JP7182988B2 - 原料ガス供給装置、成膜装置及び原料ガス供給方法 - Google Patents
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Description
一実施形態の原料ガス供給装置を成膜装置に適用した構成例について説明する。図1は、原料ガス供給装置を含む成膜装置の構成例を示す図である。
P0=P1+P2 (1)
ここで、動圧P1は流体の密度ρと流速Uを用いて下記の数式(2)で表され、流速Uの2乗に比例する。
P1=ρ×U2/2 (2)
従って、流速Uが小さいときには全圧P0はほぼ静圧P2と等しくなり、全圧P0と静圧P2との関係は、下記の数式(3)の関係を満たす。
P0≒P2 (3)
一方、流速Uが大きくなると動圧P1が大きくなり、静圧P2は小さくなり、さらに、動圧P1は流速Uの2乗に比例するため、流速Uが大きくなると加速度的に大きくなる傾向にある。
P2A≒P0A (4)
P2B=P0B-P1B=P0A-P1B≒P2A-ρ(UB)2/2 (5)
従って、ベンチュリ管上流側Aとベンチュリ管喉部Bとの間の静圧差ΔP2は、下記の数式(6)で表される。
ΔP2=P2A-P2B≒ρ(UB)2/2 (6)
このようにベンチュリ管上流側Aとベンチュリ管喉部Bとの間の静圧差ΔP2はベンチュリ管喉部Bにおける流速UBの関数で近似できる。言い換えると、静圧差ΔP2の値から流速UBを導出可能になる。このようにベンチュリ管喉部Bでの流速UBと静圧差ΔP2との間には、相関関係があるので、両部位の静圧差ΔP2を所定の値にするように制御することで、ベンチュリ管喉部Bの流速UBを所定の流速に制御できる。
一実施形態の原料ガス供給方法について、図1の成膜装置を用いて処理容器72内に原料ガスを供給する場合を例に挙げて説明する。一実施形態の原料ガス供給方法は、制御部110が成膜装置の各部の動作を制御することにより実行される。図4は、原料ガス供給方法の一例を示すフローチャートである。なお、原料ガス供給方法は、例えば原料ガスを処理容器72内に供給している間、常に実行される。
参考例の原料ガス供給装置を成膜装置に適用した構成例について説明する。図5は、参考例の原料ガス供給装置を含む成膜装置の構成例を示す図である。
一実施形態の原料ガス供給装置10を用いたときの原料ガスのモニタ精度について、参考例の原料ガス供給装置10Yを用いたときの原料ガスのモニタ精度と比較して説明する。図6は、ガス供給の一例を示す図であり、参考例の原料ガス供給装置10Y及び一実施形態の原料ガス供給装置10によりガス供給を行う場合のガス流量とMFM32のフルスケールに対する原料の気化量(以下「原料ガス割合」ともいう。)を示す図である。図7は、ガス流量の一例を示すグラフであり、参考例の原料ガス供給装置10Y及び一実施形態の原料ガス供給装置10によりガス供給を行う場合のガス流量[sccm]を比較するグラフである。図8は、原料ガス割合の一例を示す図であり、参考例の原料ガス供給装置10Y及び一実施形態の原料ガス供給装置10によりガス供給を行う場合の原料ガス割合[%]を比較するグラフである。
12 原料容器
20 キャリアガス供給流路
30 原料ガス供給流路
32 マスフローメータ(MFM)
40 希釈ガス供給流路
50 ガス混合部
70 成膜処理部
72 処理容器
110 制御部
Claims (9)
- 処理容器内に原料ガスを供給する原料ガス供給装置であって、
固体又は液体の原料を収容し、前記原料を気化させる原料容器と、
前記原料容器に不活性ガスであるキャリアガスを供給するキャリアガス供給流路と、
前記キャリアガス供給流路に設けられ、前記キャリアガスの流量を制御する第1の流量制御部と、
前記原料容器内で気化した原料を含む原料ガスを前記処理容器内に供給する原料ガス供給流路と、
前記原料ガス供給流路に設けられ、原料ガスの流量を測定する流量測定部と、
前記原料ガス供給流路における前記流量測定部の下流側で合流し、原料ガスを希釈する希釈ガスを供給する希釈ガス供給流路と、
前記希釈ガス供給流路に設けられ、前記希釈ガスの流量を制御する第2の流量制御部と、
前記原料ガス供給流路と前記希釈ガス供給流路との合流部に設けられ、前記原料ガスをベンチュリ効果により前記希釈ガスと混合するガス混合部と、
を有し、
前記キャリアガス供給流路に供給される前記キャリアガスの流量が、前記希釈ガス供給流路に供給される前記希釈ガスの流量より一桁小さくなるように前記第1の流量制御部及び前記第2の流量制御部により制御され、
前記流量測定部のフルスケール流量は、前記キャリアガス供給流路の供給される前記キャリアガスの流量より大きく、前記希釈ガス供給流路に供給される前記希釈ガスの流量より小さい、
原料ガス供給装置。 - 前記希釈ガス供給流路の断面積は、前記原料ガス供給流路の断面積よりも大きい、
請求項1に記載の原料ガス供給装置。 - 前記流量測定部により測定される原料ガスの流量から前記キャリアガス供給流路を流れるキャリアガスの流量を減算して求めた原料の気化量に基づいて前記キャリアガスの流量を制御する制御部を有する、
請求項1に記載の原料ガス供給装置。 - 前記制御部は、前記原料の気化量が設定値と等しくなるように前記キャリアガスの流量を制御する、
請求項3に記載の原料ガス供給装置。 - 前記制御部は、前記キャリアガスの流量と前記希釈ガスの流量との合計流量が一定となるように前記希釈ガスの流量を制御する、
請求項4に記載の原料ガス供給装置。 - 前記原料ガス供給流路における前記合流部よりも下流側に設けられ、前記原料ガスを貯留する貯留部を有する、
請求項1乃至5のいずれか一項に記載の原料ガス供給装置。 - 前記原料は、WCl6である、
請求項1乃至6のいずれか一項に記載の原料ガス供給装置。 - 処理容器内に原料ガスを供給する原料ガス供給装置と、
前記原料ガス供給装置の下流側に設けられ、前記原料ガス供給装置から供給された原料ガスを用いて基板に成膜を行う成膜処理部と、
を備え、
前記原料ガス供給装置は、
固体又は液体の原料を収容し、前記原料を気化させる原料容器と、
前記原料容器に不活性ガスであるキャリアガスを供給するキャリアガス供給流路と、
前記キャリアガス供給流路に設けられ、前記キャリアガスの流量を制御する第1の流量制御部と、
前記原料容器内で気化した原料を含む原料ガスを前記処理容器内に供給する原料ガス供給流路と、
前記原料ガス供給流路に設けられ、原料ガスの流量を測定する流量測定部と、
前記原料ガス供給流路における前記流量測定部の下流側で合流し、原料ガスを希釈する希釈ガスを供給する希釈ガス供給流路と、
前記希釈ガス供給流路に設けられ、前記希釈ガスの流量を制御する第2の流量制御部と、
前記原料ガス供給流路と前記希釈ガス供給流路との合流部に設けられ、前記原料ガスをベンチュリ効果により前記希釈ガスと混合するガス混合部と、
を有し、
前記キャリアガス供給流路に供給される前記キャリアガスの流量が、前記希釈ガス供給流路に供給される前記希釈ガスの流量より一桁小さくなるように前記第1の流量制御部及び前記第2の流量制御部により制御され、
前記流量測定部のフルスケール流量は、前記キャリアガス供給流路の供給される前記キャリアガスの流量より大きく、前記希釈ガス供給流路に供給される前記希釈ガスの流量より小さい、
成膜装置。 - 処理容器内に原料ガスを供給する原料ガス供給方法であって、
固体又は液体の原料を収容した原料容器にキャリアガスを供給することにより前記原料容器内で気化させた原料を含む原料ガスを、ベンチュリ効果により、前記原料ガスを希釈する希釈ガスと混合して前記処理容器内に供給する工程と、
前記原料ガスと前記希釈ガスとを混合する前の前記原料ガスの流量を測定する工程と、
を有し、
前記供給する工程は、前記キャリアガスの流量が前記希釈ガスの流量より一桁小さくなるように制御することを含み、
前記原料ガスの流量を測定する流量測定部のフルスケール流量は、前記キャリアガスの流量より大きく、前記希釈ガスの流量より小さい、
原料ガス供給方法。
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