JP7179625B2

JP7179625B2 - Ｘ線管用気泡除去装置

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Publication number: JP7179625B2
Application number: JP2019003521A
Authority: JP
Inventors: 直人小野関
Original assignee: Canon Electron Tubes and Devices Co Ltd
Current assignee: Canon Electron Tubes and Devices Co Ltd
Priority date: 2019-01-11
Filing date: 2019-01-11
Publication date: 2022-11-29
Anticipated expiration: 2039-01-11
Also published as: JP2020113447A

Description

本発明の実施形態は、Ｘ線管用気泡除去装置に関する。

一般的に、水冷式のＸ線管装置は、Ｘ線管をＸ線管容器に収容し、Ｘ線管容器とＸ線管用冷却器との間で水等の冷却液を冷却管路内において循環させることで、Ｘ線管を冷却している。このようなＸ線管装置では冷却管路内の冷却液に気泡が混入した場合、冷却液と気泡とではＸ線吸収率が異なるので、前者のＸ線と後者のＸ線とでは強度が異なってしまい、一様なＸ線束ではなくなってしまうことや、気泡に起因する放電等の不具合が生じてしまう。このため、冷却管路内の冷却液に気泡が混入した場合、Ｘ線管装置からＸ線管及びＸ線管用冷却器のそれぞれを取り外し、冷却管路内に冷却液を再充填する必要がある。

特開２０００－２６２５０９号公報特開２００８－６６２４８号公報

本実施形態の目的は、Ｘ線管装置の冷却液が存在する空間から気泡を除去できるＸ線管用気泡除去装置を提供することにある。

一実施形態によれば、
第１管部と、第２管部と、前記第１管部及び前記第２管部とともに循環路の一部を形成する第３管部と、第４管部と、前記第１管部に連結された一端を有する第５管部と、前記第１管部及び前記第２管部に連結され、前記第１管部から冷却液を取り込み、前記第２管部へ前記冷却液を吐き出すポンプと、前記第２管部乃至前記第４管部のそれぞれに連結され、前記第２管部から前記冷却液を取り込み、前記冷却液のうち気泡混入率の低い前記冷却液を前記第３管部へ、前記冷却液のうち気泡混入率の高い前記冷却液を前記第４管部へと分離する気泡分離ユニットと、前記第４管部に連結された取り込み口と、前記第５管部の他端に連結された排出口と、を有し、前記第４管部から気泡混入率の高い前記冷却液を取り込み、前記冷却液から脱気し、気泡混入率の低い前記冷却液を前記第５管部へ送る容器を有する気泡トラップユニットと、を備えているＸ線管用気泡除去装置が提供される。

図１は、一実施形態に係るＸ線ＣＴ装置のガントリーの外観を示す斜視図である。図２は、図１の線ＩＩ－ＩＩに沿ったＸ線ＣＴ装置を示す断面図である。図３は、図２に示した回転架台、並びに回転架台に搭載されたＸ線管装置、Ｘ線管用冷却器及びＸ線検出装置を示す正面図である。図４は、上記Ｘ線管装置及びＸ線管用冷却器を示す構成図である。図５は、上記Ｘ線管装置及びＸ線管用気泡除去装置を示す構成図である。図６は、上記実施形態の変形例の気泡トラップユニットを示す断面図である。

以下、本実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、開示はあくまで一例に過ぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更について容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は、説明をより明確にするため、実際の態様に比べて、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同一又は類似した機能を発揮する構成要素には同一の参照符号を付し、重複する詳細な説明を適宜省略することがある。

本実施形態では、Ｘ線管用気泡除去装置の一例として、Ｘ線コンピュータ断層撮影装置用気泡除去装置について説明する。まず、Ｘ線コンピュータ断層撮影装置について詳細に説明する。Ｘ線コンピュータ断層撮影装置は、Ｘ線ＣＴ（computerized tomography）装置である。図１は、一実施形態に係るＸ線ＣＴ装置のガントリーの外観を示す斜視図である。図２は、図１の線ＩＩ－ＩＩに沿ったＸ線ＣＴ装置を示す断面図である。図３は、図２に示した回転架台、並びに回転架台に搭載されたＸ線管装置、Ｘ線管用冷却器及びＸ線検出器を示す正面図である。

図１乃至図３に示すように、Ｘ線ＣＴ装置１は、筐体２、土台部４、固定架台５、回転架台６、ベアリング部材８、Ｘ線管装置１０、Ｘ線管用冷却器２０、及びＸ線検出器４０を備えている。

筐体２は、上記の多くの部材を収容している。筐体２は、Ｘ線ＣＴ装置１の外観を飾っている。筐体２は、排気口２ａ、吸気口２ｂ及び導入口２ｃを含んでいる。
排気口２ａは、筐体２の上部に形成されている。排気口２ａは、通気性に優れたメッシュ状のカバー３で閉塞されている。なお、図示しないが、Ｘ線ＣＴ装置１は、筐体２内に設けられカバー３に対向したファンユニットをさらに備えている。これにより、筐体２内の空気を、排気口２ａを通して筐体２の外部に排出することができる。

吸気口２ｂは、筐体２の下部に形成されている。ここでは、吸気口２ｂは、筐体２と土台部４の間の隙間に形成されている。筐体２の外部の空気を、吸気口２ｂを通して筐体２の内部に取入れることができる。
上記のことから、筐体２の内部の空気を入れ替えることができるため、筐体２の内部の空気の温度の上昇を抑制することができる。
導入口２ｃは、被検体を導入するものである。図示しないが、Ｘ線ＣＴ装置１は、被検体を載せる寝台も備えている。

固定架台５は、土台部４に固定されている。軸受機構として機能するベアリング（転がり軸受け、ボール／ロールベアリング）部材８は、固定架台５及び回転架台６間に設けられている。

回転架台６は、ベアリング部材８を介して固定架台５に回転可能に支持されている。回転架台６は、ガントリーと呼ばれ、回転架台６の回転軸（ガントリー中心）ａ１を中心に回転可能である。回転架台６を高速回転させるために、Ｘ線ＣＴ装置は、例えばダイレクトドライブモータを採用している。回転架台６は、最外周に位置したリング状のフレーム部７を有している。

Ｘ線管装置１０、Ｘ線管用冷却器２０及びＸ線検出器４０は、回転架台６に取付けられている。Ｘ線管装置１０及びＸ線管用冷却器２０は、フレーム部７の内壁に取付けられている。図示しないが、高電圧発生電源などもフレーム部７の内壁に取付けられていてもよい。Ｘ線管装置１０及びＸ線管用冷却器２０は、比較的コンパクトでありながら質量が大きく、設置面の圧力が高いため、フレーム部７に強固に固着されている。これにより、回転架台６が高速で回転し、その結果多大な遠心力がＸ線管装置１０及びＸ線管用冷却器２０に加わるような場合でも、これらはフレーム部７に対する強固な固着を維持できるものである。

Ｘ線管装置１０は、Ｘ線発生器として機能し、Ｘ線を放射する。Ｘ線検出器４０は、回転軸ａ１を挟んでＸ線管装置１０（Ｘ線管）と対向している。Ｘ線検出器４０は、例えば円弧状に配列された複数のＸ線検出素子を有している。Ｘ線ＣＴ装置１は、Ｘ線検出器４０を複数備え、配列させていてもよい。Ｘ線検出器４０は、Ｘ線管装置１０から放射され被検体を透過したＸ線を検出し、検出したＸ線を電気信号に変換する。

図示しないが、Ｘ線ＣＴ装置１は、回転架台６に取付けられ、Ｘ線検出器４０から出力する電気信号を増幅し、かつＡＤ変換するデータ収集装置をさらに備えていてもよい。また、図示しないが、固定架台５には電力あるいは制御信号などをＸ線管装置１０及びＸ線管用冷却器２０などに与えるための機器が設けられていてもよい。上記機器は、スリップリングを介して回転架台６に取付けられているＸ線管装置１０及びＸ線管用冷却器２０などに電力あるいは制御信号などを与えることができる。

Ｘ線ＣＴ装置１は、動作状態に入ると回転架台６が回転軸ａ１を中心に回転する。このとき、Ｘ線管装置１０、Ｘ線管用冷却器２０及びＸ線検出器４０などは、被検体の周囲を一体になって回転する。これと同時に、Ｘ線管装置１０からＸ線が放射される。

Ｘ線は、被検体を透過し、Ｘ線検出器４０に入射し、Ｘ線検出器４０においてＸ線の強度が検出される。Ｘ線検出器４０で検出された検出信号は、例えば、上記データ収集装置で増幅され、かつＡ／Ｄ変換によってデジタル検出信号に変換され、図示しないコンピュータに供給される。

コンピュータは、デジタル検出信号をもとに、被検体の関心領域におけるＸ線吸収率を演算し、その演算結果から被検体の断層画像を生成するための画像データを構築する。画像データは、図示しない表示装置などに送られ、画面上に断層画像として表示される。

上記のように、Ｘ線ＣＴ装置１は、Ｘ線管装置１０及びＸ線検出器４０が被検体を挟んで回転し、被検体の検査断面内のあらゆる点を透過したＸ線の強弱いわゆる投影データを、いろいろな角度、例えば３６０°の範囲から獲得する。そして、この投影データをもとに、予めプログラムされたデータ再構成プログラムにより断層画像を生成する。

図４は、Ｘ線管装置１０及びＸ線管用冷却器２０を示す構成図である。
図３及び図４に示すように、Ｘ線管装置１０は、ハウジング１２と、ハウジング１２に収納されたＸ線管１３と、伸縮機構１４と、を有している。ハウジング１２（Ｘ線管装置１０）は、独立して回転架台６に直接又は間接的に取付けられ、固定されている。ここでは、ハウジング１２は、フレーム部７の内壁に直接取付けられている。ここで、Ｘ線ＣＴ装置１は、冷却液９を有している。冷却液９には、Ｘ線管１３が発生する熱の少なくとも一部が伝達される。

Ｘ線管装置１０は、導管１１ａ及び導管１１ｂを有している。導管１１ａは、一端がハウジング１２の冷却液取り込み口１２ｉに気密に取付けられ、他端がソケット７２に気密に取付けられている。導管１１ｂは、一端がハウジング１２の冷却液排出口１２ｏに気密に取付けられ、他端がソケット８２に気密に取付けられている。導管１１ａ及び導管１１ｂは、冷却液９が循環する循環路３０の一部を形成している。

例えば、冷却液９は、Ｘ線管装置１０において、少なくともハウジング１２とＸ線管１３との間の空間に充填されている。ハウジング１２は、導管１１ａ及び導管１１ｂとともに循環路３０の一部を形成している。導管１１ａ及び導管１１ｂは、Ｘ線管１３に連結されていない。但し、Ｘ線管１３は冷却液９に浸るため、冷却液９は、Ｘ線管１３の外面の熱伝達面など、Ｘ線管１３を冷却することができる。

また、導管１１ａ及びＸ線管１３を、直接又は連結部材を介して間接的に連結するか、又は、導管１１ｂ及びＸ線管１３を、直接又は連結部材を介して間接的に連結してもよい。ハウジング１２及びＸ線管１３の内部は、導管１１ａ及び導管１１ｂとともに循環路３０の一部を形成している。これにより、Ｘ線管１３の内部の熱伝達面を冷却液９が循環することで、Ｘ線管１３、特に陽極ターゲットを冷却することができる。

その他、導管１１ａ及び導管１１ｂをともにＸ線管１３に連結した場合、ハウジング１２とＸ線管１３との間の空間には他の冷却液が収容されている。上記他の冷却液は、冷却液９と混合しないよう分離され、循環路３０を循環しない。この場合、上記他の冷却液を冷却液９とは異なる種類の冷却液とすることもできる。Ｘ線管１３の内部は、導管１１ａ及び導管１１ｂとともに循環路３０の一部を形成している。これにより、Ｘ線管１３の内部の熱伝達面を冷却液９が循環することで、Ｘ線管１３、特に陽極ターゲットを冷却することができる。そして、上記他の冷却液は、Ｘ線管１３の外面の熱伝達面など、Ｘ線管１３を外側から冷却することができる。

Ｘ線管用冷却器２０は、導管２１ａ、導管２１ｂ、導管２１ｃ、導管２１ｄ、循環ポンプ２２、熱交換器２３、筐体２６、及び伸縮機構６０を有している。循環ポンプ２２、熱交換器２３、及び伸縮機構６０は、筐体２６内に設けられている。導管２１ａは、一端がプラグ８１に気密に取付けられている。導管２１ｃは、一端がプラグ７１に気密に取付けられている。導管２１ｄは、一端が導管２１ａに気密に取付けられている。導管２１ａ、導管２１ｂ、導管２１ｃ及び導管２１ｄは、循環路３０の一部を形成している。

循環ポンプ２２は、循環路３０に取付けられている。ここでは、循環ポンプ２２は、導管２１ａ及び導管２１ｂ間に気密に取付けられている。循環ポンプ２２は、導管２１ａから冷却液９を取り込み、導管２１ｂに冷却液９を吐き出す。循環ポンプ２２は、循環路３０において冷却液９を循環させることができる。

熱交換器２３は、ラジエータ２４及びファン２５を有している。ファン２５は、ラジエータ２４に通風するように構成されている。ラジエータ２４は、導管２１ｂから入る冷却液の熱を放出するように構成されている。熱交換器２３は、冷却液９を冷却することができる。
そのため、Ｘ線管用冷却器２０は、冷却液９を冷却し、かつ、冷却液９を循環路３０にて循環させることができる。

伸縮機構６０は、循環路３０に取付けられている。伸縮機構６０は、貫通孔６１ａ，６１ｂを有したケース６１と、弾性隔膜６２と、を有している。貫通孔６１ａは、導管２１ｄに気密に連通されている。貫通孔６１ｂは、通気孔である。弾性隔膜６２は、例えば、ゴムを利用したベローズで形成されている。弾性隔膜６２は、ケース６１内を、貫通孔６１ａと繋がった第１空間６３と、貫通孔６１ｂと繋がった第２空間６４と、に区域している。

貫通孔６１ｂは空気の出入りを許可するため、第２空間６４は大気に開放されている。弾性隔膜６２は、ケース６１に液密に取付けられている。弾性隔膜６２は伸縮自在である。弾性隔膜６２は、冷却液９の温度変化による体積変化（体積の膨張及び収縮）を吸収することができる。弾性隔膜６２は、ガスに対して不透過性を示す材料で形成することが好ましい。

プラグ７１及びソケット７２は、着脱自在の連結部材としてのカプラ７０を形成し、プラグ８１及びソケット８２は、着脱自在の連結部材としてのカプラ８０を形成している。カプラ７０、８０は、プラグ及びソケットが連結した連結状態（固定状態）と、プラグ及びソケットが分離した分離状態とに切替え可能である。カプラ７０、８０は、連結状態において、気密、かつ液密に連結されている。カプラ７０、８０は、シャットオフバルブ付きのカプラである。カプラ７０、８０の分離状態において、プラグ７１、８１及びソケット７２、８２は、それぞれ、外部への液（冷却液９）漏れを防止することができ、内部への空気の混入を防止することができる構造を採っている。カプラ７０、８０をそれぞれ分離状態に切替えることにより、２系統に分離することができ、Ｘ線管装置１０及びＸ線管用冷却器２０を分離することができる。

次に、本実施形態に係るＸ線管用気泡除去装置について説明する。図５は、Ｘ線管装置及びＸ線管用気泡除去装置を示す構成図である。
図５に示すように、Ｘ線管用気泡除去装置１００は、ポンプＰと、気泡分離ユニットＡＤと、気泡トラップユニットＡＴと、管部１０１と、管部１０２と、管部１０３と、管部１０４と、管部１０５と、調整弁Ｒ１と、調整弁Ｒ２と、調整弁Ｒ３とを備えている。管部１０１乃至１０５は、それぞれ第１管部乃至第５管部として機能し、調整弁Ｒ１は第１調整弁として機能し、調整弁Ｒ３は第２調整弁として機能する。Ｘ線管用気泡除去装置１００は冷却液９を有し、Ｘ線管装置１０との間で冷却液９を循環するように構成されている。

管部１０１は、一端がプラグ１０６に気密に取り付けられ、他端がポンプＰの一次側（取り込み口）に気密に取り付けられている。管部１０２は、一端がポンプの二次側（排出口）に気密に取り付けられ、他端が気泡分離ユニットＡＤの一次側ＡＤ１に気密に取り付けられている。管部１０２は、調整弁Ｒ１を備えている。調整弁Ｒ１は、管部１０２内の冷却液９の流量を調整し、気泡分離ユニットＡＤに送る冷却液９の流量を調整することができる。管部１０３は、一端が気泡分離ユニットＡＤの二次側ＡＤ３に気密に取り付けられ、他端がプラグ１０７に気密に取り付けられている。管部１０３は、調整弁Ｒ２を備えている。調整弁Ｒ２は、管部１０３内の冷却液９の流量を調整し、Ｘ線管装置１０に送られる冷却液９の流量を調整することができる。管部１０１乃至１０３は、導管１１ａ、Ｘ線管装置１０及び導管１１ｂとともに冷却液９が循環する循環路５０の一部を形成している。

管部１０４は、一端が気泡分離ユニットＡＤの二次側ＡＤ２に気密に取り付けられ、他端が気泡トラップユニットＡＴの一次側ＡＴ１に気密に取り付けられている。管部１０５は、一端が気泡トラップユニットＡＴの二次側ＡＴ２に気密に取り付けられ、他端が管部１０１に気密に取り付けられている。管部１０５は、調整弁Ｒ３を備えている。調整弁Ｒ３は、管部１０５内の冷却液９の流量を調整し、管部１０１に送られる冷却液９の流量を調整することができる。管部１０４、気泡トラップユニットＡＴ及び管部１０５は、バイパス路９０の一部を形成している。

ポンプＰは、管部１０１及び１０２のそれぞれに連結され、管部１０１から冷却液９を取り込み、管部１０２へ冷却液９を吐き出す。ポンプＰは、循環路５０において冷却液９を循環させることができる。

気泡分離ユニットＡＤは、管部１０２乃至１０４のそれぞれに連結され、管部１０２から冷却液９を取り込み、冷却液９のうち気泡混入率の低い冷却液９を管部１０３へ、冷却液９のうち気泡混入率の高い冷却液９を管部１０４へ分離させることができる。

気泡トラップユニットＡＴは、防水フィルムＷＦと、容器Ｃを備えている。防水フィルムＷＦは、例えば、ガス透過性を有している防水フィルムである。容器Ｃは、管部１０４に連結された取り込み口（一次側ＡＴ１）と、管部１０５に連結された排出口（二次側ＡＴ２）と、後述する開口部ＯＰと、を有している。容器Ｃは、管部１０４から気泡混入率の高い冷却液９を取り込み、気泡混入率の高い冷却液９から脱気し、脱気された気泡混入率の低い冷却液９を管部１０５へ排出することができる。

プラグ１０６及びソケット８２は、着脱自在の連結部材としてのカプラ１１０を形成し、プラグ１０７及びソケット７２は、着脱自在の連結部材としてのカプラ１２０を形成している。カプラ１１０及び１２０をそれぞれ分離状態に切替えることにより、２系統に分離することができ、Ｘ線管装置１０及びＸ線管用気泡除去装置１００を分離することができる。

ここで、Ｘ線管装置１０の冷却液９に気泡が混入した場合に、Ｘ線管用気泡除去装置１００を用いて、Ｘ線管装置１０の冷却液９から気泡を除去する方法について図３乃至図５を参照しながら説明する。
図３に示すＸ線ＣＴ装置１の回転架台６を回転させ、Ｘ線管装置１０がＸ線管用冷却器２０の上方に位置するようにする。循環ポンプ２２を使用して、冷却液９を循環路３０内で循環させる。これにより、循環路３０に存在する気泡をＸ線管装置１０に溜めることができる。なお、冷却液９を循環させる際、Ｘ線管装置１０とＸ線管用気泡除去装置１００との位置関係は適宜調整可能である。気泡をＸ線管装置１０に溜めた後、図４に示すカプラ７０及び８０をそれぞれ分離状態に切替えることにより、Ｘ線管装置１０とＸ線管用冷却器２０とを分離する。分離後、Ｘ線管装置１０は移動させずに、Ｘ線管装置１０と図５に示すＸ線管用気泡除去装置１００とを、カプラ１１０及び１２０を介して、連結させる。

Ｘ線管装置１０の冷却液９は、Ｘ線管用気泡除去装置１００にあらかじめ存在する冷却液９とともに、ポンプＰによって循環路５０を循環する。ポンプＰによって送り出された冷却液９は、気泡分離ユニットＡＤに送液される。気泡分離ユニットＡＤによって、冷却液９のうち気泡混入率の高い冷却液９は気泡トラップユニットＡＴに送液され、冷却液９のうち気泡混入率の低い冷却液９はＸ線管装置１０に送液され循環路５０を循環する。気泡トラップユニットＡＴの容器Ｃに送液された気泡混入率の高い冷却液９は、容器Ｃ内で、液中から気中に気泡が放出される。容器Ｃ内の気中に放出された気泡は、防水フィルムＷＦを介して、大気中に放出される。一方、液中から気泡が排出され気泡混入率が低い冷却液９は、バイパス路９０を通って気泡トラップユニットＡＴの二次側ＡＴ２からポンプの一次側に流れる。
この循環を繰り返すことにより、Ｘ線管装置１０に溜めた気泡を循環路５０から除去することができ、Ｘ線管装置１０内に存在していた気泡が除去される。これにより、Ｘ線管用気泡除去装置１００によって、Ｘ線管装置１０が据え付けられている現場で、Ｘ線管装置１０、導管１１ａ及び１１ｂのそれぞれに存在し得る気泡を除去することができる。さらに、Ｘ線管用気泡除去装置１００はＸ線管用冷却器２０の代わりにＸ線管装置１０に取り付けることができるため、気泡除去をする際Ｘ線管装置１０を移動させる必要がない。これにより、Ｘ線管装置１０をフレーム部７から着脱する手間を省くことができる。

図６は、上記実施形態の変形例の気泡トラップユニットを示す断面図である。
図６に示すように、変形例の気泡トラップユニットＡＴは、さらに、真空ポンプＡＰ及び管部１０８を備えている。容器Ｃは、防水フィルムＷＦに閉塞された開口部ＯＰを有している。管部１０８は、一端が容器Ｃに気密に取り付けられ開口部ＯＰに連通し、他端が真空ポンプＡＰの一次側に気密に取り付けられている。真空ポンプＡＰは、管部１０８を介して、容器Ｃに連結されている。真空ポンプＡＰの二次側は、気泡排出口ＡＰＥを有している。真空ポンプＡＰは、管部１０８を介して、防水フィルムＷＦを透過した気泡を取り込み、気泡排出口ＡＰＥから排出することができる。

このような構成においても、上記実施形態と同様の効果が得られる。加えて、気泡トラップユニットＡＴが真空ポンプＡＰを備えていることにより、気泡トラップユニットＡＴの容器Ｃ内の冷却液９から、さらに脱気することができる。

以上説明したように、本実施形態によれば、Ｘ線管装置が据え付けられている現場で、Ｘ線管装置の冷却液が存在する空間から気泡を除去できるＸ線管用気泡除去装置を提供することができる。

なお、本発明の実施形態を説明したが、この実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。上記の新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

１００…Ｘ線管用気泡除去装置１０１、１０２、１０３、１０４、１０５…管部
Ｐ…ポンプＡＤ…気泡分離ユニットＡＴ…気泡トラップユニットＣＴ…容器
ＷＦ…防水フィルムＡＰ…真空ポンプＲ１、Ｒ２、Ｒ３…調整弁９…冷却液。

Claims

第１管部と、
第２管部と、
前記第１管部及び前記第２管部とともに循環路の一部を形成する第３管部と、
第４管部と、
前記第１管部に連結された一端を有する第５管部と、
前記第１管部及び前記第２管部に連結され、前記第１管部から冷却液を取り込み、前記第２管部へ前記冷却液を吐き出すポンプと、
前記第２管部乃至前記第４管部のそれぞれに連結され、前記第２管部から前記冷却液を取り込み、前記冷却液のうち気泡混入率の低い前記冷却液を前記第３管部へ、前記冷却液のうち気泡混入率の高い前記冷却液を前記第４管部へと分離する気泡分離ユニットと、
前記第４管部に連結された取り込み口と、前記第５管部の他端に連結された排出口と、を有し、前記第４管部から気泡混入率の高い前記冷却液を取り込み、前記冷却液から脱気し、気泡混入率の低い前記冷却液を前記第５管部へ送る容器を有する気泡トラップユニットと、を備えている、
Ｘ線管用気泡除去装置。
前記容器と、ガス透過性をもつ防水フィルムと、を有する気泡トラップユニットをさらに備え、
前記容器は開口部を有し、
前記防水フィルムは、前記開口部を閉塞している、
請求項１に記載のＸ線管用気泡除去装置。
前記気泡トラップユニットは、さらに、前記容器に連結され、前記防水フィルムを透過した気泡を吸い込むように構成された真空ポンプを備えている、
請求項２に記載のＸ線管用気泡除去装置。
前記第２管部は、前記気泡分離ユニットに送られる前記冷却液の流量を調整する第１調整弁を備えている、
請求項１乃至３の何れか１項に記載のＸ線管用気泡除去装置。
前記第５管部は、前記第１管部に送られる前記冷却液の流量を調整する第２調整弁を備えている、
請求項１乃至４の何れか１項に記載のＸ線管用気泡除去装置。