JP7169161B2 - 搬送加熱装置 - Google Patents

Description

この発明は、例えばプリント基板のリフローを行うリフロー装置に対して適用できる搬送加熱装置に関する。

電子部品又はプリント基板に対して、予めはんだ組成物を供給しておき、リフロー炉の中で基板を搬送コンベアで搬送するリフロー装置が使用されている（例えば特許文献１参照）。リフロー装置は、基板を搬送する搬送コンベアと、この搬送コンベアによって被加熱物例えばプリント基板が供給されるリフロー炉本体とを備えている。リフロー炉は、例えば、搬入口から搬出口に至る搬送経路に沿って、複数のゾーンに分割されており、これらの複数のゾーンがインライン状に配列されている。複数のゾーンは、その機能によって、加熱ゾーン、冷却ゾーンなどの役割を有する。

リフロー炉本体は上部炉体及び下部炉体を有する。例えば上部炉体から基板に対して熱風が吹きつけられ、下部炉体から基板に対して熱風が吹きつけられることによって、はんだ組成物内のはんだを溶融させてプリント基板の電極と電子部品とがはんだ付けされる。リフロー装置では、加熱時の温度を所望の温度プロファイルにしたがって制御することによって、所望のはんだ付けがなされる。

このようなリフロー装置において、炉体内部に付着したフラックスの除去等のメインテナンス作業を行うために、従来では、片側ヒンジ構造で上部炉体及びフード（ケース）を開放可能としていた（例えば特許文献２参照）。作業者は上部炉体及びフードを開放して前面からリフロー装置内に対するメインテナンス作業を行っていた。

従来の構成では前面からのみしか炉体内にアクセスすることができないので、背面側の箇所に対するメインテナンス作業を行うのに手間がかかっていた。特に二つの搬送コンベアを平行に配置するデュアル搬送構成のリフロー装置の場合では、奥側の搬送コンベアに対するメインテナンス作業を行うことが大変面倒であった。特許文献２に記載のものは、両側にヒンジを設けているので、作業のために開放する側を変えることによってメインテナンス作業が楽とできる。しかしながら、開放する側を変更する場合、上部炉体及びフードを一旦閉じてから再び反対側を開ける作業が必要で作業性が悪く、且つ二つの搬送コンベアを備えたデュアル搬送リフロー装置に対して本技術を適用しても同時にメインテナンスできないといった問題があった。

特許文献３に記載のリフロー装置は、被加熱体を加熱する上部炉体を垂直方向に平行移動させる複数の昇降機構を設け、昇降機構によって上部炉体及び搬送装置を収納する筐体の一部をなすフードを、上部炉体と共に垂直方向に平行移動する構成とされている。かかる特許文献３に記載のものは、昇降機構によって上部炉体及びフードが上昇した状態で、上部炉体及びフードのそれぞれの下方に開口が形成される。この開口を通じてメインテナンス作業を行うことが容易となる利点がある。

特開２０１３－０２７９３１号公報 特開２０１４－１５５９６１号公報 特開２０１７－１７７２０７号公報

この発明は、特許文献３に記載のリフロー装置のさらなる改良を目的とするものである。すなわち、この発明は、メインテナンス作業をする場合に、リフロー装置に作業者が接近する上で上部のフードを避けることを可能とするものである。特に、背が高い作業者に対しては、上昇したフードの位置と作業者の顔の位置がほぼ同じ高さとなる場合が考えられるので、リフロー装置に作業者が接近する上でフードが前方にない方が好ましい。

したがって、この発明の目的は、フードが手前にあるために、作業者がリフロー装置に接近しにくい問題を解決して、メインテナンス作業をより容易とすることができる搬送加熱装置を提供することにある。

この発明は、被加熱体を搬送する搬送装置と、
搬送装置の上方に設けられ、被加熱体を加熱する上部炉体と、
搬送装置の一面側及び他面側にそれぞれ設けられ、上部炉体を垂直方向に平行移動させる複数の昇降機構と、
上部炉体及び搬送装置を収納する筐体の一部をなし、一面側に位置するフード前面部が上方に開くように回転自在に支持されたフードと、
一面側に設けられ、フード前面部を開閉させるための複数のアクチュエーターと
を備え、
前記フード前面部が上方に開くように、前記昇降機構及び前記アクチュエーターを制御するようにした搬送加熱装置である。

少なくとも一つの実施形態によれば、炉体及びフードを上方に平行移動することによって両側に開口を形成することができる。したがって、従来の構成と比較してメインテナンス作業が容易となる。さらに、フード前面部が開くようになされるので、作業者がリフロー装置に接近する時に、フードを避けることが可能となる。なお、ここに記載された効果は必ずしも限定されるものではなく、本明細書中に記載されたいずれの効果であってもよい。また、以下の説明における例示された効果によりこの発明の内容が限定して解釈されるものではない。

図１は、この発明を適用できる従来のリフロー装置の概略を示す略線図である。 図２は、この発明をデュアル搬送に適用した一実施形態の通常状態の説明に用いる断面図である。 図３は、この発明の一実施形態の平行上昇状態の説明に用いる断面図である。 図４は、この発明の一実施形態のフード開状態の説明に用いる断面図である。 図５は、この発明の一実施形態における内部フレームの斜視図である。 図６は、この発明の一実施形態におけるフードフレームの斜視図である。 図７Ａ及び図７Ｂは、この発明の一実施形態の構成の通常状態の正面図及び斜視図である。 図８Ａ及び図８Ｂは、この発明の一実施形態の構成の平行上昇状態の正面図及び斜視図である。 図９Ａ及び図９Ｂは、この発明の一実施形態の構成のフード開状態の正面図及び斜視図である。

以下、この発明を実施形態について説明する。なお、説明は、以下の順序で行う。
＜１．リフロー装置の一例＞
＜２．一実施形態＞
＜３．変形例＞
なお、以下に説明する一実施形態は、この発明の好適な具体例であり、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、この発明の範囲は、以下の説明において、特にこの発明を限定する旨の記載がない限り、これらの実施形態に限定されないものとする。

＜１．リフロー装置の一例＞
図１は、この発明を適用できる従来のリフロー装置１０１の概略的構成を示す。リフロー装置１０１は、炉体１０２と、被加熱物例えば両面に表面実装用電子部品が搭載されたプリント基板（以下、ワークと称する）Ｗを炉体１０２内を通過させる搬送コンベア１０３と、搬送コンベア１０３の移動経路を規定する回転体１０５ａ、１０５ｂ、１０５ｃ、１０５ｄと、下部筐体１０４及びフード１０６を備える。

炉体１０２は、上部炉体及び下部炉体によってワークＷを上下から加熱し、加熱後に冷却するためのものである。搬送コンベア１０３は、シングル搬送の場合は搬送方向に延びる一つの搬送コンベアであり、デュアル搬送の場合は搬送方向に平行して配されている二つの搬送コンベアである。例えば搬送コンベア１０３として、ローラチェーンが使用されている。リフロー装置１０１の下部全体を覆う下部筐体１０４と上部全体を覆うフード１０６が設けられている。後述するように、内部フレーム及び下部筐体１０４上にフード１０６が載置される。

ワークＷは、搬入口１０７から炉体１０２内に搬入された後、搬送コンベア１０３によって所定速度で矢印方向（図１に向かって左から右方向）へ搬送され、最終的に搬出口１０８から取り出される。図示しないが、搬入口１０７の前段には、ワークＷを搬入するためのワーク搬入装置が設けられ、搬出口１０８の後段には、ワークＷを外部へ送り出すためのワーク搬出装置が配置されている。

搬入口１０７から搬出口１０８に至る搬送経路に沿って、炉体１０２が例えば９個のゾーンＺ１からＺ９に順次分割され、これらのゾーンＺ１～Ｚ９がインライン状に配列されている。搬入口１０７側から７個のゾーンＺ１～Ｚ７が加熱ゾーンであり、搬出口１０８側の２個のゾーンＺ８及びＺ９が冷却ゾーンである。冷却ゾーンＺ８及びＺ９に関連して強制冷却ユニット（図示しない）が設けられている。なお、ゾーン数は、一例であって、他の個数のゾーンを備えても良い。複数のゾーンＺ１～Ｚ９がリフロー時の温度プロファイルにしたがってワークＷの温度を制御する。加熱ゾーンＺ１～Ｚ７のそれぞれは、それぞれ送風機を含む上部炉体及び下部炉体を有する。

最初の区間が加熱によって温度が上昇する昇温部Ｒ１であり、次の区間は温度がほぼ一定のプリヒート（予熱）部Ｒ２であり、次の区間がリフロー（リフロー）部Ｒ３であり、最後の区間が冷却部Ｒ４である。昇温部Ｒ１は、常温からプリヒート部Ｒ２（例えば１５０℃～１７０℃）まで基板を加熱する期間である。プリヒート部Ｒ２は、等温加熱を行い、フラックスを活性化し、電極、はんだ粉の表面の酸化膜を除去し、また、ワークの加熱ムラをなくすための期間である。リフロー部Ｒ３（例えばピーク温度で２２０℃～２４０℃）は、はんだが溶融し、接合が完成する期間である。リフロー部Ｒ３では、はんだの溶融温度を超える温度まで昇温が必要とされる。最後の冷却部Ｒ４は、急速にプリント基板を冷却し、はんだ組成を形成する期間である。なお、無鉛ハンダの場合では、リフロー部における温度は、より高温（例えば２４０℃～２６０℃）となる。

かかる構成のリフロー装置１０１では、昇温部Ｒ１の温度制御を、主としてゾーンＺ１及びＺ２が受け持つ。プリヒート部Ｒ２の温度制御は、主としてゾーンＺ３、Ｚ４及びＺ５が受け持つ。リフロー部Ｒ３の温度制御は、ゾーンＺ６及びＺ７が受け持つ。冷却部Ｒ４の温度制御は、ゾーンＺ８及びゾーンＺ９が受け持つ。

＜２．一実施形態＞
この発明の一実施形態は、デュアル搬送のリフロー装置に対してこの発明を適用した実施形態である。上述したリフロー装置１０１において、炉体１０２の上部炉体とフード１０６が上方に平行移動され、炉体１０２の搬送方向に沿った両側に作業用の開口が形成される。この開口を通じて作業を行い、フラックス除去等のメインテナンス作業がなされる。さらに、メインテナンス作業を行う側のフード１０６が上方に持ち上げられ、作業者が開口に接近する際にフード１０６が妨げとならないようにされる。以下の説明では、リフロー装置１０１がリフロー動作を行う状態を通常状態と称し、上部炉体とフード１０６が上方に平行移動された状態を平行上昇状態と称し、フードが開かれた状態をフード開状態と称する。

図２、図３及び図４は、加熱ゾーンの一つのゾーンを搬送方向と直交する面で切断した場合の断面を搬入口側から見た断面図である。図２は、リフロー装置１０１の通常状態の構成を示し、図３が平行上昇状態の構成を示し、図４がフード開状態の構成を示す。

上部炉体１及び下部炉体２内に、第１の搬送コンベア１０３ａと第２の搬送コンベア１０３ｂとが平行して設けられている。上部炉体１と下部炉体２の対向間隙内で、ワークＷａ及びＷｂが、搬送コンベア１０３ａ及び１０３ｂ上に置かれて搬送される。なお、搬送方向を長さ方向、搬送コンベアと直交する方向を幅方向、リフロー装置の上下の方向を高さ方向とそれぞれ適宜称する。また、リフロー装置の長さ方向で、フード１０６が開閉される側を前面と称し、フード１０６が開閉されない側を背面と称する。通常、前面に操作パネルが配置されている。

搬送コンベア間に設けられた隔壁によって、炉体内の空間が第１の搬送コンベア１０３ａ側の空間と、第２の搬送コンベア１０３ｂ側の空間に仕切られている。隔壁は、上部炉体１の側の上部隔壁３ａと下部炉体２の側の下部隔壁３ｂとにより構成されている。

隔壁は、例えば、断熱作用を有するものである。上部隔壁３ａ及び下部隔壁３ｂは、例えばそれぞれ内部にガスが導入される空間を有する２枚の金属板状体（例えば、ステンレス板等）が対向するものである。上部隔壁３ａ及び下部隔壁３ｂの対向する対向端部の一方は先細り形状とされ、他方は開放形状とされている。先細り形状とされた一方の対向端部は、開放形状とされた他方の対向端部に嵌合／分離可能とされている。

上部炉体１、下部炉体２、上部隔壁３ａ及び下部隔壁３ｂによって形成される搬送コンベア１０３ａ側の空間では、上部炉体１内の加熱ユニット及び下部炉体２内の加熱ユニットがワークＷａに対して熱風（熱せられた雰囲気ガス）を噴出してワークＷａを加熱する。上部炉体１及び下部炉体２には例えばターボファンの構成の送風機と、ヒータと、熱風が通過する多数の小孔を有するパネル（蓄熱部材）からなる加熱ユニットがそれぞれ設けられている。搬送コンベア１０３ｂ側の空間においては同様の加熱ユニットによってワークＷｂが加熱される。

上部炉体１の上面には、ターボファン５が取り付けられており、上部炉体１の上方に内部フレーム４が配置されている。上部炉体１の側面と内部フレーム４の間がブラケット６によって連結されている。また、昇降機構によって押し上げられる部分を構成するためのブラケット７が上部炉体１に設けられている。内部フレーム４は、フード１０６の側面部と反対側（背面側）の側面部を覆うためのコーナーフレーム４ａを一体に有している。コーナーフレーム４ａは、コーナーから上面の一部まで連続しており、その上面の端部４ｂにヒンジ部８が設けられる。

内部フレーム４及びコーナーフレーム４ａは、図５に示すように、例えば金属の角パイプによって組み立てられている。内部フレーム４の前面側の下部に複数の四角の枠部９
（図２，図３，図４では省略されている）が外側に向かって突出されている。枠部９にブラケット６が取り付けられる。

なお、図２，図３及び図４の構成では、上部炉体１と内部フレーム４の間を連結するためのブラケット６と、上部炉体１を昇降させる時の支持部としてのブラケット７を別々に備えている。しかしながら、これらの機能を分けないで、例えばブラケット６が連結機能と共に、上部炉体１を昇降させる時のブラケットの機能を持つようにしてもよい。例えば枠部９に対してブラケット６を取り付けるようになされる。図２、図３及び図４以外の図では、ブラケット７を省略し、ブラケット６が両方の機能を有するものとして示している。３個のブラケット６が所定の間隔で前面側に枠部９に取り付けられる。

さらに、上部炉体１が熱膨張するので、ブラケット６は、上部炉体１の熱膨張を吸収するための構成を有する。例えば内部フレーム４の枠部９のブラケット６の取り付け箇所において、上部炉体１の熱膨張を吸収することが可能なように、ブラケット６がスライド可能とされている。

内部フレーム４の上に重ねて配置されるフードフレーム１１は、図６に示すように、金属の角パイプによって組み立てられている。フードフレーム１１に対して図示しないが金属板（外板）が貼り付けられてフード１０６が構成される。フードフレーム１１の前面側に位置するフード前面部を取り付けるフードフレーム前面部１０には、制御用の回路盤などが取り付け可能とされている。フードフレーム１１の上面側の端部１１ａとコーナーフレーム４ａの端部４ｂがヒンジ部８を介して回転自在に連結され、フード前面部が上方に開くように、フード１０６が回転自在に支持される。幅方向におけるヒンジ部８の位置は、例えば中央位置よりやや背面側とされる。ヒンジ部８の位置によってフードフレーム１１の回転量が変化するので、回転量が多くならないようにヒンジ部８の位置が設定される。

図２、図３及び図４と図７Ａ，図７Ｂ、図８Ａ，図８Ｂ、図９Ａ，図９Ｂを参照して昇降機構について説明する。図７Ａ，図７Ｂ、図８Ａ，図８Ｂ及び図９Ａ，図９Ｂに示すように、前面側に３個の昇降機構１２が配置され、背面側に３個の昇降機構１３が配置されている。これらの昇降機構１２及び１３の下部は、リフロー装置１０１のベース板に対して固定されている。昇降機構１２は、枠部９の下面に当接し、内部フレーム４、コーナーフレーム４ａ及びフードフレーム１１を上方に押し上げるようになされる。昇降機構１３は、内部フレーム４の背面側の角パイプの下面に当接し、内部フレーム４、コーナーフレーム４ａ及びフードフレーム１１を上方に押し上げるようになされる。なお、図２と図７Ａ，図７Ｂが通常状態の構成を示し、図３と図８Ａ，図８Ｂが平行上昇状態を示し、図４と図９Ａ，図９Ｂがフード開状態を示している。

昇降機構１２は、図２、図３及び図４に示すように、台形ねじで構成されたスクリュー軸１４と、スクリュー軸１４の回転によって昇降する可動支柱１５を有している。スクリュー軸１４と噛み合う台形ねじのナットが可動支柱１５に取り付けられている。スクリュー軸１４の所定方向の回転によってナットが上昇し、反対方向の回転によってナットが下降するため、スクリュー軸１４の回転によって可動支柱１５が昇降する。可動支柱１５の端部が枠部９の下面に当接し、端部が枠部９の下面を押し上げるようになされる。スクリュー軸１４、可動支柱１５及びスクリュー軸１４を回転させる駆動源が第１のアクチュエーターを構成する。

スクリュー軸１４とナットの噛み合わせの構造は、セルフロック機能を有し、スクリュー軸１４の回転が静止した時の可動支柱１５の位置が保持される。したがって、可動支柱１５を静止させるためのブレーキ機構を設ける必要がない。ブレーキ機構を設けないので、例えば停電時には手動でスクリュー軸を回転させて可動支柱１５を昇降させることができる。

可動支柱１５に対して、フード前面部（フードフレーム前面部１０）を開閉させるための第２のアクチュエーター１６が取り付けられている。第２のアクチュエーター１６は、駆動源（図示せず）、作動棒１７及び作動棒１７の伸縮機構（スクリュー軸及びナットの機構、ウォームギア機構など）から構成される。第１のアクチュエーターと同一又は別個の駆動源による回転動作によって作動棒１７が伸縮される。作動棒１７の延長方向が鉛直方向に対してリフロー装置側になるような傾きでもって第２のアクチュエーター１６が取り付けられている。作動棒１７の先端がフードフレーム前面部１０の内面例えばコーナー位置の内面に当接するようになされる。

このように、昇降機構（第１のアクチュエーター）に対してフード開閉用アクチュエーター（第２のアクチュエーター１６）を取り付けることは、次のような利点がある。
第１に、高さ方向において装置を小型化できる。
第２に、最適なフード開閉量とすることができ、開閉時の装置の剛性を保つことができる。すなわち、無駄に大きな範囲の開閉は、重心等が上部となるため剛性を保つために強度等を上げる必要が生じ、複雑な機構となる。
第３に、前面からメインテナンスをする際のアクセスエリアを従来と同レベルに確保できる。すなわち、左右などのエリアに別に第２のアクチュエーター１６を設置すると、そのエリアがアクセスを妨げることになるおそれがある。

昇降機構１２と対向する背面側の位置に昇降機構１３が設けられている。昇降機構１３は、前面側の昇降機構１２と同様の構成の第１のアクチュエーターを備えている。すなわち、スクリュー軸１４とスクリュー軸１４の回転によって昇降する可動支柱１５とスクリュー軸１４を回転させる駆動源を有する。可動支柱１５の端部が内部フレーム４及びコーナーフレーム４ａの背面側の角パイプの下面に当接し、内部フレーム４及びコーナーフレーム４ａを上方に押し上げるようになされる。昇降機構１２と異なり、昇降機構１３は、フードフレーム１１を開く必要がないので、第２のアクチュエーターを持たない構成とされている。

上述したように、合計で６個の昇降機構１２及び１３がそれぞれ有する第１のアクチュエーターは、別々の駆動源によって駆動されてもよいが、互いの昇降動作を同期させるために共通の駆動源（例えばモータ）によって駆動されることが好ましい。共通の駆動源からの駆動力を各昇降機構に対して伝達する伝達機構（例えばかさ歯車１８（図２，図３及び図４参照）、ウォームギアなど）が例えばベース板上に設けられている。

昇降機構１２及び１３のそれぞれと関連して可動支柱１５の位置を検出するセンサーが設けられており、センサーの出力が昇降機構１２及び１３の駆動を制御する制御回路に供給される。制御回路は、可動支柱が同期して動くことをモニターしたり、同期がずれたことを検出して可動支柱１５を停止させたりする。さらに、制御回路が第２のアクチュエーター１６の制御例えば作動棒１７を伸縮させるモータのオン／オフ制御の機能を有している。

可動支柱１５の位置が所定の高さに到達して停止すると、第２のアクチュエーター１６のモータが回転を開始して作動棒１７が伸長するようになされる。所定位置まで作動棒１７が伸びると、モータの回転が停止するようになされる。なお、これらの平行上昇動作及び作動棒１７の伸長動作とは逆の動作、すなわち、作動棒１７の縮み動作、可動支柱１５の降下動作も制御回路によって制御される。また、モータと別に、手動のハンドルを設けてハンドルによって昇降機構１２及び１３を動作させてもよい。

上述したこの発明の一実施形態の動作について説明する。リフロー装置１０１の動作時などの通常状態では、図２、図７Ａ及び図７Ｂに示すように、上部炉体１及び下部炉体２によって側面が閉じられている。通常状態では、昇降機構１２及び１３の第１のアクチュエーターの可動支柱１５が低い位置とされている。

メインテナンス作業を行う時には、第１段階で平行上昇状態とされ、第２段階でフード開状態とされる。すなわち、第１段階では、スクリュー軸１４が回転されることによって、昇降機構１２及び１３の可動支柱１５が上昇し、上部炉体１、内部フレーム４、コーナーフレーム４ａ及びフードフレーム１１が上方に平行移動される。平行移動とは上部炉体１、内部フレーム４、コーナーフレーム４ａ及びフードフレーム１１の全ての点が等しい距離移動することである。但し、歯車のバックラッシュ等の誤差に起因して通常生じる程度の相違が存在する場合も平行移動と称する。この第１段階の平行上昇動作の結果、図３、図８Ａ及び図８Ｂに示すように、下部筐体１０４とフード１０６との間で、搬送路の前面側及び背面側に開口２１及び２２が形成される。

さらに、第１段階に続く第２段階において，図４、図９Ａ及び図９Ｂに示すように、第２のアクチュエーター１６の作動棒１７の伸長によって、フードフレーム１１がヒンジ部８を支点として上方に押し上げられ、フード１０６のフード前面部（フードフレーム前面部１０）が上方に押し上げられ、フード開の状態とされる。開口２１及び２２からリフロー装置１０１の前面側及び背面側の両側から内部へのアクセスが可能となり、幅が広いリフロー装置１０１の場合でも容易にメインテナンス作業を行うことができる。さらに、フード１０６の前面側が上方に押し上げられているので、前面側に作業者が接近する際フード前面部を避けることが可能となり、メインテナンス作業を良好に行うことができる。

＜３．変形例＞
以上、本開示の実施形態について具体的に説明したが、上述の各実施形態に限定されるものではなく、本開示の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。例えば、上述の一実施形態では、平行上昇状態とフード開状態の２段階の動作を行うようにしているが、２段階に切り換えずに、平行上昇動作とフード開動作を同時に行うようにしてもよい。さらに、作業者が別々の操作ボタンによって平行上昇動作とフード開動作を行わせるようにしてもよい。さらに、通常状態においても、フードを開閉することを可能としてもよい。また、この発明は、デュアル搬送に限らず、単一の搬送又は３以上の搬送の構成に対しても適用することができる。

この発明の一実施形態では、前面側のフードを開くようにしているが，前面側及び背面側の両側のフードを同時又は別個に開くような構成としてもよい。さらに、この発明は、複数の昇降機構間の回転伝達機構としては軸以外にチェーンを使用するようにしてもよい。また、昇降機構の個数は、上述した実施形態以外の数を設けてもよい。さらに、リフロー装置に限らず、樹脂の硬化のための加熱装置等に対しても適用できる。また、上述の実施形態において挙げた構成、方法、工程、形状、材料及び数値などはあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれと異なる構成、方法、工程、形状、材料及び数値などを用いてもよい。また、上述の実施形態の構成、方法、工程、形状、材料及び数値などは、本開示の主旨を逸脱しない限り、互いに組み合わせることが可能である。

Ｗ，Ｗａ，Ｗｂ・・・ワーク、１・・・上部炉体、２・・・下部炉体、
４・・・内部フレーム、４ａ・・・コーナーフレーム、６，７・・・ブラケット、
８・・・ヒンジ部、１０・・・フードフレーム前面部、１１・・・フードフレーム、
１２，１３・・・昇降機構、１４・・・スクリュー軸、１５・・・・可動支柱、
１６・・・第２のアクチュエーター、１７・・・作動棒、２１，２２・・・開口、
１０１・・・リフロー装置、１０２・・・炉体、１０３ａ，１０３ｂ・・・搬送コンベア、１０６・・・フード

Claims (8)

1. 被加熱体を搬送する搬送装置と、
   前記搬送装置の上方に設けられ、前記被加熱体を加熱する上部炉体と、
   前記搬送装置の一面側及び他面側にそれぞれ設けられ、前記上部炉体を垂直方向に平行移動させる複数の昇降機構と、
   前記上部炉体及び前記搬送装置を収納する筐体の一部をなし、前記一面側に位置するフード前面部が上方に開くように回転自在に支持されたフードと、
   前記一面側に設けられ、前記フード前面部を開閉させるためのアクチュエーターと
   を備え、
   前記フード前面部が上方に開くように、前記昇降機構及び前記アクチュエーターを制御するようにした搬送加熱装置。
2. 前記昇降機構によって前記上部炉体及び前記フードを上昇させた状態で、前記上部炉体及び前記フードのそれぞれの下方に開口が形成されるようにした請求項１に記載の搬送加熱装置。
3. 前記搬送装置が配置される空間を挟んで前記上部炉体と対向する下部炉体が設けられ、前記上部炉体及び前記下部炉体の間に前記開口が形成されるようにした請求項２に記載の搬送加熱装置。
4. 前記上部炉体と連結された内部フレームを備え、前記内部フレームの上に前記フードを構成するフードフレームが配置され、
   前記昇降機構が前記内部フレーム、前記フードフレーム及び前記上部炉体を昇降させるようにした請求項１乃至３のいずれかに記載の搬送加熱装置。
5. 前記内部フレームに対して前記フードフレームが回転自在に取り付けられた請求項４に記載の搬送加熱装置。
6. 前記一面側に設けられた前記昇降機構の昇降部に前記アクチュエーターが取り付けられた請求項１乃至５のいずれかに記載の搬送加熱装置。
7. 前記アクチュエーターが伸縮自在の作動棒を有し、前記作動棒が伸長することによって前記フード前面部が開くようになされた請求項１乃至６のいずれかに記載の搬送加熱装置。
8. 被加熱体を搬送する搬送装置と、
   前記搬送装置の上方に設けられ、前記被加熱体を加熱する上部炉体と、
   前記搬送装置の一面側及び他面側にそれぞれ設けられ、前記上部炉体を垂直方向に平行移動させる複数の昇降機構と、
   前記上部炉体及び前記搬送装置を収納する筐体の一部をなし、前記一面側に位置するフード前面部が上方に開くように回転自在に支持されたフードと、
   前記一面側に設けられ、前記フード前面部を開閉させるためのアクチュエーターと
   を備え、
   前記一面側に設けられた前記昇降機構の昇降部に前記アクチュエーターが取り付けられた搬送加熱装置。

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