JP7152126B2 - 基板加工装置および基板加工方法 - Google Patents
基板加工装置および基板加工方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7152126B2 JP7152126B2 JP2018220125A JP2018220125A JP7152126B2 JP 7152126 B2 JP7152126 B2 JP 7152126B2 JP 2018220125 A JP2018220125 A JP 2018220125A JP 2018220125 A JP2018220125 A JP 2018220125A JP 7152126 B2 JP7152126 B2 JP 7152126B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tool
- substrate processing
- oscillation
- resonance detection
- oscillation circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Drilling And Boring (AREA)
- Perforating, Stamping-Out Or Severing By Means Other Than Cutting (AREA)
Description
図4は、実施例2におけるプリント基板加工の動作を説明するためのタイミングチャートである。図3と同じものには同じ符号をつけてある。
5 インバータ、6 ロータシャフト、7 電極、8 共振検出部、
9 全体制御部、9a 折損検出部、9b 発振制御部、10 キャパシタ、
11 トランス、12 発振回路、13 共振検出回路、
Claims (6)
- 工具が連結されたロータシャフトと静電結合させるために前記ロータシャフトを回転子としたスピンドルの固定子側に前記ロータシャフトに近接して取り付けられた電極であって、アースとの間で検出されるキャパシタの端子であるものと、
前記工具の先端が基板に接触した時に前記キャパシタが共振を起こす交流を発振させる発振回路と、
前記共振が起きた場合に共振検出信号を出力する共振検出回路と、
前記共振検出信号が出力された場合の前記工具の先端位置と基準位置とを比較し工具の折損を検知する制御部と、を備える基板加工装置において、
前記制御部は、前記共振検出信号が出力されるまで前記発振回路を発振させ、その後前記発振回路の発振を停止させることを特徴とする基板加工装置。 - 請求項1に記載の基板加工装置において、前記制御部は、前記工具を下降開始させるとともに前記発振回路を発振させることを特徴とする基板加工装置。
- 請求項1あるいは2に記載の基板加工装置において、前記制御部は、前記工具を下降開始させた後、既定の時間経過したら前記発振回路を発振させることを特徴とする基板加工装置。
- 工具が連結されたロータシャフトと静電結合させるために前記ロータシャフトを回転子としたスピンドルの固定子側に前記ロータシャフトに近接して取り付けられた電極であってとアースとの間で検出されるキャパシタが、工具先端と基板とが接触した時に共振を起こす交流を発振回路から発振させ、
前記共振が起きた場合に共振検出信号を共振検出回路から出力し、
前記共振検出信号が出力された場合の前記工具の先端位置と基準位置とを比較し工具の折損を検知する基板加工方法において、
前記共振検出信号が出力されるまで前記発振回路を発振させ、その後前記発振回路の発振を停止させることを特徴とする基板加工方法。 - 請求項4に記載の基板加工方法において、前記工具を下降開始させるとともに前記発振
回路を発振させることを特徴とする基板加工方法。
- 請求項4あるいは5に記載の基板加工方法において、前記工具を下降開始させた後、既定の時間経過したら前記発振回路を発振させることを特徴とする基板加工方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018119452 | 2018-06-25 | ||
JP2018119452 | 2018-06-25 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020001155A JP2020001155A (ja) | 2020-01-09 |
JP7152126B2 true JP7152126B2 (ja) | 2022-10-12 |
Family
ID=69098105
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018220125A Active JP7152126B2 (ja) | 2018-06-25 | 2018-11-26 | 基板加工装置および基板加工方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7152126B2 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006281353A (ja) | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Hiroshima Univ | 工具の先端位置検出方法、ワークの加工方法および摩耗状態検出方法 |
JP2006315143A (ja) | 2005-05-13 | 2006-11-24 | Hiroshima Univ | 加工装置 |
JP2006320979A (ja) | 2005-05-17 | 2006-11-30 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 工作機械 |
JP2014185986A (ja) | 2013-03-25 | 2014-10-02 | Azbil Corp | 近接センサシステム |
JP2015223685A (ja) | 2014-05-30 | 2015-12-14 | ビアメカニクス株式会社 | 加工方法および加工装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6017937U (ja) * | 1983-07-15 | 1985-02-06 | 末次 輝治 | 自動工作機械の刃物故障検知装置 |
JPS61131808A (ja) * | 1984-11-27 | 1986-06-19 | Toshiba Corp | ドリル折損検出装置 |
ES2308927B1 (es) * | 2007-05-22 | 2009-10-08 | Mondragon Goi Eskola Politeknikoa Jose Maria Arizmendiarrieta, S. Coop. | Sistema de monitorizacion y control de la herramienta y cabezal de una maquina-herramienta. |
-
2018
- 2018-11-26 JP JP2018220125A patent/JP7152126B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006281353A (ja) | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Hiroshima Univ | 工具の先端位置検出方法、ワークの加工方法および摩耗状態検出方法 |
JP2006315143A (ja) | 2005-05-13 | 2006-11-24 | Hiroshima Univ | 加工装置 |
JP2006320979A (ja) | 2005-05-17 | 2006-11-30 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 工作機械 |
JP2014185986A (ja) | 2013-03-25 | 2014-10-02 | Azbil Corp | 近接センサシステム |
JP2015223685A (ja) | 2014-05-30 | 2015-12-14 | ビアメカニクス株式会社 | 加工方法および加工装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020001155A (ja) | 2020-01-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4799947B2 (ja) | 高周波電源装置および高周波電源の制御方法 | |
JP2006230129A (ja) | 非接触電力供給装置 | |
US10147653B2 (en) | Method of manufacturing a semiconductor device using a mounting apparatus | |
JP6735768B2 (ja) | 実装機 | |
JPH1058284A (ja) | 多層印刷回路板の切削機械の切削深さ制御装置及び制御方法 | |
JP2015223685A (ja) | 加工方法および加工装置 | |
JP7152126B2 (ja) | 基板加工装置および基板加工方法 | |
CN111300147B (zh) | 钻头加工装置以及钻头加工方法 | |
CN102447385A (zh) | 电源设备 | |
KR20170093101A (ko) | 와이어 본딩장치 | |
JP2014027064A (ja) | 情報管理システムおよび情報提供方法 | |
KR101775589B1 (ko) | 가공 장치 | |
JP4997123B2 (ja) | 超音波洗浄装置 | |
JP6424097B2 (ja) | ノズル検査装置、ノズル検査方法および部品搬送装置 | |
JP3835452B2 (ja) | ワイヤ放電加工機の加工電源装置 | |
CN110436127A (zh) | 一种蜂鸣器点胶自动上料装置及其控制方法 | |
JP2010113612A (ja) | 位置検出装置及び位置検出方法 | |
JP2021053792A (ja) | ドリル加工装置及びドリル加工方法 | |
JP2007287722A (ja) | 切削装置 | |
JPWO2017002154A1 (ja) | 非接触給電装置 | |
JP2022538434A (ja) | 工作機械上での機械加工のための超音波工具ユニットを制御するための方法および装置 | |
CN211284783U (zh) | 一种压电选针器感知执行一体式状态检测系统 | |
JP6196759B2 (ja) | 情報管理システムおよび情報提供方法 | |
JP2005065471A (ja) | 瞬停・瞬時電圧低下対策装置,加工装置,および瞬停・瞬時電圧低下検出方法 | |
JP5510616B1 (ja) | 放電加工装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210811 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220420 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220511 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220617 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220928 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220928 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7152126 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |