JP7186796B2 - 電磁波発生装置及び電磁波発生システム - Google Patents
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Description
複数のグループに分けられている複数の電磁波発生素子と、
前記複数の電磁波発生素子をグループ単位でタイミングをずらしながら発振させる制御部と、を備え、
少なくとも1個の前記グループは、異なる発振周波数で発振する少なくとも2個の前記電磁波発生素子を含み、
前記電磁波発生素子の発振周波数は、70GHz以上10THz以下とされている、電磁波発生装置である。
請求項6に記載の発明は、
複数のグループに分けられている複数の電磁波発生素子と、
前記複数の電磁波発生素子をグループ単位でタイミングをずらしながら発振させる制御部と、
を備え、
少なくとも1個の前記グループは、異なる発振周波数で発振する少なくとも2個の前記電磁波発生素子を含み、
前記制御部は、前記複数のグループの数をn個とした場合に、m番目(mは2以上n以下の自然数)に発振する前記グループの発振開始タイミングがm-1番目に発振する前記グループの発振終了タイミングよりも前になるように、前記複数の電磁波発生素子を発振させる、電磁波発生装置である。
請求項7に記載の発明は、
複数のグループに分けられている複数の電磁波発生素子と、
前記複数の電磁波発生素子をグループ単位でタイミングをずらしながら発振させる制御部と、
を備え、
少なくとも1個の前記グループは、異なる発振周波数で発振する少なくとも2個の前記電磁波発生素子を含み、
前記複数の電磁波発生素子は、直線方向に沿って並べられており、
前記グループは、前記複数の電磁波発生素子のうち連続して並ぶ複数の前記電磁波発生素子の組合せで構成されている、電磁波発生装置である。
請求項1~8のいずれか1項に記載の電磁波発生装置と、
複数のグループに分けられている複数の電磁波検出素子をグループ単位でタイミングをずらしながら作動させ、前記複数の電磁波発生素子が発生した電磁波を検出する電磁波検出装置と、
を備える電磁波発生システムである。
以下、本発明の一例である、第1実施形態、第2実施形態及び第3実施形態並びに複数の変形例について図面を参照しながら説明する。なお、参照するすべての図面では同様の機能を有する構成要素に同様の符号を付し、明細書では適宜説明を省略する。
以下、第1実施形態について図面を参照しながら説明する。まず、本実施形態の電磁波発生システム10(図1及び図5参照)の機能及び構成について説明する。次いで、本実施形態の電磁波発生システム10の動作について説明する。次いで、本実施形態の効果について説明する。
図1は、本実施形態の電磁波発生システム10の概略図である。図5は、本実施形態の電磁波発生システム10を用いて測定対象物MOを測定している状態を示す概略図である。電磁波発生システム10は、電磁波発生装置20と、電磁波検出装置30と、制御装置40(制御部の一例)とを備えている。電磁波発生システム10は、一例として、測定対象物MOに向けて電磁波発生装置20に電磁波Wを発生させ、測定対象物MOを透過又は反射した電磁波Wを電磁波検出装置30に検出させ、制御装置40に測定対象物MOの形状等を解析させる機能を有する。
図2は、電磁波発生装置20及び制御装置40の概略図である。電磁波発生装置20は、電磁波発生部22と、バイアス電圧生成部24(以下、電圧生成部24という。)とを備えている。電磁波発生部22は電圧生成部24に接続され、電圧生成部24は制御装置40に接続されている。
図3は、電磁波発生部22の概略図である。電磁波発生部22は、基板22Aと、複数の電磁波発生素子22Bとを有している。
基板22Aは、図3に示されるように、一例として、長尺とされている。以下の説明では、基板22Aの長手方向(直線方向の一例)をX方向とし、短手方向をY方向とし、厚み方向をZ方向とする。基板22Aは、複数の電磁波発生素子22Bを実装するため及び電圧生成部24の出力端子(図示省略)を接合するための配線パターンが形成された、いわゆるプリント配線基板とされている。
本実施形態の説明では、便宜上、数量Nを100個としたが、数量Nは3個以上であれば100個でなくてもよい。例えば、数量Nは、3個以上100個よりも少なくてもよいし、100個よりも多くてもよい。
なお、電磁波発生部22は、電磁波発生システム10の動作時に、制御装置40に制御されて、Y方向の定められた範囲を移動可能とされている(図5参照)。そのため、電磁波発生装置20は、電磁波発生部22を移動させるための駆動機構(図示省略)を備えている。
なお、前述のとおり、本実施形態の複数の電磁波発生素子22Bの発振周波数は、一例として300GHz前後とされている。ただし、発振周波数がテラヘルツ波帯の周波数であれば、すなわち、発振周波数が70GHz以上10THz以下の範囲内であれば、複数の電磁波発生素子22Bの発振周波数は、300GHz前後でなくてもよい。
なお、本実施形態の説明では、便宜上、複数のグループの数nを20個、各グループを構成する複数の電磁波発生素子22Bの数量を5個としている。ただし、各グループを構成する複数の電磁波発生素子22Bの数量が2個以上であれば、複数のグループの数nは20個でなくてもよい。
次に、電圧生成部24について図2を参照しながら説明する。
電圧生成部24は、制御装置40に制御されて、複数の電磁波発生素子22Bが発振するためのバイアス電圧を複数の電磁波発生素子22Bに印加する機能を有する。電圧生成部24は、個別電源部2401、2402、2403、・・・、2498、2499、24100で構成されている。そして、個別電源部2401、2402、2403、・・・、2498、2499、24100は、それぞれ、電磁波発生素子22B01、22B02、22B03、・・・、22B98、22B99、22B100に接続されている。すなわち、本実施形態の電圧生成部24は、電磁波発生部22の電磁波発生素子22B01、22B02、22B03、・・・、22B98、22B99、22B100に、個別にバイアス電圧を印加するようになっている。なお、本実施形態の個別電源部2401、2402、2403、・・・、2498、2499、24100は、制御装置40に制御されることで、同じ大きさのバイアス電圧をそれぞれ定められたタイミングで出力するように設定されている(図6参照)。
次に、制御装置40について図1及び図2を参照しながら説明する。
制御装置40は、電磁波発生装置20を制御する機能と、電磁波検出装置30を制御する機能と、電磁波検出装置30による電磁波Wの検出結果等に基づいて測定対象物MOの形状等を解析する機能とを有する。制御装置40は、記憶部42を有している。記憶部42には、制御装置40が電磁波発生装置20及び電磁波検出装置30を制御して、測定対象物MOの測定動作を行うための制御プログラムCPが記憶されている。制御装置40は、制御プログラムCPに従い電磁波発生装置20及び電磁波検出装置30を制御して、測定対象物MOの測定動作を行うようになっている。制御装置40の具体的な機能については、後述する本実施形態の電磁波発生システム10の動作の説明の中で説明する。
次に、電磁波検出装置30について図1及び図4を参照しながら説明する。
電磁波検出装置30は、図1に示されるように、電磁波発生装置20が測定対象物MOに向けて発生させ、測定対象物MOを透過又は反射した電磁波Wを検出する機能を有する。
次に、本実施形態の電磁波発生システム10の動作(測定対象物MOの測定動作)について、図1~図6を参照しながら説明する。以下の説明では、測定対象物MOの一例を紙製の封筒に収容されている金属製部材(図示省略)とする。
なお、初期状態では、電磁波発生部22と電磁波検出部32とは、Z方向において互いに対向しつつ、Y方向の定められた位置(Y方向に移動可能な範囲のうちY方向の一端となる位置)に位置している。図5は、電磁波発生部22及び電磁波検出部32が初期状態での位置に位置している状態を示した図である。
また、制御装置40は、第1グループG1の発振期間中、電磁波検出部32の第1グループH1を構成する5個の電磁波検出素子36を制御して、第1グループH1を構成する5個の電磁波検出素子36に封筒を透過した電磁波Wを検出させる(図1及び図4参照)。そして、制御装置40は、電磁波検出部32の第1グループH1が検出した電磁波Wに関する情報を、電磁波検出部32から制御装置40に送信させる。送信された電磁波Wに関する情報は、記憶部42に記憶される。
また、制御装置40は、第2グループG2の発振期間中、電磁波検出部32の第2グループH2を構成する5個の電磁波検出素子36を制御して、第2グループH2を構成する5個の電磁波検出素子36に封筒を透過した電磁波Wを検出させる(図1及び図4参照)。そして、制御装置40は、電磁波検出部32の第2グループH2が検出した電磁波Wに関する情報を、電磁波検出部32から制御装置40に送信させる。送信された電磁波Wに関する情報は、記憶部42に記憶される。
その後、制御装置40が駆動機構により電磁波発生部22及び電磁波検出部32を初期位置に移動させると、本実施形態の電磁波発生システム10の測定対象物MOの測定動作が終了する。
次に、本実施形態の効果(第1~第6の効果)について図面を参照しながら説明する。
第1の効果は、複数のグループに分けられている複数の電磁波発生素子22Bをグループ単位でタイミングをずらしながら発振させることの効果である。
例えば、複数の電磁波発生素子22Bのすべてを同時に発振させる形態の場合、電磁波の発生動作時の瞬間最大消費電力(瞬間的に消費される消費電力の最大値)はすべての電磁波発生素子22Bの消費電力の和となる。
これに対して、本実施形態の電磁波発生装置20は、複数のグループに分けられている複数の電磁波発生素子22Bをグループ単位でタイミングをずらしながら発振させる(図3及び図6参照)。そのため、本実施形態の電磁波発生装置20の場合、瞬間最大消費電力は各グループを構成する複数の電磁波発生素子22Bの消費電力の和となる。
したがって、本実施形態の電磁波発生装置20は、複数の電磁波発生素子22Bのすべてを同時に発振させる形態に比べて、電磁波の発生動作時の瞬間最大消費電力を低減することができる。これに伴い、本実施形態の電磁波発生システム10は、測定対象物MOの測定動作時の瞬間最大消費電力を低減することができる。
なお、本効果は、複数の電磁波発生素子22Bがいわゆるテラヘルツ波を発振する素子である場合により顕著となる。
第2の効果は、同じグループに含まれる少なくとも1個の電磁波発生素子22Bが他の電磁波発生素子22Bと異なる発振周波数で発振することの効果である。
例えば、各グループに含まれるすべての電磁波発生素子22Bが同等の発振周波数で位相差無しで発振する形態の場合、各電磁波発生素子22Bから出射した電磁波Wはコヒーレントな関係を有する。そのため、各電磁波発生素子22Bから出射した電磁波Wは干渉し易い。
これに対して、本実施形態の各グループに含まれるすべての電磁波発生素子22Bは、互いに異なる発振周波数を有する(図3参照)。
したがって、本実施形態の電磁波発生装置20は、グループに含まれるすべての電磁波発生素子22Bが同等の発振周波数で位相差無しで発振する構成に比べて、各電磁波発生素子22Bから出射した電磁波Wが干渉しない(又はし難い)。
なお、本効果を説明するために、比較対象とされた「グループに含まれるすべての電磁波発生素子22Bが同等の発振周波数で位相差無しで発振する形態」であっても、第1の効果を奏する構成といえる。この点から、「グループに含まれるすべての電磁波発生素子22Bが同等の発振周波数で位相差無しで発振する構成」は、本発明の技術的範囲に含まれるといえる。
第3の効果は、同じグループに含まれる複数の電磁波発生素子22Bの発振周波数の最大値と最小値との差が1GHz以上100GHz以下とされていることの効果である。
第2の効果の比較形態はすべての電磁波発生素子22Bが同等の発振周波数で発振するため、複数の電磁波発生素子22Bの発振周波数の最大値と最小値との差が0GHz(<1GHz)である。この比較形態の場合は、前述のとおり、電磁波Wが干渉する虞がある。
また、複数の電磁波発生素子22Bの発振周波数の最大値と最小値との差が100GHzよりも大きい形態の場合、電磁波検出部32での電磁波Wの検出精度が低くなる。
これに対して、本実施形態の場合、同じグループに含まれる複数の電磁波発生素子22Bの発振周波数の最大値と最小値との差が1GHz以上100GHz以下とされている。
したがって、本実施形態は、複数の電磁波発生素子22Bの発振周波数の最大値と最小値との差が1GHz未満の形態に比べて電磁波Wの干渉が起こり難く、100GHzよりも大きい形態に比べて、電磁波検出部32での電磁波Wの検出精度が高い。
第4の効果は、電磁波発生部22の各グループは複数の電磁波発生素子22Bのうち連続して並ぶ複数の電磁波発生素子22Bの組合せで構成されていることの効果である。
本実施形態の場合、各グループの複数の電磁波発生素子22Bは、それぞれがX方向に沿って連続して並んでいる(図3参照)。別言すると、各グループを構成する複数の電磁波発生素子22Bは、塊となって電磁波Wを発生する。
したがって、本実施形態の電磁波発生装置20は、例えば、X方向に沿って不連続に並んでいる形態(例えば、図13の第3変形例を参照)に比べて、測定対象物MOに複数の電磁波発生素子22Bから出射する電磁波Wを集中して入射させることができる。これに伴い、本実施形態の電磁波発生システム10は、測定対象物MOの測定精度が高い。
次に、第2実施形態について図7を参照しながら説明する。本実施形態については、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。なお、本実施形態の説明において、第1実施形態と同じ構成要素等については同じ名称、符号等を用いることにする。
本実施形態のその他の効果は、第1実施形態の場合と同様である。
次に、第3実施形態について図8を参照しながら説明する。本実施形態については、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。なお、本実施形態の説明において、第1実施形態と同じ構成要素等については同じ名称、符号等を用いることにする。
これに対して、本実施形態の場合、同じグループのすべての電磁波発生素子22Bはそれぞれ同等の発振周波数を有するものの、それぞれ異なる位相で発振する。図8の位相差を表すグラフは、一例として、第1グループG1を構成する電磁波発生素子22B01~22B05をモデルとしたグラフである。
したがって、本実施形態の電磁波発生装置20Bは、グループに含まれるすべての電磁波発生素子22Bが同等の発振周波数で位相差無しで発振する形態に比べて、各電磁波発生素子22Bから出射した電磁波Wが干渉し難い(又は干渉しない)。
本実施形態のその他の効果は、第1実施形態の場合と同様である。
次に、第4実施形態について図9を参照しながら説明する。本実施形態については、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。なお、本実施形態の説明において、第1実施形態と同じ構成要素等については同じ名称、符号等を用いることにする。
また、本実施形態の電磁波発生システム10Cの電磁波発生装置20Cの電圧生成部24(図2を援用して参照)は、制御装置40に制御され、各グループを構成する複数の電磁波発生素子22Bにそれぞれ異なるバイアス電圧を印加する。ここで、本実施形態における電圧生成部24は、電圧印加部の一例である。以上が、本実施形態における第1実施形態の場合と異なる部分についての説明である。
これに対して、本実施形態の場合、制御装置40に制御された電圧生成部24は、各グループを構成する複数の電磁波発生素子22Bにそれぞれ異なるバイアス電圧を印加する。その結果、複数の電磁波発生素子22Bは、それぞれ異なる発振周波数で発振する。図9のグラフにおける各電磁波発生素子22B01~22B05の棒で示される値は、それぞれに異なるバイアス電圧が印加された場合の発振周波数を示す。
したがって、本実施形態の電磁波発生装置20Cは、グループに含まれるすべての電磁波発生素子22Bが同等の発振周波数で発振する形態に比べて、各電磁波発生素子22Bから出射した電磁波Wが干渉し難い(又は干渉しない)。
本実施形態のその他の効果は、第1実施形態の場合と同様である。
しかしながら、すべてのグループのうち少なくとも1個のグループに異なる発振周波数で発振する少なくとも2個の電磁波発生素子22Bが含まれている形態(図示省略)は、第2の効果の説明における比較形態に比べて、電磁波Wが干渉し難いといえる。
したがって、すべてのグループのうち少なくとも1個のグループに異なる発振周波数で発振する少なくとも2個の電磁波発生素子22Bが含まれている形態(図示省略)は、本発明の技術的範囲に属する形態である。
しかしながら、電磁波発生部22の各グループのうち少なくとも1個のグループが同等の発振周波数で発振する少なくとも2個の電磁波発生素子22Bを含み、この少なくとも2個の電磁波発生素子22Bをそれぞれ異なる位相で発振させる形態(図示省略)は、第3実施形態の比較形態に比べて、各電磁波発生素子22Bから出射した電磁波Wが干渉し難い(又は干渉しない)。
したがって、電磁波発生部22の各グループのうち少なくとも1個のグループが同等の発振周波数で発振する少なくとも2個の電磁波発生素子22Bを含み、この少なくとも2個の電磁波発生素子22Bをそれぞれ異なる位相で発振させる形態(図示省略)は、本発明の技術的範囲に属する形態である。
しかしながら、少なくとも1個のグループが同じバイアス電圧が印加されると同等の発振周波数で発振する少なくとも2個の電磁波発生素子を含んでおり、前記電圧印加部が少なくとも2個の電磁波発生素子が互いに異なる発振周波数で発振するように、少なくとも2個の電磁波発生素子に異なるバイアス電圧を印加する形態(図示省略)は、第4実施形態の比較形態に比べて、各電磁波発生素子22Bから出射した電磁波Wが干渉し難い(又は干渉しない)。
したがって、少なくとも1個のグループが同じバイアス電圧が印加されると同等の発振周波数で発振する少なくとも2個の電磁波発生素子を含んでおり、前記電圧印加部が少なくとも2個の電磁波発生素子が互いに異なる発振周波数で発振するように、少なくとも2個の電磁波発生素子に異なるバイアス電圧を印加する形態(図示省略)は、本発明の技術的範囲に属する形態である。
しかしながら、複数の電磁波発生素子22Bをグループ単位でタイミングをずらしながら発振させることの一例は、例えば、図10に示される第1変形例のような形態であってもよい。すなわち、複数のグループの数をn個とした場合に、m番目(mは2以上n以下の自然数)に発振するグループの発振開始タイミングがm-1番目に発振するグループの発振終了タイミングの後になるようにしてもよい。第1変形例の場合であっても、第1実施形態の場合と同様の効果を奏する。
しかしながら、複数の電磁波発生素子22Bが少なくとも2つ以上のグループに分けられていれば、各グループを構成する複数の電磁波発生素子22Bの組合せは連続して並んでいなくてもよい。例えば、図13に示される第3変形例のように、1つのグループを構成する複数の電磁波発生素子22Bが不連続に並んでいてもよい。
上記の実施の形態の一手段または全手段は、以下の付記のようにも記載されうるが、以下に限られない。
1.複数のグループに分けられている複数の電磁波発生素子と、
前記複数の電磁波発生素子をグループ単位でタイミングをずらしながら発振させる制御部と、
を備える電磁波発生装置。
2.前記制御部は、前記複数のグループの数をn個とした場合に、m番目(mは2以上n以下の自然数)に発振する前記グループの発振開始タイミングがm-1番目に発振する前記グループの発振終了タイミングと同時又は後になるように、前記複数の電磁波発生素子を発振させる、
上記1に記載の電磁波発生装置。
3.前記制御部は、前記複数のグループの数をn個とした場合に、m番目(mは2以上n以下の自然数)に発振する前記グループの発振開始タイミングがm-1番目に発振する前記グループの発振終了タイミングよりも前になるように、前記複数の電磁波発生素子を発振させる、
上記1に記載の電磁波発生装置。
4.前記電磁波発生素子の発振周波数は、70GHz以上10THz以下とされている、
上記1~3のいずれか1つに記載の電磁波発生装置。
5.少なくとも1個の前記グループは、異なる発振周波数で発振する少なくとも2個の前記電磁波発生素子を含んでいる、
上記1~4のいずれか1つに記載の電磁波発生装置。
6.少なくとも1個の前記グループに含まれるすべての前記電磁波発生素子は、それぞれ異なる発振周波数で発振する前記電磁波発生素子とされている、
上記1~5のいずれか1つに記載の電磁波発生装置。
7.前記異なる発振周波数の最大値と最小値との差は、1GHz以上100GHz以下とされている、
上記5又は6に記載の電磁波発生装置。
8.少なくとも1個の前記グループは、同等の発振周波数で発振する少なくとも2個の前記電磁波発生素子を含んでおり、
前記制御部は、前記少なくとも2個の前記電磁波発生素子をそれぞれ異なる位相で発振させる、
上記1~5のいずれか1つに記載の電磁波発生装置。
9.少なくとも1個の前記グループに含まれるすべての前記電磁波発生素子は、それぞれ同等の発振周波数で発振する前記電磁波発生素子とされ、
前記制御部は、すべての前記電磁波発生素子のうちの少なくとも2個の前記電磁波発生素子をそれぞれ異なる位相で発振させる、
上記1~5のいずれか1つに記載の電磁波発生装置。
10.前記複数の電磁波発生素子にバイアス電圧を印加する電圧印加部を備え、
少なくとも1個の前記グループは、同じバイアス電圧が印加されると同等の発振周波数で発振する少なくとも2個の前記電磁波発生素子を含んでおり、
前記電圧印加部は、前記少なくとも2個の前記電磁波発生素子が互いに異なる発振周波数で発振するように、前記少なくとも2個の前記電磁波発生素子に異なるバイアス電圧を印加する、
上記1~5のいずれか1つに記載の電磁波発生装置。
11.前記複数の電磁波発生素子は、直線方向に沿って並べられており、
前記グループは、前記複数の電磁波発生素子のうち連続して並ぶ複数の前記電磁波発生素子の組合せで構成されている、
上記1~10のいずれか1つに記載の電磁波発生装置。
12.前記電磁波発生素子は、共鳴トンネルダイオードとされている、
上記1~11のいずれか1つに記載の電磁波発生装置。
13.上記1~12のいずれか1つに記載の電磁波発生装置と、
複数のグループに分けられている複数の電磁波検出素子をグループ単位でタイミングをずらしながら作動させ、前記複数の電磁波発生素子が発生した電磁波を検出する電磁波検出装置と、
を備える電磁波発生システム。
10A 電磁波発生システム
10B 電磁波発生システム
10C 電磁波発生システム
20 電磁波発生装置
20A 電磁波発生装置
20B 電磁波発生装置
20C 電磁波発生装置
22 電磁波発生部
22A 基板
22B 電磁波発生素子
24 電圧生成部
30 電磁波検出装置
32 電磁波検出部
34 基板
36 電磁波検出素子
40 制御装置(制御部の一例)
42 記憶部
CP 制御プログラム
MO 測定対象物
Claims (9)
- 複数のグループに分けられている複数の電磁波発生素子と、
前記複数の電磁波発生素子をグループ単位でタイミングをずらしながら発振させる制御部と、
を備え、
少なくとも1個の前記グループは、異なる発振周波数で発振する少なくとも2個の前記電磁波発生素子を含み、
前記電磁波発生素子の発振周波数は、70GHz以上10THz以下とされている、
電磁波発生装置。 - 少なくとも1個の前記グループに含まれるすべての前記電磁波発生素子は、それぞれ異なる発振周波数で発振する前記電磁波発生素子とされている、
請求項1に記載の電磁波発生装置。 - 前記複数の電磁波発生素子にバイアス電圧を印加する電圧印加部を備え、
少なくとも1個の前記グループは、同じバイアス電圧が印加されると同等の発振周波数で発振する少なくとも2個の前記電磁波発生素子を含んでおり、
前記電圧印加部は、前記少なくとも2個の前記電磁波発生素子が互いに異なる発振周波数で発振するように、前記少なくとも2個の前記電磁波発生素子に異なるバイアス電圧を印加する、
請求項1に記載の電磁波発生装置。 - 前記異なる発振周波数の最大値と最小値との差は、1GHz以上100GHz以下とされている、
請求項1~3のいずれか1項に記載の電磁波発生装置。 - 前記制御部は、前記複数のグループの数をn個とした場合に、m番目(mは2以上n以下の自然数)に発振する前記グループの発振開始タイミングがm-1番目に発振する前記グループの発振終了タイミングと同時又は後になるように、前記複数の電磁波発生素子を発振させる、
請求項1~4のいずれか1項に記載の電磁波発生装置。 - 複数のグループに分けられている複数の電磁波発生素子と、
前記複数の電磁波発生素子をグループ単位でタイミングをずらしながら発振させる制御部と、
を備え、
少なくとも1個の前記グループは、異なる発振周波数で発振する少なくとも2個の前記電磁波発生素子を含み、
前記制御部は、前記複数のグループの数をn個とした場合に、m番目(mは2以上n以下の自然数)に発振する前記グループの発振開始タイミングがm-1番目に発振する前記グループの発振終了タイミングよりも前になるように、前記複数の電磁波発生素子を発振させる、
電磁波発生装置。 - 複数のグループに分けられている複数の電磁波発生素子と、
前記複数の電磁波発生素子をグループ単位でタイミングをずらしながら発振させる制御部と、
を備え、
少なくとも1個の前記グループは、異なる発振周波数で発振する少なくとも2個の前記電磁波発生素子を含み、
前記複数の電磁波発生素子は、直線方向に沿って並べられており、
前記グループは、前記複数の電磁波発生素子のうち連続して並ぶ複数の前記電磁波発生素子の組合せで構成されている、
電磁波発生装置。 - 前記電磁波発生素子は、共鳴トンネルダイオードとされている、
請求項1~7のいずれか1項に記載の電磁波発生装置。 - 請求項1~8のいずれか1項に記載の電磁波発生装置と、
複数のグループに分けられている複数の電磁波検出素子をグループ単位でタイミングをずらしながら作動させ、前記複数の電磁波発生素子が発生した電磁波を検出する電磁波検出装置と、
を備える電磁波発生システム。
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