JP7174774B2 - 焼結体の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、焼結体の製造方法に関する。

精密部品の製造技術として、粉末射出成形（Powder Injection Molding：ＰＩＭ）が用いられる。粉末射出成形は、金属各種粉末とバインダーとの混練物を射出成形して得られた成形体（グリーン体、と言い換えることができる）から、加熱等によりバインダーを除去し（脱脂、と言い換えることができる）、さらに高温で加熱して粉末を焼結することにより焼結体を製造する技術である。

これに関連する焼結体の製造方法として、例えば、特許文献１には、金属粉末射出成形（ＭＩＭ法（Metal Injection Molding法）により寸法精度の高い焼結品を得ることが記載されている。

特許第６３４２８４４号公報

粉末射出成形を用いることにより、高い寸法精度を有し、三次元的な複雑な形状を有する焼結体が容易に製造できる。しかしながら、目的とする焼結体の形状によっては、脱脂過程及び焼結過程において生じた変形が焼結体に残ることがある。例えば、オーバーハング部を有する焼結体を得ようとする場合、その製造過程において、オーバーハング部の重さを受けて生じた変形が焼結体に残ることがある。特に優れた寸法精度が求められる製品を得るため、粉末射出成形において、更なる寸法精度の向上が必要である。

本開示は、オーバーハング部を有し、かつ高い寸法精度を有する焼結体の製造方法を提供することを目的とする。

本開示は、粉末とバインダーとの混練物を射出成形し、オーバーハング部を有する未焼結体を得る工程；前記オーバーハング部が鉛直方向以外の方向に突出する状態で前記未焼結体を加熱して中間焼結体を生成する工程；前記中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを前記中間焼結体の生成時と逆にする工程；及び前記中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを前記中間焼結体の生成時と逆にした後、前記中間焼結体を加熱して前記粉末の焼結を完了する工程を含む、焼結体の製造方法に関する。この構成によれば、オーバーハング部を有し、かつ高い寸法精度を有する焼結体を製造することができる。

前記中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを前記中間焼結体の生成時と逆にする工程において、前記中間焼結体を上下方向に反転することにより、前記中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを前記中間焼結体の生成時と逆にしてよい。この構成によれば、中間焼結体を上下方向に反転するという簡単な方法で、中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを中間焼結体の生成時と逆にすることができる。

前記中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを前記中間焼結体の生成時と逆にする工程において、前記中間焼結体の生成後も前記中間焼結体を加熱し、前記中間焼結体のオーバーハング部の少なくとも一部が前記中間焼結体のオーバーハング部の下方にある加力面に接することにより、前記加力面が前記中間焼結体のオーバーハング部を下方から支えて、前記中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを前記中間焼結体の生成時と逆にしてよい。この構成によれば、中間焼結体の生成時から加熱を継続するだけで、中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを中間焼結体の生成時と逆にすることができる。

前記未焼結体を加熱して中間焼結体を生成する工程の開始時又は工程中において、前記未焼結体のオーバーハング部の少なくとも一部が、前記未焼結体のオーバーハング部の下方にある支持面に接してよい。

前記未焼結体を加熱して中間焼結体を生成する工程において、前記未焼結体のオーバーハング部が、前記未焼結体のオーバーハング部の下方にある支持面から離れることにより前記オーバーハング部に変形を生じさせる力がかかってよい。

前記中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを前記中間焼結体の生成時と逆にする工程において、前記中間焼結体のオーバーハング部の少なくとも一部が前記中間焼結体のオーバーハング部の下方にある加力面に接することにより、前記加力面が前記中間焼結体のオーバーハング部を下方から支えて、前記中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを前記中間焼結体の生成時と逆にした後、前記中間焼結体を上下方向に反転することにより、前記中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを逆にした状態を継続してよい。

前記加力面は、前記未焼結体を加熱して中間焼結体を生成する工程において設けられているものであり、前記加力面は曲面を有し、前記加力面の形状が、前記中間焼結体のオーバーハング部の下面と同一形状であってよい。この構成によれば、例えば同じ炉内で、中間焼結体を生成する工程と中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを中間焼結体の生成時と逆にする工程とを連続して行うことができる。しかも、中間焼結体のオーバーハング部が加力面に接した後は、オーバーハング部の下面を加力面で全面的に支持することができる。

前記支持面は、前記未焼結体を加熱して中間焼結体を生成する工程において設けられているものであり、前記支持面は曲面を有し、前記支持面の形状が、前記未焼結体のオーバーハング部の下面と同一形状であってよい。この構成によれば、未焼結体のオーバーハング部が支持面に接している間は、オーバーハング部の下面を支持面で全面的に支持することができる。

本開示によれば、オーバーハング部を有し、かつ高い寸法精度を有する焼結体の製造方法を提供することができる。

図１Ａ～１Ｄは、第１実施形態に係る焼結体の製造方法を説明するための概念図である。 図２Ａ～２Ｃは、第２実施形態に係る焼結体の製造方法を説明するための概念図である。 図３Ａ～３Ｄは、第３実施形態に係る焼結体の製造方法を説明するための概念図である。 図４Ａ～４Ｅは、第４実施形態に係る焼結体の製造方法を説明するための概念図である。 図５Ａ～５Ｄは、第５実施形態に係る焼結体の製造方法を説明するための概念図である。 図６Ａ～６Ｅは、第６実施形態に係る焼結体の製造方法を説明するための概念図である。 図７Ａ～７Ｅは、第７実施形態に係る焼結体の製造方法を説明するための概念図である。

（第１実施形態）
第１実施形態における焼結体の製造方法は、オーバーハング部を有する未焼結体を得る工程、前記オーバーハング部が鉛直方向以外の方向に突出する状態で前記未焼結体を加熱して中間焼結体を生成する工程、前記中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを前記中間焼結体の生成時と逆にする工程、及び前記中間焼結体を加熱して焼結を完了する工程を含む。

また、第１実施形態における焼結体の製造方法においては、前記中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを前記中間焼結体の生成時と逆にする工程において、前記中間焼結体を上下方向に反転することにより、前記中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを前記中間焼結体の生成時と逆にする。以下、図１Ａ～１Ｄを参照して第１実施形態における焼結体の製造方法を説明する。

（１）未焼結体を得る工程
図１Ａは、支持面１０１上に設置した未焼結体１１を示す。未焼結体１１は、ニッケル基合金粉末とバインダーとの混練物を射出成形して得られたグリーン体である。また、支持面１０１は、水平面であり、未焼結体１１、中間焼結体１２、又は焼結体１３を支えている。

未焼結体１１は、本体１１ａとオーバーハング部１１ｂとを有する。本体１１ａ及びオーバーハング部１１ｂの上面及び下面の形状は、支持面１０１と平行又は略平行な平面形状である。ただし、本体１１ａ及びオーバーハング部１１ｂの上面及び下面の形状は、平面形状の他、円弧形状等の曲面を有する形状であってよい。

本開示において、支持面とは、未焼結体、中間焼結体、及び焼結体と接することにより、それらの一部又は全体を支える面である。

支持面１０１の形状は、未焼結体の本体１１ａの下面、上下方向に反転した後の中間焼結体１２の本体１２ａの下面、及び焼結体の本体１３ａの下面等、支持面１０１と対向し得る面と同一形状であるが、同一形状に限られない。

支持面１０１の形状は、例えば、未焼結体１１、中間焼結体１２、又は焼結体１３の形状に対応するよう設計してよく、支持面１０１の形状は、平面形状の他、円弧形状等の曲面を有する形状であってよい。

本開示において、円弧形状は、ある点からの距離が等しい点の集合によりできる曲線からなる形状、及び楕円弧形状も含む。

支持面１０１を構成する材料としては、例えば、酸化アルミニウム、酸化イットリウム、酸化ジルコニウム、酸化カルシウム、及びこれらの複合酸化物等の各種セラミックス材料が挙げられる。

本開示において、上下方向とは鉛直方向であってよく、図１を参照すれば、ＸＹ平面上に未焼結体１１を設置した場合におけるＺ軸の方向である。また、上下方向が鉛直方向であれば、上下方向に反転するとは、水平軸を中心に反転させることとも言い換えることができる。

また、本開示において、上面とは、その設置状態において、上方を向く面をいう。図１Ａ～１Ｄを参照すれば、ＸＹ平面上に未焼結体１１を設置した場合における＋Ｚの向きの面である。一方、本開示において下面とは、その設置状態において、下方を向く面をいう。図１を参照すれば、ＸＹ平面上に未焼結体１１を設置した場合における－Ｚの向きの面である。

未焼結体のオーバーハング部１１ｂは、本体１１ａから水平方向（ＸＹ平面と平行な方向）に突出し、未焼結体のオーバーハング部１１ｂの下面は、支持面１０１から離れている。つまり、本実施形態の未焼結体のオーバーハング部１１ｂの下面は支持面１０１に接していない。ただし、未焼結体のオーバーハング部１１ｂの形状は、後述する未焼結体を加熱して中間焼結体を生成する工程において、重力方向に垂れ変形（－Ｚ方向の変形）する形状である限り特に限定されるものではない。未焼結体のオーバーハング部１１ｂの突出方向も水平方向（ＸＹ平面と平行な方向）に限られない。

また、図１Ａは、一箇所のオーバーハング部１１ｂを有する未焼結体１１を図示したものであるが、未焼結体１１は一箇所又は二箇所以上のオーバーハング部を有してもよい。

本開示において、オーバーハング部とは、未焼結体又は中間焼結体を加熱する際のいずれかの設置状態において、その本体から鉛直方向以外の方向に突出する部分である。未焼結体の設置状態と中間焼結体の設置状態が異なる場合には、それぞれの設置状態においてオーバーハング部を有するかどうか、あらかじめ想定する必要がある。

未焼結体１１は、ニッケル基合金粉末を含むものであるが、未焼結体に含まれる粉末は、特に限定されるものではない。金属やセラミックス等、従来公知の粉末を幅広く適用できる。金属粉末としては、鉄、コバルト、チタン及びニッケル等の純金属の粉末、並びにこれら金属の各種合金の粉末を挙げることができる。セラミックス粉末としては、酸化アルミニウム、酸化イットリウム、酸化ジルコニウム、酸化カルシウム、炭化タングステン、炭化ケイ素、これらセラミックスの複合酸化物、及びこれらセラミックスの複合炭化物等の粉末が挙げられる。

また、ニッケル基合金粉末は、その組成中でニッケルの含有量が最も多い合金粉末をいい、ニッケル以外の成分は、特に限定されない。

ニッケル基合金粉末として、例えば、Ｈａｓｔｅｌｌｏｙ Ｘ、Ｉｎｃｏｎｅｌ ６００、Ｉｎｃｏｎｅｌ ６２５、Ｉｎｃｏｎｅｌ ７１８、Ｉｎｃｏｎｅｌ ７１３、ＭａｒＭ２４７、ＣＭ２４７ＬＣ、並びにＩｎｃｏｎｅｌ ７３８及びＢ１９００等が挙げられる。なお、「ＨＡＳＴＥＬＬＯＹ」、及び「ＩＮＣＯＮＥＬ」は登録商標である。

未焼結体を構成するバインダーも、特に限定されるものではない。従来、粉末射出成形に用いられるものを採用できる。ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリアセタール（ＰＯＭ）、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）、カルナウバワックス（ＣＷ）、パラフィンワックス（ＰＷ）、ステアリン酸（Ｓｔ）及びこれらの混合物等が挙げられる。

本開示において、未焼結体を得る工程における、粉末とバインダーとの混練物は、従来の粉末射出成形で用いられる方法により得られる。混練条件は、粉末の組成及び粒径、バインダーの種類及び組成、並びにこれらの配合量等の諸条件により適宜調整すればよい。

また、混練物中のバインダーの含有量は、従来の粉末射出成形で用いられる条件を採用でき、成形条件や形状等に応じて適宜調整すればよい。

得られた混練物の射出成形は、射出成形機を用いて行うことができる。射出成形の条件は、従来の射出成形で用いられる条件を採用でき、粉末の組成や粒径、バインダーの種類及び組成、並びに混練物中のバインダーの含有量等に応じて適宜調整すればよい。

射出成形後、必要に応じてバインダーの一部を取り除いてもよい。混練物を射出成形した後、一部のバインダーを取り除く（言い換えれば、一次脱脂）方法としては、従来公知の方法を採用することができ、特に限定されないが、バインダーを加熱すること、及びバインダーを溶媒（例えば、水や有機溶剤等）に溶解すること等が挙げられる。ただし、一次脱脂ではバインダーの全てを取り除かず、バインダーの一部を残存させる。また、一次脱脂は必ずしも実施する必要はない。

本開示において、粉末とバインダーとの混練物を射出成形して得られ、一次脱脂を行っていないものをグリーン体といい、グリーン体に対して一次脱脂を行ったものをブラウン体という。グリーン体とブラウン体はいずれも未焼結体である。

（２）未焼結体を加熱して中間焼結体を生成する工程
図１Ｂは、中間焼結体１２を示す。なお、図１Ｂ中の破線は、未焼結体１１の形状を示す（後述する図においても同様）。中間焼結体１２は、未焼結体を加熱して中間焼結体を生成する工程において、例えば、支持面１０１上で、未焼結体１１を３～７２時間かけて、２００～８００℃程度まで徐々に加熱することによりバインダーを取り除いた後、続けて最高温度１０００～１３００℃において０～１２時間加熱することにより得られる。このように、未焼結体１１に含まれるバインダーを加熱により除去（脱脂）した後、連続して加熱することで中間焼結体１２を生成してよい。

本開示において、未焼結体を加熱して中間体を生成する工程の加熱条件は、粉末の組成、粉末の粒度等に応じて適宜調整すればよい。

本開示において、未焼結体を加熱して中間焼結体を生成する工程の処理雰囲気は、大気；水素、及び一酸化炭素等の還元性ガス；窒素、ヘリウム、及びアルゴン（Ａｒ）等の不活性ガス；もしくはこれらの混合ガス等を含む雰囲気、又は真空雰囲気であってよい。

中間焼結体１２は、未焼結体１１の加熱により焼結が進行し収縮したものである。図１Ａ及び１Ｂに示すように、未焼結体のオーバーハング部１１ｂ及び中間焼結体のオーバーハング部１２ｂには、重力方向の力１１２ｂが作用するため、中間焼結体のオーバーハング部１２ｂは、未焼結体のオーバーハング部１１ｂであった時に比べ、重力方向に垂れ変形（－Ｚ方向の変形）している。

本開示において、中間焼結体とは、下記関係式（１）を満たすものである。下記関係式（１）で定められた範囲にあるものを中間焼結体とする。
０．３≦（ａ－ｃ）／（ａ－ｂ）≦０．７ （１）
ａは未焼結体の所定箇所の長さ、ｂは焼結体の前記所定箇所の長さ、ｃは中間焼結体の前記所定箇所の長さを示す。

ａは、未焼結体の所定箇所の長さを示すところ、未焼結体の所定箇所の長さとは、例えば、未焼結体の表面上の任意の二点間の距離であり、未焼結体が辺を有する場合には、任意の辺の長さを所定箇所の長さとしてもよい。

また、ｂは、焼結体の前記所定箇所の長さを示す。焼結体の前記所定箇所の長さとは、未焼結体の表面上の任意の二点に相当する焼結体上の二点間の距離であり、未焼結体が辺を有する場合には、未焼結体の任意の辺に相当する焼結体の任意の辺の長さを所定箇所の長さとしてもよい。

さらに、ｃは、中間焼結体の前記所定箇所の長さを示す。中間焼結体の前記所定箇所の長さとは、未焼結体の表面上の任意の二点に相当する中間焼結体上の二点間の距離であり、中間焼結体が辺を有する場合には、未焼結体の任意の辺に相当する中間焼結体の任意の辺の長さを所定箇所の長さとしてもよい。

また、前記関係式（１）は、０．４≦（ａ－ｃ）／（ａ－ｂ）≦０．６であってよく、（ａ－ｃ）／（ａ－ｂ）＝０．５であってよい。

未焼結体の所定箇所の長さａ、焼結体の前記所定箇所の長さｂ、及び中間焼結体の前記所定箇所の長さｃは、それぞれ未焼結体、焼結体、及び中間焼結体の代表的な辺の長さや、代表的な厚みを測定すればよい。代表的には、ノギス、マイクロメータ、ハイトゲージ、ホールゲージ、又は測定顕微鏡等を用いて測定する。なお、ａ，ｂ，ｃのそれぞれは製造上の誤差を含むため、複数の測定箇所の寸法を測定して、それらの平均値を採用してもよい。また、ｂに関し、測定の対象となる焼結体は、必ずしも本実施形態の製造方法により製造した焼結体である必要はなく、その製造方法の加熱条件（時間及び温度など）と同様の加熱条件で熱処理した実験体（例えば、本実施形態の製造方法のうちの中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを中間焼結体の生成時と逆にする工程を省略して製造した焼結体）であってもよい。

また、測定箇所は曲面を有さず、直線である方が好ましい。さらに、オーバーハング部のような変形を生じやすい箇所ではなく、支持面等に常に触れて垂れ変形及び反り変形が生じにくく、安定的に相似形状への焼結収縮が起こる箇所が好ましい。測定箇所が曲面を有する場合には、任意の二点間の直線距離を測定する。

さらに、測定箇所は、１箇所又は２箇所以上であってよく、２箇所以上測定する場合には、測定値の平均値を採用することができる。

（３）中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを中間焼結体の生成時と逆にする工程
図１Ｃは、図１Ｂに示す中間焼結体１２を上下方向に反転して、支持面１０１に設置した中間焼結体１２を示す。上記関係式（１）を満たす状況で、つまり中間焼結体の生成後に、上下方向に反転することにより、中間焼結体のオーバーハング部１２ｂにかかる力の向きを中間焼結体の生成時と逆にする。

本開示において、中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを中間焼結体の生成時と逆にすると述べるとき、その向きは中間焼結体から見た向きである。

（４）中間焼結体を加熱して粉末の焼結を完了する工程
図１Ｄは、図１Ｃに示す中間焼結体１２を加熱して粉末の焼結が完了した焼結体１３を示す。

第１実施形態における中間焼結体を加熱して粉末の焼結を完了する工程において、例えば、最高温度１１００～１４００℃において３０分～１２時間加熱することにより粉末の焼結を完了することができる。

本開示において、中間焼結体を加熱して粉末の焼結を完了する工程の加熱条件は、粉末の組成、粉末の粒度等に応じて適宜調整すればよい。また、収縮により所望の寸法に到達した時点を焼結の完了とすればよい。

本開示において、中間焼結体を加熱して前記粉末の焼結を完了する工程の処理雰囲気は、大気；水素、及び一酸化炭素等の還元性ガス；窒素、ヘリウム、及びアルゴン等の不活性ガス；並びにこれらの混合ガス等を含む雰囲気、又は真空雰囲気であってよい。

以上の工程により、垂れ変形した中間焼結体のオーバーハング部１２ｂに対し、力１１２ｂと逆向きの力１１３ｂを与えることとなり、オーバーハング部１２ｂの変形を相殺することができる。その結果、図１Ｄに示すように、変形、特に焼結体のオーバーハング部１３ｂの垂れ変形を抑制し、高精度な焼結体１３が得られる。

（５）任意工程
第１実施形態における焼結体の製造方法において、例えば、焼結を完了した後、熱間等方加圧加工（ＨＩＰ）、溶体化処理、時効処理、機械加工及びプレス矯正等、従来公知の任意工程を含んでもよい。

（第２実施形態）
第２実施形態における焼結体の製造方法は、中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを前記中間焼結体の生成時と逆にする工程において、前記中間焼結体の生成後も前記中間焼結体を加熱し、前記中間焼結体のオーバーハング部の少なくとも一部が前記中間焼結体のオーバーハング部の下方にある加力面に接することにより、前記加力面が前記中間焼結体のオーバーハング部を下方から支えて、前記中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを前記中間焼結体の生成時と逆にする。以下、図２Ａ～２Ｃを参照し、第１実施形態と異なる点を抽出して第２実施形態における焼結体の製造方法を説明する。

（１）未焼結体を得る工程
図２Ａは、支持面１０１上に設置した未焼結体２１を示す。未焼結体２１は、未焼結体１１と同様、ニッケル基合金粉末（Ｈａｓｔｅｌｌｏｙ－Ｘ）とバインダー（ＰＰ，ＰＯＭ，ＰＷ）との混練物を射出成形して得られたグリーン体である。未焼結体２１は、本体２１ａとオーバーハング部２１ｂとからなる。本体２１ａの上面及び下面並びにオーバーハング部２１ｂの上面の形状は、平面形状、及び円弧形状等の曲面を有する形状であってよい。

未焼結体のオーバーハング部２１ｂは、本体２１ａから水平方向（ＸＹ平面と平行な方向）に突出し、未焼結体のオーバーハング部２１ｂの下面は、その下方にある加力面２０１から離れている。つまり、未焼結体のオーバーハング部２１ｂの下面は加力面２０１に接していない。

未焼結体のオーバーハング部２１ｂの下面の形状は、加力面２０１と平行又は略平行な平面形状である。ただし、未焼結体のオーバーハング部２１ｂの下面の形状は、平面形状の他、円弧形状等の曲面を有する形状であってよい。

本開示において、加力面とは、中間焼結体が接することにより、未焼結体又は中間焼結体にかかった力と逆向きの力をかけることで、一部又は全体に生じた変形を低減又は相殺する面をいう。加力面は、中間焼結体が接するように予め未焼結体の近くに設けられていてよい。

第２実施形態において、加力面２０１は、中間焼結体のオーバーハング部２２ｂが接することにより、未焼結体のオーバーハング部２１ｂ又は中間焼結体のオーバーハング部２２ｂにかかった力１２１ｂと逆向きの力１２２ｂをかける。

加力面２０１の形状は、未焼結体のオーバーハング部２１ｂの下面、又は中間焼結体のオーバーハング部２２ｂの下面等、加力面２０１と対向し得る面と同一形状であるが、同一に限られない。

加力面２０１の形状は、未焼結体のオーバーハング部２１ｂの下面、中間焼結体のオーバーハング部２２ｂの下面、又は焼結体のオーバーハング部２３ｂの下面の形状等に対応するよう設計してよく、平面形状、及び円弧形状等の曲面を有する形状であってよい。

加力面２０１を構成する材料としては、支持面１０１と同じであってよい。支持面１０１及び加力面２０１を一つの部材によって構成してよく、それぞれ別の部材によって構成してよい。支持面１０１と加力面２０１とが別の部材で構成される場合に、支持面１０１を構成する部材上に、加力面２０１を構成する部材を設置してよい。その場合、加力面２０１を構成する部材として、一般にセッターと呼ばれる治具を採用できる。

（２）未焼結体を加熱して中間焼結体を生成する工程
図２Ｂは、中間焼結体２２を示す。中間焼結体２２は、未焼結体を加熱して中間焼結体を生成する工程において、支持面１０１上で、未焼結体２１を１０００～５０００Ｐａ程度の窒素雰囲気下、１５．５時間かけて５００℃まで徐々に加熱することによりバインダーを取り除いた後、Ａｒ雰囲気下、２時間５１分かけて１２４０℃まで徐々に加熱することにより得られる。この加熱と、後述する（３）中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを中間焼結体の生成時と逆にする工程における加熱、及び同じく後述する（４）中間焼結体を加熱して粉末の焼結を完了する工程における加熱は連続して行ってもよい。なお、粉末の材質によっては、中間焼結体の生成条件が第１実施形態と同じであってもよい。

中間焼結体２２は、未焼結体２１の加熱により焼結が進行し収縮したものである。焼結の進行により、未焼結体の本体２１ａは中間焼結体の本体２２ａに、未焼結体のオーバーハング部２１ｂは中間焼結体のオーバーハング部２２ｂになる。図２Ａに示すように、未焼結体のオーバーハング部２１ｂには、重力方向の力１２１ｂが作用するため、中間焼結体のオーバーハング部２２ｂは、未焼結体のオーバーハング部２１ｂであった時に比べ、重力方向に垂れ変形（－Ｚ方向の変形）している。

（３）中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを中間焼結体の生成時と逆にする工程
図２Ｂに示すように、中間焼結体２２の生成後の加熱によって、中間焼結体のオーバーハング部２２ｂが、重力方向に垂れ変形（－Ｚ方向の変形）すると、中間焼結体のオーバーハング部２２ｂの少なくとも一部がその下方にある加力面２０１に接する。また、中間焼結体２２の少なくとも一部（本実施形態では、本体２２ａの下面）は支持面１０１から離れる。これにより、加力面２０１が、中間焼結体のオーバーハング部２２ｂを下方から支えることとなり、中間焼結体のオーバーハング部２２ｂには、力１２１ｂに対する逆向きの力１２２ｂが作用する。なお、中間焼結体２２が支持面１０１から離れるとは、中間焼結体２２が支持面１０１に接した状態から、それらの間隔が開いた状態になることをいう。

加力面２０１の高さ（支持面１０１と加力面２０１との距離とも言い換えることができる）は、中間焼結体の本体２２ａの少なくとも一部が、上記（ａ－ｃ）／（ａ－ｂ）の値が０．５０で支持面１０１から離れるよう調整されている。ただし、中間焼結体の本体２２ａの少なくとも一部が、上記関係式（１）を満たす範囲で、支持面１０１から離れるよう加力面２０１の高さを調整してよい。

（４）中間焼結体を加熱して粉末の焼結を完了する工程
図２Ｃは、図２Ｂに示す中間焼結体２２をＡｒ雰囲気下で、最高温度１３００℃において３時間加熱して粉末の焼結が完了した焼結体２３を示す。焼結の完了により、中間焼結体の本体２２ａは焼結体の本体２３ａに、中間焼結体のオーバーハング部２２ｂは焼結体のオーバーハング部２３ｂになる。

以上の工程により、垂れ変形したオーバーハング部２２ｂに対し、力１２１ｂに対する逆向きの力１２２ｂを与えることとなり、オーバーハング部２２ｂの変形を相殺することができる。その結果、図２Ｃに示すように、変形、特に焼結体のオーバーハング部２３ｂの垂れ変形を抑制し、高精度な焼結体２３が得られる。

（第３実施形態）
第３実施形態における焼結体の製造方法は、未焼結体を加熱して中間焼結体を生成する工程の開始時において、前記未焼結体のオーバーハング部の少なくとも一部が、前記未焼結体のオーバーハング部の下方にある支持面に接する。また、未焼結体を加熱して中間焼結体とする工程において、前記未焼結体のオーバーハング部が、前記未焼結体のオーバーハング部の下方にある支持面から離れることにより前記オーバーハング部に変形を生じさせる力がかかる。以下、図３Ａ～３Ｄを参照し、第１実施形態と異なる点を抽出して第３実施形態における焼結体の製造方法を説明する。

（１）未焼結体を得る工程
図３Ａは、支持面１０１上に設置した未焼結体３１を示す。未焼結体３１は、未焼結体１１と同様、ニッケル基合金粉末（Ｉｎｃｏｎｅｌ ７１３）とバインダー（ＰＰ，ＰＯＭ，ＰＷ）との混練物を射出成形して得られたグリーン体である。

未焼結体３１は、本体３１ａと第一のオーバーハング部３１ｂと第二のオーバーハング部３１ｃとからなる。図３Ａでは、本体３１ａが、鉛直部と、鉛直部の上端に接続された水平部を含む。第一のオーバーハング部３１ｂは、その上面が本体３１ａの上面と面一となるように、本体３１Ａの鉛直部の上端から水平方向（水平部と反対側）に突出している。また、第二のオーバーハング部３１ｃは、その下面が本体３１ａの下面と面一となるように、本体３１ａの鉛直部の下端から水平方向に突出している。

本体３１ａの上面及び第一のオーバーハング部３１ｂの上面の形状は、支持面１０１と平行又は略平行な平面形状である。ただし、本体３１ａの上面及び第一のオーバーハング部３１ｂの上面の形状は、平面形状の他、円弧形状等の曲面を有する形状であってよい。また、本体３１ａの下面及び第二のオーバーハング部３１ｂの下面の形状は、支持面１０１と平行又は略平行な平面形状である。ただし、本体３１ａの下面及び第二のオーバーハング部３１ｃの下面の形状は、平面形状の他、円弧形状等の曲面を有する形状であってよい。

支持面１０１の形状は、未焼結体の本体３１ａの下面及び第二のオーバーハング部３１ｃの下面；上下方向に反転した後の中間焼結体３２の本体３２ａの下面及び第一のオーバーハング部３２ｂの下面；並びに焼結体の本体３３ａの下面及び第一のオーバーハング部３３ｂの下面等、支持面１０１と対向し得る面と同一形状であってよい。

未焼結体の第一のオーバーハング部３１ｂは、上述したように本体３１ａから水平方向（ＸＹ平面と平行な方向）に突出し、未焼結体の第一のオーバーハング部３１ｂの下面の少なくとも一部は、その下方にある支持面１０２に接している。未焼結体の第二のオーバーハング部３１ｃの下面の少なくとも一部は支持面１０１に接している。

未焼結体の第一のオーバーハング部３１ｂの下面の形状は、支持面１０２と平行又は略平行な平面形状である。ただし、未焼結体の第一のオーバーハング部３１ｂの下面の形状は、平面形状の他、円弧形状等の曲面を有する形状であってよい。

支持面１０２の形状は平面である。支持面１０２の形状は、未焼結体の第一のオーバーハング部３１ｂの下面、及び中間焼結体の第一のオーバーハング部３２ｂの下面等、支持面１０２と対向し得る面と同一形状であるが、同一形状に限られない。

支持面１０２の形状は、未焼結体の第一のオーバーハング部３１ｂの下面、又は上下方向に反転する前の中間焼結体の第一のオーバーハング部３２ｂの下面の形状等に対応するよう設計してよく、平面形状の他、円弧形状等の曲面を有する形状であってよい。

部材によって支持面１０１及び１０２を構成する場合、支持面１０１及び支持面１０２を一つの部材で構成してよく、それぞれ別の部材で構成してよい。支持面１０１と支持面１０２とが別部材で構成される場合に、支持面１０１を構成する部材上に、支持面１０２を構成する部材を設置してよい。その場合、支持面１０２を構成する部材として、一般にセッターと呼ばれる治具を採用できる。

（２）未焼結体を加熱して中間焼結体を生成する工程
図３Ｂは、中間焼結体３２を示す。中間焼結体３２は、未焼結体を加熱して中間焼結体を生成する工程において、支持面１０１，１０２上で、未焼結体３１を１０００～５０００Ｐａ程度の窒素雰囲気下、６２時間かけて５００℃まで徐々に加熱することによりバインダーを取り除いた後、真空雰囲気下、最高温度１２００℃又は１２５０℃において３時間加熱することにより得られる。

中間焼結体３２は、未焼結体３１の加熱により焼結が進行し収縮したものである。焼結の進行により、未焼結体の本体３１ａは中間焼結体の本体３２ａに、未焼結体の第一のオーバーハング部３１ｂは中間焼結体の第一のオーバーハング部３２ｂに、未焼結体の第二のオーバーハング部３１ｃは中間焼結体の第二のオーバーハング部３２ｃになる。未焼結体の第一のオーバーハング部３１ｂ及び中間焼結体の第一のオーバーハング部３２ｂは、その少なくとも一部が支持面１０２に接しているため、後述するように未焼結体の第二のオーバーハング部３１ｃが支持面１０１から離れると同時に、支持面１０２から受ける力１３２ｂが生じ、中間焼結体の第一のオーバーハング部３２ｂは、未焼結体の第一のオーバーハング部３１ｂであった時に比べ、反り変形（＋Ｚ方向の変形）している。

また、未焼結体の第二のオーバーハング部３１ｃは、焼結の進行に伴い支持面１０１から離れる。支持面１０１から離れることにより重力方向の力１３２ｃが作用するため、中間焼結体の第二のオーバーハング部３２ｃは、未焼結体の第二のオーバーハング部３１ｃであった時に比べ、重力方向に垂れ変形（－Ｚ方向の変形）している。

なお、未焼結体の第二のオーバーハング部３１ｃが支持面１０１から離れるとは、未焼結体の第二のオーバーハング部３１ｃの少なくとも一部が支持面１０１に接した状態から、それらの間隔が開いた状態になることをいう。

（３）中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを中間焼結体の生成時と逆にする工程
図３Ｃは、図３Ｂに示す中間焼結体３２を上下方向に反転して、支持面１０１に設置した中間焼結体３２を示す。この反転により、第一のオーバーハング部３２ｂには力１３２ｂに対する逆向きの力１３３ｂが作用し、第二のオーバーハング部３２ｃには力１３２ｃに対する逆向きの力１３３ｃが作用する。

１５箇所の長さを測定した結果、（２）未焼結体を加熱して中間焼結体を生成する工程における加熱の最高温度が１２００℃である場合、上記（ａ－ｃ）／（ａ－ｂ）の値が０．３９～０．４７を示し、その平均値は０．４２であった。また、（２）未焼結体を加熱して中間焼結体を生成する工程における加熱の最高温度が１２５０℃である場合、上記（ａ－ｃ）／（ａ－ｂ）の値が０．５７～０．６３を示し、その平均値は０．５９であった。

（４）中間焼結体を加熱して粉末の焼結を完了する工程
図３Ｄは、図３Ｃに示す中間焼結体３２を加熱して前記粉末の焼結が完了した焼結体３３を示す。

中間焼結体３２を上下方向に反転することにより、中間焼結体の第一のオーバーハング部３２ｂ及び第二のオーバーハング部３２ｃにかかる力の向きを中間焼結体の生成時と逆にした後、中間焼結体を加熱して前記粉末の焼結を完了する工程においては、中間焼結体３２を真空雰囲気下で、３時間加熱する。この時の温度条件は、例えば、（２）未焼結体を加熱して中間焼結体を生成する工程における加熱の最高温度が１２００℃である場合、最高温度１２８０℃であり、（２）未焼結体を加熱して中間焼結体を生成する工程における加熱の最高温度が１２５０℃である場合、最高温度１２９０℃である。

焼結の完了により、中間焼結体の本体３２ａは焼結体の本体３３ａに、中間焼結体の第一のオーバーハング部３２ｂは焼結体の第一のオーバーハング部３３ｂに、中間焼結体の第二のオーバーハング部３２ｃは焼結体の第二のオーバーハング部３３ｃになる。

以上の工程により、反り変形した第一のオーバーハング部３２ｂ、及び垂れ変形した第二のオーバーハング部３２ｃに対し、それぞれ逆向きの力１３３ｂ、及び逆向きの力１３３ｃを与えることとなり、第一のオーバーハング部３２ｂ及び第二のオーバーハング３２ｃの変形を相殺することができる。その結果、図３Ｄに示すように、変形、特に各オーバーハング部（第一のオーバーハング部３３ｂ及び第二のオーバーハング部３３ｃ）の垂れ変形を抑制し、高精度な焼結体３３が得られる。

（第４実施形態）
第４実施形態における焼結体の製造方法は、未焼結体を加熱して中間焼結体を生成する工程において、２つの支持面が設けられており、前記支持面は曲面を有し、前記支持面の形状が、前記未焼結体のオーバーハング部の下面と同一形状である。

また、中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを前記中間焼結体の生成時と逆にした後、前記中間焼結体を加熱して粉末の焼結を完了する工程において、支持面が設けられており、前記支持面は曲面を有し、前記支持面の形状が、焼結体のオーバーハング部の下面と同一形状である。以下、図４Ａ～４Ｅを参照し、第３実施形態と異なる点を抽出して第４実施形態における焼結体の製造方法を説明する。

（１）未焼結体を得る工程
図４Ａ及び４Ｂは、支持面１０１ａ上に設置した未焼結体３１を示す。第４実施形態では、図４Ａ～４Ｅに示すように、支持面１０１ａ、１０１ｂ及び１０２は曲面により構成される。支持面１０１ａ、１０１ｂ及び１０２は、全体が曲面でなくとも、少なくとも一部が曲面を有してよい。

第３実施形態における焼結体の製造方法は、図３Ａ～３Ｄに示すように、支持面１０１及び１０２が平面であるのに対し、第４実施形態における焼結体の製造方法は、図４Ａ～４Ｅに示すように、支持面１０１ａ、１０１ｂ及び１０２が曲面形状である点で異なる。そして、図４Ａは、図３Ａに示す断面指示線ＩＶＡ－ＩＶＡに沿った断面図に相当し、図４Ｂは、図３Ａに示す断面指示線ＩＶＢ－ＩＶＢに沿った断面図に相当する。

図４Ａ及び４Ｂに示すように、支持面１０２及び１０１ａは、それぞれ未焼結体の第一のオーバーハング部３１ｂの下面及び未焼結体の第二のオーバーハング部３１ｃの下面と同一形状（凹状の曲面形状）である。そして、未焼結体の第一のオーバーハング部３１ｂの下面及び未焼結体の第二のオーバーハング部３１ｃの下面は、それぞれ全体が支持面１０２及び支持面１０１ａに接している。

（２）未焼結体を加熱して中間焼結体を生成する工程
図４Ｃは、中間焼結体３２を示す。図４Ｃは、図３Ｂに示す断面指示線ＩＶＣ－ＩＶＣに沿った断面図に相当する。本工程の加熱条件は、第３実施形態と同じ処理条件を採用できる。

図３Ｂと同様に、未焼結体の第一のオーバーハング部３１ｂ及び中間焼結体の第一のオーバーハング部３２ｂは、その少なくとも一部が支持面１０２に接しているため、後述するように未焼結体の第二のオーバーハング部３１ｃが支持面１０１ａから離れると同時に、支持面１０２から受ける力１３２ｂ（図３Ｂ参照）が生じ、中間焼結体の第一のオーバーハング部３２ｂは、未焼結体の第一のオーバーハング部３１ｂであった時に比べ、反り変形（＋Ｚ方向の変形）している。

また、未焼結体の第二のオーバーハング部３１ｃは、その少なくとも一部が焼結の進行に伴い支持面１０１ａから離れる。支持面１０１から離れることにより重力方向の力１３２ｃ（図３Ｂ参照）が作用するため、中間焼結体の第二のオーバーハング部３２ｃは、その少なくとも一部が未焼結体の第二のオーバーハング部３１ｃであった時に比べ、重力方向に垂れ変形（－Ｚ方向の変形）している。

（３）中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを中間焼結体の生成時と逆にする工程
図４Ｄは、図４Ｃに示す中間焼結体３２を上下方向に反転して、支持面１０１ｂに設置した中間焼結体３２を示す。支持面１０１ｂは、凸状の曲面形状である。また、支持面１０１ｂの形状は、焼結体の第一のオーバーハング部３３ｂの下面と同一形状である。この反転により、第一のオーバーハング部３２ｂには力１３２ｂに対する逆向きの力１３３ｂ（図３Ｃ参照）が作用し、第二のオーバーハング部３２ｃには力１３２ｃに対する逆向きの力１３３ｃ（図３Ｃ参照）が作用する。

（４）中間焼結体を加熱して粉末の焼結を完了する工程
図４Ｅは、図４Ｄに示す中間焼結体３２を加熱して前記粉末の焼結が完了した焼結体３３を示す。本工程の加熱条件は、第３実施形態と同じ処理条件を採用できる。

以上の工程により、反り変形した第一のオーバーハング部３２ｂ、及び垂れ変形した第二のオーバーハング部３２ｃに対し、それぞれ逆向きの力１３３ｂ（図３Ｃ参照）、及び逆向きの力１３３ｃ（図３Ｃ参照）を与えることとなり、第一のオーバーハング部３２ｂ及び第二のオーバーハング３２ｃの変形を相殺することができる。その結果、図４Ｅに示すように、変形、特に各オーバーハング部（第一のオーバーハング部３３ｂ及び第二のオーバーハング部３３ｃ）の垂れ変形を抑制し、高精度な焼結体３３が得られる。

（第５実施形態）
第５実施形態における焼結体の製造方法は、未焼結体を加熱して中間焼結体を生成する工程中において、前記未焼結体のオーバーハング部の少なくとも一部が、前記未焼結体のオーバーハング部の下方にある支持面に接する。また、未焼結体を加熱して中間焼結体を生成する工程において、前記未焼結体のオーバーハング部が、前記未焼結体のオーバーハング部の下方にある支持面から離れる。以下、図５Ａ～５Ｄを参照し、第３実施形態と異なる点を抽出して第５実施形態における焼結体の製造方法を説明する。

（１）未焼結体を得る工程
図５Ａは、支持面１０１上に設置した未焼結体３１を示す。図５Ａに示すように、未焼結体の第一のオーバーハング部３１ｂの下面はその下方にある支持面１０２から離れており、狭い隙間１０５ａがある点で第３実施形態と異なる。なお、狭い隙間１０５ａとは、未焼結体３１の加熱により、未焼結体３１が中間焼結体３２になる前（すなわち、中間焼結体３２が生成される前）に未焼結体の第一のオーバーハング部３１ｂの少なくとも一部がその下方にある支持面１０２に接することとなり、中間焼結体の第一のオーバーハング部３２ｂに反り変形（＋Ｚ方向の変形）が生じる程度の隙間である。

（２）未焼結体を加熱して中間焼結体を生成する工程
図５Ｂは、中間焼結体３２を示す。本工程の加熱条件は、第３実施形態と同じ処理条件を採用できる。

中間焼結体３２は、未焼結体３１の加熱により焼結が進行し収縮したものである。焼結の進行により、未焼結体の本体３１ａは中間焼結体の本体３２ａに、未焼結体の第一のオーバーハング部３１ｂは中間焼結体の第一のオーバーハング部３２ｂに、未焼結体の第二のオーバーハング部３１ｃは中間焼結体の第二のオーバーハング部３２ｃになる。未焼結体の第一のオーバーハング部３１ｂは、焼結の進行によって、その少なくとも一部が下方にある支持面１０２に接する。そして、未焼結体の第一のオーバーハング部３１ｂには、支持面１０２から受ける力１３２ｂが生じ、中間焼結体の第一のオーバーハング部３２ｂは、未焼結体の第一のオーバーハング部３１ｂであった時に比べ、反り変形（＋Ｚ方向の変形）している。

また、未焼結体の第二のオーバーハング部３１ｃは、焼結の進行に伴い支持面１０１から離れる。支持面１０１から離れることにより重力方向の力１３２ｃが作用するため、中間焼結体の第二のオーバーハング部３２ｃは、未焼結体の第二のオーバーハング部３１ｃであった時に比べ、重力方向に垂れ変形（－Ｚ方向の変形）している。

（３）中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを中間焼結体の生成時と逆にする工程
図５Ｃは、図５Ｂに示す中間焼結体３２を上下方向に反転して、支持面１０１に設置した中間焼結体３２を示す。この反転により、第一のオーバーハング部３２ｂには力１３２ｂに対する逆向きの力１３３ｂが作用し、第二のオーバーハング部３２ｃには力１３２ｃに対する逆向きの力１３３ｃが作用する。

１５箇所の長さを測定した結果、（２）未焼結体を加熱して中間焼結体を生成する工程における加熱の最高温度が１２００℃である場合、上記（ａ－ｃ）／（ａ－ｂ）の値が０．３８～０．４６を示し、その平均値は０．４１であった。また、（２）未焼結体を加熱して中間焼結体を生成する工程における加熱の最高温度が１２５０℃である場合、上記（ａ－ｃ）／（ａ－ｂ）の値が０．５６～０．６３を示し、その平均値は０．５９であった。

（４）中間焼結体を加熱して粉末の焼結を完了する工程
図５Ｄは、図５Ｃに示す中間焼結体３２を加熱して粉末の焼結が完了した焼結体３３を示す。本工程の加熱条件は、第３実施形態と同じ処理条件を採用できる。焼結の完了により、中間焼結体の本体３２ａは焼結体の本体３３ａに、中間焼結体の第一のオーバーハング部３２ｂは焼結体の第一のオーバーハング部３３ｂに、中間焼結体の第二のオーバーハング部３２ｃは焼結体の第二のオーバーハング部３３ｃになる。

以上の工程により、反り変形した第一のオーバーハング部３２ｂ、及び垂れ変形した第二のオーバーハング部３２ｃに対し、それぞれ逆向きの力１３３ｂ、及び逆向きの力１３３ｃを与えることとなり、第一のオーバーハング部３２ｂ及び第二のオーバーハング３２ｃの変形を相殺することができる。その結果、図５Ｄに示すように、変形、特に各オーバーハング部（第一のオーバーハング部３３ｂ及び第二のオーバーハング部３３ｃ）の垂れ変形を抑制し、高精度な焼結体３３が得られる。

（第６実施形態）
第６実施形態における焼結体の製造方法は、中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを前記中間焼結体の生成時と逆にする工程において、前記中間焼結体のオーバーハング部の少なくとも一部が前記中間焼結体のオーバーハング部の下方にある加力面に接することにより、前記加力面が前記中間焼結体のオーバーハング部を下方から支えて、前記中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを前記中間焼結体の生成時と逆にした後、前記中間焼結体を上下方向に反転することにより、前記中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを逆にした状態を維持する。以下、図６Ａ～６Ｅを参照し、第５実施形態と異なる点を抽出して第６実施形態における焼結体の製造方法を説明する。

（１）未焼結体を得る工程
図６Ａは、支持面１０１上に設置した未焼結体３１を示す。図６Ａに示すように、未焼結体の第一のオーバーハング部３１ｂの下面はその下方にある加力面２０１から離れており、未焼結体の第一のオーバーハング部３１ｂの下方には、広い隙間１０５ｂがある点で第５実施形態と異なる。なお、広い隙間１０５ｂとは、未焼結体を中間焼結体とする工程中（すなわち、中間焼結体が生成される前）には、未焼結体の第一のオーバーハング部３１ｂの少なくとも一部が下方にある加力面２０１に接することはなく、中間焼結体が生成されたとき又はその後に、中間焼結体の第一のオーバーハング部３２ｂが重力方向に垂れ変形（－Ｚ方向の変形）を生じる程度の隙間である。

（２）未焼結体を加熱して中間焼結体を生成する工程
図６Ｂも未焼結体３１を示すが、加熱により焼結体の第一のオーバーハング部３１ｂが重力方向に垂れ変形（－Ｚ方向の変形）を開始した状態である。未焼結体の第一のオーバーハング部３１ｂには、図６Ｂに示すように、重力方向の力１４１ｂが作用するため、焼結による収縮に伴い、重力方向に垂れ変形（－Ｚ方向の変形）する。

図６Ｃは、中間焼結体３２を示す。中間焼結体３２は、未焼結体３１の加熱により焼結が進行し収縮したものである。焼結の進行により、未焼結体の本体３１ａは中間焼結体の本体３２ａに、未焼結体の第一のオーバーハング部３１ｂは中間焼結体の第一のオーバーハング部３２ｂに、未焼結体の第二のオーバーハング部３１ｃは中間焼結体の第二のオーバーハング部３２ｃになる。中間焼結体の生成後の加熱により、中間焼結体の第一のオーバーハング部３２ｂは、焼結の進行に伴って、その少なくとも一部が、その下方にある加力面２０１に接する。

（３）中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを中間焼結体の生成時と逆にする工程
（３－１）加力面に接することにより、中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを逆にする工程
中間焼結体３２の生成後も中間焼結体３２を加熱すると、図６Ｃに示すように、加力面２０１が中間焼結体の第一のオーバーハング部３２ｂを下方から支えることにより、中間焼結体の第一のオーバーハング部３２ｂには、力１４１ｂに対する逆向きの力１４２ｂが作用する。

このとき、中間焼結体３２は、後述の（３－２）中間焼結体を上下方向に反転する工程より前に、中間焼結体の第一のオーバーハング部３２ｂにかかる力の向きが逆になるよう、加力面２０１の高さが調整されている。

一方、中間焼結体の第二のオーバーハング部３２ｃは、焼結の進行に伴い支持面１０１から離れる。支持面１０１から離れることにより重力方向の力１４１ｃが作用するため、中間焼結体の第二のオーバーハング部３２ｃは、未焼結体の第二のオーバーハング部３１ｃであった時に比べ、重力方向に垂れ変形（－Ｚ方向の変形）している。

（３－２）中間焼結体を上下方向に反転することにより中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを逆にした状態を継続する工程
図６Ｄは、図６Ｃに示す中間焼結体３２を上下方向に反転して、支持面１０１に設置した中間焼結体３２を示す。中間焼結体３２は、上記（ａ－ｃ）／（ａ－ｂ）の値が第５実施形態と同様の値である。

中間焼結体３２を上下方向に反転した後も、中間焼結体の第一のオーバーハング部３２ｂには、上記の（３－１）加力面に接することにより、中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを逆にする工程から継続して、力１４１ｂに対する逆向きの力１４２ｂが作用したままである。

一方、中間焼結体の第二のオーバーハング部３２ｃは、中間焼結体３２を上下方向に反転することにより、その第二のオーバーハング部３２ｃにかかる力の向きが逆になる。これにより、力１４１ｃにより垂れ変形した第二のオーバーハング部３２ｃに対し、力１４１ｃに対する逆向きの力１４２ｃを与えることとなり、第一のオーバーハング部３２ｂ及び第二のオーバーハング３２ｃの変形を相殺することができる。

未焼結体３１を加熱して中間焼結体３２を生成する、上下方向に反転するまでの加熱条件としては、１０００～５０００Ｐａ程度の窒素雰囲気下、６２時間かけて５００℃まで徐々に加熱することにより未焼結体３１のバインダーを取り除いた後、真空雰囲気下、最高温度１２００℃又は１２５０℃において３時間加熱すればよい。この加熱条件全体で見れば、第３実施形態における（２）未焼結体を加熱して中間焼結体を生成する工程、と同様である。中間焼結体の生成後もこの加熱条件を適用することで、中間焼結体の第一のオーバーハング部３２ｂの少なくとも一部が、その下方にある加力面２０１に接し、加力面２０１が中間焼結体の第一のオーバーハング部３２ｂを下方から支えることにより、中間焼結体の第一のオーバーハング部３２ｂには、力１４１ｂに対する逆向きの力１４２ｂが作用する。また、加力面２０１が第一のオーバーハング部３２ｂを下方から支えた後も上記の加熱条件を適用することで、中間焼結体の第二のオーバーハング部３２ｃは、重力方向に垂れ変形（－Ｚ方向の変形）する。

（４）中間焼結体を加熱して粉末の焼結を完了する工程
図６Ｅは、図６Ｄに示す中間焼結体３２を加熱して粉末の焼結が完了した焼結体３３を示す。焼結の完了により、中間焼結体の本体３２ａは焼結体の本体３３ａに、中間焼結体の第一のオーバーハング部３２ｂは焼結体の第一のオーバーハング部３３ｂ、中間焼結体の第二のオーバーハング部３２ｃは焼結体の第二のオーバーハング部３３ｃになる。

以上の工程により、第一のオーバーハング部３２ｂ及び第二のオーバーハング３２ｃの変形を相殺することができる。その結果、図６Ｅに示すように、焼結体３３は、変形、特に各オーバーハング部（第一のオーバーハング部３３ｂ及び第二のオーバーハング部３３ｃ）の垂れ変形を抑制し、高精度なものとなる。

（第７実施形態）
第７実施形態における焼結体の製造方法は、未焼結体を加熱して中間焼結体を生成する工程において、加力面又は１つ若しくは２つの支持面が設けられており、前記加力面及び前記支持面が曲面を有し、前記支持面の形状が、未焼結体のオーバーハング部の下面と同一形状であり、前記加力面の形状が、中間焼結体のオーバーハング部の下面と同一形状である。

また、中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを中間焼結体の生成時と逆にした後、中間焼結体を加熱して粉末の焼結を完了する工程において、支持面が設けられており、前記支持面が曲面を有し、前記支持面の形状が、前記焼結体のオーバーハング部の下面と同一形状である。以下、図７Ａ～７Ｅを参照し、第５実施形態と異なる点を抽出して説明する。

（１）未焼結体を得る工程
図７Ａ及び７Ｂは、支持面１０１ａ上に設置した未焼結体３１を示す。第７実施形態では、図７Ａ～７Ｅに示すように、支持面１０１ａ、並びに支持面１０２（又は加力面２０１）は凹状の曲面により構成され、支持面１０１ｂは凸状の曲面により構成される。支持面１０１ａ及び１０１ｂ、並びに支持面１０２（又は加力面２０１）は、全体が曲面でなくとも、少なくとも一部が曲面を有してよい。

第３、５及び６実施形態における焼結体の製造方法では、支持面１０１、１０２及び加力面２０１が平面であるのに対し、本実施形態では、支持面１０２（又は加力面２０１）及び１０１ａが曲面である。図７Ａは、図３Ａ、図５Ａ又は図６Ａ）に示す断面指示線ＶＩＩＡ－ＶＩＩＡに沿った断面図に相当し、図７Ｂは、図３Ａ、図５Ａ又は図６Ａに示す断面指示線ＶＩＩＢ－ＶＩＩＢに沿った断面図に相当する。

図７Ｂ及び図７Ｃに示すように、支持面１０２（又は加力面２０１）は、中間焼結体の第一のオーバーハング部３２ｂの下面、つまり、支持面１０２（又は加力面２０１）に対向する面と同一形状である。そのため、図７Ｂに示すように、未焼結体の第一のオーバーハング部３１ｂと、支持面１０２（又は加力面２０１）との間には、狭い隙間１０５ａ及び広い隙間１０５ｂが存在する。

一方、図７Ａに示すように、支持面１０１ａは、未焼結体の第二のオーバーハング部３１ｃの下面と同一形状である。そのため、未焼結体の第二のオーバーハング部３１ｃは支持面１０１ａに接している。

（２）未焼結体を加熱して中間焼結体を生成する工程
図７Ｃは、中間焼結体３２を示す。本工程においては、第３実施形態と同じ処理条件を採用できる。

上述したように、支持面１０２（又は加力面２０１）は、中間焼結体の第一のオーバーハング部３２ｂの下面、つまり、支持面１０２（又は加力面２０１）に対向する面と同一形状である。そのため、図７Ｃに示すように、中間焼結体の第一のオーバーハング部３２ｂは、支持面１０２（又は加力面２０１）に接している。

第５実施形態と同様に、未焼結体の第一のオーバーハング部３１ｂには、支持面１０２から上向きの力１３２ｂ（図５Ｂ参照）が作用する。また、未焼結体の第二のオーバーハング部３１ｃには、焼結の進行に伴い第二のオーバーハング部３１ｃが支持面１０１から離れることにより重力方向の力１３２ｃ（図５Ｂ参照）が作用する。なお、支持面１０２の代わりに加力面２０１が採用される場合は、第６実施形態と同様であることは言うまでもない。

（３）中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを中間焼結体の生成時と逆にする工程
図７Ｄは、図７Ｃに示す中間焼結体３２を上下方向に反転して、支持面１０１ｂに設置した中間焼結体３２を示す。この反転により、第５実施形態と同様に、中間焼結体の第一のオーバーハング部３２ｂには力１３２ｂに対する逆向きの力１３３ｂ（図５Ｃ参照）が作用し、中間焼結体の第二のオーバーハング部３２ｃには力１３２ｃに対する逆向きの力１３３ｃ（図５Ｃ参照）が作用する。

（４）中間焼結体を加熱して粉末の焼結を完了する工程
図７Ｅは、図７Ｄに示す中間焼結体３２を加熱して粉末の焼結が完了した焼結体３３を示す。本工程においては、第３実施形態と同じ処理条件を採用できる。

以上の工程により、反り変形した第一のオーバーハング部３２ｂ（支持面１０２の代わりに加力面２０１が採用される場合は、垂れ変形した第一のオーバーハング部３２ｂ）及び垂れ変形した第二のオーバーハング部３２ｃに対し、それぞれ逆向きの力１３３ｂ（図５Ｂ参照）、及び逆向きの力１３３ｃ（図５Ｃ参照）を与えることとなり、第一のオーバーハング部３２ｂ及び第二のオーバーハング３２ｃの変形を相殺することができる。その結果、図７Ｅに示すように、変形、特に各オーバーハング部（第一のオーバーハング部３３ｂ及び第二のオーバーハング部３３ｃ）の垂れ変形を抑制し、高精度な焼結体３３が得られる。

１１，２１，３１ 未焼結体
１１ａ，２１ａ，３１ａ 未焼結体の本体
１１ｂ，２１ｂ 未焼結体のオーバーハング部
１２，２２，３２ 中間焼結体
１２ａ，２２ａ，３２ａ 中間焼結体の本体
１２ｂ，２２ｂ 中間焼結体のオーバーハング部
１３，２３，３３ 焼結体
１３ａ，２３ａ，３３ａ 焼結体の本体
１３ｂ，２３ｂ 焼結体のオーバーハング部
３１ｂ 未焼結体の第一のオーバーハング部
３１ｃ 未焼結体の第二のオーバーハング部
３２ｂ 中間焼結体の第一のオーバーハング部
３２ｃ 中間焼結体の第二のオーバーハング部
３３ｂ 焼結体の第一のオーバーハング部
３３ｃ 焼結体の第二のオーバーハング部
１０１，１０１ａ，１０１ｂ，１０２ 支持面
１０５ａ 狭い隙間
１０５ｂ 広い隙間
１１２ｂ，１２１ｂ オーバーハング部にかかる力
１１３ｂ 力１１２ｂに対する逆向きの力
１２２ｂ 力１２１ｂに対する逆向きの力
１３２ｂ，１４１ｂ 第一のオーバーハング部にかかる力
１３２ｃ，１４１ｃ 第二のオーバーハング部にかかる力
１３３ｂ 力１３２ｂに対する逆向きの力
１３３ｃ 力１３２ｃに対する逆向きの力
１４２ｂ 力１４１ｂに対する逆向きの力
１４２ｃ 力１４１ｃに対する逆向きの力
２０１ 加力面

Claims (8)

1. 粉末とバインダーとの混練物を射出成形し、オーバーハング部を有する未焼結体を得る工程；
   前記オーバーハング部が鉛直方向以外の方向に突出する状態で前記未焼結体を加熱して前記オーバーハング部が重力方向に垂れ変形した中間焼結体を生成する工程；
   前記中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを前記中間焼結体の生成時と逆にする工程；及び
   前記中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを前記中間焼結体の生成時と逆にした後、前記中間焼結体を加熱して前記オーバーハング部の垂れ変形を相殺するとともに前記粉末の焼結を完了する工程を含む、焼結体の製造方法。
2. 前記中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを前記中間焼結体の生成時と逆にする工程において、
   前記中間焼結体を上下方向に反転することにより、前記中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを前記中間焼結体の生成時と逆にする、請求項１に記載の焼結体の製造方法。
3. 前記中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを前記中間焼結体の生成時と逆にする工程において、
   前記中間焼結体の生成後も前記中間焼結体を加熱し、前記中間焼結体のオーバーハング部の少なくとも一部が前記中間焼結体のオーバーハング部の下方にある加力面に接することにより、前記加力面が前記中間焼結体のオーバーハング部を下方から支えて、前記中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを前記中間焼結体の生成時と逆にする、請求項１に記載の焼結体の製造方法。
4. 前記未焼結体を加熱して中間焼結体を生成する工程の開始時又は工程中において、
   前記未焼結体のオーバーハング部の少なくとも一部が、前記未焼結体のオーバーハング部の下方にある支持面に接する、請求項２に記載の焼結体の製造方法。
5. 前記未焼結体を加熱して中間焼結体を生成する工程において、
   前記未焼結体のオーバーハング部が、前記未焼結体のオーバーハング部の下方にある支持面から離れることにより前記オーバーハング部に変形を生じさせる力がかかる、請求項２に記載の焼結体の製造方法。
6. 前記中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを前記中間焼結体の生成時と逆にする工程において、
   前記中間焼結体のオーバーハング部の少なくとも一部が前記中間焼結体のオーバーハング部の下方にある加力面に接することにより、前記加力面が前記中間焼結体のオーバーハング部を下方から支えて、前記中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを前記中間焼結体の生成時と逆にした後、前記中間焼結体を上下方向に反転することにより、前記中間焼結体のオーバーハング部にかかる力の向きを逆にした状態を継続する、請求項１に記載の焼結体の製造方法。
7. 前記加力面は、前記未焼結体を加熱して中間焼結体を生成する工程において設けられているものであり、
   前記加力面は曲面を有し、
   前記加力面の形状が、前記中間焼結体のオーバーハング部の下面と同一形状である、請求項３又は６に記載の焼結体の製造方法。
8. 前記支持面は、前記未焼結体を加熱して中間焼結体を生成する工程において設けられているものであり、
   前記支持面は曲面を有し、
   前記支持面の形状が、前記未焼結体のオーバーハング部の下面と同一形状である、請求項４または５に記載の焼結体の製造方法。
   

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