JP7188221B2 - Liquid crystal panel manufacturing equipment - Google Patents

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Description

本発明の実施形態は、液晶パネル製造装置に関する。 An embodiment of the present invention relates to a liquid crystal panel manufacturing apparatus.

近年、光反応性物質を含有する液晶体を封入した被処理パネルに対する電圧の印加と紫外線の照射を並行することで、液晶体に含まれるモノマーの配向状態を制御する液晶パネル製造装置がある。 In recent years, there is a liquid crystal panel manufacturing apparatus that controls the orientation state of monomers contained in the liquid crystal by simultaneously applying a voltage and irradiating ultraviolet rays to a panel to be processed in which a liquid crystal containing a photoreactive substance is sealed.

特開２０１１‐１４６３６３号公報JP 2011-146363 A 特開２００９‐２６６５７４号公報JP-A-2009-266574

ところで、高性能な液晶パネルを製造するためには、照射性能を向上させて被処理パネルに対する紫外線の照射ムラを低減することが求められる。 By the way, in order to manufacture a high-performance liquid crystal panel, it is required to improve the irradiation performance and reduce the irradiation unevenness of the ultraviolet rays to the panel to be processed.

本発明が解決しようとする課題は、被処理パネルに対する紫外線の照射ムラを低減することができる液晶パネル製造装置を提供することである。 A problem to be solved by the present invention is to provide a liquid crystal panel manufacturing apparatus capable of reducing uneven irradiation of ultraviolet rays on a panel to be processed.

実施形態の液晶パネル製造装置は、複数の放電ランプとシャッタとを具備する。放電ランプは、発光部と、発光部の両端に設けられる非発光部とを有する。放電ランプは、光反応性物質を含有する被処理パネルに光を照射する。シャッタは、複数の放電ランプと被処理パネルとの間に配置される。複数の放電ランプは、各放電ランプの直径Ｄ［ｍｍ］と径方向に隣り合う放電ランプ間のピッチｄ１［ｍｍ］とが１．１Ｄ≦ｄ１≦１０Ｄの関係を有する。シャッタは、１０００［ｍｍ／ｓ］以上の駆動速度で開閉する可動部を有する。可動部は、複数の第１可動片と複数の第２可動片とを有する。シャッタが開状態から閉状態に動作される場合、複数の第１可動片は第１方向に、複数の第２可動片は第１方向とは反対の第２方向に、それぞれ移動する。シャッタが閉状態から開状態に動作される場合、複数の第１可動片は第２方向に、複数の第２可動片は第１方向に、それぞれ移動する。 A liquid crystal panel manufacturing apparatus according to an embodiment includes a plurality of discharge lamps and a shutter . The discharge lamp has a light-emitting portion and non-light-emitting portions provided at both ends of the light-emitting portion. A discharge lamp irradiates a treated panel containing photoreactive substances with light. A shutter is positioned between the plurality of discharge lamps and the panel to be treated. In the plurality of discharge lamps, the diameter D [mm] of each discharge lamp and the pitch d1 [mm] between adjacent discharge lamps in the radial direction have a relationship of 1.1D≦d1≦10D. The shutter has a movable part that opens and closes at a driving speed of 1000 [mm/s] or higher. The movable portion has a plurality of first movable pieces and a plurality of second movable pieces. When the shutter is operated from the open state to the closed state, the plurality of first movable pieces move in the first direction and the plurality of second movable pieces move in the second direction opposite to the first direction. When the shutter is operated from the closed state to the open state, the plurality of first movable pieces move in the second direction, and the plurality of second movable pieces move in the first direction.

本発明によれば、被処理パネルに対する紫外線の照射ムラを低減することができる。 According to the present invention, it is possible to reduce uneven irradiation of ultraviolet rays on the panel to be processed.

実施形態に係る液晶パネル製造装置の側面図である。1 is a side view of a liquid crystal panel manufacturing apparatus according to an embodiment; FIG. 実施形態に係る放電ランプの側面図である。1 is a side view of a discharge lamp according to an embodiment; FIG. 液晶パネルを模式的に示す断面図である。It is a sectional view showing a liquid crystal panel typically. 実施形態に係るランプモジュールの模式図である。1 is a schematic diagram of a lamp module according to an embodiment; FIG. 配向分布を比較した結果を示す図である。It is a figure which shows the result of having compared orientation distribution. 実施形態に係る液晶パネル製造装置が備えるシャッタの平面図である。FIG. 3 is a plan view of a shutter included in the liquid crystal panel manufacturing apparatus according to the embodiment; 可動部が閉じたシャッタの平面図である。FIG. 4 is a plan view of the shutter with the movable portion closed; シャッタの可動部が閉じた液晶パネル製造装置の側面図である。FIG. 4 is a side view of the liquid crystal panel manufacturing apparatus in which the movable portion of the shutter is closed; 可動部の駆動速度とパネル性能との関係を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing the relationship between the drive speed of a movable portion and panel performance;

以下で説明する実施形態に係るランプモジュール４１は、複数の放電ランプ１を具備する。放電ランプ１は、発光部と、発光部の両端に設けられる非発光部１３とを有する。放電ランプ１は、光反応性物質を含有する被処理パネル６に光を照射する。複数の放電ランプ１は、各放電ランプの直径Ｄ［ｍｍ］と径方向に隣り合う放電ランプ１間のピッチｄ１［ｍｍ］とが１．１Ｄ≦ｄ１≦１０Ｄの関係を有する。 A lamp module 41 according to an embodiment described below comprises a plurality of discharge lamps 1 . The discharge lamp 1 has a light-emitting portion and non-light-emitting portions 13 provided at both ends of the light-emitting portion. A discharge lamp 1 irradiates a panel 6 to be treated containing a photoreactive substance with light. The plurality of discharge lamps 1 have a relationship of 1.1D≦d1≦10D between the diameter D [mm] of each discharge lamp and the pitch d1 [mm] between the discharge lamps 1 adjacent to each other in the radial direction.

また、以下で説明する実施形態に係る複数の放電ランプ１は、径方向に隣り合う放電ランプ１の発光部同士が２０［ｍｍ］以上１２０［ｍｍ］以下の範囲でオーバーラップするように千鳥配列されている。 Further, the plurality of discharge lamps 1 according to the embodiment described below are arranged in a zigzag arrangement so that the light emitting portions of the discharge lamps 1 adjacent to each other in the radial direction overlap in a range of 20 [mm] or more and 120 [mm] or less. It is

また、以下で説明する実施形態に係る液晶パネル製造装置１００は、ランプモジュール４１とシャッタ６０とを具備する。シャッタ６０は、複数の放電ランプ１と被処理パネル６との間に配置される。シャッタ６０は、１０００［ｍｍ／ｓ］以上の駆動速度で開閉する可動部６７を有する。 Also, the liquid crystal panel manufacturing apparatus 100 according to the embodiment described below includes a lamp module 41 and a shutter 60 . A shutter 60 is arranged between the plurality of discharge lamps 1 and the panel 6 to be treated. The shutter 60 has a movable portion 67 that opens and closes at a driving speed of 1000 [mm/s] or more.

また、以下で説明する実施形態に係る被処理パネル６は、液晶層９と、液晶層９を挟んで対向する一対の基板７、８とを有し、複数の放電ランプ１は、電圧を印加した液晶層９に紫外線を照射する。 The panel 6 to be processed according to the embodiment described below has a liquid crystal layer 9 and a pair of substrates 7 and 8 facing each other with the liquid crystal layer 9 interposed therebetween. The liquid crystal layer 9 thus formed is irradiated with ultraviolet rays.

以下に、本発明に係る実施形態を図面に基づき説明する。なお、以下に示す各実施形態は、本発明が開示する技術を限定するものではない。また、以下に示す各実施形態及び各変形例は、矛盾しない範囲で適宜組合せることができる。また、各実施形態の説明において、同一構成には同一符号を付与して後出の説明を適宜省略する。 Embodiments according to the present invention will be described below with reference to the drawings. It should be noted that each embodiment described below does not limit the technology disclosed by the present invention. Moreover, each embodiment and each modified example shown below can be appropriately combined within a consistent range. In addition, in the description of each embodiment, the same reference numerals are given to the same configurations, and the description later will be omitted as appropriate.

［実施形態］
まず、図１を用いて実施形態に係る液晶パネル製造装置の概要について説明する。図１は、実施形態に係る液晶パネル製造装置の側面図である。 [Embodiment]
First, the outline of the liquid crystal panel manufacturing apparatus according to the embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a side view of the liquid crystal panel manufacturing apparatus according to the embodiment.

なお、説明を分かりやすくするために、図１には、鉛直下向きを正方向とし、鉛直上向きを負方向とするＺ軸を含む３次元の直交座標系を図示している。かかる直交座標系は、後出の説明に用いる他の図面でも示す場合がある。 In order to make the explanation easier to understand, FIG. 1 shows a three-dimensional orthogonal coordinate system including the Z-axis, in which the vertically downward direction is the positive direction and the vertically upward direction is the negative direction. Such an orthogonal coordinate system may also be shown in other drawings used in the description below.

図１に示すように、実施形態に係る液晶パネル製造装置１００は、照射部４０と、ステージ部５０と、シャッタ６０とを有する。液晶パネル製造装置１００は、ステージ部５０に配置された被処理パネル６に紫外線を照射して液晶パネルを製造する装置である。 As shown in FIG. 1 , the liquid crystal panel manufacturing apparatus 100 according to the embodiment has an irradiation section 40 , a stage section 50 and a shutter 60 . The liquid crystal panel manufacturing apparatus 100 is an apparatus for manufacturing a liquid crystal panel by irradiating the panel 6 to be processed placed on the stage section 50 with ultraviolet rays.

照射部４０は、ランプモジュール４１と、点灯装置４２と、反射板４３とを有する。ランプモジュール４１は、複数の放電ランプ１を有する。放電ランプ１は、点灯装置４２を介して不図示の電源装置から供給された電力により、被処理パネル６の処理に適した波長の紫外線を放射する。ここで、図２を用いて放電ランプ１の構成例について説明する。 The irradiation section 40 has a lamp module 41 , a lighting device 42 and a reflector 43 . A lamp module 41 has a plurality of discharge lamps 1 . The discharge lamp 1 emits ultraviolet light having a wavelength suitable for processing the panel 6 to be processed by power supplied from a power supply device (not shown) via the lighting device 42 . Here, a configuration example of the discharge lamp 1 will be described with reference to FIG.

図２は、実施形態に係る放電ランプの側面図である。図２に示すように、実施形態に係る放電ランプ１は、発光管１０と、一対の口金１１と、一対の接点１２と、一対の電極２０と、蛍光体３０とを有する。一対の電極２０は、発光管１０の長さ方向の両端部に設けられており、発光管１０を支持する一対の口金１１の端部に位置するピン状の一対の接点１２にそれぞれ接続されている。 FIG. 2 is a side view of the discharge lamp according to the embodiment. As shown in FIG. 2 , the discharge lamp 1 according to the embodiment has an arc tube 10 , a pair of bases 11 , a pair of contacts 12 , a pair of electrodes 20 and a phosphor 30 . The pair of electrodes 20 are provided at both ends of the arc tube 10 in the length direction, and are connected to a pair of pin-shaped contacts 12 located at the ends of a pair of bases 11 that support the arc tube 10, respectively. there is

放電ランプ１は、例えば、管径Ｄ＝１５．５［ｍｍ］、発光長Ｌ１＝１６５０［ｍｍ］、管長Ｌ２＝１７００［ｍｍ］、全長Ｌ３＝１７１４．１［ｍｍ］の熱陰極蛍光ランプである。また、放電ランプ１の照度設定値は、例えば、０．５［ｍＷ/ｃｍ２］（３１３［ｎｍ］）とすることができる。発光管１０は、石英（ＳｉＯ２）を主成分とする硬質ガラスであり、接点１２を介した通電により生じた光を透過する。発光管１０は、発光部の一例である。一方、発光管１０の両端に配置された口金１１および接点１２を総称して、非発光部１３と称する場合がある。 The discharge lamp 1 is, for example, a hot cathode fluorescent lamp having a tube diameter D of 15.5 [mm], an emission length L1 of 1650 [mm], a tube length L2 of 1700 [mm], and an overall length L3 of 1714.1 [mm]. be. Also, the illuminance setting value of the discharge lamp 1 can be set to, for example, 0.5 [mW/cm 2 ] (313 [nm]). The arc tube 10 is made of hard glass containing quartz (SiO 2 ) as a main component, and transmits light generated by energization through the contact 12 . The arc tube 10 is an example of a light emitting section. On the other hand, the caps 11 and the contacts 12 arranged at both ends of the arc tube 10 may be collectively referred to as non-light-emitting portions 13 .

また、放電ランプ１は、蛍光体３０として、例えば、ストロンチウム（Ｓｒ）、マグネシウム（Ｍｇ）およびバリウム（Ｂａ）のうち、一以上を有するアルミン酸塩と、賦活剤としてのセリウム（Ｃｅ）とを含有する。具体的には、例えば、ＳｒＡｌ１２Ｏ１９：Ｃｅ（セリウム賦活アルミン酸ストロンチウム）または（ＭｇＳｒＢａ）Ａｌ１１Ｏ１９：Ｃｅを蛍光体３０として適用することができる。蛍光体３０は、例えば、発光管１０の内面に塗布されている。また、発光管１０の内部には、例えばアルゴン（Ａｒ）、ネオン（Ｎｅ）等の希ガスを含む不活性ガスと、水銀とが封入されている。 Further, the discharge lamp 1 uses, as the phosphor 30, an aluminate containing one or more of strontium (Sr), magnesium (Mg) and barium (Ba), and cerium (Ce) as an activator. contains. Specifically, for example, SrAl 12 O 19 :Ce (cerium-activated strontium aluminate) or (MgSrBa)Al 11 O 19 :Ce can be applied as the phosphor 30 . The phosphor 30 is applied to the inner surface of the arc tube 10, for example. In addition, an inert gas containing rare gases such as argon (Ar) and neon (Ne), and mercury are sealed inside the arc tube 10 .

反射板４３は、放電ランプ１から放射される紫外線をステージ部５０に向かうように反射させることで、照射効率を高めるものである。図１に示した例では、反射板４３は、ランプモジュール４１の背面側（Ｚ軸負方向側）にのみ配置させたが、これに限らず、例えば、照射部４０やステージ部５０の内部に配置させてもよい。 The reflector plate 43 reflects the ultraviolet rays emitted from the discharge lamp 1 toward the stage portion 50, thereby enhancing the irradiation efficiency. In the example shown in FIG. 1, the reflector 43 is arranged only on the back side (Z-axis negative direction side) of the lamp module 41, but is not limited to this. may be placed.

ステージ部５０は、ステージ５１と、リフトピン５２とを有する。ステージ５１は、所定の位置に載置された被処理パネル６に電圧を印加する。ステージ５１は、例えば、放熱性の高いアルミニウムを使用することができる。また、ステージサイズは、特に制限されないが、例えば、３０００［ｍｍ］（Ｘ軸方向）×３４００［ｍｍ］のステージ５１であってもよい。また、ステージ５１の表面にフッ素樹脂をコーティングすると、パネル交換後の迅速な除電が可能となり、液晶パネルを効率よく製造することができる。 The stage section 50 has a stage 51 and lift pins 52 . The stage 51 applies voltage to the panel 6 to be processed placed at a predetermined position. For the stage 51, for example, aluminum with high heat dissipation can be used. The stage size is not particularly limited, but may be, for example, the stage 51 of 3000 [mm] (X-axis direction) x 3400 [mm]. Further, when the surface of the stage 51 is coated with a fluororesin, it becomes possible to quickly remove static electricity after the panel is replaced, and the liquid crystal panel can be manufactured efficiently.

リフトピン５２は、載置された被処理パネル６を昇降させる昇降機であり、主として被処理パネル６の搬出入に使用される。具体的には、リフトピン５２は、不図示の搬出入口からステージ部５０に搬入された被処理パネル６を受け取る。また、リフトピン５２は、ステージ５１上に載置された紫外線照射後の被処理パネル６を浮上させ、不図示の搬送ロボットに受け渡す。 The lift pin 52 is an elevator that lifts and lowers the mounted panel 6 to be processed, and is mainly used for loading and unloading the panel 6 to be processed. Specifically, the lift pins 52 receive the panel to be processed 6 carried into the stage section 50 from a loading/unloading port (not shown). Further, the lift pins 52 float the panel 6 to be processed placed on the stage 51 after being irradiated with ultraviolet rays, and deliver it to a transfer robot (not shown).

上述したように、実施形態に係る放電ランプ１は、被処理パネル６の処理に適した波長の紫外線を放射することで液晶パネルを効率よく製造することができるものである。ここで、図３を用いて、被処理パネル６について説明する。 As described above, the discharge lamp 1 according to the embodiment can efficiently manufacture liquid crystal panels by emitting ultraviolet light having a wavelength suitable for processing the panel 6 to be processed. Here, the processed panel 6 will be described with reference to FIG.

図３は、液晶パネルを模式的に示す断面図である。図３に示す被処理パネル６は、一対の基板７、８と、基板７と基板８との間に設けられた液晶層９とを有する。 FIG. 3 is a cross-sectional view schematically showing the liquid crystal panel. A panel 6 to be processed shown in FIG. 3 has a pair of substrates 7 and 8 and a liquid crystal layer 9 provided between the substrates 7 and 8 .

基板７は、例えば、赤色、緑色、青色の光を透過するカラーフィルタ（図示しない）が基材上に配置され、保護膜でカラーフィルタが覆われてなるカラーフィルタ基板である。基板８は、液晶層９を挟んで基板７と対向するように設けられた対向基板であり、複数の電極がアレイ状に配置されている。 The substrate 7 is, for example, a color filter substrate in which color filters (not shown) transmitting red, green, and blue light are arranged on a base material, and the color filters are covered with a protective film. The substrate 8 is a counter substrate provided so as to face the substrate 7 with the liquid crystal layer 9 interposed therebetween, and has a plurality of electrodes arranged in an array.

液晶層９は、液晶組成物と光反応性物質としての重合性モノマーとを含む。液晶層９は、放電ランプ１から放射された特定の波長を有する紫外線を吸収することで重合性モノマーが重合し、ステージ５１上での電圧の印加によって配向を制御させた液晶組成物が安定化される。 The liquid crystal layer 9 contains a liquid crystal composition and a polymerizable monomer as a photoreactive substance. The liquid crystal layer 9 absorbs ultraviolet rays having a specific wavelength emitted from the discharge lamp 1 to polymerize the polymerizable monomer, and the liquid crystal composition whose orientation is controlled by the application of voltage on the stage 51 is stabilized. be done.

次に、実施形態に係るランプモジュール４１における複数の放電ランプ１の配置について説明する。図４は、実施形態に係るランプモジュールの模式図である。 Next, the arrangement of the plurality of discharge lamps 1 in the lamp module 41 according to the embodiment will be described. FIG. 4 is a schematic diagram of a lamp module according to the embodiment.

図４に示すように、複数の放電ランプ１は、天板４４に設けられたソケット（不図示）にそれぞれ装着されており、放電ランプ１の長さ方向がシャッタ６０の開閉方向であるＸ軸方向に沿うようにそれぞれ平行に配置されている。なお、天板４４は、反射板４３（図１参照）を兼ねてもよい。ソケットは、放電ランプ１を点灯させる点灯装置４２（図１参照）と電気的に接続されており、点灯装置４２よりソケットを介して放電ランプ１に電力が供給されることで、放電ランプ１が点灯する。放電ランプ１の点灯により、ステージ５１上に載置された被処理パネル６に向けて紫外線が照射される。 As shown in FIG. 4 , the plurality of discharge lamps 1 are mounted in sockets (not shown) provided on the top plate 44 , and the length direction of the discharge lamps 1 is the X-axis along which the shutter 60 opens and closes. They are arranged parallel to each other along the direction. Note that the top plate 44 may also serve as the reflector 43 (see FIG. 1). The socket is electrically connected to a lighting device 42 (see FIG. 1) that lights the discharge lamp 1. When power is supplied from the lighting device 42 to the discharge lamp 1 through the socket, the discharge lamp 1 is turned on. Light. When the discharge lamp 1 is turned on, the panel 6 to be processed placed on the stage 51 is irradiated with ultraviolet rays.

また、複数の放電ランプ１は、径方向（Ｙ軸方向）に隣り合う放電ランプ１間のピッチｄ１［ｍｍ］が等間隔となるようにそれぞれ配置されている。具体的には、各放電ランプ１の直径Ｄ［ｍｍ］（図２参照）に対し、１．１Ｄ≦ｄ１≦１０Ｄの関係を有するように配置される。ピッチｄ１［ｍｍ］を上記した範囲に規定することで、ステージ５１上に載置された被処理パネル６の全体にわたって紫外線の照射ムラを低減することができ、高性能な液晶パネルの製造が可能となる。 Further, the plurality of discharge lamps 1 are arranged such that the pitch d1 [mm] between adjacent discharge lamps 1 in the radial direction (Y-axis direction) is equal. Specifically, they are arranged so as to have a relationship of 1.1D≦d1≦10D with respect to the diameter D [mm] (see FIG. 2) of each discharge lamp 1 . By setting the pitch d1 [mm] within the range described above, it is possible to reduce uneven irradiation of ultraviolet rays over the entire panel 6 to be processed placed on the stage 51, and to manufacture a high-performance liquid crystal panel. becomes.

一方、ピッチｄ１［ｍｍ］が１０Ｄを超えると、ランプモジュール４１から照射される紫外線の均斉度が低下する。また、ピッチｄ１［ｍｍ］が１０Ｄを超えると、単位面積当たりに配置される放電ランプ１の数が少なくなるため、所定の照度を満足できない。このため、高性能な液晶パネルの製造が困難となる。また、ピッチｄ１［ｍｍ］が１．１Ｄ未満とすると、径方向に隣り合う放電ランプ１の発光部（発光管１０）または非発光部１３とソケット（不図示）とが干渉する可能性が高く、現実的でない。 On the other hand, when the pitch d1 [mm] exceeds 10D, the uniformity of the ultraviolet rays emitted from the lamp module 41 is lowered. Further, when the pitch d1 [mm] exceeds 10D, the number of discharge lamps 1 arranged per unit area is reduced, and the predetermined illuminance cannot be satisfied. Therefore, it becomes difficult to manufacture a high-performance liquid crystal panel. Also, if the pitch d1 [mm] is less than 1.1D, there is a high possibility that the light-emitting portion (light-emitting tube 10) or non-light-emitting portion 13 of the discharge lamp 1 adjacent in the radial direction will interfere with the socket (not shown). , unrealistic.

また、ランプモジュール４１は、径方向に隣り合う放電ランプ１の発光部としての発光管１０同士が所定の寸法ｄ２［ｍｍ］だけオーバーラップするように千鳥配列される。寸法ｄ２［ｍｍ］は、ランプモジュール４１の長手方向（Ｘ軸方向）の均斉度に影響を及ぼす。具体的には、図４に示す寸法ｄ２［ｍｍ］が、例えば、２０［ｍｍ］以上１２０［ｍｍ］以下の範囲となるように配列されることにより、被処理パネル６に対する紫外線の照射ムラを低減することができ、高性能な液晶パネルの製造が可能となる。寸法ｄ２［ｍｍ］が２０［ｍｍ］未満だと、オーバーラップさせた部分の近傍において照度が相対的に低下し、均斉度が低下する。また、寸法ｄ２［ｍｍ］が１２０［ｍｍ］を超えると、オーバーラップさせた部分の近傍において照度が相対的に増大し、均斉度が低下する。この点につき、図５に示した例を用いて説明する。 The lamp modules 41 are arranged in a zigzag manner so that arc tubes 10 as light emitting portions of the discharge lamps 1 adjacent to each other in the radial direction overlap each other by a predetermined dimension d2 [mm]. The dimension d2 [mm] affects the uniformity of the lamp module 41 in the longitudinal direction (X-axis direction). Specifically, by arranging such that the dimension d2 [mm] shown in FIG. can be reduced, making it possible to manufacture a high-performance liquid crystal panel. If the dimension d2 [mm] is less than 20 [mm], the illuminance in the vicinity of the overlapped portion is relatively low, resulting in a low uniformity. Moreover, when the dimension d2 [mm] exceeds 120 [mm], the illuminance relatively increases in the vicinity of the overlapped portion, and the degree of uniformity decreases. This point will be described using the example shown in FIG.

図５は、配向分布を比較した結果を示す図である。図５に示す例では、管径Ｄ＝１５．５［ｍｍ］、発光長Ｌ１＝１６５０［ｍｍ］の発光管１０を有する複数の放電ランプ１を、ピッチｄ１＝１９［ｍｍ］、寸法ｄ２＝１３０、６０、１０［ｍｍ］だけオーバーラップするように千鳥配列されたランプモジュール４１をそれぞれ作製し、配向分布を比較したものである。 FIG. 5 is a diagram showing the result of comparing orientation distributions. In the example shown in FIG. 5, a plurality of discharge lamps 1 having arc tubes 10 with a tube diameter D of 15.5 [mm] and an emission length L1 of 1650 [mm] are arranged at a pitch d1 of 19 [mm] and a dimension d2 of The lamp modules 41 arranged in a zigzag arrangement so as to overlap by 130, 60, and 10 [mm] were produced, respectively, and the orientation distributions were compared.

また、図５中、横軸の「測定ポイント［ｍｍ］」は、図４に記載されている寸法ｄ２のＸ軸方向に平行な中心を０［ｍｍ］と規定し、ランプ軸方向に沿って３００［ｍｍ］離れた箇所をそれぞれ３００［ｍｍ］、９００［ｍｍ］と規定したものである。また、縦軸の「３１３ｎｍ相対照度」とは、図４に記載のとおり、複数の放電ランプ１の配列が異なることによる照度分布に影響がない箇所、具体的にはＸ＝＋４５０［ｍｍ］、－４５０［ｍｍ］の照度値を基準に、規格化したものである。照度値は、照度計：ＵＶ－Ｍ０３Ａ（オーク製作所製）、センサ：ＵＶ－ＳＮ３１（オーク製作所製）で測定した値である。なお、Ｘ＝＋４５０［ｍｍ］、－４５０［ｍｍ］のポイントにおける照度値は同じであるが、Ｘ＝＋４５０［ｍｍ］とＸ＝－４５０［ｍｍ］のポイントにおける照度値が異なる場合は、おのおのの照度値を足し合わせた平均値を基準に規格化してもよい。 In FIG. 5, the "measurement point [mm]" on the horizontal axis defines the center parallel to the X-axis direction of the dimension d2 shown in FIG. The points separated by 300 [mm] are defined as 300 [mm] and 900 [mm], respectively. In addition, the "313 nm relative illuminance" on the vertical axis is, as shown in FIG. It is standardized based on the illuminance value of −450 [mm]. The illuminance value is a value measured with an illuminometer: UV-M03A (manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) and a sensor: UV-SN31 (manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.). Although the illuminance values at the points of X = +450 [mm] and -450 [mm] are the same, if the illuminance values at the points of X = +450 [mm] and X = -450 [mm] are different, may be normalized based on the average value obtained by adding the illuminance values of .

図５に示すように、寸法ｄ２＝６０［ｍｍ］の場合には、被処理パネル６に対する紫外線の照射ムラが少なく、高性能な液晶パネルの製造が可能となる。一方、寸法ｄ２［ｍｍ］＝１０［ｍｍ］の場合には、測定ポイント＝－３００［ｍｍ］～３００［ｍｍ］付近において照度が相対的に低下し、均斉度が低下する。また、寸法ｄ２［ｍｍ］＝１３０［ｍｍ］の場合には、測定ポイント＝－４００［ｍｍ］～４００［ｍｍ］付近において照度が相対的に増大してしまい、均斉度が低下する。 As shown in FIG. 5, when the dimension d2 is 60 [mm], the UV irradiation unevenness on the panel 6 to be processed is small, and a high-performance liquid crystal panel can be manufactured. On the other hand, when the dimension d2 [mm]=10 [mm], the illuminance relatively decreases near the measurement point=−300 [mm] to 300 [mm], and the degree of uniformity decreases. Moreover, when the dimension d2 [mm]=130 [mm], the illuminance relatively increases near the measurement point=−400 [mm] to 400 [mm], and the degree of uniformity decreases.

図１に戻り、液晶パネル製造装置１００についてさらに説明する。シャッタ６０は、照射部４０とステージ部５０との間に配置されており、ステージ部５０に搬入された被処理パネル６に対し、照射部４０から照射される紫外線の照射時間やタイミングを制御する。ここで、図６～図８を用いて、シャッタ６０についてさらに説明する。 Returning to FIG. 1, the liquid crystal panel manufacturing apparatus 100 will be further described. The shutter 60 is arranged between the irradiation section 40 and the stage section 50, and controls the irradiation time and timing of the ultraviolet rays irradiated from the irradiation section 40 to the panel 6 to be processed carried into the stage section 50. . Here, the shutter 60 will be further described with reference to FIGS. 6 to 8. FIG.

図６は、実施形態に係る液晶パネル製造装置が備えるシャッタの平面図である。図７は、可動部が閉じたシャッタの平面図である。図８は、シャッタの可動部が閉じた液晶パネル製造装置の側面図である。 FIG. 6 is a plan view of a shutter included in the liquid crystal panel manufacturing apparatus according to the embodiment; FIG. 7 is a plan view of the shutter with the movable portion closed. FIG. 8 is a side view of the liquid crystal panel manufacturing apparatus in which the movable portion of the shutter is closed.

図６、図７に示すように、シャッタ６０は、固定部６２と、可動部６７と、駆動部６８とを有する。照射部４０から照射される紫外線は、開口６１を介してステージ部５０に向けて照射される。開口６１は、可動部６７が開くことによってシャッタ６０の中央に形成される。開口６１は、可動部６７の開閉方向であるＸ軸方向の寸法Ｘ１［ｍｍ］、固定部６２が延在するＹ軸方向の寸法Ｙ１［ｍｍ］を最大とする被処理パネル６に対し、照射部４０から放射される紫外線を均等に照射可能となるように設計される。具体的には、液晶パネル製造装置１００は、寸法Ｘ１＝２９７０［ｍｍ］、寸法Ｙ１＝３３７０［ｍｍ］となる被処理パネル６の加工が可能である。 As shown in FIGS. 6 and 7 , the shutter 60 has a fixed portion 62 , a movable portion 67 and a driving portion 68 . The ultraviolet rays emitted from the irradiation section 40 are directed toward the stage section 50 through the opening 61 . Opening 61 is formed in the center of shutter 60 by opening movable portion 67 . The opening 61 irradiates the panel 6 to be processed, which has a maximum dimension X1 [mm] in the X-axis direction, which is the opening/closing direction of the movable portion 67, and a dimension Y1 [mm] in the Y-axis direction, in which the fixed portion 62 extends. It is designed so that the ultraviolet rays radiated from the portion 40 can be evenly irradiated. Specifically, the liquid crystal panel manufacturing apparatus 100 is capable of processing the panel 6 to be processed with the dimension X1=2970 [mm] and the dimension Y1=3370 [mm].

図７、図８に示すように、可動部６７は、可動片６３～６６を含む。また、駆動部６８は、可動片６３～６６の開閉を制御する一対の駆動ユニット６８ａ～６８ｄをそれぞれ有する。駆動ユニット６８ａ～６８ｄは、例えば、リニアモータその他の直動モータを有してもよい。不図示のシャッタ制御部により可動部６７が開→閉に動作されるとき、駆動ユニット６８ａ、６８ｂは可動片６３、６４をＸ軸正方向側にそれぞれ移動させ、駆動ユニット６８ｃ、６８ｄは可動片６５、６６をＸ軸負方向側にそれぞれ移動させる。また、可動部６７が閉→開に動作されるとき、駆動ユニット６８ａ、６８ｂは可動片６３、６４をＸ軸負方向側にそれぞれ移動させ、駆動ユニット６８ｃ、６８ｄは可動片６５、６６をＸ軸正方向側にそれぞれ移動させる。なお、駆動部６８は、回転モータの駆動を直線運動に変換する直動機構を有してもよい。 As shown in FIGS. 7 and 8, the movable portion 67 includes movable pieces 63-66. Further, the drive section 68 has a pair of drive units 68a-68d for controlling the opening and closing of the movable pieces 63-66, respectively. Drive units 68a-68d may include, for example, linear motors or other linear motors. When the movable portion 67 is operated from open to closed by a shutter control portion (not shown), the drive units 68a and 68b move the movable pieces 63 and 64 in the positive direction of the X axis, respectively, and the drive units 68c and 68d move the movable pieces 65 and 66 are moved in the X-axis negative direction. Further, when the movable portion 67 is operated from closed to opened, the drive units 68a and 68b move the movable pieces 63 and 64 in the X-axis negative direction, respectively, and the drive units 68c and 68d move the movable pieces 65 and 66 in the X-axis direction. Move them in the positive direction of the axis. The drive unit 68 may have a linear motion mechanism that converts the drive of the rotary motor into linear motion.

上述のように、シャッタ６０は、ステージ部５０に搬入された被処理パネル６に対し、照射部４０から照射される紫外線の照射時間やタイミングを制御する。具体的には、図８に示すように、リフトピン５２が上昇した状態でステージ部５０に搬入された後、リフトピン５２の降下によってステージ５１上に載置された被処理パネル６は、所定の電圧印加が開始された後、照射部４０から被処理パネル６への紫外線照射が実施される。 As described above, the shutter 60 controls the irradiation time and timing of the ultraviolet rays irradiated from the irradiation section 40 to the panel 6 to be processed carried into the stage section 50 . Specifically, as shown in FIG. 8, the panel to be processed 6 placed on the stage 51 by the lift pins 52 being lowered after being carried into the stage section 50 in a state in which the lift pins 52 are raised is applied with a predetermined voltage. After the application is started, ultraviolet irradiation from the irradiation unit 40 to the panel 6 to be processed is performed.

すなわち、照射部４０から被処理パネル６への紫外線照射は、駆動部６８による可動部６７の駆動速度を制御し、可動部６７の閉→開、開→閉の状態遷移に要する時間を低減することによって実現することができる。具体的には、液晶パネル製造装置１００は、シャッタ６０の可動部６７が、例えば１０００［ｍｍ／ｓ］以上、さらに１０００［ｍｍ／ｓ］以上２０００［ｍｍ／ｓ］以下の駆動速度で開閉するよう駆動部６８を制御すると、被処理パネル６に対する紫外線の照射ムラが低減する。ここで、「駆動速度」とは、可動部６７が閉→開、開→閉と状態遷移するのに要した駆動時間に基づいてそれぞれ算出された駆動速度を平均することで算出されたものである。なお、可動部６７が「開」または「閉」の状態を維持した時間については、駆動時間に含まれない。 That is, the ultraviolet irradiation from the irradiation unit 40 to the panel 6 to be processed controls the driving speed of the movable unit 67 by the driving unit 68, and reduces the time required for the state transition of the movable unit 67 from closed to open and from open to closed. It can be realized by Specifically, in the liquid crystal panel manufacturing apparatus 100, the movable portion 67 of the shutter 60 opens and closes at a driving speed of, for example, 1000 [mm/s] or more, and further 1000 [mm/s] or more and 2000 [mm/s] or less. By controlling the drive unit 68 in such a manner, uneven irradiation of ultraviolet rays to the panel 6 to be processed is reduced. Here, the "driving speed" is calculated by averaging the driving speeds calculated based on the driving time required for the state transition of the movable portion 67 from closed to open and from open to closed. be. The time during which the movable portion 67 remains in the "open" or "closed" state is not included in the driving time.

図９は、可動部の駆動速度とパネル性能との関係を示す図である。図９では、可動部６７の駆動速度を５００［ｍｍ／ｓ］～３０００［ｍｍ／ｓ］の間で変更させたときの被処理パネル６の状態を、シャッタ耐久性と並べて示したものである。図９中、「○」、「△」、「×」は、○＞△＞×の順で被処理パネル６の状態またはシャッタ６０の耐久性がよいことをそれぞれ示すものである。 FIG. 9 is a diagram showing the relationship between the driving speed of the movable portion and the panel performance. FIG. 9 shows the state of the processed panel 6 when the driving speed of the movable portion 67 is changed between 500 [mm/s] and 3000 [mm/s], along with the shutter durability. . In FIG. 9, "◯", "Δ", and "X" indicate that the state of the panel 6 to be processed or the durability of the shutter 60 is good in the order of ◯>Δ>×.

図９に示すように、可動部６７の駆動速度が１０００［ｍｍ／ｓ］以上だと、例えば図６に示す被処理パネル６は、可動部６７の駆動方向であるＸ軸方向の全体にわたって良好な液晶パネルが得られる。一方、可動部６７の駆動速度が１０００［ｍｍ／ｓ］未満（５００［ｍｍ／ｓ］、７００［ｍｍ／ｓ］）だと、可動部６７の駆動方向に照射ムラが生じ、所望する品質の液晶パネルが得られない場合がある。 As shown in FIG. 9, when the driving speed of the movable portion 67 is 1000 [mm/s] or more, the panel 6 to be processed shown in FIG. A good liquid crystal panel can be obtained. On the other hand, if the driving speed of the movable portion 67 is less than 1000 [mm/s] (500 [mm/s], 700 [mm/s]), irradiation unevenness occurs in the driving direction of the movable portion 67, and the desired quality is not achieved. A liquid crystal panel may not be obtained.

なお、可動部６７の駆動速度は、シャッタ６０の耐久性に影響する場合がある。図９に示すように、可動部６７の駆動速度が２０００［ｍｍ／ｓ］以下の場合には、シャッタ６０の耐久性に対する影響は認められないが、可動部６７の駆動速度が２０００［ｍｍ／ｓ］を超える（２５００［ｍｍ／ｓ］、３０００［ｍｍ／ｓ］）と、シャッタ６０の駆動部６８や可動部６７に経時劣化が生じやすくなる。 Note that the driving speed of the movable portion 67 may affect the durability of the shutter 60 . As shown in FIG. 9, when the driving speed of the movable portion 67 is 2000 [mm/s] or less, there is no effect on the durability of the shutter 60, but the driving speed of the movable portion 67 is 2000 [mm/s]. s] (2500 [mm/s], 3000 [mm/s]), the driving portion 68 and the movable portion 67 of the shutter 60 are likely to deteriorate over time.

上述したように、実施形態に係るランプモジュール４１は、複数の放電ランプ１を具備する。放電ランプ１は、発光部と、発光部の両端に設けられる非発光部１３とを有する。放電ランプ１は、光反応性物質を含有する被処理パネル６に光を照射する。複数の放電ランプ１は、各放電ランプの直径Ｄ［ｍｍ］と径方向に隣り合う放電ランプ１間のピッチｄ１［ｍｍ］とが１．１Ｄ≦ｄ１≦１０Ｄの関係を有する。このため、被処理パネル６に対する紫外線の照射ムラを低減することができる。 As described above, the lamp module 41 according to the embodiment comprises a plurality of discharge lamps 1 . The discharge lamp 1 has a light-emitting portion and non-light-emitting portions 13 provided at both ends of the light-emitting portion. A discharge lamp 1 irradiates a panel 6 to be treated containing a photoreactive substance with light. The plurality of discharge lamps 1 have a relationship of 1.1D≦d1≦10D between the diameter D [mm] of each discharge lamp and the pitch d1 [mm] between the discharge lamps 1 adjacent to each other in the radial direction. Therefore, uneven irradiation of ultraviolet rays to the panel 6 to be processed can be reduced.

また、実施形態に係る複数の放電ランプ１は、径方向に隣り合う放電ランプ１の発光部同士が２０［ｍｍ］以上１２０［ｍｍ］以下の範囲でオーバーラップするように千鳥配列されている。このため、被処理パネル６に対する紫外線の照射ムラをさらに低減することができる。 Further, the plurality of discharge lamps 1 according to the embodiment are arranged in a zigzag arrangement so that the light emitting portions of the discharge lamps 1 adjacent to each other in the radial direction overlap in a range of 20 [mm] to 120 [mm]. Therefore, it is possible to further reduce the irradiation unevenness of the ultraviolet rays to the panel 6 to be processed.

また、実施形態に係る液晶パネル製造装置１００は、ランプモジュール４１とシャッタ６０とを具備する。シャッタ６０は、複数の放電ランプ１と被処理パネル６との間に配置される。シャッタ６０は、１０００［ｍｍ／ｓ］以上の駆動速度で開閉する可動部６７を有する。このため、被処理パネル６に対する紫外線の照射ムラを低減することができる。 Also, the liquid crystal panel manufacturing apparatus 100 according to the embodiment includes a lamp module 41 and a shutter 60 . A shutter 60 is arranged between the plurality of discharge lamps 1 and the panel 6 to be treated. The shutter 60 has a movable portion 67 that opens and closes at a driving speed of 1000 [mm/s] or higher. Therefore, uneven irradiation of ultraviolet rays to the panel 6 to be processed can be reduced.

なお、上記した実施形態では、放電ランプ１は、蛍光体３０として、ストロンチウム（Ｓｒ）、マグネシウム（Ｍｇ）およびバリウム（Ｂａ）のうち、一以上を有するアルミン酸塩を含有するとして説明されたが、これに限らず、蛍光体３０として、例えばＬａＰＯ４：Ｃｅ（セリウム賦活リン酸ランタン）を適用してもよい。また、放電ランプ１として、熱陰極蛍光ランプに代えて、メタルハライドランプを使用してもよい。 In the above-described embodiment, the discharge lamp 1 is described as containing an aluminate containing one or more of strontium (Sr), magnesium (Mg) and barium (Ba) as the phosphor 30. However, the phosphor 30 may be LaPO 4 :Ce (cerium-activated lanthanum phosphate), for example. Also, as the discharge lamp 1, a metal halide lamp may be used instead of the hot cathode fluorescent lamp.

また、上記した実施形態では、シャッタ６０の可動部６７がＸ軸方向に沿って開閉するとして説明したが、これに限らず、Ｙ軸方向に沿って開閉してもよい。 Further, in the above-described embodiment, the movable portion 67 of the shutter 60 is described as opening and closing along the X-axis direction, but it is not limited to this, and may be opened and closed along the Y-axis direction.

本発明の実施形態を説明したが、実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。 While embodiments of the invention have been described, the embodiments are provided by way of example and are not intended to limit the scope of the invention. Embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, and modifications can be made without departing from the scope of the invention. The embodiments and their modifications are included in the scope and spirit of the invention, as well as the scope of the invention described in the claims and its equivalents.

１ 放電ランプ
６ 被処理パネル
７、８ 基板
９ 液晶層
１０ 発光管
２０ 電極
３０ 蛍光体
４０ 照射部
４１ ランプモジュール
５０ ステージ部
５１ ステージ
６０ シャッタ
６１ 開口
６７ 可動部
６８ 駆動部
１００ 液晶パネル製造装置 REFERENCE SIGNS LIST 1 discharge lamp 6 panel to be processed 7, 8 substrate 9 liquid crystal layer 10 arc tube 20 electrode 30 phosphor 40 irradiation section 41 lamp module 50 stage section 51 stage 60 shutter 61 opening 67 movable section 68 drive section 100 liquid crystal panel manufacturing apparatus

Claims (3)

発光部と、前記発光部の両端に設けられる非発光部とを有し、光反応性物質を含有する被処理パネルに光を照射する複数の放電ランプと；
前記複数の放電ランプと前記被処理パネルとの間に配置されるシャッタと；
を具備し、
前記複数の放電ランプは、各放電ランプの直径Ｄ［ｍｍ］と径方向に隣り合う放電ランプ間のピッチｄ１［ｍｍ］とが１．１Ｄ≦ｄ１≦１０Ｄの関係を有し、
前記シャッタは、１０００［ｍｍ／ｓ］以上の駆動速度で開閉する可動部を有し、
前記可動部は、複数の第１可動片と複数の第２可動片とを有し、
前記シャッタが開状態から閉状態に動作される場合、前記複数の第１可動片は第１方向に、前記複数の第２可動片は前記第１方向とは反対の第２方向に、それぞれ移動し、
前記シャッタが閉状態から開状態に動作される場合、前記複数の第１可動片は前記第２方向に、前記複数の第２可動片は前記第１方向に、それぞれ移動する、液晶パネル製造装置。 a plurality of discharge lamps , each having a light-emitting portion and non-light-emitting portions provided at both ends of the light-emitting portion, for irradiating a panel to be processed containing a photoreactive substance with light;
a shutter disposed between the plurality of discharge lamps and the panel to be treated;
and
In the plurality of discharge lamps, a diameter D [mm] of each discharge lamp and a pitch d1 [mm] between radially adjacent discharge lamps have a relationship of 1.1D ≤ d1 ≤ 10D,
The shutter has a movable part that opens and closes at a driving speed of 1000 [mm/s] or more,
The movable portion has a plurality of first movable pieces and a plurality of second movable pieces,
When the shutter is operated from an open state to a closed state, the plurality of first movable pieces move in a first direction, and the plurality of second movable pieces move in a second direction opposite to the first direction. death,
The liquid crystal panel manufacturing apparatus , wherein when the shutter is operated from the closed state to the open state, the plurality of first movable pieces move in the second direction, and the plurality of second movable pieces move in the first direction. . 前記複数の放電ランプは、
径方向に隣り合う放電ランプの発光部同士が２０［ｍｍ］以上１２０［ｍｍ］以下の範囲でオーバーラップするように千鳥配列されている、請求項１に記載の液晶パネル製造装置。 The plurality of discharge lamps,
2. The liquid crystal panel manufacturing apparatus according to claim 1, wherein the light emitting portions of the discharge lamps adjacent to each other in the radial direction are arranged in a zigzag arrangement so that they overlap in a range of 20 [mm] to 120 [mm]. 前記被処理パネルは、液晶層と、前記液晶層を挟んで対向する一対の基板とを有し、
前記複数の放電ランプは、電圧を印加した前記液晶層に紫外線を照射する、請求項１または２に記載の液晶パネル製造装置。 The panel to be processed has a liquid crystal layer and a pair of substrates facing each other with the liquid crystal layer interposed therebetween,
3. The liquid crystal panel manufacturing apparatus according to claim 1 , wherein said plurality of discharge lamps irradiate said voltage-applied liquid crystal layer with ultraviolet rays.
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