるかのいずれか一方であるときに、前記較正式が異常であると判断する異常判定ステップと、
を有する、ガス濃度測定装置の較正方法。 - 前記ガス供給源は、標準ガス分割器を有し、
前記異常判定ステップにおいて前記較正式が異常であると判断されたときに、前記標準ガス分割器を調整する調整ステップ、をさらに含む、請求項1に記載のガス濃度測定装置の較正方法。 - 前記ガス濃度測定装置は、前記較正式を表示する表示部を備え、
前記異常判定ステップでは、前記較正式が異常であると判断したときに、前記表示部に警告表示を行う、請求項1又は2に記載のガス濃度測定装置の較正方法。 - 前記ガス濃度測定装置は、NDIR法により試料ガス中の特定のガス成分の濃度を測定するものである、請求項1~3のいずれか1項に記載のガス濃度測定装置の較正方法。
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