JP7174170B2 - 試料観察装置 - Google Patents
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Description
Claims (10)
- 試料観察装置であって、
プローブを試料に照射し、前記試料からの二次電子を検出し、検出信号を出力する顕微鏡と、
前記顕微鏡から受信した前記検出信号から画像を生成する、システムと、
を含み、
前記システムは、
低画質画像から高画質画像を推定する複数の訓練済みモデルのデータを格納するモデルデータベースにおける、1以上の訓練済みモデルに対するユーザによる指定を受け付け、
前記検出信号から、現在の低画質観察画像を生成して表示し、
前記1以上の訓練済みモデルそれぞれによって、前記現在の低画質観察画像から高画質画像を推定して表示する、試料観察装置。 - 請求項1に記載の試料観察装置であって、
前記システムは、
現在の観察条件と、前記複数の訓練済みモデルの観察条件それぞれとの間の関係に基づいて、前記ユーザによる指定の候補となる1以上の候補モデルを前記複数の訓練済みモデルから選択し、
前記1以上の候補モデルの情報を表示し、
前記1以上の候補モデルにおいて、前記1以上の訓練済みモデルに対するユーザによる指定を受け付ける、試料観察装置。 - 請求項2に記載の試料観察装置であって、
前記システムは、前記1以上の候補モデルの観察条件を表示する、試料観察装置。 - 請求項3に記載の試料観察装置であって、
前記観察条件は、加速電圧、プローブ電流、スキャン速度、検出器、コントラスト及びブライトネス、の少なくとも一つを含む、試料観察装置。 - 請求項3に記載の試料観察装置であって、
前記1以上の候補モデルの前記観察条件において、前記現在の観察条件と所定の関係を有する項目を強調表示する、試料観察装置。 - 請求項1に記載の試料観察装置であって、
前記システムは、前記推定された高画質画像の部分を、前記現在の低画質観察画像の対応する部分に重ねて表示する、試料観察装置。 - 請求項1に記載の試料観察装置であって、
第1高画質画像を生成する前又は後に、前記第1高画質画像と同一の視野の第1低画質画像を生成し、
前記第1高画質画像及び前記第1低画質画像のペアを、新たなモデルの訓練データに含める、試料観察装置。 - 請求項7に記載の試料観察装置であって、
前記システムは、試料の観察時間外において前記新たなモデルの訓練を行う、試料観察装置。 - 請求項1に記載の試料観察装置であって、
前記訓練済みモデルは、それぞれ入力画像と教師画像からなる複数の訓練画像ペアにより訓練され、
前記入力画像は、前記プローブの高速スキャンにより生成された低画質画像であり、
前記教師画像は、前記プローブの低速スキャン又は前記高速スキャンのフレーム積算により生成された高画質画像である、試料観察装置。 - 試料観察装置において試料の画像を表示する方法であって、
前記試料観察装置は、
プローブを試料に照射し、前記試料からの二次電子を検出し、検出信号を出力する顕微鏡と、
前記顕微鏡から受信した前記検出信号から画像を生成する、システムと、を含み、
前記方法は、
前記システムが、低画質画像から高画質画像を推定する複数の訓練済みモデルのデータを格納するモデルデータベースにおける、1以上の訓練済みモデルに対するユーザによる指定を受け付け、
前記システムが、前記検出信号から、現在の低画質観察画像を生成して表示し、
前記システムが、前記1以上の訓練済みモデルそれぞれによって、前記現在の低画質観察画像から高画質画像を推定して表示する、方法。
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