JP7178171B2 - 欠陥検査方法、および、欠陥検査システム - Google Patents
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Description
検査対象構造物が、高所や狭隘部分、または、高温や高放射線環境などの過酷環境にあり、直接検査対象を視認することが難しい場合には、遠隔操作装置に搭載された撮像機により取得された映像を用いる。これにより、検査員は離れた場所から映像を視認して目視検査を行うことができる。
例えば、特許文献1には、予め定めた空間解像度を持つ対象を撮像システムで撮像しコントラストを評価する手法が記載されている。
本発明は、欠陥検査システムが、データベースと、欠陥抽出処理部と、欠陥判定処理部と、機器配置制御部と、表示制御部とを備えており、
前記データベースには、構造物に関する欠陥の種類ごとにその特徴情報を対応付けている欠陥種類データと、前記欠陥の種類ごとに見やすい撮影機器の配置を規定した機器制御データとが対応付けて登録されており、前記欠陥の種類として構造物の平面に対する亀裂が登録され、
前記欠陥抽出処理部が、撮像機が撮像した撮像画像から、前記欠陥の写っている欠陥領域を抽出し、
前記欠陥判定処理部が、前記欠陥種類データの特徴情報を参照して、前記欠陥抽出処理部により抽出された前記欠陥領域内の前記欠陥の種類を分類する処理において、亀裂の前記欠陥種類データを参照して、前記欠陥領域に外接する楕円形状の長径と短径との比が所定値より大きいときに、前記欠陥領域に写っている前記欠陥の種類を亀裂と判定し、前記欠陥領域に外接する楕円形状の長径と短径との比が前記所定値より小さいときに、前記欠陥領域に写っている前記欠陥の種類を剥がれと判定し、
前記機器配置制御部が、前記機器制御データを参照して、前記欠陥判定処理部が分類した前記欠陥の種類に対応する前記撮像機の配置を決定し、その決定した配置になるように前記撮像機を制御する処理において、前記欠陥の種類が亀裂の場合には、亀裂の前記機器制御データを参照して、亀裂の最奥点が視認可能な程度に構造物の平面に対する角度が高い位置に、前記撮像機を配置し、前記欠陥の種類が剥がれの場合には、剥がれの前記機器制御データを参照して、剥がれの奥側の底面点と、構造物の手前側の表面点との延長線上の位置に、前記撮像機を配置し、
前記表示制御部が、前記機器配置制御部により制御された前記撮像機が撮像する前記撮像画像を表示装置に表示させることを特徴とする。
その他の手段は、後記する。
撮像機駆動機構20は、撮像機21と自己位置測定機22とを保持して移動させる。照明駆動機構30は、照明31と相対位置測定機32とを保持して移動させる。撮像機駆動機構20および照明駆動機構30は、人間によるリモコン操作などの手動指令または、PC50による自動指令により、それぞれ遠隔制御される。
さらに、図1では、撮像機駆動機構20と照明駆動機構30とを別々に移動する2つの装置として図示する例を示したが、2つの機構は一体化されて構成されていてもよい。例えば、撮像機駆動機構20が照明駆動機構30を支持するアームを有しており、照明駆動機構30の位置を撮像機駆動機構20からの相対位置により自在に移動させてもよい。
自己位置測定機22は、撮像機21の位置を測定する。相対位置測定機32は、撮像機21に対する照明31の位置を測定する。自己位置測定機22および相対位置測定機32には、例えばレーザ距離計を利用した周辺構造物を基準とする位置測定装置が用いられる。
・レーザ距離測定により周辺構造物との位置関係を推定する手法
・カメラにより周辺構造物の距離画像を取得し位置を推定する手法
・マーカ位置をレーザで追跡により相対位置を推定する手法
・電波や超音波を利用した位置推定手法
このコンピュータは、CPUが、メモリ上に読み込んだプログラム(アプリケーションや、その略のアプリとも呼ばれる)を実行することにより、各処理部により構成される制御部(制御手段)を動作させる。
欠陥判定処理部53は、欠陥領域92に写っている欠陥12を、データベース51に登録されている欠陥種類データ51aと照合することで、欠陥12の種類を判定する。
機器配置制御部54は、データベース51に登録されている機器制御データ51bを参照して、欠陥判定処理部53が判定した欠陥12の種類ごとに適した撮像機21および照明31の配置を決定し、その配置に従って撮像機駆動機構20および照明駆動機構30を制御する。
表示制御部55は、撮像機21からの取得画像91を表示装置60に画面表示するように制御する。これにより、検査員は、自身で撮像機21や照明31の位置を手動で操作しなくても、自動的に欠陥12に適した位置で撮影された取得画像91を画面表示から視認できる。よって、検査員は、欠陥12の表示内容に集中できるので、欠陥12の目視検査を素早く安定して実行できる。
S101の機器移動処理では、各機器(撮像機駆動機構20、照明駆動機構30)は、検査対象領域11に向けて移動する。
S102の検査対象領域到達処理では、S101の各機器は、検査対象領域11内の欠陥12を撮影可能な程度に近づく位置まで到達する。
S103の画像撮像処理では、撮像機21は、欠陥12を含む検査対象領域11を、撮像画像データ23として撮像する(詳細は図7,図8)。
S104の欠陥抽出処理では、欠陥抽出処理部52は、撮像機21から撮像画像データ23を取得画像91として受信し、その取得画像91から欠陥12が写っている欠陥領域92と、その他の表面領域93とを抽出する(詳細は図9,図10)。
S112の欠陥種類判定処理では、欠陥判定処理部53は、欠陥領域92の画像データを検索キーとして、データベース51に格納されている欠陥種類データ51aを参照することで、欠陥領域92に写っている欠陥12の種類を判定(特定)する(詳細は図11)。
S115の全領域検査完了判定処理では、欠陥抽出処理部52は、計画した検査対象領域11の全ての撮像が完了したか否かを判定する。S115でYesなら図2の処理を終了し、NoならS101に戻って各機器は次の(残りの)撮像位置まで移動する。
S122の機器位置調整処理では、機器配置制御部54は、S121で決定した機器配置に従い、各機器(撮像機駆動機構20、照明駆動機構30)の位置を調整する。つまり、機器配置制御部54は、自己位置測定機22および相対位置測定機32による測定位置が、S121で決定した各機器の位置と一致するように、撮像機駆動機構20および照明駆動機構30に対して、駆動の指令信号を送信する。そして、処理をS103に戻す。
図3は、欠陥検査システムの3次元の座標系を説明するための斜視図である。欠陥検査システムの3次元空間は、検査対象領域11の平面を(x,y)とし、その検査対象領域11の平面からの垂直線13をz軸とする(x,y,z)座標系として定義される。
また、3次元位置(x,y,z)は、検査対象領域11と垂直線13との交点(欠陥12の略中心位置)を原点とした極座標系(方位θ,角度φ,距離L)としても定義される。
つまり、撮像機21の3次元位置は、(方位θ1,角度φ1,距離L1)である。同様に、照明31の3次元位置は、(方位θ2,角度φ2,距離L2)である。
撮像機21が位置する方位θ1に沿った断面線14L-14Rと、照明31が位置する方位θ2に沿った断面線15L-15Rとを図示する。これらの断面線に沿った断面図を、以下で説明する。
図6は、図4の照明31の断面線15L-15Rにおける断面図である。角度φ2は、垂直線13に対して、断面線15L-15Rの方向にどれだけ傾いた位置に照明31が存在するかを示す。
図7は、S103の画像撮像処理における欠陥検査システムの位置関係を示す斜視図である。撮像機21は、照明31の光が当てられている状態で、欠陥12を含む検査対象領域11を撮像画像データ23として撮像する。
欠陥12の一例である亀裂は、構造物表面において経時により発生し、検査対象面に対して、開口幅W、開口長さL、深さDを持つ形状をしている。
図8は、図7の欠陥12である亀裂に着目した側面図である。深さDが深くなるほど照明31からの光が当たりづらくなるので、撮像画像データ23には、欠陥位置において画像の濃淡が発生する。
図9は、撮像画像データ23の一例として、検査対象領域11を正面から撮影した取得画像91を示す画面図である。取得画像91の縦方向を大文字のY軸とし、横方向を大文字のX軸とする。
取得画像91において、欠陥12のない表面領域93には照明光が照射されて輝度が高く(白く)、欠陥12のある欠陥領域92は照明光の照射量が減り輝度が低く(黒く)なる。なお、図10の説明用に、欠陥領域92を中心にして表面領域93を横切る断面線94L-94Rも図示した。
欠陥抽出処理部52は、取得画像91に画像処理を実施し、輝度の低い欠陥領域92を抽出する。具体的には、欠陥抽出処理部52は、濃淡情報である輝度値に任意の欠陥閾値を設定し、二値化処理を適用することで、欠陥閾値を下回る領域を欠陥として抽出する。
なお、欠陥抽出処理部52は、輝度の低い欠陥領域を抽出する方法であれば二値化処理に限らず、例えばエッジ抽出処理を用いて欠陥境界部分を抽出し、欠陥領域92か表面領域93かを分類してもよい。
そして、欠陥判定処理部53は、C>2(所定のしきい値)の場合に、欠陥領域と表面領域を視認した場合に明確に分類できると判定する。なお、判定の計算方法はこれに限らず、欠陥領域と表面領域の視認性を定量的に表し、計算結果をしきい値判定できる方法であればよい。
なお、この欠陥視認性パラメータCを良くするためには、例えば、欠陥領域92の輝度平均値をL1をより低くする、表面領域93の輝度平均値をL2をより高くする、表面領域93の輝度ばらつき幅Nを小さくするように、各機器の配置を変更すればよい。
欠陥判定処理部53は、欠陥領域92を囲むように所定の形状を当てはめることにより、欠陥領域92に写っている欠陥の種類を判定する。そのため、欠陥判定処理部53は、所定の形状と欠陥種類との対応データである欠陥種類データ51aを参照する。
なお、欠陥種類データ51aの一例として、図11では、細長い楕円を所定の形状として、その細長い楕円に当てはまる欠陥を「亀裂」と判定する場合を示している。細長い楕円とは、例えば、長径a/短径bの比が所定値(5など)より大きいため、長径aが短径bよりもかなり長く、引き延ばされた形状である。
欠陥判定処理部53は、欠陥領域92の欠陥12に外接する最少の楕円形状を求め、その長径a、短径b、座標系に対する長軸傾きθを算出する。そして、欠陥判定処理部53は、算出したθから、撮像機21および照明31の配置方位を、長径aと短径bの比a/bから、撮像機21および照明31の配置角度を決定する。
例えば、当てはめる所定の形状の別の一例として、亀裂に当てはめる細長い楕円よりも長径a/短径bの比が小さい(真円に近い)形状に当てはまる場合に、欠陥を「表面層の剥がれ」とするような欠陥種類データ51aを用いてもよい。
さらに、検査対象領域11のxy平面に対して、欠陥領域92がz軸の高さ方向に出っ張っている(凸型になっている)形状に当てはまる場合に、欠陥を「膨らみ」または「異物付着」とするような欠陥種類データ51aを用いてもよい。このように、欠陥種類データ51aとして、楕円に当てはめる方法に限らず、欠陥領域の方向性および方位を算出できる方法であれば、他の方法を用いてもよい。
撮像機21の距離L1は、欠陥幅に対する分解能を予め設定し、撮像機の画素数、画素サイズより決定される。または、撮像機21の距離L1は、欠陥12にピントが合うように、既存のオートフォーカス機構により決定してもよい。
照明31の距離L2は、必要となる表面領域輝度と照明の照度より決定される。
欠陥視認性パラメータCを改善するための機器配置として、例えば、照明31の方位θ2を欠陥領域92の長軸に垂直な方位となるようにする。これにより、欠陥領域92の輝度をより低くすることで、欠陥12の内部断面に照射される光量を減らせばよい。
一方、撮像機21の方位θ1は、欠陥領域92の長軸に垂直な方位で、照明31と対向する方位とする。これにより、欠陥12の内部断面から反射または拡散して撮像機21に入射する光量を減らすことで、欠陥領域92の輝度を低くすればよい。
このように、機器制御データ51bは、欠陥種類データ51aで定義される欠陥12が存在する方位を基準とし、その欠陥12が見やすいように機器の方位を決定するデータとして定義されていてもよい。
照明31の角度φ2は、欠陥傾斜角度=tan(短径b/長径a)よりも狭い(垂直線13側の)角度とする。図13では欠陥傾斜を太線で示し、欠陥傾斜角度は、3点(垂直線13上の点Pd、欠陥12の最奥点Pc、欠陥12の表面点Pb)のなす角度である。このように、照明31の角度φ2を亀裂のほぼ真上に配置し、欠陥12の最奥点Pcに向けて入射光が届くようにほぼ真下に向けることで、欠陥12の内部断面からの反射光を抑え、コントラストを高めることができる。
なお、欠陥傾斜角度と照明角度との関係は、例えば、予め定めた角度差以上とし、照明が検査対象と干渉しない範囲で決定する。なお、欠陥の傾斜角度については、「tan(短径b/長径a)」から求める一例を示したが、推定方法はこれに限らず、同様の効果が得られる別の手段を用いてもよい。
また、表面領域93が粗面である場合には、撮像機21の配置角度によって表面領域93からの拡散光は等法的であるため、欠陥12の影領域となる部分を多く撮像できるように欠陥の真上方向(垂直線13の方向)に撮像機21を配置することで、欠陥の視認性を高くすることができる。
そこで、撮像機21の角度φ1は、剥がれ底面点Pfと剥がれ表面点Paとの延長線上に設定される。同様に、欠陥12の角度φ1は、剥がれ底面点Peと剥がれ表面点Pbとの延長線上に設定される。
また、機器配置制御部54は、撮像機21および照明31の姿勢(向き)についても、決定された位置から見て、欠陥12が存在する位置を向くように決定すればよい。
ここで、欠陥種類データ51aと機器制御データ51bとは、欠陥12の種類ごとに見やすい撮影機器の配置があらかじめ定義されているため、配置が制御された撮像機21を介して、欠陥視認性の高い取得画像91を撮影することができる。よって、検査員の属人性(スキルのばらつき)があっても、安定した欠陥判定を効率的に実行させることができる。
また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。
また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。また、上記の各構成、機能、処理部、処理手段などは、それらの一部または全部を、例えば集積回路で設計するなどによりハードウェアで実現してもよい。
また、前記の各構成、機能などは、プロセッサがそれぞれの機能を実現するプログラムを解釈し、実行することによりソフトウェアで実現してもよい。
また、制御線や情報線は説明上必要と考えられるものを示しており、製品上必ずしも全ての制御線や情報線を示しているとは限らない。実際にはほとんど全ての構成が相互に接続されていると考えてもよい。
さらに、各装置を繋ぐ通信手段は、無線LANに限定せず、有線LANやその他の通信手段に変更してもよい。
12 欠陥
13 垂直線
20 撮像機駆動機構
21 撮像機
22 自己位置測定機
23 撮像画像データ
30 照明駆動機構
31 照明
32 相対位置測定機
50 PC
51 データベース
51a 欠陥種類データ
51b 機器制御データ
52 欠陥抽出処理部
53 欠陥判定処理部
54 機器配置制御部
55 表示制御部
60 表示装置
91 取得画像
92 欠陥領域
93 表面領域
Claims (3)
- 欠陥検査システムは、データベースと、欠陥抽出処理部と、欠陥判定処理部と、機器配置制御部と、表示制御部とを備えており、
前記データベースには、構造物に関する欠陥の種類ごとにその特徴情報を対応付けている欠陥種類データと、前記欠陥の種類ごとに見やすい撮影機器の配置を規定した機器制御データとが対応付けて登録されており、前記欠陥の種類として構造物の平面に対する亀裂が登録され、
前記欠陥抽出処理部は、撮像機が撮像した撮像画像から、前記欠陥の写っている欠陥領域を抽出し、
前記欠陥判定処理部は、前記欠陥種類データの特徴情報を参照して、前記欠陥抽出処理部により抽出された前記欠陥領域内の前記欠陥の種類を分類する処理において、亀裂の前記欠陥種類データを参照して、前記欠陥領域に外接する楕円形状の長径と短径との比が所定値より大きいときに、前記欠陥領域に写っている前記欠陥の種類を亀裂と判定し、前記欠陥領域に外接する楕円形状の長径と短径との比が前記所定値より小さいときに、前記欠陥領域に写っている前記欠陥の種類を剥がれと判定し、
前記機器配置制御部は、前記機器制御データを参照して、前記欠陥判定処理部が分類した前記欠陥の種類に対応する前記撮像機の配置を決定し、その決定した配置になるように前記撮像機を制御する処理において、前記欠陥の種類が亀裂の場合には、亀裂の前記機器制御データを参照して、亀裂の最奥点が視認可能な程度に構造物の平面に対する角度が高い位置に、前記撮像機を配置し、前記欠陥の種類が剥がれの場合には、剥がれの前記機器制御データを参照して、剥がれの奥側の底面点と、構造物の手前側の表面点との延長線上の位置に、前記撮像機を配置し、
前記表示制御部は、前記機器配置制御部により制御された前記撮像機が撮像する前記撮像画像を表示装置に表示させることを特徴とする
欠陥検査方法。 - 前記機器配置制御部は、構造物の平面座標における亀裂に向けて光を照射する照明機の位置と、亀裂を撮影する前記撮像機の位置関係について、亀裂に外接する楕円形状の長径との垂線上の一方の端点に前記照明機を配置し、他方の端点に前記撮像機を配置することを特徴とする
請求項1に記載の欠陥検査方法。 - 構造物に関する欠陥の種類ごとにその特徴情報を対応付けている欠陥種類データと、前記欠陥の種類ごとに見やすい撮影機器の配置を規定した機器制御データとが対応付けて登録されており、前記欠陥の種類として構造物の平面に対する亀裂が登録されるデータベースと、
撮像機が撮像した撮像画像から、前記欠陥の写っている欠陥領域を抽出する欠陥抽出処理部と、
前記欠陥種類データの特徴情報を参照して、前記欠陥抽出処理部により抽出された前記欠陥領域内の前記欠陥の種類を分類する処理において、亀裂の前記欠陥種類データを参照して、前記欠陥領域に外接する楕円形状の長径と短径との比が所定値より大きいときに、前記欠陥領域に写っている前記欠陥の種類を亀裂と判定し、前記欠陥領域に外接する楕円形状の長径と短径との比が前記所定値より小さいときに、前記欠陥領域に写っている前記欠陥の種類を剥がれと判定する欠陥判定処理部と、
前記機器制御データを参照して、前記欠陥判定処理部が分類した前記欠陥の種類に対応する前記撮像機の配置を決定し、その決定した配置になるように前記撮像機を制御する処理において、前記欠陥の種類が亀裂の場合には、亀裂の前記機器制御データを参照して、亀裂の最奥点が視認可能な程度に構造物の平面に対する角度が高い位置に、前記撮像機を配置し、前記欠陥の種類が剥がれの場合には、剥がれの前記機器制御データを参照して、剥がれの奥側の底面点と、構造物の手前側の表面点との延長線上の位置に、前記撮像機を配置する機器配置制御部と、
前記機器配置制御部により制御された前記撮像機が撮像する前記撮像画像を表示装置に表示させる表示制御部とを有することを特徴とする
欠陥検査システム。
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