JP7174100B2 - Oledデバイスの製造に使用される真空システムを洗浄するための方法、oledデバイスを製造するための基板の上での真空堆積のための方法、及びoledデバイスを製造するための基板の上での真空堆積のための装置 - Google Patents
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Description
Claims (13)
- OLEDデバイスの製造に使用される真空システムを洗浄するためにプラズマを発生させるための装置であって、
前記真空システムの真空チャンバから離れた遠隔チャンバと、
前記真空システムの前記真空チャンバに前記遠隔チャンバを結合するための結合ユニットと、
前記遠隔チャンバ中の反応ガスを活性化することによりプラズマを発生させるためのガス活性ユニットと、
前記真空システムの少なくとも一部のプラズマ洗浄のために前記プラズマを前記真空チャンバに供給するための供給ユニットと
を含み、
前記プラズマ洗浄が、前記真空システムを稼働させる前の最終洗浄手段であり、
前記供給ユニットが、前記真空システムの少なくとも一部の事前洗浄の完了後に、前記真空チャンバにプラズマを供給するように制御される、装置。 - 前記プラズマ洗浄が、遠隔プラズマ源を使用して実施される、請求項1に記載の装置。
- 前記結合ユニットが、フランジである、請求項1又は2に記載の装置。
- 前記反応ガスが、純酸素、又はアルゴンとの酸素混合物である、請求項1又は2に記載の装置。
- 前記プラズマ洗浄が、10-5mbarから10-8mbarの間の真空圧下で実施される、請求項1又は2に記載の装置。
- 前記プラズマ洗浄が、前記真空チャンバの洗浄を含む、請求項1又は2に記載の装置。
- 前記プラズマ洗浄が、堆積プロセス中に使用される一又は複数のマスクデバイスの洗浄を含む、請求項1又は2に記載の装置。
- OLEDデバイスの製造において使用される真空システムを洗浄するための遠隔プラズマ源を制御するためのコントローラーであって、以下の工程:
前記真空システムの少なくとも一部の事前洗浄の完了を確認することと、
前記真空システム中の真空チャンバの圧力を低減するように少なくとも1つの真空ポンプを制御することと、
前記遠隔プラズマ源に、遠隔プラズマを発生させるように指示することと、
前記真空システムの供給ユニットに、前記真空システムの部分のプラズマ洗浄のために前記遠隔プラズマを前記真空システム中の前記真空チャンバに供給するように指示することと、
前記プラズマ洗浄の完了を確認することと
を実施するコンピュータープログラムを有し、前記プラズマ洗浄が、前記真空システムを稼働させる前の最終洗浄手段であり、前記供給ユニットが、前記真空システムの少なくとも一部の事前洗浄の完了後に、前記真空チャンバにプラズマを供給するように制御される、コントローラー。 - 前記事前洗浄が大気下で実施され、前記プラズマ洗浄が真空下で実施される、請求項8に記載のコントローラー。
- 前記プラズマ洗浄が、アルゴンとの酸素混合物のプラズマを使用する、請求項8又は9に記載のコントローラー。
- 前記プラズマ洗浄が、10-5mbarから10-8mbarの間の真空圧下で実施される、請求項8又は9に記載のコントローラー。
- 前記プラズマ洗浄が、前記真空チャンバの洗浄を含む、請求項8又は9に記載のコントローラー。
- 前記プラズマ洗浄が、堆積プロセス中に使用される一又は複数のマスクデバイスの洗浄を含む、請求項8又は9に記載のコントローラー。
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JP2003197605A (ja) | 2001-12-28 | 2003-07-11 | Shibaura Mechatronics Corp | ドライエッチング装置およびそのドライクリーニング方法 |
JP2005043052A (ja) | 2003-07-22 | 2005-02-17 | Hitachi High-Technologies Corp | 異物検出方法、処理装置および異物管理システム |
JP2010055851A (ja) | 2008-08-27 | 2010-03-11 | Kubota Corp | ヘッドランプと燃料タンクの支持構造 |
JP2011508434A (ja) | 2007-12-21 | 2011-03-10 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 低ウェットエッチング速度の窒化シリコン膜 |
JP2016517134A (ja) | 2013-03-04 | 2016-06-09 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | Oled薄膜カプセル化のためのフッ素含有プラズマ重合hmdso |
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---|---|---|---|---|
JPH02308534A (ja) * | 1989-05-24 | 1990-12-21 | Toshiba Corp | 半導体基板の薄膜形成装置 |
CN1723741B (zh) * | 2002-12-12 | 2012-09-05 | 株式会社半导体能源研究所 | 发光装置、制造装置、成膜方法及清洁方法 |
US7485580B2 (en) * | 2005-09-20 | 2009-02-03 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method for removing organic electroluminescent residues from a substrate |
US20090056743A1 (en) * | 2007-08-31 | 2009-03-05 | Soo Young Choi | Method of cleaning plasma enhanced chemical vapor deposition chamber |
US20110240223A1 (en) * | 2008-11-14 | 2011-10-06 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing system |
JP2010153088A (ja) * | 2008-12-24 | 2010-07-08 | Hitachi High-Technologies Corp | 有機el用マスククリーニング装置、有機elディスプレイの製造装置、有機elディスプレイおよび有機el用マスククリーニング方法 |
JP6397680B2 (ja) * | 2014-07-24 | 2018-09-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理装置およびプラズマ処理装置の運転方法 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003197605A (ja) | 2001-12-28 | 2003-07-11 | Shibaura Mechatronics Corp | ドライエッチング装置およびそのドライクリーニング方法 |
JP2005043052A (ja) | 2003-07-22 | 2005-02-17 | Hitachi High-Technologies Corp | 異物検出方法、処理装置および異物管理システム |
JP2011508434A (ja) | 2007-12-21 | 2011-03-10 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 低ウェットエッチング速度の窒化シリコン膜 |
JP2010055851A (ja) | 2008-08-27 | 2010-03-11 | Kubota Corp | ヘッドランプと燃料タンクの支持構造 |
JP2016517134A (ja) | 2013-03-04 | 2016-06-09 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | Oled薄膜カプセル化のためのフッ素含有プラズマ重合hmdso |
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