JP2020001155A - 基板加工装置および基板加工方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図4は、実施例2におけるプリント基板加工の動作を説明するためのタイミングチャートである。図3と同じものには同じ符号をつけてある。
5 インバータ、6 ロータシャフト、7 電極、8 共振検出部、
9 全体制御部、9a 折損検出部、9b 発振制御部、10 キャパシタ、
11 トランス、12 発振回路、13 共振検出回路、
Claims (6)
- 工具が連結されたロータシャフトと静電結合させるために前記ロータシャフトを回転子としたスピンドルの固定子側に前記ロータシャフトに近接して取り付けられた電極であって、アースとの間で検出されるキャパシタの端子であるものと、
前記工具の先端が基板に接触した時に前記キャパシタが共振を起こす交流を発振させる発振回路と、
前記共振が起きた場合に共振検出信号を出力する共振検出回路と、
前記共振検出信号が出力された場合の前記工具の先端位置と基準位置とを比較し工具の折損を検知する制御部と、を備える基板加工装置において、
前記制御部は、前記共振検出信号が出力されるまで前記発振回路を発振させ、その後前記発振回路の発振を停止させることを特徴とする基板加工装置。 - 請求項1に記載の基板加工装置において、前記制御部は、前記工具を下降開始させるとともに前記発振回路を発振させることを特徴とする基板加工装置。
- 請求項1あるいは2に記載の基板加工装置において、前記制御部は、前記工具を下降開始させた後、既定の時間経過したら前記発振回路を発振させることを特徴とする基板加工装置。
- 工具が連結されたロータシャフトと静電結合させるために前記ロータシャフトを回転子としたスピンドルの固定子側に前記ロータシャフトに近接して取り付けられた電極であってとアースとの間で検出されるキャパシタが、工具先端と基板とが接触した時に共振を起こす交流を発振回路から発振させ、
前記共振が起きた場合に共振検出信号を共振検出回路から出力し、
前記共振検出信号が出力された場合の前記工具の先端位置と基準位置とを比較し工具の折損を検知する基板加工方法において、
前記共振検出信号が出力されるまで前記発振回路を発振させ、その後前記発振回路の発振を停止させることを特徴とする基板加工方法。 - 請求項4に記載の基板加工装置において、前記工具を下降開始させるとともに前記発振回路を発振させることを特徴とする基板加工装置。
- 請求項4あるいは5に記載の基板加工方法において、前記工具を下降開始させた後、既定の時間経過したら前記発振回路を発振させることを特徴とする基板加工方法。
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2018
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