JP7189284B2 - FLEXIBLE COPPER FILM LAMINATED FILM AND ELECTRICAL DEVICE CONTAINING THE SAME - Google Patents

FLEXIBLE COPPER FILM LAMINATED FILM AND ELECTRICAL DEVICE CONTAINING THE SAME Download PDF

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Description

本発明は、軟性銅箔積層フィルム、及びそれを含む電気素子に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a flexible copper clad laminate film and an electric device including the same.

最近、モバイル市場の成長加速化及びLCD(liquid crystal display) TV(television)モニタの需要増加により、電子製品及び半導体集積回路のような分野において、薄膜化、小型化、軽量化、耐久性及び高画質特性を有する素材の開発が促進されている。LCD用ドライバ集積回路(IC)に使用される軟性銅箔積層フィルム(FCCL:flexible copper clad laminate)分野においても、微細パターン化、薄膜化及び耐久性がだんだんと要求されている。 Recently, due to the accelerated growth of the mobile market and the increased demand for LCD (liquid crystal display) TV (television) monitors, thin film, miniaturization, weight reduction, durability and high performance are being pursued in fields such as electronic products and semiconductor integrated circuits. The development of materials with image quality characteristics is encouraged. In the field of flexible copper clad laminate (FCCL) used in driver integrated circuits (ICs) for LCDs, there is also an increasing demand for fine patterning, thinning and durability.

そのような趨勢に合わせ、例えば、チップ・オン・フィルム(COF:chip-on-film)技術が使用されている。前記チップ・オン・フィルム(COF)技術は、ピッチ(pitch)が非常に微細であり、薄いフィルムを使用しており、携帯電話及び半導体ディスプレイなどの素材として、高映像イメージを具現するための液晶表示装置の画素増加のためにも使用される。また、そのようなチップ・オン・フィルム(COF)技術は、チップモジュールの小型化が可能であり、素材が柔軟であり、ベンダブルでありローラブルであるが、そのような耐屈折性を高めるために、前記フィルムに高温の熱処理工程などが遂行されている。しかし、そのような工程を介し、軟性銅箔積層フィルムには、熱衝撃、フィルムの折れ、カールまたはしわ寄りというような加工上の問題が生じてしまう。 In line with such trends, chip-on-film (COF) technology, for example, is being used. The chip-on-film (COF) technology uses a thin film with a very fine pitch. It is also used for increasing pixels in display devices. Also, such chip-on-film (COF) technology enables miniaturization of the chip module, and the material is flexible, bendable and rollable, but in order to increase such refraction resistance, , the film is subjected to a high-temperature heat treatment process. However, through such a process, the flexible copper clad laminate film suffers processing problems such as thermal shock, film folding, curling or wrinkling.

従って、そのような加工上の問題を生じさせずに、耐屈折性を向上させるための軟性銅箔積層フィルム、及びそれを含む電気素子への要求が依然としてある。 Therefore, there is still a need for a flexible copper clad laminate film and electrical devices containing the same for improving the refractive resistance without causing such processing problems.

本発明が解決しようとする課題は、耐屈折性が向上された軟性銅箔積層フィルムを提供することである。 The problem to be solved by the present invention is to provide a flexible copper clad laminate film with improved refraction resistance.

本発明が解決しようとする課題は、前記軟性銅箔積層フィルムを含む電気素子を提供することである。 The problem to be solved by the present invention is to provide an electric element including the flexible copper clad laminate film.

一側面により、
20μm以下の厚みを有するポリイミド基材と、
前記ポリイミド基材の少なくとも一面に配されたタイ層と、
前記タイ層の少なくとも一面上に配された2.0μmないし8.7μmの厚みを有する銅層と、を含み、
前記銅層内に含まれた銅粒子の結晶粒度が1.6μmないし2.5μmであり、
MITで測定するとき、4.5mm以上面積のクラックが生じるまでの往復折れ(folding)回数が40回以上である軟性銅箔積層フィルムが提供される。
According to one aspect,
a polyimide base material having a thickness of 20 μm or less;
a tie layer disposed on at least one side of the polyimide substrate;
a copper layer having a thickness of 2.0 μm to 8.7 μm disposed on at least one side of the tie layer;
the copper particles included in the copper layer have a grain size of 1.6 μm to 2.5 μm;
Provided is a flexible copper clad laminate film having a reciprocating folding number of 40 or more until a crack having an area of 4.5 mm 2 or more is generated as measured by MIT.

前記銅層は、電解メッキ層でもある。
前記銅層は、1.5m/minないし2.5m/minのメッキ速度で電流を印加して形成された電解メッキ層でもある。
前記銅層の銅粒子は、1.0A/dmないし4.0A/dmの電流密度で成長された粒子でもある。
前記銅層は、複数のメッキ槽を利用し、前記複数の全体メッキ槽区間において、2/3以後のメッキ槽区間における電流密度を、2/3以前のメッキ槽区間と比較し、1.5倍以上上昇させて形成された電解メッキ層でもある。
The copper layer is also an electrolytic plating layer.
The copper layer is also an electrolytic plating layer formed by applying current at a plating speed of 1.5 m/min to 2.5 m/min.
The copper particles of the copper layer are also particles grown at a current density of 1.0 A/dm 2 to 4.0 A/dm 2 .
The copper layer is formed by using a plurality of plating baths, and in the plurality of entire plating bath sections, the current density in the plating bath section after 2/3 is 1.5 compared with the plating bath section before 2/3. It is also an electrolytic plated layer formed by increasing the thickness more than twice.

前記タイ層と前記銅層との間に、銅シード層をさらに含んでもよい。
前記フィルムは、接着層を含まないのである。
前記タイ層は、Ni及びCrを含んだ合金を含む蒸着層でもある。
他の側面により、
前述の軟性銅箔積層フィルムを含む電気素子が提供される。
A copper seed layer may further be included between the tie layer and the copper layer.
Said film does not contain an adhesive layer.
The tie layer is also a deposited layer containing an alloy containing Ni and Cr.
Other aspects
An electrical device is provided that includes the flexible copper foil laminate film described above.

本発明による軟性銅箔積層フィルムは、耐屈折性が向上しうる。 The flexible copper clad laminate film according to the present invention may have improved refraction resistance.

一具現例による軟性銅箔積層フィルムの断面模式図である。1 is a schematic cross-sectional view of a flexible copper clad laminate film according to an embodiment; FIG. (a)~(c)は、それぞれ実施例1~3による軟性銅箔積層フィルムを、10mmx10mmサイズに切り、その表面を15K倍率で観察した接続イオンビーム(FIB:focused ion beam)イメージである。(a) to (c) are focused ion beam (FIB) images obtained by cutting the flexible copper foil laminate films of Examples 1 to 3 into 10 mm×10 mm sizes and observing the surfaces at 15K magnification. 比較例1による軟性銅箔積層フィルムを、10mmx10mmサイズに切り、その表面を15K倍率で観察した接続イオンビーム(FIB)イメージである。1 is a connected ion beam (FIB) image obtained by cutting the flexible copper foil laminate film according to Comparative Example 1 into a size of 10 mm×10 mm and observing the surface thereof at a magnification of 15K. (a)~(c)は、それぞれ実施例2による軟性銅箔積層フィルムを、80mmx200mmサイズに切り、幅15mmx長さ150mmパターンを形成した後、135±5°角度及び175±10cpm速度でMIT測定を行うとき、往復折れ回数が、30回、50回、及び70回であるときの光学顕微鏡イメージを示した図面である。(a) to (c) are the flexible copper foil laminate films according to Example 2, respectively, cut into 80 mm x 200 mm sizes, forming patterns of 15 mm width x 150 mm length, and then measured by MIT at an angle of 135 ± 5° and a speed of 175 ± 10 cpm. 4 is a view showing optical microscope images when the number of times of reciprocating folding is 30 times, 50 times, and 70 times when performing . (a)~(c)は、それぞれ比較例1による軟性銅箔積層フィルムを、80mmx200mmサイズに切り、幅15mmx長さ150mmパターンを形成した後、135±5°角度及び175±10cpm速度でMIT測定を行うとき、往復折れ回数が、30回、50回、及び70回であるときの光学顕微鏡イメージを示した図面である。(a) to (c) are each cut from the flexible copper foil laminate film according to Comparative Example 1 to a size of 80 mm x 200 mm, form a pattern of 15 mm width x 150 mm length, and then perform MIT measurement at an angle of 135 ± 5° and a speed of 175 ± 10 cpm. 4 is a view showing optical microscope images when the number of times of reciprocating folding is 30 times, 50 times, and 70 times when performing . (a)~(c)は、それぞれ比較例2による軟性銅箔積層フィルムを、80mmx200mmサイズに切り、幅15mmx長さ150mmパターンを形成した後、135±5°角度及び175±10cpm速度でMIT測定を行うとき、往復折れ回数が、20回、50回、及び70回であるときの光学顕微鏡イメージを示した図面である。(a) to (c) are each cut from the flexible copper foil laminate film according to Comparative Example 2 to a size of 80 mm x 200 mm, form a pattern of 15 mm width x 150 mm length, and then perform MIT measurement at an angle of 135 ± 5° and a speed of 175 ± 10 cpm. 4 is a view showing optical microscope images when the number of times of reciprocating folding is 20 times, 50 times, and 70 times when performing .

以下、本発明の実施例と図面とを参照し、軟性銅箔積層フィルム、及びそれを含む電気素子について詳細に説明する。それら実施例は、単に、本発明についてさらに具体的に説明するために例示的に提示されているのみであって、本発明の範囲は、それら実施例によって制限されるものではないということは、当業界で当業者において自明であろう。 Hereinafter, a flexible copper clad laminate film and an electric device including the same will be described in detail with reference to embodiments and drawings of the present invention. It should be noted that the examples are merely presented by way of example to further illustrate the invention, and that the scope of the invention is not limited by the examples. It will be obvious to those skilled in the art.

取り立てて定義しない限り、本明細書で使用される全ての技術的及び科学的な用語は、本発明が属する技術分野の当業者によって一般的に理解されるところと同一の意味を有する。相反する場合、定義を含め、本明細書が優先されるのである。 Unless defined otherwise, all technical and scientific terms used herein have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. In case of conflict, the present specification, including definitions, will control.

本明細書で説明されるところと類似しているか、あるいは同等な方法及び材料が、本発明の実施または試験に使用されうるが、適する方法及び材料が本明細書に記載される。 Although methods and materials similar or equivalent to those described herein can be used in the practice or testing of the present invention, suitable methods and materials are described herein.

本明細書において、「含む」という用語は、特別に反対される記載がない限り、他の構成要素を除くものではなく、他の構成要素をさらに含んでもよいということを意味する。 As used herein, the term "comprising" does not exclude other components, and means that other components may be included, unless specifically stated to the contrary.

本明細書において、「及び/または」という用語は、関連して記載された1以上項目の任意の組み合わせ、及び全ての組み合わせを含むということを意味する。本明細書において、「または」という用語は、「及び/または」を意味する。本明細書において、構成要素の前に、「少なくとも1種」または「1以上」という表現は、全体構成要素のリストを補完することができ、該記載の個別構成要素を補完することができるということを意味するものではない。 As used herein, the term "and/or" is meant to include any and all combinations of one or more of the associated listed items. As used herein, the term "or" means "and/or." As used herein, the expression "at least one" or "one or more" before a component can complement a list of the entire component and can complement individual components of the description. does not mean that

本明細書において、一構成要素が他の構成要素の「上」に配されていると言及される場合、該一構成要素は、他の構成要素上に直接配されるか、あるいは前記構成要素の間に介在された構成要素が存在しうる。一方、一構成要素が他の構成要素の「上に直接」配されていると言及される場合、介在された構成要素が存在しないのである。 As used herein, when a component is referred to as being placed "on" another component, the component is either placed directly on the other component, or the component is placed on top of the other component. There may be elements interposed between. On the other hand, when a component is referred to as being "directly on" another component, there are no intervening components present.

図1は、一具現例による軟性銅箔積層フィルム10の断面模式図である。
図1を参照すれば、一具現例による軟性銅箔積層フィルム10は、ポリイミド基材1と、前記ポリイミド基材1の少なくとも一面に配されたタイ層2と、前記タイ層2の少なくとも一面上の銅層4と、が配された構造でもある。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a flexible copper clad laminate film 10 according to one embodiment.
Referring to FIG. 1, a flexible copper clad laminate 10 according to an embodiment includes a polyimide substrate 1, a tie layer 2 disposed on at least one surface of the polyimide substrate 1, and a tie layer 2 on at least one surface of the tie layer 2. It is also a structure in which a copper layer 4 of .

前記ポリイミド基材1の厚みは、20μm以下でもある。一具現例による軟性銅箔積層フィルム10は、前記ポリイミド基材1の厚みが12.5μm以下である超軽薄型ポリイミドフィルムを含んでもよい。そのような薄厚のポリイミドフィルムを含む軟性銅箔積層フィルムにおいても、耐屈折性が向上しうる。 The thickness of the polyimide base material 1 is also 20 μm or less. The flexible copper clad laminate film 10 according to one embodiment may include an ultralight and thin polyimide film in which the polyimide substrate 1 has a thickness of 12.5 μm or less. A flexible copper clad laminate film containing such a thin polyimide film can also have improved refraction resistance.

前記タイ層2は、Ni及びCrを含む合金を含む蒸着層でもある。前記タイ層2において、Ni対Crの重量比は、例えば、70対30でもあるか、75対25でもあるか、80対20でもあるか、85対15でもあるか、90対10でもあるか、95対5でもあるか、あるいは96対4でもある。 The tie layer 2 is also a deposited layer containing an alloy containing Ni and Cr. In the tie layer 2, the weight ratio of Ni to Cr may be, for example, 70:30, 75:25, 80:20, 85:15, or 90:10. , 95 to 5, or 96 to 4.

前記蒸着層の厚みは、約40Å~500Åでもあるか、約42Å~480Åでもあるか、約44Å~460Åでもあるか、あるいは約45Å~450Åでもある。前記蒸着層は、例えば、約200Åないし2,000Å厚を有する銅シード層からも形成される。 The thickness of the deposited layer may be about 40 Å to 500 Å, or about 42 Å to 480 Å, or about 44 Å to 460 Å, or about 45 Å to 450 Å. The deposited layer may also be formed from a copper seed layer having a thickness of, for example, approximately 200 Å to 2,000 Å.

前記銅層4の厚みは、2.0μmないし8.7μmでもある。例えば、前記銅層4の厚みは、2.0ないし8.0μmでもあるか、2.0ないし7.0μmでもあるか、2.0ないし6.0μmでもあるか、2.0ないし5.0μmでもあるか、あるいは2.0ないし4.0μmでもある。 The thickness of said copper layer 4 is also between 2.0 μm and 8.7 μm. For example, the thickness of the copper layer 4 may be 2.0 to 8.0 μm, 2.0 to 7.0 μm, 2.0 to 6.0 μm, or 2.0 to 5.0 μm. or even 2.0 to 4.0 μm.

一具現例による軟性銅箔積層フィルム10は、前記銅層4が、前記範囲内の厚みを有する場合にも、向上した耐屈折性を確保することができる。 The flexible copper clad laminate film 10 according to one embodiment can ensure improved refraction resistance even when the copper layer 4 has a thickness within the above range.

前記銅層4は、1.6μmないし2.5μmの結晶粒度(grain size)を有する銅粒子を含んでもよい。前記銅層4は、例えば、1.7μmないし2.5μmの結晶粒度を有するか、1.8μmないし2.5μmの結晶粒度を有するか、1.8μmないし2.4μmの結晶粒度を有するか、1.8μmないし2.3μmの結晶粒度を有するか、1.8μmないし2.2μmの結晶粒度を有するか、1.8μmないし2.1μmの結晶粒度を有するか、あるいは1.8μmないし2.1μmの結晶粒度を有することができる。前記銅層4は、前記範囲内の結晶粒度を有する銅粒子を含むことにより、前記銅層上部に、薄膜化及び微細パターン化のためのチップ・オン・フィルム(COF:chip-on-film)技術などに必要な向上された耐屈折性を確保することができる。 The copper layer 4 may include copper particles having a grain size of 1.6 μm to 2.5 μm. The copper layer 4 has, for example, a grain size of 1.7 μm to 2.5 μm, a grain size of 1.8 μm to 2.5 μm, a grain size of 1.8 μm to 2.4 μm, having a grain size of 1.8 μm to 2.3 μm, having a grain size of 1.8 μm to 2.2 μm, having a grain size of 1.8 μm to 2.1 μm, or having a grain size of 1.8 μm to 2.1 μm can have a grain size of The copper layer 4 contains copper particles having a crystal grain size within the range, so that a chip-on-film (COF) is formed on the copper layer for thinning and fine patterning. Improved refraction resistance required for technology can be ensured.

一具現例による銅層4は、MITで測定するとき、4.5mm以上面積のクラックが生じるまでの往復折れ(folding)回数が40回以上でもある。前記往復折れ回数は、例えば、45回以上であるか、50回以上であるか、55回以上であるか、60回以上であるか、65回以上であるか、70回以上であるか、75回以上であるか、あるいは80回以上でもある。一具現例による軟性銅箔積層フィルム10は、熱処理工程のような追加工程を必要とせず、耐屈折性が向上しうる。 The copper layer 4 according to one embodiment has a reciprocating folding number of 40 times or more before a crack having an area of 4.5 mm 2 or more occurs, as measured by MIT. The number of times of reciprocating folding is, for example, 45 times or more, 50 times or more, 55 times or more, 60 times or more, 65 times or more, or 70 times or more, 75 times or more, or even 80 times or more. The flexible copper clad laminate film 10 according to one embodiment does not require an additional process such as a heat treatment process, and may have improved refraction resistance.

前記銅層4は、電解メッキ層でもある。前記電解メッキ層は、例えば、硫酸銅及び硫酸を基本物質にする電解メッキ液で電解メッキを施し、前記タイ層2の少なくとも一面に、銅電解メッキ層を形成することができる。さらには、前記電解メッキ液に、生産性及び表面均一性のために、光沢剤、レベラ、補正剤または緩和剤のような添加剤が添加されうる。 The copper layer 4 is also an electrolytic plating layer. The electroplating layer can be formed by electroplating with an electroplating solution containing copper sulfate and sulfuric acid as basic substances to form a copper electroplating layer on at least one surface of the tie layer 2 . Furthermore, additives such as brighteners, levelers, correctors or moderators may be added to the electroplating solution for productivity and surface uniformity.

前記銅層は、1.5m/minないし2.5m/minのメッキ速度で電流を印加して形成された電解メッキ層でもある。 The copper layer is also an electrolytic plating layer formed by applying current at a plating speed of 1.5 m/min to 2.5 m/min.

前記銅層4の銅粒子は、1.0A/dmないし4.0A/dmの電流密度で成長された粒子でもある。前記銅層4の銅粒子は、前記電流密度範囲内において、2種以上の電流密度が印加されて成長された粒子でもある。 The copper particles of the copper layer 4 are also particles grown at a current density of 1.0 A/dm 2 to 4.0 A/dm 2 . The copper particles of the copper layer 4 are also particles grown by applying two or more current densities within the current density range.

前記銅層は、複数のメッキ槽を利用し、前記複数の全体メッキ槽区間において、2/3以後のメッキ槽区間における電流密度を、2/3以前のメッキ槽区間と比較し、1.5倍以上上昇させて形成された電解メッキ層でもある。前記電解メッキ層は、抵抗を低くし、電流密度を高めることにより、銅粒子が微細であり、均一厚の銅層4を形成するだけではなく、耐屈折性をさらに向上させることができる。 The copper layer is formed by using a plurality of plating baths, and in the plurality of entire plating bath sections, the current density in the plating bath section after 2/3 is 1.5 compared with the plating bath section before 2/3. It is also an electrolytic plated layer formed by increasing the thickness more than twice. The electroplating layer has fine copper particles and a uniform thickness by lowering the resistance and increasing the current density, thereby not only forming the copper layer 4 but also improving the resistance to refraction.

前記タイ層2と前記銅層4との間に、銅シード層3をさらに含んでもよい。
前記銅シード層3の厚みは、例えば、0.1μmないし3.0μmであるか、0.1μmないし2.6μmであるか、0.1μmないし2.4μmであるか、0.1μmないし2.2μmであるか、あるいは0.1μmないし2.0μmでもある。
A copper seed layer 3 may further be included between the tie layer 2 and the copper layer 4 .
The thickness of the copper seed layer 3 is, for example, 0.1 μm to 3.0 μm, 0.1 μm to 2.6 μm, 0.1 μm to 2.4 μm, or 0.1 μm to 2.0 μm. 2 μm, or even 0.1 μm to 2.0 μm.

前記軟性銅箔積層フィルム10は、接着層を含まないのである。前記軟性銅箔積層フィルム10は、接着層を含まずとも、フィルムの折れ、カールまたはしわ寄りのような加工上の問題が発生せずに、耐屈折性が向上されたフィルムを確保することができる。 The flexible copper clad laminate film 10 does not contain an adhesive layer. The flexible copper clad laminate film 10 does not include an adhesive layer, but does not cause processing problems such as folding, curling or wrinkling of the film, and ensures a film with improved refraction resistance. can.

前記タイ層2が配されたポリイミド基材1の反対面に、保護フィルム(図示せず)をさらに含んでもよい。前記保護フィルムは、アクリル系接着層とポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムとによっても構成される。前記アクリル系接着層の厚みは、例えば、約1μmないし20μmでもある。前記ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムは、例えば、約10μmないし100μmでもある。 A protective film (not shown) may be further included on the opposite side of the polyimide substrate 1 on which the tie layer 2 is disposed. The protective film is also composed of an acrylic adhesive layer and a polyethylene terephthalate (PET) film. The thickness of the acrylic adhesive layer is, for example, about 1 μm to 20 μm. Said polyethylene terephthalate (PET) film is for example also about 10 μm to 100 μm.

前記アクリル系接着層は、アクリル系単量体を共重合した樹脂層でもある。前記アクリル系単量体例としては、エチルアクリレート、ブチルアクリレート、アミルアクリレート、2-エチルヘキシルアクリレート、オクチルアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、ベンジルアクリレートのようなアクリル酸アルキルエステル単量体;ブチルメタクリレート、2-エチルヘキシルメタクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、ベンジルヘキシルメタクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、ベンジルメタクリレートのようなメタクリル酸アルキルエステル単量体;メチルアクリレート、メチルメタクリレート、酢酸ビニル、スチレン、アクリロニトリル、アクリル酸、メタクリル酸、無水マレイン酸、イタコン酸のような、カルボン酸基を含む単量体;2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、4-ヒドロキシブチルアクリレート、2-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレートのような、ヒドロキシ基を含む単量体;N-メチロールアクリルアミド、アクリルアミド、メタクリルアミド、グリシジルアミドのようなアミド単量体;でもある。前記アクリル系樹脂は、前記単量体を、単独または混合して使用することができる。 The acrylic adhesive layer is also a resin layer obtained by copolymerizing acrylic monomers. Examples of acrylic monomers include acrylic acid alkyl ester monomers such as ethyl acrylate, butyl acrylate, amyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, octyl acrylate, cyclohexyl acrylate, and benzyl acrylate; butyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, methacrylic acid alkyl ester monomers such as cyclohexyl methacrylate, benzylhexyl methacrylate, cyclohexyl methacrylate, benzyl methacrylate; methyl acrylate, methyl methacrylate, vinyl acetate, styrene, acrylonitrile, acrylic acid, methacrylic acid, maleic anhydride, itaconic acid; monomers containing a carboxylic acid group; monomers containing a hydroxy group such as 2-hydroxyethyl (meth)acrylate, 4-hydroxybutyl acrylate, and 2-hydroxypropyl (meth)acrylate; N-methylolacrylamide , amide monomers such as acrylamide, methacrylamide, glycidylamide; For the acrylic resin, the monomers may be used singly or in combination.

またさらなるアクリル系単量体の例としては、ラウリルアクリレート、エトキシジエチレングリコールアクリレート、メトキシトリエチレングリコールアクリレート、フェノキシエチルアクリレート、テトラヒドロフルフリルアクリレート、イソボニルアクリレート、2-ヒドロキシエチルアクリレート、2-ヒドロキシプロピルアクリレート、2-ヒドロキシ-3-フェノキシアクリレートのような単一作用基アクリレート単量体;ネオペンチルグリコールジアクリレート、1,6-ヘキサンジオールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリトリトールトリアクリレート、ペンタエリトリトールテトラアクリレート、ジペンタエリトリトールヘキサアクリレート、トリメチロールプロパンアクリル酸ベンゾエートのような多作用基アクリレートのようなアクリル酸誘導体単量体;2-エチルヘキシルメタアクリレート、n-ステアリルメタアクリレート、シクロヘキシルメタアクリレート、テトラヒドロフルフリルメタアクリレート、2-ヒドロキシエチルメタアクリレート、2-ヒドロキシブチルメタアクリレートのような単一作用基メタアクリレート単量体;1,6-ヘキサンジオールジメタアクリレート、トリメチロールプロパントリメタアクリレート、グリセリンジメタアクリレートのような多作用基メタアクリレートのようなメタアクリル酸誘導体単量体;グリセリンジメタアクリレートヘキサメチレンジイソシアネート、ペンタエリトリトールトリアクリレートヘキサメチレンジイソシアネートのようなウレタンアクリレートのような単量体でもある。前記アクリル系樹脂は、前記単量体またはそれらオリゴマーを、単独または混合して使用することができる。 Examples of still further acrylic monomers include lauryl acrylate, ethoxydiethylene glycol acrylate, methoxytriethylene glycol acrylate, phenoxyethyl acrylate, tetrahydrofurfuryl acrylate, isobornyl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, Single functional group acrylate monomers such as 2-hydroxy-3-phenoxyacrylate; neopentyl glycol diacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate , dipentaerythritol hexaacrylate, multifunctional acrylates such as trimethylolpropane benzoate acrylic acid derivative monomers; 2-ethylhexyl methacrylate, n-stearyl methacrylate, cyclohexyl methacrylate, tetrahydrofurfuryl methacrylate; single functional group methacrylate monomers such as acrylates, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxybutyl methacrylate; and monomers such as urethane acrylates such as glycerin dimethacrylate hexamethylene diisocyanate and pentaerythritol triacrylate hexamethylene diisocyanate. For the acrylic resin, the monomers or oligomers may be used singly or in combination.

前記アクリル系樹脂と共に使用される重合開始剤としては、アゾ系重合開始剤を有することができる。前記アゾ系重合開始剤は、通常のラジカル重合において使用するアゾ系重合開始剤であるならば、制限なしに使用することができる。 The polymerization initiator used together with the acrylic resin may have an azo polymerization initiator. The azo polymerization initiator can be used without limitation as long as it is an azo polymerization initiator used in normal radical polymerization.

前記アゾ系重合開始剤例としては、2,2’-アゾビス(イソブチロニトリル)(AIBN)、2,2’-アゾビス(2-メチルブチロニトリル)(AMBN)、2’-アゾビス(2,4-ジメチルバレロニトリル)(ADMVN)、1,1’-アゾビス(1-シクロヘキサンカルボニトリル)(ACHN)、ジメチル2,2’-アゾビスイソブチレート(MAIB)、4,4’-アゾビス(4-シアノバレリン酸)(ACVA)、1,1’-アゾビス-(1-アセトキシ-1-フェニルエタン)、2,2’-アゾビス(2-メチルブチルアミド)、2,2’-アゾビス(4-メトキシ-2,4-ジメチルバレロニトリル)、2,2’-アゾビス(2-メチルアミジノプロパン)二塩酸塩、2,2’-アゾビス[2-(2-イミダゾリン-2-イル)プロパン]、2,2’-アゾビス[2-メチル-N-(2-ヒドロキシエチル)プロピオンアミド]、2,2’-アゾビス(2,4,4-トリメチルペンタン)、2-シアノ-2-プロピルアゾホルムアミド、2,2’-アゾビス(N-ブチル-2-メチルプロピオンアミド)、2,2’-アゾビス(N-シクロヘキシル-2-メチルプロピオンアミド)などがある。前記アゾ系重合開始剤は、反応条件によって適切に選択することができる。 Examples of the azo polymerization initiator include 2,2′-azobis(isobutyronitrile) (AIBN), 2,2′-azobis(2-methylbutyronitrile) (AMBN), 2′-azobis(2 ,4-dimethylvaleronitrile) (ADMVN), 1,1′-azobis(1-cyclohexanecarbonitrile) (ACHN), dimethyl 2,2′-azobisisobutyrate (MAIB), 4,4′-azobis ( 4-cyanovaleric acid) (ACVA), 1,1′-azobis-(1-acetoxy-1-phenylethane), 2,2′-azobis(2-methylbutyramide), 2,2′-azobis(4- methoxy-2,4-dimethylvaleronitrile), 2,2′-azobis(2-methylamidinopropane) dihydrochloride, 2,2′-azobis[2-(2-imidazolin-2-yl)propane], 2 , 2′-azobis[2-methyl-N-(2-hydroxyethyl)propionamide], 2,2′-azobis(2,4,4-trimethylpentane), 2-cyano-2-propylazoformamide, 2 , 2′-azobis(N-butyl-2-methylpropionamide), 2,2′-azobis(N-cyclohexyl-2-methylpropionamide) and the like. The azo polymerization initiator can be appropriately selected depending on the reaction conditions.

前記アクリル系接着層に、さらには、フタレート系、ホスフェート系、トリメチレート系、ポリエステル系、エポキシド系、グリコールエステル系及びパラフィン系からなる群のうちから選択された1種以上の可塑剤を含んでもよい。 The acrylic adhesive layer may further contain one or more plasticizers selected from the group consisting of phthalate-based, phosphate-based, trimethylate-based, polyester-based, epoxide-based, glycol ester-based, and paraffin-based plasticizers. .

前記軟性銅箔積層フィルム10の全体厚は、50μm以下でもある。前記軟性銅箔積層フィルム10の全体厚は、例えば、0.1μmないし50μmでもある。
他の一具現例による電気素子は、軟性銅箔積層フィルムを含んでもよい。
The total thickness of the flexible copper clad laminate film 10 is also 50 μm or less. The total thickness of the flexible copper clad laminate film 10 is, for example, 0.1 μm to 50 μm.
An electrical device according to another embodiment may include a flexible copper clad laminate film.

前記電気素子は、軟性印刷回路基板(FPCB)及びカメラコイルなどにも使用される。 The electrical devices are also used in flexible printed circuit boards (FPCBs) and camera coils.

以下、実施例と比較例とを介し、本発明の構成、及びそれによる効果について詳細に説明する。しかし、本実施例は、本発明についてさらに具体的に説明するためのものであり、本発明の範囲は、それら実施例に限定されるものではないということは、自明な事実であるのである。 Hereinafter, the configuration of the present invention and the effects thereof will be described in detail through examples and comparative examples. However, it is a self-evident fact that the present examples are intended to explain the present invention more specifically, and that the scope of the present invention is not limited to those examples.

実施例1:軟性銅箔積層フィルム
12.5μm厚のポリイミドフィルム(Kapton 50ENC、TDC製)を準備した。前記ポリイミドフィルムの一面に、アクリル系接着層と、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムで構成された約50μm厚の保護フィルム(LE951、Toyo社製)を合紙した。前記保護フィルムが合紙されたポリイミド基材の反対面に、ロール・ツー・ロールタイプのスパッタリング装置を利用し、物理気相蒸着法(PVD)で、Ni・Cr合金タイ層及びCuμシード層を順次に形成した。このとき、前記タイ層は、NiとCrとの重量比を80:20(純度:99.9%以上)にし、約250Å厚に形成し、Cuシード層は、純度99.995%銅を利用し、約0.8μm厚に形成した。
Example 1: Flexible copper foil laminate film A 12.5 μm thick polyimide film (Kapton 50ENC, manufactured by TDC) was prepared. On one surface of the polyimide film, an acrylic adhesive layer and a protective film (LE951, manufactured by Toyo Co., Ltd.) having a thickness of about 50 μm composed of a polyethylene terephthalate (PET) film were interleaved. A Ni/Cr alloy tie layer and a Cu seed layer are deposited on the opposite side of the polyimide substrate with the protective film by physical vapor deposition (PVD) using a roll-to-roll type sputtering device. formed sequentially. At this time, the tie layer has a weight ratio of Ni and Cr of 80:20 (purity: 99.9% or more) and is formed to a thickness of about 250 Å, and the Cu seed layer uses copper with a purity of 99.995%. and formed to a thickness of about 0.8 μm.

前記銅シード層上に、Cu2+濃度約20g/Lと硫酸約200ml/Lとの硫酸銅メッキ液を利用した電解メッキ法で銅電解メッキ層を形成した。前記銅電解メッキ層は、約30℃の温度で、21個のメッキ槽区間を利用し、1.5m/minないし2.5m/minのメッキ速度、及び1.0A/dmないし4.0A/dmの電流密度で電流を印加するが、No.15~No.21のメッキ槽区間において、No.1~No.14のメッキ槽区間対比で、電流密度を2倍増大させ、2μm厚の銅電解メッキ層を形成した。 A copper electroplating layer was formed on the copper seed layer by electroplating using a copper sulfate plating solution having a Cu 2+ concentration of about 20 g/L and a sulfuric acid of about 200 ml/L. The copper electroplating layer is formed at a temperature of about 30° C., using 21 plating bath sections, a plating speed of 1.5 m/min to 2.5 m/min, and a plating rate of 1.0 A/dm 2 to 4.0 A. /dm 2 , but no. 15 to No. In the No. 21 plating tank section, the No. 1 to No. Compared with 14 plating bath sections, the current density was doubled to form a copper electrolytic plating layer with a thickness of 2 μm.

その後、前記保護フィルムを逆巻き取りし、前記保護フィルムが除去された全体約2μm厚の軟性銅箔積層フィルムを作製した。 After that, the protective film was reversely wound to produce a flexible copper clad laminate film with a total thickness of about 2 μm from which the protective film was removed.

実施例2:軟性銅箔積層フィルム
前記銅電解メッキ層は、約30℃の温度で、21個のメッキ槽区間を利用し、1.5m/minないし2.5m/minのメッキ速度、及び1.0A/dmないし4.0A/dmの電流密度で電流を印加するが、No.15~No.21のメッキ槽区間において、No.1~No.14のメッキ槽区間対比で、電流密度を1.5倍増大させ、2μm厚の銅電解メッキ層を形成したことを除いては、実施例1と同一方法を遂行し、全体約2μm厚の軟性銅箔積層フィルムを作製した。
Example 2: Flexible copper foil laminate film The copper electroplating layer was formed at a temperature of about 30°C, using 21 plating bath sections, a plating speed of 1.5 m/min to 2.5 m/min, and 1 Current is applied at current densities between 0.0 A/dm 2 and 4.0 A/dm 2 , but no. 15 to No. In the No. 21 plating tank section, the No. 1 to No. The same method as in Example 1 was performed except that the current density was increased by 1.5 times compared to the 14 plating bath sections to form a copper electroplating layer with a thickness of 2 μm. A copper foil laminated film was produced.

実施例3:軟性銅箔積層フィルム
前記銅電解メッキ層は、約30℃の温度で、21個のメッキ槽区間を利用し、1.5m/minないし2.5m/minのメッキ速度、及び1.0A/dmないし4.0A/dmの電流密度で電流を印加するが、No.15~No.21のメッキ槽区間において、No.1~No.14のメッキ槽区間対比で、電流密度を2.5倍増大させ、2μm厚の銅電解メッキ層を形成したことを除いては、実施例1と同一方法を遂行し、全体約2μm厚の軟性銅箔積層フィルムを作製した。
Example 3: Flexible copper foil laminate film The copper electroplating layer was formed at a temperature of about 30°C, using 21 plating bath sections, a plating speed of 1.5 m/min to 2.5 m/min, and 1 Current is applied at current densities between 0.0 A/dm 2 and 4.0 A/dm 2 , but no. 15 to No. In the No. 21 plating tank section, the No. 1 to No. The same method as in Example 1 was performed except that the current density was increased by 2.5 times compared to the 14 plating bath sections to form a copper electroplating layer with a thickness of 2 μm. A copper foil laminated film was produced.

比較例1:軟性銅箔積層フィルム
前記銅電解メッキ層は、約30℃の温度で、前記銅電解メッキ層は、約30℃の温度で、21個のメッキ槽を利用し、1.5m/minないし2.5m/minのメッキ速度、及び1.0A/dmないし4.0A/dmの電流密度で電流を印加し、2μm厚の銅電解メッキ層を形成したことを除いては、実施例1と同一方法を遂行し、全体約2μm厚の軟性銅箔積層フィルムを作製した。
Comparative Example 1: Flexible copper foil laminate film A current was applied at a plating speed of min to 2.5 m/min and a current density of 1.0 A/dm 2 to 4.0 A/dm 2 to form a copper electroplated layer of 2 μm thickness. By performing the same method as in Example 1, a flexible copper foil laminate film having a total thickness of about 2 μm was produced.

比較例2:軟性銅箔積層フィルム
12.5μm厚のポリイミドフィルム(Kapton 50ENC、TDC製)の代わりに、25μm厚のポリイミドフィルム(モデル、TDC製)を使用したことを除いては、実施例1と同一方法を遂行し、全体約2μm厚の軟性銅箔積層フィルムを作製した。
Comparative Example 2: Flexible copper foil laminate film Example 1, except that a 25 μm thick polyimide film (model, TDC) was used instead of a 12.5 μm thick polyimide film (Kapton 50ENC, manufactured by TDC). A flexible copper foil laminate film having a total thickness of about 2 μm was produced by performing the same method as above.

分析例1:接続イオンビーム(FIG:focused ion beam)分析
実施例1~3及び比較例1による軟性銅箔積層フィルムを、10mmx10mmサイズに切り、その表面を15K倍率で、接続イオンビーム(FIB)を利用して観察した。その結果を、図2(a),(b),(c)及び図3に示した。このとき、図3(a),(b),(c)において、それぞれ緑色線は、結晶粒度サイズを測定するための参照線である。
Analysis Example 1: Focused Ion Beam (FIG) Analysis The flexible copper foil laminate films according to Examples 1 to 3 and Comparative Example 1 were cut into 10 mm x 10 mm size, and the surface was subjected to a connected ion beam (FIB) at a magnification of 15K. observed using the The results are shown in FIGS. 2(a), (b), (c) and FIG. At this time, in FIGS. 3(a), (b), and (c), the green lines are reference lines for measuring the grain size.

図2(a)~(c)を参照すれば、実施例1~3による軟性銅箔積層フィルムは、いずれも銅層で約1.8μm~2.0μmの結晶粒度を有する成長された銅粒子を観察することができる。 Referring to FIGS. 2(a) to (c), the flexible copper foil laminate films according to Examples 1 to 3 all have grown copper particles having a grain size of about 1.8 μm to 2.0 μm in the copper layer. can be observed.

図3を参照すれば、比較例1による軟性銅箔積層フィルムは、それぞれ銅層であり、約0.2μm~0.25μmの結晶粒度を有する成長された銅粒子を観察することができる。 Referring to FIG. 3, the flexible copper clad laminate film according to Comparative Example 1 is a copper layer, and grown copper particles having a grain size of about 0.2 μm to 0.25 μm can be observed.

評価例1:耐屈折性評価
実施例1~3及び比較例1,2による軟性銅箔積層フィルムに対し、耐屈折性を評価した。前記耐屈折性評価のために、前記軟性銅箔積層フィルムを、80mmx200mmサイズに切り、幅15mmx長さ150mmパターンを形成した後、135±5°角度及び175±10cpm速度で、MITによって測定するとき、クラックの面積が、4.5mm以上になるまでの往復折れ回数を記録して評価した。このとき、前記クラックの面積は、光学顕微鏡を使用し、図4(a)~(c)、図5(a)~(c)及び図6(a)~(c)から分かるように、赤色線表示内のボックス部分において、横(幅)と縦(長さ)とをそれぞれ測定して計算した。その結果を、図4(a)~(c)、図5(a)~(c)、図6(a)~(c)及び表1にそれぞれ示した。前述の図4(a)~(c)は、実施例2による軟性銅箔積層フィルムに係わる往復折れ回数が、30回、50回、及び70回であるときの光学顕微鏡イメージを示したものであり、前述の図5(a)~(c)は、比較例1による軟性銅箔積層フィルムに係わる往復折れ回数が、30回、50回及び70回であるときの光学顕微鏡イメージを示したものであり、図6(a)~(c)は、比較例2による軟性銅箔積層フィルムに係わる往復折れ回数が、20回、50回及び70回であるときの光学顕微鏡イメージを示したものである。
Evaluation Example 1: Evaluation of Refraction Resistance The flexible copper foil laminate films of Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 and 2 were evaluated for refraction resistance. For the evaluation of refraction resistance, the flexible copper clad laminate film is cut into a size of 80 mm x 200 mm to form a pattern of 15 mm width x 150 mm length, and then measured by MIT at an angle of 135 ± 5 ° and a speed of 175 ± 10 cpm. , and evaluated by recording the number of reciprocating folds until the crack area reached 4.5 mm 2 or more. At this time, the area of the crack was measured using an optical microscope, and as can be seen from FIGS. The horizontal (width) and the vertical (length) were measured and calculated in the box portion within the line representation. The results are shown in FIGS. 4(a) to (c), FIGS. 5(a) to (c), FIGS. 6(a) to (c) and Table 1, respectively. FIGS. 4(a) to 4(c) show optical microscope images when the number of reciprocal foldings of the flexible copper foil laminate film according to Example 2 is 30, 50, and 70 times. 5(a) to 5(c) are optical microscope images of the soft copper foil laminated film according to Comparative Example 1 when the number of reciprocal foldings is 30, 50, and 70. 6(a) to (c) show optical microscope images when the number of reciprocating foldings of the flexible copper foil laminate film according to Comparative Example 2 is 20, 50, and 70 times. be.

Figure 0007189284000001
Figure 0007189284000001

表1及び図4(a)~(c)、図5(a)~(c)及び図6(a)~(c)を参照すれば、実施例1~3による軟性銅箔積層フィルムは、いずれもクラック面積が4.5mm以上にある時までの往復折れ回数が50回以上だった。それと比べて、比較例1,2による軟性銅箔積層フィルムは、いずれもクラックの面積が4.5mm以上になるまでの往復折れ回数がいずれも40回未満であった。それにより、実施例1~3による軟性銅箔積層フィルムは、比較例1,2による軟性銅箔積層フィルムと比べ、耐屈折性が向上されているということを確認することができる。 Referring to Table 1 and FIGS. 4(a) to (c), FIGS. 5(a) to (c) and FIGS. 6(a) to (c), the flexible copper foil laminate films according to Examples 1 to 3 are: In both cases, the number of times of reciprocating folding was 50 times or more until the crack area was 4.5 mm 2 or more. In contrast, the flexible copper foil laminate films of Comparative Examples 1 and 2 had less than 40 reciprocating folds until the crack area reached 4.5 mm 2 or more. Accordingly, it can be confirmed that the flexible copper clad laminate films according to Examples 1 to 3 have improved resistance to refraction compared to the flexible copper clad laminate films according to Comparative Examples 1 and 2.

1 ポリイミド基材
2 タイ層
3 銅シード層
4 銅層
10 軟性銅箔積層フィルム
REFERENCE SIGNS LIST 1 polyimide substrate 2 tie layer 3 copper seed layer 4 copper layer 10 flexible copper foil laminate film

Claims (8)

20μm以下の厚みを有するポリイミド基材と、
前記ポリイミド基材の少なくとも一面に配されたタイ層と、
前記タイ層の少なくとも一面上に配された2.0μmないし8.7μmの厚みを有する銅層と、を含み、
前記銅層内に含まれた銅粒子の結晶粒径が1.6μmないし2.5μmであり、
MITで測定するとき、4.5mm以上面積のクラックが生じるまでの往復折れ回数が40回以上である、軟性銅箔積層フィルムの製造方法であって、
前記銅層は、複数のメッキ槽を利用し、前記複数の全体メッキ槽区間において、2/3以後のメッキ槽区間における電流密度を、2/3以前のメッキ槽区間と比較し、1.5倍以上上昇させて、電解メッキ層として形成される、軟性銅箔積層フィルムの製造方法
a polyimide base material having a thickness of 20 μm or less;
a tie layer disposed on at least one side of the polyimide substrate;
a copper layer having a thickness of 2.0 μm to 8.7 μm disposed on at least one side of the tie layer;
The copper particles contained in the copper layer have a crystal grain size of 1.6 μm to 2.5 μm,
A method for producing a flexible copper foil laminate film, wherein the number of reciprocal foldings until a crack having an area of 4.5 mm 2 or more occurs is 40 or more when measured by MIT,
The copper layer is formed by using a plurality of plating baths, and in the plurality of entire plating bath sections, the current density in the plating bath section after 2/3 is 1.5 compared with the plating bath section before 2/3. A method for producing a flexible copper foil laminate film, which is formed as an electrolytic plated layer by raising the temperature more than twice .
前記銅層は、電解メッキ層である、請求項1に記載の軟性銅箔積層フィルムの製造方法2. The method for producing a flexible copper foil laminate film according to claim 1, wherein said copper layer is an electrolytic plated layer. 前記銅層は、1.5m/minないし2.5m/minのライン速度で電流を印加して、電解メッキ層として形成される、請求項1に記載の軟性銅箔積層フィルムの製造方法 The method of claim 1, wherein the copper layer is formed as an electrolytic plating layer by applying current at a line speed of 1.5 m/min to 2.5 m/min. 前記銅層の銅粒子は、1.0A/dmないし4.0A/dmの電流密度で成長される、請求項1に記載の軟性銅箔積層フィルムの製造方法 The method of claim 1, wherein the copper particles of the copper layer are grown at a current density of 1.0 A/ dm2 to 4.0 A/ dm2 . 前記タイ層と前記銅層との間に、銅シード層をさらに含む、請求項1に記載の軟性銅箔積層フィルムの製造方法2. The method for producing a flexible copper clad laminate film as set forth in claim 1, further comprising a copper seed layer between said tie layer and said copper layer. 前記フィルムは、接着層を含まない、請求項1に記載の軟性銅箔積層フィルムの製造方法2. The method for producing a flexible copper clad laminate film according to claim 1, wherein said film does not contain an adhesive layer. 前記タイ層は、Ni及びCrを含んだ合金を含む蒸着層である、請求項1に記載の軟性銅箔積層フィルムの製造方法2. The method for producing a flexible copper clad laminate film according to claim 1, wherein the tie layer is a deposited layer containing an alloy containing Ni and Cr. 20μm以下の厚みを有するポリイミド基材と、
前記ポリイミド基材の少なくとも一面に配されたタイ層と、
前記タイ層の少なくとも一面上に配された2.0μmないし8.7μmの厚みを有する銅層と、を含み、
前記銅層内に含まれた銅粒子の結晶粒径が1.6μmないし2.5μmであり、
MITで測定するとき、4.5mm 以上面積のクラックが生じるまでの往復折れ回数が40回以上である、電気素子用軟性銅箔積層フィルムの製造方法であって、
前記銅層は、複数のメッキ槽を利用し、前記複数の全体メッキ槽区間において、2/3以後のメッキ槽区間における電流密度を、2/3以前のメッキ槽区間と比較し、1.5倍以上上昇させて、電解メッキ層として形成される、電気素子用軟性銅箔積層フィルムの製造方法
a polyimide base material having a thickness of 20 μm or less;
a tie layer disposed on at least one side of the polyimide substrate;
a copper layer having a thickness of 2.0 μm to 8.7 μm disposed on at least one side of the tie layer;
The copper particles contained in the copper layer have a crystal grain size of 1.6 μm to 2.5 μm,
A method for producing a flexible copper foil laminate film for electric elements, wherein the number of times of reciprocating folding until a crack having an area of 4.5 mm 2 or more occurs is 40 or more when measured by MIT ,
The copper layer is formed by using a plurality of plating baths, and in the plurality of entire plating bath sections, the current density in the plating bath section after 2/3 is 1.5 compared with the plating bath section before 2/3. A method for producing a flexible copper foil laminate film for electric elements , which is formed as an electrolytic plated layer by raising the temperature more than twice .
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