JP7155729B2 - アクチュエータ駆動回路および電子機器 - Google Patents
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Description
駆動回路1Bは、トラス型のアクチュエータ2に接続されて、このアクチュエータ2を回転駆動させる。このアクチュエータ2は、加圧部21と、固定部22と、変位素子23A,23Bと、変位素子23A,23Bにそれぞれ結合された合成部24と、ロータ25を含んで構成される。固定部22は、変位素子23A,23Bの先端が直交するように、これら変位素子23A,23Bの基端を接着して固定する。変位素子23A,23Bは、駆動回路1Bによって所定の変位を発生させる。合成部24は、変位素子23A,23Bの先端の直交部分に接着される。ロータ25は、合成部24が当接して駆動される被駆動部材である。これら固定部22と、変位素子23A,23Bと、合成部24とは、トラス構造体を構成する。
駆動回路1Bは、変位素子23Aに駆動信号を与えるA相の回路と、変位素子23Bに駆動信号を与えるB相の回路に大別される。
A相の回路は、ドライバ11Aと、LCフィルタ12Aと、B相の連動スイッチ13Bと相補的に連動する連動スイッチ13Aと、電流検出抵抗14Aと、検出器16Aと、ヒステリシス補正回路31Aを備える。このドライバ11Aは、2台のアンプをブリッジ接続して構成される。ドライバ11Aの入力側には、パルス生成回路43の出力信号が入力される。ドライバ11Aは、この信号を増幅した信号を第1出力端子から出力し、この信号を増幅して反転した信号を第2出力端子から出力する。ドライバ11Aの第1出力端子と第2出力端子は、LCフィルタ12Aに接続されている。LCフィルタ12Aの2つの出力端子には、連動スイッチ13Aが接続されている。連動スイッチ13Aが開いている場合、LCフィルタ12Aの出力端子から、正弦波信号が出力される。連動スイッチ13Aが閉じている場合、LCフィルタ12Aの出力端端子から信号は出力されない。
検出器16Aは、電流検出抵抗14Aの両端電圧をコンパレータで比較して検出し、よって変位素子23Aに流れる電流を検知するものである。検出器16Aの出力信号は、二値化されている。
検出器16Aの出力信号は、ヒステリシス補正回路31Aに入力されたのち、セレクタ32に入力される。ヒステリシス補正回路31Aは、電流信号に含まれる誤検出パルスをデジタル処理で除いている。
第1グラフは、駆動側信号を示している。この駆動側信号は、A相の変位素子23A(図10参照)に流れる電流である。
第2グラフは、非駆動側信号を示している。この非駆動側信号は、B相の変位素子23B(図10参照)に流れる電流であり、フィードバックの定常状態において45°だけ駆動側信号よりも遅れている。
第4グラフは、ヒステリシス補正後の非駆動側の位相信号を示している。この位相信号は、ヒステリシス補正回路31B(図10参照)の出力信号であり、非駆動側信号のゼロクロスに対して角度Φだけ遅れている。
第1グラフは、ヒステリシス補正後の駆動側の位相信号を示しており、時刻t0と時刻t1で立ち上がる。
第2グラフは、ヒステリシス補正後の非駆動側の位相信号を示しており、時刻t0と時刻t1で立ち上がる。位相比較信号は、これら駆動側の位相信号の立ち上がりエッジと、非駆動側の位相信号の立ち上がりエッジとを比較した信号である。ここで位相差は0°で、両信号は同時に立ち上がるため、位相比較信号は常に0である。
第1グラフは、ヒステリシス補正後の駆動側の位相信号を示しており、時刻t11と時刻t13で立ち上がる。
第2グラフは、ヒステリシス補正後の非駆動側の位相信号を示しており、時刻t10と時刻t12で立ち上がる。位相比較信号は、これら駆動側の位相信号の立ち上がりエッジと、非駆動側の位相信号の立ち上がりエッジとを比較した信号である。ここで非駆動側は進み位相であるため、位相比較信号は時刻t10~t11で正のパルスになり、時刻t12~t13で正のパルスとなる。
第1グラフは、ヒステリシス補正後の駆動側の位相信号を示しており、時刻t20と時刻t22で立ち上がる。
第2グラフは、ヒステリシス補正後の非駆動側の位相信号を示しており、時刻t21と時刻t23で立ち上がる。位相比較信号は、これら駆動側の位相信号の立ち上がりエッジと、非駆動側の位相信号の立ち上がりエッジとを比較した信号である。ここで非駆動側は遅れ位相であるため、位相比較信号は時刻t20~t21で負のパルスになり、時刻t22~t23で負のパルスとなる。
所定の変位を発生させる一対の変位素子と、
前記一対の変位素子に結合され、当該一対の変位素子の変位により駆動される駆動部材と、
前記駆動部材が当接することによって駆動される被駆動部材と、
を備えるアクチュエータの駆動回路であって、
前記一対の変位素子のうち一方の変位素子に所定の周波数の駆動信号を印加する制御部と
前記一対の変位素子のうち他方の変位素子から検出信号を検出する検出部と、
前記駆動信号から所定位相だけシフトした積分領域パルスを生成するパルス生成部と、
前記積分領域パルスを用いて前記検出信号を積分する積分部と、
を備え、
前記制御部は、
前記積分部の出力信号に基づいて前記駆動信号の位相を制御する、
ことを特徴とするアクチュエータ駆動回路である。
《第1の実施形態》
第1の実施形態の要点は、駆動信号から任意シフトした積分領域パルスを生成する積分領域パルス生成回路と、この積分領域パルスを用いて電流検出信号を積分する積分回路とを備え、この積分値を位相比較出力としてVCOにフィードバックすることである。以下、図1から図4を参照して、第1の実施形態を説明する。
第1の実施形態の駆動回路1は、トラス型のアクチュエータ2に接続されて、このアクチュエータ2を回転駆動させる。このアクチュエータ2は、加圧部21と、固定部22と、変位素子23A,23Bと、変位素子23A,23Bにそれぞれ結合された合成部24と、ロータ25を含んで構成される。固定部22は、変位素子23A,23Bの先端が直交するように、これら変位素子23A,23Bの基端を接着して固定する。変位素子23A,23Bは、駆動回路1によって所定の変位を発生させる。合成部24は、変位素子23A,23Bの先端の直交部分に接着(結合)され、これら変位素子23A,23Bの変位により駆動される駆動部材として機能する。ロータ25は、合成部24が当接して駆動される被駆動部材である。これら固定部22と、変位素子23A,23Bと、合成部24とは、トラス構造体を構成する。
VCO42は、印加された電圧に応じた周波数の駆動クロックを出力する。パルス生成回路43は、VCO42が出力した駆動クロックに基づき、矩形のパルスを生成する。この矩形パルスは、A相の回路とB相の回路と積分領域パルス生成回路44に出力される。
駆動回路1は、変位素子23Aに駆動信号を与えるA相の回路と、変位素子23Bに駆動信号を与えるB相の回路に大別される。
検出器15Aは、電流検出抵抗14Aの両端電圧をアナログで増幅して検出し、変位素子23Aに流れる電流を検知するものである。検出器15Aの出力信号は、セレクタ53に入力される。
第1グラフは、駆動パルス生成信号の波形図である。この駆動パルス生成信号は、所定周期の矩形波である。
時刻t30は、積分領域パルスの立ち上がりエッジであり、かつ積分の開始時刻である。この時刻t30は、駆動側検出信号のゼロクロス点である時刻t31に対して、45°だけ位相が進んでいる。時刻t33は、積分領域パルスの立ち下がりエッジであり、かつ積分の終了時刻である。この時刻t33は、時刻t30に対して位相が180°だけ遅れている。
第1グラフは、駆動パルス生成信号の波形図である。この駆動パルス生成信号は、所定周期の矩形波である。
時刻t40は、積分領域パルスの立ち上がりエッジであり、かつ積分の開始時刻である。この時刻t40は、駆動側検出信号のゼロクロス点である時刻t41に対して、45°だけ位相が進んでいる。時刻t43は、積分領域パルスの立ち下がりエッジであり、かつ積分の終了時刻である。この時刻t43は、時刻t40に対して位相が180°だけ遅れている。
第1グラフは、駆動パルス生成信号の波形図である。この駆動パルス生成信号は、所定周期の矩形波である。
時刻t50は、積分領域パルスの立ち上がりエッジであり、かつ積分の開始時刻である。この時刻t50は、駆動側検出信号のゼロクロス点である時刻t51に対して、45°だけ位相が進んでいる。時刻t53は、積分領域パルスの立ち下がりエッジであり、かつ積分の終了時刻である。この時刻t53は、時刻t50に対して位相が180°だけ遅れている。
また、駆動回路1は、非駆動側の検出信号の積分領域において、非駆動側の検出信号の和が0でなく、負の値を取る場合、VCO42から駆動側の変位素子23Bに出力される電流波形の位相を遅らせるよう制御を行う。
本発明の駆動回路1は、駆動パルスから位相シフトした積分領域パルスを用いて電流検出信号を積分している。これにより、図10に示したヒステリシス補正回路31A,31Bや位相比較器34、ローパスフィルタ41等の回路を削減できるので、消費電力を削減できる効果がある。
また、電流検出信号を積分することで、外乱ノイズの吸収をしながら精度の高い位相制御を行うことができる。
図5は、第2の実施形態におけるアクチュエータ駆動回路の概略を示す構成図である。
第2の実施形態の駆動回路1Aは、トラス型のアクチュエータ2に接続されて、このアクチュエータ2を回転駆動させる。このトラス型のアクチュエータ2は、第1の実施形態のアクチュエータ2と同様に構成されており、同様に動作する。
VCO42は、印加された電圧に応じた周波数の駆動クロックを出力する。パルス生成回路43は、VCO42が出力した駆動クロックに基づき、矩形のパルスを生成する。この矩形パルスは、A相の回路とB相の回路と積分領域パルス生成回路44に出力される。
駆動回路1は、変位素子23Aに駆動信号を与えるA相の回路と、変位素子23Bに駆動信号を与えるB相の回路に大別される。
検出器15Aは、電流検出抵抗14Aの両端電圧をアナログで増幅して検出し、よって変位素子23Aに流れる電流を検知するものである。検出器15Aの出力信号は、セレクタ53に入力される。
以下、図6から図8を参照しつつ、積分値に基づく位相制御について説明する。
第1グラフは、駆動パルス生成信号の波形図である。この駆動パルス生成信号は、所定周期の矩形波である。
時刻t60は、積分領域パルスの立ち上がりエッジであり、かつ積分の開始時刻である。この時刻t60は、駆動側検出信号のゼロクロス点である時刻t61に対して、45°だけ位相が進んでいる。時刻t63は、積分領域パルスの立ち下がりエッジであり、かつ積分の終了時刻である。この時刻t63は、時刻t60に対して位相が180°だけ遅れている。
第1グラフは、駆動パルス生成信号の波形図である。この駆動パルス生成信号は、所定周期の矩形波である。
時刻t70は、積分領域パルスの立ち上がりエッジであり、かつ積分の開始時刻である。この時刻t70は、駆動側検出信号のゼロクロス点である時刻t71に対して、45°だけ位相が進んでいる。時刻t73は、積分領域パルスの立ち下がりエッジであり、かつ積分の終了時刻である。この時刻t73は、時刻t70に対して位相が180°だけ遅れている。
第1グラフは、駆動パルス生成信号の波形図である。この駆動パルス生成信号は、所定周期の矩形波である。
時刻t80は、積分領域パルスの立ち上がりエッジであり、かつ積分の開始時刻である。この時刻t80は、駆動側検出信号のゼロクロス点である時刻t81に対して、45°だけ位相が進んでいる。時刻t83は、積分領域パルスの立ち下がりエッジであり、かつ積分の終了時刻である。この時刻t83は、時刻t80に対して位相が180°だけ遅れている。
第1グラフは、駆動パルス生成信号の波形図である。この駆動パルス生成信号は、所定周期の矩形波である。
この駆動側検出信号は、正弦波であり、図5の検出器15Aの出力信号である。第1積分領域パルスは矩形波であり、駆動パルス生成信号のエッジに対して90°だけ位相が進んでいる。時刻t90は、第1積分領域パルスの立ち上がりエッジであり、かつ積分の開始時刻である。時刻t91は、駆動側検出信号のゼロクロス点であり、駆動パルス生成信号の立ち上がりエッジに対して所定角度だけ位相が遅れている。時刻t92は、第1積分領域パルスの立ち下がりエッジであり、かつ積分の終了時刻である。この時刻t92は、時刻t90に対して位相が180°だけ遅れている。
駆動パルスから位相シフトした積分領域パルスを用いて電流検出信号を積分している。
これにより、図10に示したヒステリシス補正回路31A,31Bや位相比較器34、ローパスフィルタ41等の回路を削減できるので、消費電力を削減できる効果がある。
また、電流検出信号を積分することで、外乱ノイズの吸収をしながら精度の高い位相制御を行うことができる。
《請求項1》
所定の変位を発生させる複数の変位素子と、
前記複数の変位素子に結合され、当該複数の変位素子の変位により駆動される駆動部材と、
前記駆動部材が当接することによって駆動される被駆動部材と、
を備えるアクチュエータの駆動回路であって、
前記複数の変位素子のうち一方の変位素子に駆動信号を印加する駆動部と
前記複数の変位素子のうち他方の変位素子から検出信号を検出する検出部と、
前記駆動信号から所定位相だけシフトした積分領域パルスを生成するパルス生成部と、
前記積分領域パルスを用いて前記検出信号を積分する積分部と、
前記積分部の出力信号を位相比較出力として、前記駆動信号の周波数を制御する電圧制御部と、
を備えるアクチュエータ駆動回路。
《請求項2》
前記所定位相は、+45度である、
ことを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ駆動回路。
《請求項3》
前記積分部は、前記積分領域パルスの所定の区間に対応する前記検出信号を積分する、
ことを特徴とする請求項1または2に記載のアクチュエータ駆動回路。
《請求項4》
前記電圧制御部は、前記検出信号が前記積分部に積分された値が正の値の場合、前記駆動信号の周波数の位相を進めるよう制御する、
ことを特徴とする請求項1または2に記載のアクチュエータ駆動回路。
《請求項5》
前記電圧制御部は、前記検出信号が前記積分部に積分された値が負の値の場合、前記駆動信号の周波数の位相を遅らせるよう制御する、
ことを特徴とする請求項1または2に記載のアクチュエータ駆動回路。
《請求項6》
所定の変位を発生させる複数の変位素子と、
前記複数の変位素子に結合され、当該複数の変位素子の変位により駆動される駆動部材と、
前記駆動部材が当接することによって駆動される被駆動部材と、
を備えるアクチュエータの駆動回路であって、
前記複数の変位素子のうち一方の変位素子に駆動信号を印加する駆動部と
前記複数の変位素子のうち他方の変位素子から検出信号を検出する検出部と、
前記駆動信号から、第1位相だけシフトした第1積分領域パルス、および、第2位相だけシフトした第2積分領域パルスを生成するパルス生成部と、
前記第1積分領域パルスを用いて前記駆動信号を積分する第1積分部と、
前記第2積分領域パルスを用いて前記検出信号を積分する第2積分部と、
前記第1積分部の出力信号と前記第2積分部の出力信号との差を位相比較出力として、前記駆動信号の周波数を制御する電圧制御部と、
を備えるアクチュエータ駆動回路。
《請求項7》
前記第1位相は-90度であり、
前記第2位相は-45度である、
ことを特徴とする請求項6に記載のアクチュエータ駆動回路。
《請求項8》
請求項1から7のうちいずれか1項に記載のアクチュエータ駆動回路を備える、
ことを特徴とする電子機器。
11A,11B ドライバ (駆動部の一部)
12A,12B LCフィルタ (駆動部の一部)
13A,13B 連動スイッチ
14A,14B 電流検出抵抗 (検出部の一部)
15A,15B 検出器 (検出部の一部)
16A,16B 検出器
2 アクチュエータ
21 加圧部
22 固定部
23A,23B 変位素子
24 合成部 (駆動部材)
25 ロータ (被駆動部材)
31A,31B ヒステリシス補正回路
32 セレクタ
33 位相差設定回路
34 位相比較器
41 ローパスフィルタ
42 VCO
43 パルス生成回路
44,45 積分領域パルス生成回路 (パルス生成部)
51A,51B,54 積分回路 (積分部)
52 減算器
53 セレクタ
Claims (10)
- 所定の変位を発生させる一対の変位素子と、
前記一対の変位素子に結合され、当該一対の変位素子の変位により駆動される駆動部材と、
前記駆動部材が当接することによって駆動される被駆動部材と、
を備えるアクチュエータの駆動回路であって、
前記一対の変位素子のうち一方の変位素子に所定の周波数の駆動信号を印加する制御部と、
前記一対の変位素子のうち他方の変位素子から検出信号を検出する検出部と、
前記駆動信号から所定位相だけシフトした積分領域パルスを生成するパルス生成部と、
前記積分領域パルスを用いて前記検出信号を積分する積分部と、
を備え、
前記制御部は、
前記積分部の出力信号に基づいて前記駆動信号の位相を制御する、
ことを特徴とするアクチュエータ駆動回路。 - 前記積分領域パルスは、前記駆動信号の位相を45°進めたものである、
ことを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ駆動回路。 - 前記積分部は、前記積分領域パルスの所定の区間に対応する前記検出信号を積分する、
ことを特徴とする請求項1または2に記載のアクチュエータ駆動回路。 - 前記制御部は、前記検出信号が前記積分部に積分された値が正の値の場合、前記駆動信号の位相を進めるよう制御する、
ことを特徴とする請求項1または2に記載のアクチュエータ駆動回路。 - 前記制御部は、前記検出信号が前記積分部に積分された値が負の値の場合、前記駆動信号の位相を遅らせるよう制御する、
ことを特徴とする請求項1または2に記載のアクチュエータ駆動回路。 - 所定の変位を発生させる一対の変位素子と、
前記一対の変位素子に結合され、当該一対の変位素子の変位により駆動される駆動部材と、
前記駆動部材が当接することによって駆動される被駆動部材と、
を備えるアクチュエータの駆動回路であって、
前記一対の変位素子のうち一方の変位素子に所定の周波数の駆動信号を印加する制御部と、
前記一対の変位素子のうち他方の変位素子から検出信号を検出する検出部と、
前記駆動信号から、第1位相だけシフトした第1積分領域パルス、および、第2位相だけシフトした第2積分領域パルスを生成するパルス生成部と、
前記第1積分領域パルスを用いて前記駆動信号を積分する第1積分部と、
前記第2積分領域パルスを用いて前記検出信号を積分する第2積分部と、
を備え、
前記制御部は、
前記第1積分部の出力信号と前記第2積分部の出力信号との差に基づいて前記駆動信号の位相を制御する、
ことを特徴とするアクチュエータ駆動回路。 - 前記第1積分領域パルスは、前記駆動信号の位相を90°進めたものであり、
前記第2積分領域パルスは、前記駆動信号の位相を45°進めたものである、
ことを特徴とする請求項6に記載のアクチュエータ駆動回路。 - 前記積分領域パルスおよび前記駆動信号は矩形波であり、
前記検出信号は正弦波である、
ことを特徴とする請求項1から5のうちいずれか1項に記載のアクチュエータ駆動回路。 - 前記第1積分領域パルス、前記第2積分領域パルスおよび前記駆動信号は矩形波であり、
前記検出信号は正弦波である、
ことを特徴とする請求項6または7に記載のアクチュエータ駆動回路。 - 請求項1から9のうちいずれか1項に記載のアクチュエータ駆動回路を備える、
ことを特徴とする電子機器。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001258278A (ja) | 2000-03-15 | 2001-09-21 | Minolta Co Ltd | トラス型アクチュエータの駆動制御装置 |
JP2002112563A (ja) | 2000-09-29 | 2002-04-12 | Minolta Co Ltd | アクチュエータの駆動方法および装置 |
JP2002281770A (ja) | 2001-03-21 | 2002-09-27 | Minolta Co Ltd | 圧電アクチュエータ |
JP2005057890A (ja) | 2003-08-04 | 2005-03-03 | Minolta Co Ltd | アクチュエータの駆動装置 |
-
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001258278A (ja) | 2000-03-15 | 2001-09-21 | Minolta Co Ltd | トラス型アクチュエータの駆動制御装置 |
JP2002112563A (ja) | 2000-09-29 | 2002-04-12 | Minolta Co Ltd | アクチュエータの駆動方法および装置 |
JP2002281770A (ja) | 2001-03-21 | 2002-09-27 | Minolta Co Ltd | 圧電アクチュエータ |
JP2005057890A (ja) | 2003-08-04 | 2005-03-03 | Minolta Co Ltd | アクチュエータの駆動装置 |
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