JP7171092B1 - 成膜制御装置、成膜装置及び成膜方法 - Google Patents
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Abstract
Description
前記光源から照射した光に対し、前記基板に成膜された薄膜の層を透過する透過光または反射する反射光を受光する受光部と、
前記回転体の円周方向の位置に対応した位置情報を取得する位置情報取得部と、
成膜条件を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記位置情報取得部で取得した前記回転体の円周方向の位置情報に基づいて目的とする基板の位置を特定し、当該特定した位置の基板に対して前記光源から照射した光の透過光または反射光を受光するタイミングを制御するタイミング制御部と、
前記受光部で受光した透過光または反射光に基づいて、複数の層からなる薄膜の各層の膜厚を算出し、前記各層の膜厚と、所望の分光特性を有する薄膜を構成する各層の目標膜厚との膜厚差を判定する膜厚判定部と、
成膜処理で得られた薄膜の分光特性が前記所望の分光特性の許容範囲にあるか否かを判定する分光特性判定部と、
前記成膜処理で得られた薄膜の分光特性が前記所望の分光特性の許容範囲にない場合であって、前記各層の膜厚が前記目標膜厚に対して所定値以上の膜厚差があるときは、当該膜厚差がある層の膜厚が当該層の目標膜厚になるように次の基板の当該層に対する成膜条件を補正し、前記成膜処理で得られた薄膜の分光特性が前記所望の分光特性の許容範囲にある場合には、前記各層の成膜条件を補正しない成膜条件設定部と、を含むことによって、上記課題を解決する。
本実施形態の成膜装置1は、少なくとも成膜材料Mと基板Sが設けられ、所定の成膜雰囲気、具体的には真空度などに設定可能な成膜チャンバ2を備える。成膜チャンバ2には、仕切バルブ22を介して排気装置21が設けられ、仕切バルブ22を開いて成膜チャンバ2の内部の気体を排気することで、成膜チャンバ2の内部を、たとえば蒸着処理に適した真空雰囲気に設定することができる。成膜チャンバ2の内部の真空度が高くなると、蒸発した成膜材料Mの平均自由行程が大きくなり、また成膜材料の蒸発温度も下がるので、蒸着処理が促進される。なお、排気装置21及び仕切バルブ22は、制御器3からの指令信号により制御される。
本発明に係る成膜装置1は、図1に示す蒸着装置以外にもスパッタ装置として具現化することができる。図8は、本発明に係る成膜装置の他の実施の形態を示す縦断面図を含むブロック図であり、真空スパッタ装置に適用した例である。なお、図1に示す蒸着装置に具現化した成膜装置1と共通する部材には同一の符号を付し、その説明をここに援用する。
2…成膜チャンバ
21…排気装置
22…仕切バルブ
23…ハースライナ
24…加熱源
25…基板ホルダ(回転体)
251…反射板(位置情報取得部)
252…切り欠き部
253…通孔
26…ホルダ駆動部
27…回転軸
28…膜厚補正板
29a,29b,29c…覗き窓
3…制御器(成膜処理部)
4…成膜条件制御器(制御部)
40…成膜条件設定部
41…投光レンズユニット
42…LED投光器(光源)
43…LED電源
44…光ファイバ
45…受光レンズユニット
46…分光器
47…光ファイバ
48…レーザセンサ(位置情報取得部)
5…水晶発振式膜厚計
6…光学膜厚計
M…成膜材料
S…基板
Claims (9)
- 回転体に配置された基板に光を照射する光源と、
前記光源から照射した光に対し、前記基板に成膜された薄膜の層を透過する透過光または反射する反射光を受光する受光部と、
前記回転体の円周方向の位置に対応した位置情報を取得する位置情報取得部と、
成膜条件を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記位置情報取得部で取得した前記回転体の円周方向の位置情報に基づいて目的とする基板の位置を特定し、当該特定した位置の基板に対して前記光源から照射した光の透過光または反射光を受光するタイミングを制御するタイミング制御部と、
前記受光部で受光した透過光または反射光に基づいて、複数の層からなる薄膜の各層の膜厚を算出し、前記各層の膜厚と、所望の分光特性を有する薄膜を構成する各層の目標膜厚との膜厚差を判定する膜厚判定部と、
成膜処理で得られた薄膜の分光特性が前記所望の分光特性の許容範囲にあるか否かを判定する分光特性判定部と、
前記成膜処理で得られた薄膜の分光特性が前記所望の分光特性の許容範囲にない場合であって、前記各層の膜厚が前記目標膜厚に対して所定値以上の膜厚差があるときは、当該膜厚差がある層の膜厚が当該層の目標膜厚になるように次の基板の当該層に対する成膜条件を補正し、前記成膜処理で得られた薄膜の分光特性が前記所望の分光特性の許容範囲にある場合には、前記各層の成膜条件を補正しない成膜条件設定部と、を含む成膜制御装置。 - 前記成膜条件設定部は、前記成膜処理で得られた薄膜の分光特性が前記所望の分光特性の許容範囲にない場合であって、前記各層の膜厚が前記目標膜厚に対して所定値以上の膜厚差がないときは、当該膜厚差がない層の成膜条件を補正しない請求項1に記載の成膜制御装置。
- 前記膜厚判定部は、前記受光部で受光した透過光の強度から透過率を算出するか、又は反射光の強度から反射率を算出し、算出された透過率又は反射率から前記各層の膜厚を算出する請求項1又は2に記載の成膜制御装置。
- 前記膜厚判定部は、
前記光源から照射した光が、前記基板及び薄膜を構成する各層を透過せずに成膜空間のみを介して前記受光部に受光した場合の強度、又は
前記光源から照射した光が、前記基板のみに反射して前記受光部に受光した場合の強度、を参照強度とし、
当該参照強度と、薄膜を構成する各層を透過した透過光又は反射した反射光の強度とを比較して前記各層の膜厚を算出する請求項3に記載の成膜制御装置。 - 前記基板が配置された前記回転体の同一円周上の位置に通孔が形成され、
前記光源から照射した光が、前記通孔を通過して受光部に受光したときの強度を前記参照強度に設定する請求項4に記載の成膜制御装置。 - 前記位置情報取得部は、
前記回転体に配置された反射板と、
前記反射板にレーザ光を照射し、前記反射板から反射された反射レーザ光を受光するレーザ装置と、を含み、
前記タイミング制御部は、
前記レーザ装置が受光した反射レーザ光の強度分布から、前記回転体の位置情報を取得し、取得した位置情報に基づき、前記光源がパルス光を発光する第1のタイミングと、前記受光部がパルス光を受光する第2のタイミングとを制御する請求項1~5のいずれか一項に記載の成膜制御装置。 - 前記位置情報取得部は、
前記回転体と共に回転する回転軸と、前記回転軸に配置された2つの切り欠き部を含む反射板と、前記反射板に向けて光を投光する投光部と、前記投光部からの光を受光する投光受光部と、を含み、
前記タイミング制御部は、前記投光受光部が受光した光の強度分布から、前記回転体の位置情報を取得し、取得した位置情報に基づき、前記光源がパルス光を発光する第1のタイミングと、前記受光部がパルス光を受光する第2のタイミングを制御する請求項1~5のいずれか一項に記載の成膜制御装置。 - 所定圧力に設定され、基板が配置された回転体を含む成膜チャンバと、
所定の成膜条件にしたがって複数の層からなる薄膜の成膜処理を実行する成膜処理部と、
請求項1~7のいずれか一項に記載の成膜制御装置と、を備える成膜装置において、
前記成膜制御装置は、前記成膜処理部の前記所定の膜厚条件を設定する成膜装置。 - 回転体に配置された基板に、複数の層からなる薄膜を成膜する成膜方法において、
前記回転体の円周方向の位置情報に基づいて目的とする基板の位置を特定し、
当該特定した位置の基板に対し、光源から前記基板に光を照射するとともに、前記光源から照射した光に対し、前記基板に成膜された層を透過する透過光または反射する反射光を受光し、
前記受光した透過光または反射光に基づいて薄膜を構成する各層の膜厚を算出し、前記各層の膜厚と、所望の分光特性を有する薄膜を構成する各層の目標膜厚との膜厚差を判定し、
成膜処理で得られた薄膜の分光特性が前記所望の分光特性の許容範囲にあるか否かを判定し、
前記成膜処理で得られた薄膜の分光特性が前記所望の分光特性の許容範囲にない場合であって、前記各層の膜厚が前記目標膜厚に対して所定値以上の膜厚差があるときは、当該膜厚差がある層の膜厚が当該層の目標膜厚になるように次の基板の当該層に対する成膜条件を補正し、
前記成膜処理で得られた薄膜の分光特性が前記所望の分光特性の許容範囲にある場合には、前記各層の成膜条件を補正しないで、成膜処理を実行する成膜方法。
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