JP7190867B2

JP7190867B2 - industrial robot hand and industrial robot

Info

Publication number: JP7190867B2
Application number: JP2018200012A
Authority: JP
Inventors: 隆之矢澤; 弘登中島
Original assignee: Nidec Sankyo Corp
Current assignee: Nidec Sankyo Corp
Priority date: 2018-10-24
Filing date: 2018-10-24
Publication date: 2022-12-16
Anticipated expiration: 2038-10-24
Also published as: CN111086869B; CN111086869A; JP2020066097A

Description

本発明は、搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドに関する。また、本発明は、かかるハンドを備える産業用ロボットに関する。 The present invention relates to a hand of an industrial robot that transports objects to be transported. The present invention also relates to an industrial robot equipped with such a hand.

従来、露光装置で使用されるマスクを搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、マスクが搭載されるハンドと、ハンドの基端側を支持するリニア駆動部と、リニア駆動部を支持する本体部とを備えている。ハンドは、直線状に形成される２本のハンドフォークを備えている。２本のハンドフォークは、互いに平行になるように配置されている。マスクは、２本のハンドフォークに搭載されている。 2. Description of the Related Art Conventionally, an industrial robot that transports a mask used in an exposure apparatus is known (for example, see Patent Document 1). The industrial robot described in Patent Literature 1 includes a hand on which a mask is mounted, a linear drive section that supports the base end side of the hand, and a body section that supports the linear drive section. The hand has two hand forks formed in a straight line. The two hand forks are arranged parallel to each other. The mask is mounted on two hand forks.

特開２０１０－７６０６６号公報JP 2010-76066 A

特許文献１に記載の産業用ロボットが、たとえば、様々な大きさのマスクを製造するマスクの製造ラインで使用される場合、この産業用ロボットは、様々な大きさのマスクをハンドに搭載して搬送する必要がある。 When the industrial robot described in Patent Document 1 is used, for example, in a mask manufacturing line that manufactures masks of various sizes, the industrial robot carries masks of various sizes on its hands. need to be transported.

そこで、本発明の課題は、搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドにおいて、様々な大きさの搬送対象物を適切に搭載することが可能な産業用ロボットのハンドを提供することにある。また、本発明の課題は、かかるハンドを備える産業用ロボットを提供することにある。 Accordingly, an object of the present invention is to provide an industrial robot hand capable of appropriately mounting objects of various sizes in the hand of an industrial robot that conveys objects. Another object of the present invention is to provide an industrial robot having such a hand.

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットのハンドは、搬送対象物を搬送する産業用ロボットのハンドにおいて、直線状に形成され互いに平行に配置される複数本のハンドフォークと、ハンドフォークの上面側に配置され搬送対象物の下面を支持するとともにハンドフォークの長手方向への搬送対象物の移動を規制する支持部材と、ハンドフォークの長手方向に支持部材を移動させる移動機構と、支持部材が固定される固定部材と、固定部材の下面に固定されるゴム製のゴムパッドと、ゴムパッドがハンドフォークの上面に所定の接触圧で接触する接触位置とゴムパッドがハンドフォークの上面から離れる離間位置との間で固定部材を移動させる第２移動機構とを備えることを特徴とする。 In order to solve the above-described problems, an industrial robot hand of the present invention is an industrial robot hand for transporting an object to be transported. a support member arranged on the upper surface side of the fork to support the lower surface of the object to be conveyed and to restrict movement of the object to be conveyed in the longitudinal direction of the hand fork; a moving mechanism for moving the support member in the longitudinal direction of the hand fork ; A fixed member to which the support member is fixed, a rubber pad fixed to the lower surface of the fixed member, a contact position where the rubber pad contacts the upper surface of the hand fork with a predetermined contact pressure, and a distance between the rubber pad and the upper surface of the hand fork. and a second moving mechanism for moving the fixed member between positions .

本発明の産業用ロボットのハンドは、搬送対象物の下面を支持するとともにハンドフォークの長手方向への搬送対象物の移動を規制する支持部材を、ハンドフォークの長手方向に移動させる移動機構を備えている。そのため、本発明では、搬送対象物の大きさに応じて、搬送対象物の下面を適切に支持することが可能な位置に支持部材を移動させることが可能になる。したがって、本発明では、様々な大きさの搬送対象物をハンドに適切に搭載することが可能になる。また、本発明では、ハンドは、支持部材が固定される固定部材と、固定部材の下面に固定されるゴム製のゴムパッドと、ゴムパッドがハンドフォークの上面に所定の接触圧で接触する接触位置とゴムパッドがハンドフォークの上面から離れる離間位置との間で固定部材を移動させる第２移動機構とを備えている。そのため、接触位置に固定部材が配置されているときの、ゴムパッドとハンドフォークの上面との摩擦力を利用して、ハンドフォークの長手方向における所定の位置で支持部材を停止させておくことが可能になる。また、固定部材を離間位置に移動させることで、移動機構によって、ハンドフォークの長手方向に支持部材を容易に移動させることが可能になる。 The industrial robot hand of the present invention includes a movement mechanism that moves, in the longitudinal direction of the hand fork, a support member that supports the lower surface of the object to be conveyed and restricts movement of the object in the longitudinal direction of the hand fork. ing. Therefore, according to the present invention, it is possible to move the support member to a position where the lower surface of the object to be conveyed can be appropriately supported according to the size of the object to be conveyed. Therefore, according to the present invention, it is possible to appropriately mount objects of various sizes on the hand. Further, in the present invention, the hand includes a fixed member to which the supporting member is fixed, a rubber pad fixed to the lower surface of the fixed member, and a contact position where the rubber pad contacts the upper surface of the hand fork with a predetermined contact pressure. and a second moving mechanism for moving the fixed member between a separated position where the rubber pad is separated from the upper surface of the hand fork. Therefore, it is possible to stop the support member at a predetermined position in the longitudinal direction of the hand fork by using the frictional force between the rubber pad and the upper surface of the hand fork when the fixing member is arranged at the contact position. become. Further, by moving the fixing member to the separated position, the moving mechanism can easily move the supporting member in the longitudinal direction of the hand fork.

本発明において、ハンドは、ハンドフォークに対してハンドフォークの長手方向に移動可能な支持部材と、ハンドフォークの上面側に固定され搬送対象物の下面を支持する第２支持部材とを備え、支持部材は、ハンドフォークの長手方向における一方側への搬送対象物の移動を規制し、第２支持部材は、ハンドフォークの長手方向における他方側への搬送対象物の移動を規制することが好ましい。このように構成すると、ハンドフォークの長手方向における他方側への搬送対象物の移動を規制する第２支持部材が、ハンドフォークに対してハンドフォークの長手方向に移動可能になっている場合と比較して、ハンドの構成を簡素化することが可能になる。 In the present invention, the hand includes a supporting member that can move in the longitudinal direction of the hand fork, and a second supporting member that is fixed to the upper surface of the hand fork and supports the lower surface of the object to be conveyed. Preferably, the member restricts movement of the object to be conveyed to one side in the longitudinal direction of the hand fork, and the second support member restricts movement of the object to be conveyed to the other side in the longitudinal direction of the hand fork. With this configuration, compared to the case where the second support member that restricts movement of the object to be conveyed to the other side in the longitudinal direction of the hand fork is movable in the longitudinal direction of the hand fork with respect to the hand fork. By doing so, it becomes possible to simplify the configuration of the hand.

本発明において、第２移動機構は、エアシリンダであり、ゴムパッドは、接触位置に固定部材が配置されているときに、エアシリンダによってハンドフォークの上面に接触させられているか、または、押し付けられていることが好ましい。このように構成すると、接触位置に固定部材が配置されているときの、ゴムパッドとハンドフォークの上面との摩擦力を高めることが可能になるため、ハンドフォークの長手方向における所定の位置で支持部材を確実に停止させておくことが可能になる。 In the present invention, the second moving mechanism is an air cylinder, and the rubber pad is brought into contact with or pressed against the upper surface of the hand fork by the air cylinder when the fixing member is arranged at the contact position. preferably. With this configuration, it is possible to increase the frictional force between the rubber pad and the upper surface of the hand fork when the fixing member is arranged at the contact position, so that the support member can be mounted at a predetermined position in the longitudinal direction of the hand fork. can be reliably stopped.

本発明のハンドは、ハンドが連結されるとともにハンドを保持するハンド保持部を備える産業用ロボットであって、ハンドフォークの長手方向の一方を第１方向とし、第１方向の反対方向を第２方向とすると、搬送対象物は、ハンドフォークの第２方向側部分に搭載され、移動機構の駆動源は、ハンド保持部へのハンドの連結部分よりも第１方向側に配置されている産業用ロボットに用いることができる。 The hand of the present invention is an industrial robot provided with a hand holding portion that holds the hand while the hand is connected, wherein one of the longitudinal directions of the hand fork is defined as the first direction, and the opposite direction of the first direction is defined as the second direction. In terms of direction, the object to be conveyed is mounted on the second direction side portion of the hand fork, and the drive source of the moving mechanism is arranged on the first direction side of the connecting portion of the hand to the hand holding portion. Can be used for robots.

この産業用ロボットでは、様々な大きさの搬送対象物をハンドに適切に搭載することが可能になる。また、この産業用ロボットでは、ハンドフォークの長手方向において、ハンドに搭載される搬送対象物と移動機構の駆動源との距離を離すことが可能になるため、比較的高温の搬送対象物がハンドに搭載される場合であっても、搬送対象物の熱の影響による移動機構の駆動源の損傷を防止することが可能になる。 In this industrial robot, it is possible to appropriately mount objects of various sizes on the hand. In addition, in this industrial robot, it is possible to separate the object to be conveyed mounted on the hand from the drive source of the moving mechanism in the longitudinal direction of the hand fork. Even in the case of being mounted on a device, it is possible to prevent the drive source of the moving mechanism from being damaged by the heat of the object to be conveyed.

本発明において、ハンドは、第２移動機構が取り付けられるとともに支持部材と一緒にハンドフォークの長手方向に移動する可動部材を備え、第２移動機構は、可動部材の第１方向端側に取り付けられていることが好ましい。 In the present invention , the hand includes a movable member to which the second moving mechanism is attached and moves in the longitudinal direction of the hand fork together with the support member, and the second moving mechanism is attached to the first direction end side of the movable member. It is preferable that

このように構成すると、ハンドフォークの長手方向において、ハンドに搭載される搬送対象物と第２移動機構との距離を離すことが可能になる。したがって、比較的高温の搬送対象物がハンドに搭載される場合であっても、搬送対象物の熱の影響による第２移動機構の損傷を防止することが可能になる。 With this configuration, it is possible to increase the distance between the object to be conveyed mounted on the hand and the second moving mechanism in the longitudinal direction of the hand fork . Therefore, even when an object to be conveyed having a relatively high temperature is mounted on the hand, it is possible to prevent the second moving mechanism from being damaged by the heat of the object to be conveyed.

本発明のハンドは、ハンドが連結されるとともにハンドを保持するハンド保持部と、ハンドフォークに搭載された搬送対象物の水平方向に対する傾きを補正する傾き補正機構とを備える産業用ロボットに用いることができる。この産業用ロボットでは、様々な大きさの搬送対象物をハンドに適切に搭載することが可能になる。また、この産業用ロボットでは、ハンドフォークに搭載された搬送対象物の重量によってハンドフォークが撓んでも、ハンドフォークに搭載された搬送対象物の水平方向に対する傾きを補正することが可能になる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The hand of the present invention can be used in an industrial robot comprising a hand holding portion to which the hand is connected and holding the hand, and an inclination correcting mechanism for correcting the inclination of the conveyed object mounted on the hand fork with respect to the horizontal direction. can be done. In this industrial robot, it is possible to appropriately mount objects of various sizes on the hand. Further, in this industrial robot, even if the hand fork is bent by the weight of the object to be conveyed mounted on the hand fork, it is possible to correct the inclination of the object to be conveyed mounted on the hand fork with respect to the horizontal direction.

以上のように、本発明の産業用ロボットのハンドでは、様々な大きさの搬送対象物をハンドに適切に搭載することが可能になる。また、本発明の産業用ロボットでは、様々な大きさの搬送対象物をハンドに適切に搭載することが可能になる。 As described above, in the hand of the industrial robot of the present invention, it is possible to appropriately mount objects of various sizes on the hand. Also, in the industrial robot of the present invention, it becomes possible to appropriately mount objects of various sizes on the hand.

本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの側面図である。1 is a side view of an industrial robot according to an embodiment of the invention; FIG. 図１に示す産業用ロボットの平面図である。FIG. 2 is a plan view of the industrial robot shown in FIG. 1; 図１に示すハンドの構造を説明するための平面図である。FIG. 2 is a plan view for explaining the structure of the hand shown in FIG. 1; 図１に示すハンドの構造を説明するための図である。2 is a diagram for explaining the structure of the hand shown in FIG. 1; FIG. （Ａ）は、図１のＥ部の構成を説明するための拡大図であり、（Ｂ）は、図１のＦ部の構成を説明するための拡大図である。(A) is an enlarged view for explaining the configuration of the E section in FIG. 1, and (B) is an enlarged view for explaining the configuration of the F section in FIG. （Ａ）は、図２のＧ部の構成を説明するための拡大図であり、（Ｂ）は、図２のＨ部の構成を説明するための拡大図である。(A) is an enlarged view for explaining the configuration of the G section in FIG. 2, and (B) is an enlarged view for explaining the configuration of the H section in FIG. （Ａ）は、図４（Ａ）のＪ部の拡大図であり、（Ｂ）は、図４（Ｂ）のＫ部の拡大図である。(A) is an enlarged view of the J section of FIG. 4(A), and (B) is an enlarged view of the K section of FIG. 4(B). 図１のＭ部の構成を説明するための拡大図である。2 is an enlarged view for explaining the configuration of an M section in FIG. 1; FIG. 図８のＮ－Ｎ断面の構成を説明するための図である。FIG. 9 is a diagram for explaining the configuration of the NN cross section of FIG. 8;

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

（産業用ロボットの全体構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の側面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の平面図である。 (Overall configuration of industrial robot)
FIG. 1 is a side view of an industrial robot 1 according to an embodiment of the invention. FIG. 2 is a plan view of the industrial robot 1 shown in FIG. 1. FIG.

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、所定の搬送対象物２を搬送するための水平多関節型のロボットである。本形態の搬送対象物２は、露光装置等で使用されるマスクである。したがって、以下では、搬送対象物２を「マスク２」とする。マスク２は、たとえば、長方形の平板状に形成されている。本形態のロボット１は、様々な大きさのマスク２を製造するマスク２の製造ラインに設置されており、様々な大きさのマスク２を搬送することが可能になっている。たとえば、ロボット１は、最大で縦幅および横幅が２０００（ｍｍ）程度のマスク２を搬送することが可能になっているとともに、最小で縦幅および横幅が８００（ｍｍ）程度のマスク２を搬送することが可能になっている。 An industrial robot 1 (hereinafter referred to as "robot 1") of this embodiment is a horizontal articulated robot for transporting a predetermined transport object 2. As shown in FIG. The conveying object 2 of this embodiment is a mask used in an exposure apparatus or the like. Therefore, the conveying object 2 is hereinafter referred to as "mask 2". The mask 2 is formed, for example, in the shape of a rectangular flat plate. The robot 1 of this embodiment is installed in a mask 2 manufacturing line that manufactures masks 2 of various sizes, and is capable of transporting masks 2 of various sizes. For example, the robot 1 is capable of transporting a mask 2 with a maximum length and width of about 2000 (mm), and a minimum height and width of about 800 (mm). It is possible to

ロボット１は、マスク２が搭載されるハンド３と、ハンド３が先端側に回動可能に連結されるアーム４と、アーム４を支持する本体部５と、本体部５を水平方向に移動可能に支持するベース６とを備えている。本体部５は、アーム４の基端側を支持するとともに昇降可能なアームサポート７と、アームサポート７を昇降可能に保持する保持フレーム８と、本体部５の下端部分を構成するとともにベース６に対して水平移動可能な基台９と、保持フレーム８の下端が固定されるとともに基台９に対して回動可能な旋回フレーム１０とを備えている。 The robot 1 includes a hand 3 on which a mask 2 is mounted, an arm 4 to which the hand 3 is rotatably connected to the tip side, a main body 5 that supports the arm 4, and the main body 5 that can move horizontally. and a base 6 that supports the The main body 5 includes an arm support 7 that supports the base end of the arm 4 and can be raised and lowered, a holding frame 8 that holds the arm support 7 so that it can be raised and lowered, and a lower end portion of the main body 5. A horizontally movable base 9 and a revolving frame 10 to which the lower end of the holding frame 8 is fixed and rotatable with respect to the base 9 are provided.

アーム４は、第１アーム部１２と第２アーム部１３との２個のアーム部によって構成されている。第１アーム部１２の基端側は、アームサポート７に回動可能に連結されている。第１アーム部１２の先端側には、第２アーム部１３の基端側が回動可能に連結されている。第２アーム部１３の先端側には、ハンド３が回動可能に連結されている。第１アーム部１２と第２アーム部１３とハンド３とは、下側から上側に向かってこの順番で配置されている。ロボット１は、アーム４を伸縮させるアーム駆動機構を備えている。本形態のアーム４は、ハンド３が連結されるとともにハンド３を保持するハンド保持部である。 The arm 4 is composed of two arm portions, a first arm portion 12 and a second arm portion 13 . The base end side of the first arm portion 12 is rotatably connected to the arm support 7 . The base end side of the second arm portion 13 is rotatably connected to the distal end side of the first arm portion 12 . The hand 3 is rotatably connected to the distal end side of the second arm portion 13 . The first arm portion 12, the second arm portion 13, and the hand 3 are arranged in this order from the bottom to the top. The robot 1 has an arm driving mechanism that extends and retracts the arm 4 . The arm 4 of this embodiment is a hand holding portion that holds the hand 3 while being connected to the hand 3 .

保持フレーム８は、上下方向に細長い直方体の柱状に形成されている。保持フレーム８は、アームサポート７を介してハンド３およびアーム４を昇降可能に保持している。ロボット１は、保持フレーム８に対してアームサポート７を昇降させる昇降機構と、アームサポート７を上下方向へ案内するガイド機構とを備えている。保持フレーム８の下端は、旋回フレーム１０に固定されている。上述のように、旋回フレーム１０は、基台９に対して回動可能となっており、基台９は、ベース６に対して水平移動可能となっている。ロボット１は、基台９に対して旋回フレーム１０を回動させる回動機構と、ベース６に対して基台９を水平移動させる水平移動機構とを備えている。 The holding frame 8 is formed in the shape of a vertically elongated rectangular parallelepiped column. The holding frame 8 holds the hand 3 and the arm 4 via the arm support 7 so as to be able to move up and down. The robot 1 includes an elevating mechanism for elevating the arm support 7 with respect to the holding frame 8 and a guide mechanism for guiding the arm support 7 in the vertical direction. A lower end of the holding frame 8 is fixed to the swivel frame 10 . As described above, the revolving frame 10 is rotatable with respect to the base 9 and the base 9 is horizontally movable with respect to the base 6 . The robot 1 includes a rotation mechanism that rotates the revolving frame 10 with respect to the base 9 and a horizontal movement mechanism that horizontally moves the base 9 with respect to the base 6 .

（ハンドの構成）
図３は、図１に示すハンド３の構造を説明するための平面図である。図４は、図１に示すハンド３の構造を説明するための図である。図５（Ａ）は、図１のＥ部の構成を説明するための拡大図であり、図５（Ｂ）は、図１のＦ部の構成を説明するための拡大図である。図６（Ａ）は、図２のＧ部の構成を説明するための拡大図であり、図６（Ｂ）は、図２のＨ部の構成を説明するための拡大図である。図７（Ａ）は、図４（Ａ）のＪ部の拡大図であり、図７（Ｂ）は、図４（Ｂ）のＫ部の拡大図である。 (Hand composition)
FIG. 3 is a plan view for explaining the structure of the hand 3 shown in FIG. 1. FIG. FIG. 4 is a diagram for explaining the structure of the hand 3 shown in FIG. 5A is an enlarged view for explaining the configuration of the E section in FIG. 1, and FIG. 5B is an enlarged view for explaining the configuration of the F section in FIG. 6A is an enlarged view for explaining the configuration of the G section in FIG. 2, and FIG. 6B is an enlarged view for explaining the configuration of the H section in FIG. 7(A) is an enlarged view of the J section in FIG. 4(A), and FIG. 7(B) is an enlarged view of the K section in FIG. 4(B).

ハンド３は、第２アーム部１３の先端側に回動可能に連結される基部１５と、基部１５から水平方向の一方へ伸びる直線状の複数本のハンドフォーク１６とを備えている。本形態のハンド３は、２本のハンドフォーク１６を備えている。また、ハンド３は、ハンドフォーク１６の上面側に配置されるとともにマスク２の下面を支持する支持部材１７、１８と、ハンドフォーク１６の長手方向へ支持部材１７を移動させる移動機構１９とを備えている。 The hand 3 includes a base portion 15 rotatably connected to the distal end side of the second arm portion 13, and a plurality of linear hand forks 16 extending from the base portion 15 in one horizontal direction. The hand 3 of this embodiment has two hand forks 16 . The hand 3 also includes support members 17 and 18 arranged on the upper surface side of the hand fork 16 and supporting the lower surface of the mask 2 , and a moving mechanism 19 for moving the support member 17 in the longitudinal direction of the hand fork 16 . ing.

さらに、ハンド３は、支持部材１７が固定される固定部材２０と、固定部材２０の下面に固定されるゴム製のゴムパッド２１と、ゴムパッド２１がハンドフォーク１６の上面に所定の接触圧で接触する接触位置（図７（Ｂ）の実線で示す位置）２０Ａとゴムパッド２１がハンドフォーク１６の上面から離れる離間位置（図７（Ｂ）の二点鎖線で示す位置）２０Ｂとの間で固定部材２０を移動させる第２移動機構２２とを備えている。 Further, the hand 3 includes a fixing member 20 to which the support member 17 is fixed, a rubber pad 21 fixed to the lower surface of the fixing member 20, and the rubber pad 21 contacts the upper surface of the hand fork 16 with a predetermined contact pressure. Between the contact position (the position indicated by the solid line in FIG. 7(B)) 20A and the separation position (the position indicated by the two-dot chain line in FIG. 7(B)) 20B where the rubber pad 21 separates from the upper surface of the hand fork 16, the fixing member 20 and a second moving mechanism 22 for moving the .

基部１５は、中空状に形成されるとともに上下方向の厚さが薄い扁平な略直方体状に形成されている。基部１５には、ハンドフォーク１６の基端部が固定されている。直線状に形成される２本のハンドフォーク１６は、所定の間隔をあけた状態で互いに平行に配置されており、基部１５から水平方向の同方向へ突出している。以下の説明では、ハンドフォーク１６の長手方向（図３等のＸ方向）を「前後方向」とし、上下方向と前後方向とに直交する図３等のＹ方向を「左右方向」とする。 The base portion 15 is formed in a flat, substantially rectangular parallelepiped shape that is hollow and thin in the vertical direction. A proximal end of a hand fork 16 is fixed to the base 15 . The two linearly formed hand forks 16 are arranged parallel to each other with a predetermined interval, and protrude from the base portion 15 in the same horizontal direction. In the following description, the longitudinal direction of the hand fork 16 (the X direction in FIG. 3, etc.) is defined as the "front-rear direction", and the Y direction in FIG.

また、以下の説明では、前後方向のうちの、基部１５からハンドフォーク１６が突出する方向（図３のＸ１方向）を「前」方向とし、その反対方向（図３等のＸ２方向）を「後ろ」方向とする。すなわち、以下の説明では、ハンドフォーク１６の先端側を前側とし、ハンドフォーク１６の基端側を後ろ側とする。本形態の後ろ方向（Ｘ２方向）は、ハンドフォーク１６の長手方向の一方である第１方向となっており、前方向（Ｘ１方向）は、第１方向の反対方向である第２方向となっている。 Further, in the following description, the direction in which the hand fork 16 protrudes from the base portion 15 (X1 direction in FIG. 3) is defined as the "forward" direction, and the opposite direction (X2 direction in FIG. 3 etc.) is defined as the "forward" direction. "back" direction. That is, in the following description, the distal end side of the hand fork 16 is defined as the front side, and the base end side of the hand fork 16 is defined as the rear side. The rearward direction (X2 direction) in this embodiment is the first direction, which is one of the longitudinal directions of the hand fork 16, and the forward direction (X1 direction) is the second direction, which is the opposite direction to the first direction. ing.

基部１５は、上述のように、第２アーム部１３の先端側に回動可能に連結されている。すなわち、基部１５は、アーム４の先端側に回動可能に連結されている。本形態では、基部１５は、前後方向における基部１５の中心よりも前側でアーム４の先端側に連結されている。すなわち、アーム４へのハンド３の連結部分である関節部２３は、前後方向における基部１５の中心よりも前側に配置されている。 The base portion 15 is rotatably connected to the distal end side of the second arm portion 13 as described above. That is, the base portion 15 is rotatably connected to the distal end side of the arm 4 . In this embodiment, the base portion 15 is connected to the distal end side of the arm 4 on the front side of the center of the base portion 15 in the front-rear direction. In other words, the joint portion 23, which is the connecting portion of the hand 3 to the arm 4, is arranged on the front side of the center of the base portion 15 in the front-rear direction.

ハンドフォーク１６は、上述のように、直線状に形成されている。本形態では、ハンドフォーク１６は、前後方向に細長い四角筒状に形成されており、中空状に形成されている。ハンドフォーク１６の上面は、上下方向に略直交する平面となっている。また、ハンドフォーク１６は、炭素繊維を含有する樹脂で形成されている。ハンドフォーク１６の基端部は、中空状に形成される基部１５の内部に配置されている。また、右側に配置されるハンドフォーク１６の基端部は、基部１５の右端部に固定され、左側に配置されるハンドフォーク１６の基端部は、基部１５の左端部に固定されている。マスク２は、２本のハンドフォーク１６の前側部分に搭載されている。 The hand fork 16 is formed linearly as described above. In this embodiment, the hand fork 16 is formed in the shape of a rectangular tube elongated in the front-rear direction, and is formed in a hollow shape. The upper surface of the hand fork 16 is a flat surface substantially perpendicular to the vertical direction. Also, the hand fork 16 is made of resin containing carbon fiber. The proximal end of the hand fork 16 is arranged inside the hollow base 15 . The base end of the right hand fork 16 is fixed to the right end of the base 15 , and the base end of the left hand fork 16 is fixed to the left end of the base 15 . The mask 2 is mounted on the front portions of the two hand forks 16. - 特許庁

２本のハンドフォーク１６のそれぞれの上面側には、支持部材１７と支持部材１８とが１個ずつ配置されている。支持部材１７、１８は、ブロック状に形成されている。支持部材１７は、ハンドフォーク１６に対して前後方向に移動可能となっている。一方、支持部材１８は、ハンドフォーク１６に固定されている。本形態の支持部材１８は、第２支持部材である。 One support member 17 and one support member 18 are arranged on the upper surface side of each of the two hand forks 16 . The support members 17 and 18 are block-shaped. The support member 17 is movable in the front-rear direction with respect to the hand fork 16 . Meanwhile, the support member 18 is fixed to the hand fork 16 . The support member 18 of this embodiment is a second support member.

支持部材１８は、ハンドフォーク１６の前端部（先端部）において、ハンドフォーク１６の上面側に固定されている。また、支持部材１８は、Ｌ字状に形成される固定板２５（図５、図６参照）を介してハンドフォーク１６の前端部に固定されている。支持部材１８には、マスク２の前端部の下面に接触する接触面１８ａが形成されている。接触面１８ａは、上下方向に略直交する平面となっている。また、支持部材１８には、マスク２の前側への移動を規制する規制面１８ｂが形成されている。すなわち、支持部材１８は、マスク２の前側への移動を規制している。規制面１８ｂは、前後方向に略直交する平面となっており、マスク２の前端面が接触可能となっている。 The support member 18 is fixed to the upper surface of the hand fork 16 at the front end (tip) of the hand fork 16 . The support member 18 is fixed to the front end of the hand fork 16 via an L-shaped fixing plate 25 (see FIGS. 5 and 6). The support member 18 is formed with a contact surface 18 a that contacts the lower surface of the front end portion of the mask 2 . The contact surface 18a is a plane substantially perpendicular to the vertical direction. Further, the support member 18 is formed with a restricting surface 18b that restricts the forward movement of the mask 2. As shown in FIG. That is, the support member 18 restricts the forward movement of the mask 2 . The regulation surface 18b is a flat surface that is substantially perpendicular to the front-rear direction, and the front end surface of the mask 2 can come into contact with the regulation surface 18b.

固定板２５には、マスク２の有無を検知するためのセンサ２６が固定されている。センサ２６は、支持部材１８の後ろ側に配置されている。また、センサ２６は、接触面１８ａよりも下側に配置されている。なお、センサ２６から引き出される配線は、中空状に形成されるハンドフォーク１６の内部を利用して、ハンド３の後端部まで引き回されている。 A sensor 26 for detecting the presence or absence of the mask 2 is fixed to the fixed plate 25 . The sensor 26 is arranged behind the support member 18 . Further, the sensor 26 is arranged below the contact surface 18a. The wiring drawn out from the sensor 26 is routed to the rear end portion of the hand 3 using the inside of the hollow hand fork 16 .

支持部材１７は、支持部材１８よりも後ろ側に配置されている。支持部材１７には、マスク２の後端部の下面に接触する接触面１７ａが形成されている。接触面１７ａは、平面であり、固定部材２０が接触位置２０Ａに配置されているときに、上下方向に略直交している。また、支持部材１７には、マスク２の後ろ側への移動を規制する規制面１７ｂが形成されている。すなわち、支持部材１７は、マスク２の後ろ側への移動を規制している。規制面１７ｂは、前後方向に略直交する平面となっており、マスク２の後端面が接触可能となっている。 The support member 17 is arranged behind the support member 18 . The support member 17 is formed with a contact surface 17 a that contacts the lower surface of the rear end portion of the mask 2 . The contact surface 17a is a flat surface and is substantially orthogonal to the vertical direction when the fixing member 20 is arranged at the contact position 20A. Further, the support member 17 is formed with a restricting surface 17b that restricts the movement of the mask 2 to the rear side. That is, the support member 17 restricts the rearward movement of the mask 2 . The regulation surface 17b is a flat surface that is substantially perpendicular to the front-rear direction, and the rear end surface of the mask 2 can come into contact with the regulation surface 17b.

移動機構１９は、駆動源であるモータ２９と、モータ２９に連結されるボールねじ３０とを備えている。モータ２９は、基部１５の下面を構成する平板状の底板３１の上面に固定されている。また、モータ２９は、基部１５の後端部に固定されている。すなわち、モータ２９は、関節部２３よりも後ろ側に配置されている。モータ２９は、モータ２９の出力軸が前側に突出するように配置されている。 The moving mechanism 19 includes a motor 29 as a drive source and a ball screw 30 connected to the motor 29 . The motor 29 is fixed to the upper surface of a flat bottom plate 31 forming the lower surface of the base 15 . Also, the motor 29 is fixed to the rear end portion of the base portion 15 . That is, the motor 29 is arranged behind the joint portion 23 . The motor 29 is arranged so that the output shaft of the motor 29 protrudes forward.

ボールねじ３０のネジ軸３２は、ネジ軸３２の軸方向と前後方向とが一致するように配置されている。ネジ軸３２は、軸受を介して底板３１に回転可能に支持されている。ネジ軸３２は、モータ２９の前側に配置されており、減速機およびカップリングを介してモータ２９の出力軸に固定されている。また、ネジ軸３２は、ハンド３の左右方向における中心位置に配置されている。ボールねじ３０のナット部材３３は、支持部材１７と一緒に前後方向に移動する可動部材３４に取り付けられている。具体的には、ナット部材３３は、可動部材３４の前端部に固定されている。 The screw shaft 32 of the ball screw 30 is arranged so that the axial direction of the screw shaft 32 and the front-rear direction match. The screw shaft 32 is rotatably supported by the bottom plate 31 via bearings. The screw shaft 32 is arranged on the front side of the motor 29 and fixed to the output shaft of the motor 29 via a speed reducer and a coupling. Further, the screw shaft 32 is arranged at the central position of the hand 3 in the left-right direction. A nut member 33 of the ball screw 30 is attached to a movable member 34 that moves back and forth together with the support member 17 . Specifically, the nut member 33 is fixed to the front end of the movable member 34 .

底板３１の上面には、前後方向へ可動部材３４を案内するガイドレール３５が固定されている。ガイドレール３５は、左右方向でネジ軸３２を挟むように、底板３１の上面の２箇所に固定されている。可動部材３４には、ガイドレール３５に上側から係合するガイドブロック３６が固定されている。ガイドレール３５は、２本のハンドフォーク１６よりも左右方向の内側に配置されている。 A guide rail 35 that guides the movable member 34 in the front-rear direction is fixed to the upper surface of the bottom plate 31 . The guide rails 35 are fixed to two locations on the upper surface of the bottom plate 31 so as to sandwich the screw shaft 32 in the left-right direction. A guide block 36 that engages with the guide rail 35 from above is fixed to the movable member 34 . The guide rail 35 is arranged inside the two hand forks 16 in the left-right direction.

第２移動機構２２は、エアシリンダである。したがって、以下では、第２移動機構２２を「エアシリンダ２２」とする。エアシリンダ２２は、可動部材３４に取り付けられている。具体的には、エアシリンダ２２は、可動部材３４の後端側の２箇所に取り付けられている。エアシリンダ２２は、２本のガイドレール３５よりも左右方向の外側に配置されている。エアシリンダ２２は、エアシリンダ２２のロッドが下側へ突出するように配置されている。エアシリンダ２２の上端部は、前後方向を軸方向とするエアシリンダ２２の回動が可能となるように、可動部材３４に保持されている。 The second moving mechanism 22 is an air cylinder. Therefore, hereinafter, the second moving mechanism 22 is referred to as an "air cylinder 22". The air cylinder 22 is attached to the movable member 34 . Specifically, the air cylinders 22 are attached to two positions on the rear end side of the movable member 34 . The air cylinder 22 is arranged outside the two guide rails 35 in the left-right direction. The air cylinder 22 is arranged so that the rod of the air cylinder 22 protrudes downward. An upper end portion of the air cylinder 22 is held by a movable member 34 so that the air cylinder 22 can rotate with the front-rear direction as the axial direction.

エアシリンダ２２の動力は、レバー部材３９、管状部材４０および保持部材４１を介して固定部材２０に伝達されている。管状部材４０は、円管状に形成されている。すなわち、管状部材４０は、細長い円柱状に形成されている。管状部材４０は、管状部材４０の長手方向と前後方向とが一致するように配置されている。管状部材４０は、軸受を介して可動部材３４に回動可能に保持されている。管状部材４０は、可動部材３４に対して前後方向を回動の軸方向とする回動が可能となっている。 Power of the air cylinder 22 is transmitted to the fixed member 20 via the lever member 39 , tubular member 40 and holding member 41 . The tubular member 40 is formed in a circular tubular shape. That is, the tubular member 40 is formed in an elongated cylindrical shape. The tubular member 40 is arranged so that the longitudinal direction of the tubular member 40 is aligned with the front-rear direction. The tubular member 40 is rotatably held by the movable member 34 via bearings. The tubular member 40 is rotatable with respect to the movable member 34 with the front-rear direction as the axial direction of rotation.

前後方向から見たときに、右側に配置される管状部材４０は、右側に配置されるエアシリンダ２２の右側に配置され、左側に配置される管状部材４０は、左側に配置されるエアシリンダ２２の左側に配置されている。また、管状部材４０は、２本のハンドフォーク１６よりも左右方向の内側に配置されている。 When viewed from the front-rear direction, the tubular member 40 arranged on the right side is arranged on the right side of the air cylinder 22 arranged on the right side, and the tubular member 40 arranged on the left side is arranged on the air cylinder 22 arranged on the left side. is located on the left side of the Further, the tubular member 40 is arranged inside the two hand forks 16 in the left-right direction.

レバー部材３９の一端部は、エアシリンダ２２のロッドに回動可能に連結されている。レバー部材３９は、エアシリンダ２２のロッドに対して前後方向を回動の軸方向とする回動が可能となっている。レバー部材３９の他端部は、管状部材４０の後端部に固定されている。また、レバー部材３９の他端部は、管状部材４０の下端部に固定されている。一端部がエアシリンダ２２のロッドに連結されるレバー部材３９の他端部が管状部材４０の後端部に固定されているため、可動部材３４に対する管状部材４０の前後方向の移動が規制されている。 One end of the lever member 39 is rotatably connected to the rod of the air cylinder 22 . The lever member 39 is rotatable with respect to the rod of the air cylinder 22 with the longitudinal direction being the axial direction of rotation. The other end of lever member 39 is fixed to the rear end of tubular member 40 . Also, the other end of the lever member 39 is fixed to the lower end of the tubular member 40 . Since the other end of the lever member 39, one end of which is connected to the rod of the air cylinder 22, is fixed to the rear end of the tubular member 40, the longitudinal movement of the tubular member 40 with respect to the movable member 34 is restricted. there is

保持部材４１は、管状部材４０の前端部に固定されている。また、保持部材４１は、管状部材４０の上端部に固定されており、保持部材４１は、管状部材４０の前端部から上側に向かって立ち上がっている。 A holding member 41 is fixed to the front end of the tubular member 40 . Further, the holding member 41 is fixed to the upper end portion of the tubular member 40 , and the holding member 41 rises upward from the front end portion of the tubular member 40 .

固定部材２０は、長方形の平板状に形成されており、固定部材２０の長手方向と左右方向とが一致するように配置されている。右側に配置される支持部材１７は、右側に配置される固定部材２０の上面の右端部に固定されている。右側に配置される固定部材２０の左端部は、右側に配置される保持部材４１の上端面に固定されている。左側に配置される支持部材１７は、左側に配置される固定部材２０の上面の左端部に固定されている。左側に配置される固定部材２０の右端部は、左側に配置される保持部材４１の上端面に固定されている。 The fixing member 20 is formed in a rectangular flat plate shape, and is arranged so that the longitudinal direction of the fixing member 20 is aligned with the left-right direction. The supporting member 17 arranged on the right side is fixed to the right end of the upper surface of the fixing member 20 arranged on the right side. The left end portion of the fixing member 20 arranged on the right side is fixed to the upper end surface of the holding member 41 arranged on the right side. The support member 17 arranged on the left side is fixed to the left end portion of the upper surface of the fixing member 20 arranged on the left side. The right end portion of the fixing member 20 arranged on the left side is fixed to the upper end surface of the holding member 41 arranged on the left side.

ゴムパッド２１は、たとえば、長方形の板状に形成されたゴム板である。ゴムパッド２１は、右側に配置される固定部材２０の下面の右端側と、左側に配置される固定部材２０の下面の左端側とに固定されている。また、ゴムパッド２１は、右側に配置される固定部材２０の下面、および、左側に配置される固定部材２０の下面のそれぞれにおいて、左右方向に間隔をあけた状態で複数箇所に固定されている。たとえば、ゴムパッド２１は、右側に配置される固定部材２０の下面の３箇所と、左側に配置される固定部材２０の下面の３箇所とに固定されている。なお、本形態のゴムパッド２１は、薄鋼板に焼き付けられて固定されており、ゴムパッド２１が固定された薄鋼板が固定部材２０の下面に固定されている。すなわち、ゴムパッド２１は、薄鋼板を介して固定部材２０の下面に固定されている。 Rubber pad 21 is, for example, a rubber plate formed in a rectangular plate shape. The rubber pad 21 is fixed to the right end side of the lower surface of the fixing member 20 arranged on the right side and to the left end side of the lower surface of the fixing member 20 arranged on the left side. In addition, the rubber pads 21 are fixed at a plurality of locations on the lower surface of the fixing member 20 arranged on the right side and on the lower surface of the fixing member 20 arranged on the left side, respectively, while being spaced apart in the left-right direction. For example, the rubber pads 21 are fixed to three points on the lower surface of the fixing member 20 arranged on the right side and three points on the lower surface of the fixing member 20 arranged on the left side. Note that the rubber pad 21 of this embodiment is fixed by being baked on a thin steel plate, and the thin steel plate to which the rubber pad 21 is fixed is fixed to the lower surface of the fixing member 20 . That is, the rubber pad 21 is fixed to the lower surface of the fixing member 20 via the thin steel plate.

保持部材４１には、マスク２の有無を検知するためのセンサ４２が固定されている。右側に配置されるセンサ４２は、右側に配置される固定部材２０の左側に配置され、左側に配置されるセンサ４２は、左側に配置される固定部材２０の右側に配置されている。また、センサ４２は、支持部材１７の接触面１７ａよりも下側に配置されている。なお、センサ４２から引き出される配線は、円管状に形成される管状部材４０の内部を利用して、ハンド３の後端部まで引き回されている。 A sensor 42 for detecting the presence or absence of the mask 2 is fixed to the holding member 41 . The sensor 42 arranged on the right side is arranged on the left side of the fixing member 20 arranged on the right side, and the sensor 42 arranged on the left side is arranged on the right side of the fixing member 20 arranged on the left side. Further, the sensor 42 is arranged below the contact surface 17 a of the support member 17 . The wiring drawn out from the sensor 42 is routed to the rear end portion of the hand 3 using the inside of the tubular member 40 formed in a circular tubular shape.

本形態では、エアシリンダ２２のロッド側に圧縮空気が供給されてエアシリンダ２２のロッドが引っ込んでいるときに、固定部材２０は、接触位置２０Ａに配置されている（図７の実線参照）。固定部材２０が接触位置２０Ａに配置されているときには、ゴムパッド２１は、エアシリンダ２２によってハンドフォーク１６の上面に接触させられている。本形態では、固定部材２０が接触位置２０Ａに配置されているときに、ゴムパッド２１は、エアシリンダ２２によってハンドフォーク１６の上面に押し付けられている。この状態で、エアシリンダ２２のヘッド側に圧縮空気が供給されてエアシリンダ２２のロッドが突出すると、レバー部材３９、管状部材４０および保持部材４１と一緒に固定部材２０が管状部材４０の軸心を中心にして回動して、離間位置２０Ｂに移動する（図７の二点鎖線参照）。 In this embodiment, when compressed air is supplied to the rod side of the air cylinder 22 and the rod of the air cylinder 22 is retracted, the fixing member 20 is arranged at the contact position 20A (see the solid line in FIG. 7). The rubber pad 21 is brought into contact with the upper surface of the hand fork 16 by the air cylinder 22 when the fixing member 20 is arranged at the contact position 20A. In this embodiment, the rubber pad 21 is pressed against the upper surface of the hand fork 16 by the air cylinder 22 when the fixing member 20 is arranged at the contact position 20A. In this state, when compressed air is supplied to the head side of the air cylinder 22 and the rod of the air cylinder 22 protrudes, the fixing member 20 moves toward the axial center of the tubular member 40 together with the lever member 39 , the tubular member 40 and the holding member 41 . , and moves to the separated position 20B (see the two-dot chain line in FIG. 7).

また、本形態では、ロボット１で搬送されるマスク２の大きさに応じて、支持部材１７を前後方向に移動させるときに、固定部材２０を離間位置２０Ｂに移動させる。固定部材２０が離間位置２０Ｂに配置された状態で、モータ２９が起動してネジ軸３２が回転すると、ナット部材３３が固定された可動部材３４と一緒に、エアシリンダ２２、レバー部材３９、管状部材４０、保持部材４１、固定部材２０および支持部材１７が前後方向に移動する。なお、ハンド３は、エアシリンダ２２に接続されるエア配管の一部等が収容されるケーブルベヤ（登録商標）を備えている。 Further, in this embodiment, when the support member 17 is moved in the front-rear direction, the fixing member 20 is moved to the separation position 20B according to the size of the mask 2 transported by the robot 1 . When the motor 29 is activated and the screw shaft 32 rotates with the fixed member 20 arranged at the separated position 20B, the air cylinder 22, the lever member 39, the tubular member 34, and the movable member 34 to which the nut member 33 is fixed move. The member 40, the holding member 41, the fixing member 20 and the support member 17 move in the front-rear direction. The hand 3 includes a cableveyor (registered trademark) in which a part of the air pipe connected to the air cylinder 22 and the like are accommodated.

（傾き補正機構の構成）
図８は、図１のＭ部の構成を説明するための拡大図である。図９は、図８のＮ－Ｎ断面の構成を説明するための図である。 (Configuration of tilt correction mechanism)
8 is an enlarged view for explaining the configuration of the M section in FIG. 1. FIG. FIG. 9 is a diagram for explaining the configuration of the NN cross section of FIG.

ロボット１は、ハンドフォーク１６に搭載されたマスク２の水平方向に対する傾きを補正する傾き補正機構４６を備えている。傾き補正機構４６は、関節部２３を構成している。すなわち、ハンド３の基部１５は、傾き補正機構４６を介して第２アーム部１３の先端側に回動可能に連結されている。傾き補正機構４６は、左右方向を回動の軸方向として、かつ、支点部４７を回動中心にしてハンド３を回動させることで、ハンドフォーク１６に搭載されているマスク２の傾きを補正する。 The robot 1 includes an inclination correction mechanism 46 that corrects the inclination of the mask 2 mounted on the hand fork 16 with respect to the horizontal direction. The tilt correction mechanism 46 constitutes the joint portion 23 . That is, the base portion 15 of the hand 3 is rotatably connected to the distal end side of the second arm portion 13 via the tilt correction mechanism 46 . The tilt correction mechanism 46 corrects the tilt of the mask 2 mounted on the hand fork 16 by rotating the hand 3 with the horizontal direction as the rotation axis direction and with the fulcrum portion 47 as the rotation center. do.

傾き補正機構４６は、駆動源であるモータ４８と、モータ４８の出力軸に減速機を介して連結される偏心軸（クランク軸）４９と、偏心軸４９に一端側が取り付けられるリンク部材５０と、リンク部材５０の他端側が取り付けられる取付部材５１と、第２アーム部１３の先端側に回動可能に保持される回動部材５２とを備えている。なお、図８では、リンク部材５０の図示を省略している。 The tilt correction mechanism 46 includes a motor 48 as a drive source, an eccentric shaft (crankshaft) 49 connected to the output shaft of the motor 48 via a reduction gear, a link member 50 having one end attached to the eccentric shaft 49, An attachment member 51 to which the other end side of the link member 50 is attached, and a rotating member 52 rotatably held on the tip side of the second arm portion 13 are provided. 8, illustration of the link member 50 is omitted.

モータ４８は、回動部材５２に保持されている。偏心軸４９は、偏心軸４９の軸方向と左右方向とが一致するように配置されている。偏心軸４９は、回動部材５２に回動可能に保持されている。偏心軸４９は、回動部材５２に対して左右方向を回動の軸方向とする回動が可能となっている。偏心軸４９は、偏心軸４９の回動中心から軸心が所定量ずれている円柱状の偏心部４９ａを備えている。 The motor 48 is held by the rotating member 52 . The eccentric shaft 49 is arranged so that the axial direction of the eccentric shaft 49 is aligned with the left-right direction. The eccentric shaft 49 is rotatably held by the rotating member 52 . The eccentric shaft 49 is rotatable with respect to the rotating member 52 with the left-right direction as the axial direction of rotation. The eccentric shaft 49 has a columnar eccentric portion 49 a whose axis is deviated from the rotation center of the eccentric shaft 49 by a predetermined amount.

リンク部材５０の一端側は、偏心部４９ａの外周側に回動可能に取り付けられている。リンク部材５０の他端側は、取付部材５１の後端部に回動可能に取り付けられている。取付部材５１の前端部は、支点部４７に回動可能に保持されており、取付部材５１は、回動部材５２に対して支点部４７を回動中心にして回動可能となっている。また、取付部材５１は、左右方向を回動の軸方向とする回動が可能となっている。取付部材５１の上端には、ハンド３の基部１５の下面が固定されている。 One end side of the link member 50 is rotatably attached to the outer peripheral side of the eccentric portion 49a. The other end side of the link member 50 is rotatably attached to the rear end portion of the attachment member 51 . A front end portion of the mounting member 51 is rotatably held by the fulcrum portion 47 , and the mounting member 51 is rotatable with respect to the rotating member 52 with the fulcrum portion 47 as the center of rotation. Further, the mounting member 51 is rotatable with the left-right direction as the axial direction of rotation. The lower surface of the base portion 15 of the hand 3 is fixed to the upper end of the mounting member 51 .

傾き補正機構４６では、モータ４８が起動すると、偏心軸４９が回動する。偏心軸４９が回動すると、リンク部材５０が移動して、取付部材５１が支点部４７を中心に回動する。取付部材５１が支点部４７を中心に回動すると、ハンド３も支点部４７を中心に回動して、ハンドフォーク１６に搭載されているマスク２の傾きが補正される。 In the tilt correction mechanism 46, when the motor 48 is activated, the eccentric shaft 49 rotates. When the eccentric shaft 49 rotates, the link member 50 moves and the mounting member 51 rotates around the fulcrum portion 47 . When the mounting member 51 rotates about the fulcrum portion 47, the hand 3 also rotates about the fulcrum portion 47, and the inclination of the mask 2 mounted on the hand fork 16 is corrected.

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、ハンド３は、マスク２の下面を支持するとともにマスク２の後ろ側への移動を規制する支持部材１７を前後方向に移動させる移動機構１９を備えており、ロボット１で搬送されるマスク２の大きさに応じて、支持部材１７を前後方向に移動させている。そのため、本形態では、マスク２の大きさに応じて、マスク２の下面を適切に支持することが可能な位置に支持部材１７を移動させることが可能になる。したがって、本形態では、様々な大きさのマスク２をハンド３に適切に搭載することが可能になる。 (Main effects of this form)
As described above, in this embodiment, the hand 3 includes the moving mechanism 19 that moves the support member 17 in the front-rear direction, which supports the lower surface of the mask 2 and restricts the rearward movement of the mask 2. The support member 17 is moved in the front-rear direction according to the size of the mask 2 conveyed by the robot 1 . Therefore, in this embodiment, it is possible to move the support member 17 to a position where the lower surface of the mask 2 can be appropriately supported according to the size of the mask 2 . Therefore, in this embodiment, it is possible to appropriately mount masks 2 of various sizes on the hand 3 .

本形態では、マスク２の前側への移動を規制する支持部材１８は、ハンドフォーク１６に固定されている。そのため、本形態では、ハンドフォーク１６に対して支持部材１８が前後方向に移動可能になっている場合と比較して、ハンド３の構成を簡素化することが可能になる。 In this embodiment, the support member 18 that restricts the forward movement of the mask 2 is fixed to the hand fork 16 . Therefore, in this embodiment, the configuration of the hand 3 can be simplified as compared with the case where the support member 18 is movable in the front-rear direction with respect to the hand fork 16 .

本形態では、ハンド３は、支持部材１７が固定される固定部材２０の下面に固定されるゴムパッド２１と、ゴムパッド２１がハンドフォーク１６の上面に所定の接触圧で接触する接触位置２０Ａとゴムパッド２１がハンドフォーク１６の上面から離れる離間位置２０Ｂとの間で固定部材２０を移動させるエアシリンダ２２とを備えている。そのため、本形態では、接触位置２０Ａに固定部材２０が配置されているときの、ゴムパッド２１とハンドフォーク１６の上面との摩擦力を利用して前後方向における所定の位置で支持部材１７を停止させておくことが可能になる。また、本形態では、固定部材２０を離間位置２０Ｂに移動させることで、移動機構１９によって前後方向に支持部材１７を容易に移動させることが可能になる。 In this embodiment, the hand 3 includes a rubber pad 21 fixed to the lower surface of the fixing member 20 to which the support member 17 is fixed, a contact position 20A at which the rubber pad 21 contacts the upper surface of the hand fork 16 with a predetermined contact pressure, and the rubber pad 21. is provided with an air cylinder 22 for moving the fixed member 20 between a spaced position 20B away from the upper surface of the hand fork 16 . Therefore, in this embodiment, the frictional force between the rubber pad 21 and the upper surface of the hand fork 16 when the fixing member 20 is arranged at the contact position 20A is used to stop the support member 17 at a predetermined position in the front-rear direction. It becomes possible to keep Further, in this embodiment, by moving the fixing member 20 to the separated position 20B, the moving mechanism 19 can easily move the supporting member 17 in the front-rear direction.

また、本形態では、ゴムパッド２１は、接触位置２０Ａに固定部材２０が配置されているときに、エアシリンダ２２によってハンドフォーク１６の上面に押し付けられているため、接触位置２０Ａに固定部材２０が配置されているときの、ゴムパッド２１とハンドフォーク１６の上面との摩擦力を高めることが可能になる。したがって、本形態では、前後方向における所定の位置で支持部材１７を確実に停止させておくことが可能になる。 Further, in this embodiment, the rubber pad 21 is pressed against the upper surface of the hand fork 16 by the air cylinder 22 when the fixing member 20 is arranged at the contact position 20A, so that the fixing member 20 is arranged at the contact position 20A. It is possible to increase the frictional force between the rubber pad 21 and the upper surface of the hand fork 16 when it is held. Therefore, in this embodiment, it is possible to reliably stop the support member 17 at a predetermined position in the front-rear direction.

本形態では、マスク２は、２本のハンドフォーク１６の前側部分に搭載されている。また、本形態では、モータ２９は、関節部２３よりも後ろ側に配置されている。そのため、本形態では、前後方向において、ハンド３に搭載されるマスク２とモータ２９との距離を離すことが可能になる。したがって、本形態では、比較的高温のマスク２がハンド３に搭載される場合であっても、マスク２の熱の影響によるモータ２９の損傷を防止することが可能になる。 In this embodiment, the mask 2 is mounted on the front portions of the two hand forks 16 . Further, in this embodiment, the motor 29 is arranged behind the joint portion 23 . Therefore, in this embodiment, it is possible to increase the distance between the mask 2 mounted on the hand 3 and the motor 29 in the front-rear direction. Therefore, in this embodiment, even when the mask 2 having a relatively high temperature is mounted on the hand 3, it is possible to prevent the motor 29 from being damaged by the heat of the mask 2. FIG.

また、本形態では、エアシリンダ２２が可動部材３４の後端側に取り付けられているため、前後方向において、ハンド３に搭載されるマスク２とエアシリンダ２２との距離を離すことが可能になる。したがって、本形態では、比較的高温のマスク２がハンド３に搭載される場合であっても、マスク２の熱の影響によるエアシリンダ２２の損傷を防止することが可能になる。 Further, in this embodiment, since the air cylinder 22 is attached to the rear end side of the movable member 34, it is possible to separate the mask 2 mounted on the hand 3 from the air cylinder 22 in the front-rear direction. . Therefore, in this embodiment, even when the mask 2 having a relatively high temperature is mounted on the hand 3, it is possible to prevent the air cylinder 22 from being damaged by the heat of the mask 2 .

本形態では、ハンド３は、ハンドフォーク１６に搭載されたマスク２の水平方向に対する傾きを補正する傾き補正機構４６を備えている。そのため、本形態では、ハンドフォーク１６に搭載されたマスク２の重量によってハンドフォーク１６が撓んでも、ハンドフォーク１６に搭載されたマスク２の水平方向に対する傾きを補正することが可能になる。 In this embodiment, the hand 3 includes an inclination correction mechanism 46 that corrects the inclination of the mask 2 mounted on the hand fork 16 with respect to the horizontal direction. Therefore, in this embodiment, even if the hand fork 16 is bent by the weight of the mask 2 mounted on the hand fork 16, the tilt of the mask 2 mounted on the hand fork 16 with respect to the horizontal direction can be corrected.

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。 (Other embodiments)
The embodiment described above is an example of the preferred embodiment of the present invention, but the present invention is not limited to this, and various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.

上述した形態において、支持部材１７に加えて、支持部材１８がハンドフォーク１６に対して前後方向に移動可能となっていても良い。この場合には、ハンド３は、支持部材１８を前後方向に移動させる移動機構を備えている。また、上述した形態において、支持部材１７に代えて、支持部材１８がハンドフォーク１６に対して前後方向に移動可能となっていても良い。 In the embodiment described above, in addition to the support member 17 , the support member 18 may be movable in the front-rear direction with respect to the hand fork 16 . In this case, the hand 3 has a moving mechanism for moving the support member 18 in the front-rear direction. Further, in the embodiment described above, instead of the support member 17, the support member 18 may be movable in the front-rear direction with respect to the hand fork 16. As shown in FIG.

上述した形態において、エアシリンダ２２は、可動部材３４の前端側に取り付けられていても良いし、前後方向における可動部材３４の中間位置に取り付けられていても良い。また、上述した形態では、固定部材２０は、管状部材４０の軸心を中心にして回動することで、接触位置２０Ａと離間位置２０Ｂとの間を移動するが、固定部材２０は、たとえば、上下方向に直線的に移動することで、接触位置２０Ａと離間位置２０Ｂとの間を移動しても良い。また、上述した形態において、ハンド３は、エアシリンダ２２に代えて、モータと、このモータの動力を固定部材２０に伝達する動力伝達機構とを備えていても良い。 In the form mentioned above, the air cylinder 22 may be attached to the front end side of the movable member 34, and may be attached to the intermediate position of the movable member 34 in the front-back direction. Moreover, in the above-described embodiment, the fixing member 20 moves between the contact position 20A and the separation position 20B by rotating about the axial center of the tubular member 40. It may move between the contact position 20A and the separation position 20B by linearly moving in the vertical direction. Further, in the embodiment described above, the hand 3 may include a motor and a power transmission mechanism for transmitting the power of the motor to the fixed member 20 instead of the air cylinder 22 .

上述した形態において、基部１５の後端部がアーム４の先端側に回動可能に連結されていても良い。また、上述した形態において、モータ２９は、基部１５の前端部に固定されていても良い。さらに、上述した形態において、ハンド３が備えるハンドフォーク１６の本数は、３本以上であっても良い。また、上述した形態において、ロボット１は、傾き補正機構４６を備えていなくても良い。また、上述した形態において、ロボット１が搬送する搬送対象物２は、マスク以外の物であっても良い。たとえば、ロボット１が搬送する搬送対象物２は、液晶ディスプレイ用のガラス基板であっても良い。 In the embodiment described above, the rear end portion of the base portion 15 may be rotatably connected to the tip side of the arm 4 . Further, in the embodiment described above, the motor 29 may be fixed to the front end portion of the base portion 15 . Furthermore, in the embodiment described above, the number of hand forks 16 provided in the hand 3 may be three or more. Further, in the embodiment described above, the robot 1 does not have to include the tilt correction mechanism 46 . In the above-described embodiment, the object 2 to be transported by the robot 1 may be an object other than the mask. For example, the transport object 2 transported by the robot 1 may be a glass substrate for a liquid crystal display.

上述した形態では、ロボット１は、水平多関節型のロボットであるが、本発明が適用されるロボットは、水平多関節型のロボット以外の産業用ロボットであっても良い。たとえば、本発明が適用されるロボットは、上述の特許文献１に開示された産業用ロボットのように、ハンド３の基端側を支持するリニア駆動部と、リニア駆動部を支持する本体部とを備えるロボットであっても良い。この場合のリニア駆動部は、ハンド３が連結されるとともにハンド３を保持するハンド保持部である。 In the embodiment described above, the robot 1 is a horizontal articulated robot, but the robot to which the present invention is applied may be an industrial robot other than the horizontal articulated robot. For example, a robot to which the present invention is applied, like the industrial robot disclosed in Patent Document 1, includes a linear drive section that supports the base end side of the hand 3, and a body section that supports the linear drive section. It may be a robot provided with The linear driving section in this case is a hand holding section to which the hand 3 is connected and which holds the hand 3 .

１ロボット（産業用ロボット）
２マスク（搬送対象物）
３ハンド
４アーム（ハンド保持部）
１６ハンドフォーク
１７支持部材
１８支持部材（第２支持部材）
１９移動機構
２０固定部材
２０Ａ接触位置
２０Ｂ離間位置
２１ゴムパッド
２２エアシリンダ（第２移動機構）
２３関節部（ハンド保持部へのハンドの連結部分）
２９モータ（移動機構の駆動源）
３４可動部材
４６傾き補正機構
Ｘハンドフォークの長手方向
Ｘ１第２方向
Ｘ２第１方向 1 Robot (industrial robot)
2 Mask (transport object)
3 hand 4 arm (hand holding part)
16 hand fork 17 support member 18 support member (second support member)
19 moving mechanism 20 fixed member 20A contact position 20B separation position 21 rubber pad 22 air cylinder (second moving mechanism)
23 joint part (connecting part of hand to hand holding part)
29 motor (driving source of moving mechanism)
34 movable member 46 tilt correction mechanism X longitudinal direction of hand fork X1 second direction X2 first direction

Claims

In the hand of an industrial robot that transports objects to be transported,
a plurality of hand forks formed in a straight line and arranged parallel to each other; A support member for restricting movement, a moving mechanism for moving the support member in the longitudinal direction of the hand fork, a fixing member to which the support member is fixed, and a rubber pad fixed to the lower surface of the fixing member. and a second moving mechanism for moving the fixed member between a contact position where the rubber pad contacts the upper surface of the hand fork with a predetermined contact pressure and a separated position where the rubber pad separates from the upper surface of the hand fork. A hand characterized by

The support member is movable with respect to the hand fork in the longitudinal direction of the hand fork, and a second support member is fixed to the upper surface side of the hand fork and supports the lower surface of the object to be conveyed,
the support member restricts movement of the object to be conveyed to one side in the longitudinal direction of the hand fork;
2. A hand according to claim 1, wherein said second support member restricts movement of said conveyed object to the other side in the longitudinal direction of said hand fork.

The second moving mechanism is an air cylinder,
2. The rubber pad is brought into contact with or pressed against the upper surface of the hand fork by the air cylinder when the fixing member is arranged at the contact position. 2 hand.

A hand according to any one of claims 1 to 3 , and a hand holding section to which the hand is connected and which holds the hand,
Assuming that one of the longitudinal directions of the hand fork is a first direction and the opposite direction to the first direction is a second direction,
The object to be conveyed is mounted on the second direction side portion of the hand fork,
The industrial robot, wherein the driving source of the moving mechanism is arranged on the first direction side of a connecting portion of the hand to the hand holding portion.

The hand includes a movable member to which the second moving mechanism is attached and which moves in the longitudinal direction of the hand fork together with the support member ,
5. The industrial robot according to claim 4 , wherein the second moving mechanism is attached to the first direction end side of the movable member.

A hand according to any one of claims 1 to 3 , a hand holding unit to which the hand is connected and which holds the hand, and a tilt of the conveying object mounted on the hand fork with respect to a horizontal direction is corrected. An industrial robot comprising a tilt correction mechanism.