JP7143941B2

JP7143941B2 - 振動装置

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Publication number: JP7143941B2
Application number: JP2021514896A
Authority: JP
Inventors: 亨冨永; 尚志木原; 英和加納; 潤遠藤
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
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Filing date: 2020-04-07
Publication date: 2022-09-29
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Description

本発明は、振動を生じさせる振動装置に関する。

近年、タッチパネル等の入力機器において、利用者が押し込み操作を行った際に振動を伝えることで、利用者に押したことを実感させる触覚提示装置が提案されている。

例えば、特許文献１には、フィルム１２を用いて触覚フィードバックを利用者に与える触覚提示装置が提案されている。特許文献１において、フィルム１２は、電圧を加えることにより面方向に変形する。フィルム１２の伸縮により、フィルム１２に接続された振動部１４が面方向に振動する。

国際公開２０１９／０１３１６４号

触覚提示装置に押圧操作を検知する機能を持たせる場合、例えば法線方向の変形を検知するような押圧センサを付加する必要がある。この場合、センサは法線方向に力を受けるため、面方向に振動する振動子と重なると、振動子の動きを阻害するおそれがある。このため、押圧センサにより、振動部の振動を阻害しないようにする必要がある。

そこで、本発明の目的は、振動を阻害することなく法線方向の変形を検知できる振動装置を提供することにある。

この発明の振動装置は、面方向に振動する振動子を有する振動ユニットと、前記振動ユニットのうち平面視して前記振動子の周囲の少なくとも一部に配置された、法線方向の押圧操作を検知するセンサと、を備えることを特徴とする。

この構成では、振動子と、センサとが平面視して重ならない。このため、センサは法線方向に力を受けても、押し込まれた箇所は、振動している振動子が位置する箇所ではない。従って、センサは、振動を阻害することなく法線方向の変形を検知できる。

この発明によれば、振動を阻害することなく法線方向の変形を検知できる。

図１は、振動装置１００の構成を示す概略図である。図２は、振動装置１００の斜視図である。図３は、振動装置１００の分解斜視図である。図４（Ａ）は振動装置１００の平面図であり、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）に示すＩ－Ｉ線で切断した断面図である。図５は、センサ１３の構造の断面図である。図６（Ａ）～図６（Ｃ）は、振動装置１００の変形例を説明するための図である。図７（Ａ）および図７（Ｂ）は、振動装置１００の変形例を説明するための図である。図８は、変形例６に係る振動装置１０７の断面図である。図９は、変形例７に係る振動装置１０８の断面図である。図１０は、変形例８に係る振動装置１０９の断面図である。図１１は、変形例９に係る振動装置１１０の断面図である。図１２は、変形例１０に係る振動装置１１１の断面図である。図１３は、変形例１０に係る振動装置１１１の断面図である。

図１は、第１実施形態に係る振動装置１００の構成を示す概略図である。図１は、振動装置１００の一部を断面図で示す。図２は、振動装置１００の一例を示す、背面側から視た斜視図である。図３は、背面側から視た振動装置１００の分解斜視図である。図４（Ａ）は背面側から視た振動装置１００の平面図であり、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）に示すＩ－Ｉ線で切断した断面図である。なお、図４（Ｂ）は、振動装置１００を筐体２に設置した状態を示している。図４（Ａ）においては、筐体２およびクッション材４２は省略している。また、図１以外の各図は、回路１７および配線を省略して示している。

図１に示すように、本実施形態の振動装置１００は、振動ユニット１０、センサ１３および回路１７、タッチパネル７１を備えている。回路１７は、駆動回路１７０および検出回路１７１を備えている。振動ユニット１０およびセンサ１３については後から詳細に説明する。振動ユニット１０は駆動回路１７０に接続され、センサ１３は検出回路１７１に接続されている。タッチパネル７１は、平板状であり、ユーザのタッチ操作を受け付ける。タッチパネル７１は、振動ユニット１０の第２主面１９側に配置され、不図示の粘着剤等で接続されている。

図４（Ｂ）に示すように、振動装置１００は、電子機器等の筐体２に設置される。振動装置１００は、筐体２にクッション材４２を介して接続されている。クッション材４２は、筐体２および振動ユニット１０と比べて外力を受けた時に変形しやすい素材で形成されている。クッション材４２は、筐体２側の変形を吸収する。このため、筐体２側の変形がセンサ１３に伝わり難くなる。従って、クッション材４２は、センサ１３に対する不要な変形を抑制することができる。

図２、図３、および図４（Ａ）に示すように、振動ユニット１０は、接続部材１１、振動用フィルム１２、振動部１４、支持部１５、および枠状部材１６を有する。振動ユニット１０は、第１主面１８および第２主面１９を有している。本実施形態において、振動部１４および振動用フィルム１２は、振動子１２１を構成する。

枠状部材１６は、平面視した形状が長方形状である。枠状部材１６は、長方形状の開口２０を有する。枠状部材１６は、２つの第１開口２１と、２つの第２開口２２を有する。第１開口２１は、枠状部材１６の長手方向であるＹ方向の両端側に配置されている。第２開口２２は、枠状部材１６の短手方向であるＸ方向の両端側に配置されている。この例では、開口２０は、２つの第２開口２２を含む。第１開口２１は、略長方形状であり、Ｘ方向に沿って長い形状となっている。第２開口２２は、Ｙ方向に沿って長い略長方形状の開口である。また、第２開口２２のＹ方向の両端は、枠状部材１６の中心軸（図中のＩ－Ｉ線）に向かってさらに長方形状に延長されている。

振動部１４は、平面視して長方形状であり、開口２０の内側に配置されている。振動部１４の面積は、開口２０すなわち第２開口２２によって囲まれる面積より小さくなっている。

支持部１５は、振動部１４と枠状部材１６とを接続する。支持部１５は、振動部１４を枠状部材１６に支持する。この例では、支持部１５は、Ｘ方向に沿って長い長方形状であり、振動部１４のＹ方向の両端部で、該振動部１４を保持する。支持部１５は、振動用フィルム１２が伸縮するＹ方向に直交するＸ方向の長さが、Ｙ方向に沿った長さよりも長い。

枠状部材１６、振動部１４、および支持部１５は、同一部材（例えば、アクリル樹脂、ＰＥＴ、ポリカーボネイト、ガラスエポキシ、ＦＲＰ、金属、又はガラス等）で形成されている。金属としては、例えばＳＵＳ（ステインレス鋼材）が挙げられ、必要に応じてポリイミド等の樹脂でコーティングすることにより、絶縁を施したものであってもよい。

枠状部材１６、振動部１４、および支持部１５は、１枚の長方形状の板部材を、第１開口２１および第２開口２２の形状に沿って打抜き加工することで形成される。枠状部材１６、振動部１４、および支持部１５は、それぞれ別の部材であってもよいが、同一部材で形成されることで、容易に製造することができる。又は、同一部材で形成されることで、振動部１４の支持にゴム等の別の部材（クリープ劣化のある部材）を用いる必要がなく、長期間安定して振動部１４を保持することができる。

図３および図４（Ｂ）に示すように、振動用フィルム１２は、振動ユニット１０の第１主面１８側に接続される。詳細に説明すると、振動用フィルム１２は、接続部材１１を介して、枠状部材１６および振動部１４に接続される。振動用フィルム１２の長手方向の第１端は、枠状部材１６のＹ方向の第１端に接続される。振動用フィルム１２の第２端は、振動部１４のＹ方向の第２端に接続される。接続部材１１は、絶縁性で接着性のある素材が使用される。振動用フィルム１２は、例えば熱溶着により、接続部材１１を介して枠状部材１６に接続される。

接続部材１１は、平面視して枠状部材１６の短手方向に沿って長い長方形状である。接続部材１１は、ある程度の厚みがあり、振動用フィルム１２を振動部１４に接触させないように、ある程度離れた位置で、振動用フィルム１２と振動部１４とを接続させる。これにより、振動用フィルム１２の両主面に設けられた不図示の電極が振動部１４に接触しないため、振動用フィルム１２が伸縮して振動部１４が振動したとしても、電極が削られることがない。

振動用フィルム１２は、電圧を加えると面方向に変形することにより振動するフィルムの一例である。振動用フィルム１２は、平面視して枠状部材１６の長手方向に沿って長い長方形状である。振動用フィルム１２は、例えば、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）からなる。他にも、振動用フィルム１２は、キラル高分子からなる態様であってもよい。キラル高分子は、例えば、Ｌ型ポリ乳酸（ＰＬＬＡ）又はＤ型ポリ乳酸（ＰＤＬＡ）等を用いる。

振動用フィルム１２にＰＶＤＦを用いた場合、ＰＶＤＦは耐水性があるため、この例における振動部材を備えた電子機器をどのような湿度環境下においても同じような振動をさせることができる。

また、振動用フィルム１２にＰＬＬＡを用いた場合、ＰＬＬＡは透過性の高い材料であるため、ＰＬＬＡに付加する電極および振動部１４が透明な材料であれば、機器の内部状況を視認出来るため、製造し易くなる。また、ＰＬＬＡは、焦電性が無いため、どのような温度環境下においても同じような振動をさせることができる。振動用フィルム１２は、仮にＰＬＬＡで構成される場合、延伸方向に対して各外周辺が略４５°となるように裁断することで、圧電性を持たせる。

駆動回路１７０は、振動用フィルム１２に電圧を印加して、振動用フィルム１２を伸縮させる。振動用フィルム１２は、電圧を印加すると面方向に変形する。具体的には、振動用フィルム１２は、電圧を印加するとＹ方向に伸縮する。振動用フィルム１２が長手方向に伸縮することにより、振動部１４は、Ｙ方向に振動する。すなわち、振動子１２１は、Ｙ方向に振動する。これにより、振動用フィルム１２で生じた振動が振動部１４を介してユーザに伝達される。

振動装置１００は、４つのセンサ１３を備えている。センサ１３は、振動ユニット１０の法線方向であるＺ方向の押圧操作を検知するセンサである。センサ１３は、振動ユニット１０の第１主面１８側に接続される。センサ１３は、振動ユニット１０のうち平面視して振動子１２１の周囲に配置されている。すなわち、４つのセンサ１３は、枠状部材１６に配置されている。

４つのセンサ１３のうちの２つは、枠状部材１６の長手方向であるＹ方向の両端に配置されている。すなわち、２つのセンサ１３は、第１開口２１より枠状部材１６の端部側に配置されている。２つのセンサ１３は、略長方形状であり、Ｘ方向に沿って長い形状となっている。４つのセンサ１３のうちの他の２つは、枠状部材１６の短手方向であるＸ方向の両端に配置されている。すなわち、他の２つのセンサ１３は、第２開口２２より枠状部材１６の端部側に配置されている。他の２つのセンサ１３は、略長方形状であり、Ｙ方向に沿って長い形状となっている。このように、振動子１２１と、４つのセンサ１３とは、Ｘ－Ｙ平面において平面視して重ならない。

図５は、センサ１３の構造を詳細に示す断面図である。図５に示すように、センサ１３は、圧電フィルム５１を備える。圧電フィルム５１は、両主面に第１電極１３１および第２電極１３２が形成されている。第１電極１３１および第２電極１３２は、圧電フィルム５１に例えば蒸着法で形成される。

４つのセンサ１３の第１電極１３１および第２電極１３２は、それぞれ検出回路１７１に接続されている。各センサ１３および検出回路１７１により、押圧検出部が構成されている。

圧電フィルム５１は、圧電定数ｄ３３の大きい圧電材料で構成する。例えば、圧電フィルム５１は、ＰＶＤＦである。この場合、圧電フィルム５１は、第１電極１３１および第２電極１３２に直行するＺ方向の伸縮によって分極する。ユーザが振動装置１００にＺ方向の押圧操作を行ったとき、圧電フィルム５１は、Ｚ方向に伸縮する。検出回路１７１は、第１電極１３１および第２電極１３２を介して、圧電フィルム５１で生じた第１電極１３１および第２電極１３２間の電位差を入力する。これにより、検出回路１７１は、押圧操作を検出する。

なお、センサ１３は、ＰＶＤＦ等の圧電定数ｄ３３である圧電フィルム５１を用いる構成には限られない。センサ１３は、例えば抵抗変化式の感圧センサを用いてもよい。

ユーザが、タッチパネル７１に押圧操作を加えると、タッチパネル７１に接続されたセンサ１３にＺ方向に沿った力が加えられる。振動子１２１は、４つのセンサ１３と、互いに平面視して重ならない位置にある。タッチパネル７１が押圧操作を受け付けた場合、振動子１２１が位置する箇所には押圧操作の力は伝わらない。すなわち、ユーザが、タッチパネル７１をＺ方向に押し込んでも、中央にある振動子１２１にはＺ方向に押し込まれることはない。このため、振動子１２１は、ユーザの押圧操作によって影響をうけることなく振動することができる。従って、センサ１３は、振動子１２１の振動を阻害することなくＺ方向の変形を検知できる。

図６（Ａ）～図６（Ｃ）は、振動装置１００の変形例１～３を説明するための図であり、変形例１～３に係る振動装置１０１～１０３の平面図である。変形例１～３の説明においては、上記実施形態と異なる個所についてのみ説明し、後は省略する。

図６（Ａ）に示すように、変形例１に係る振動装置１０１は、振動子１２１の周囲を取り囲むような環状のセンサ６１を備える。すなわち、振動子１２１を中心として周囲のいずれの方向においてもセンサ６１が存在する。このように広い範囲に、センサ６１が存在するため、ユーザが振動子１２１を中心として周囲のいずれの方向の個所をＺ方向に押し込んでも、振動装置１０１は、押圧操作を検出することができる。また、ユーザが振動装置１０１における複数の個所を同時に押した場合、検出される電圧値を加算することにより、より大きな出力が得られる。

図６（Ｂ）に示すように、変形例２に係る振動装置１０２は、２つのセンサ１３を備える。２つのセンサ１３は、Ｙ方向に沿って長い形状となっている。２つのセンサ１３は、枠状部材１６の短手方向であるＸ方向の両端にのみ配置されている。従って、ユーザが振動装置１０２のＸ方向の両端側を押し込んだ場合にのみ、振動装置１０２は押圧操作を検出することができる。

図６（Ｃ）に示すように、変形例３に係る振動装置１０３は、２つのセンサ１３を備える。２つのセンサ１３は、Ｘ方向に沿って長い形状となっている。２つのセンサ１３は、枠状部材１６の長手方向であるＹ方向の両端にのみ配置されている。従って、ユーザが振動装置１０３のＹ方向の両端側を押し込んだ場合にのみ、振動装置１０３は押圧操作を検出することができる。

図７（Ａ）および図７（Ｂ）は、振動装置１００の変形例４、５を説明するための図であり、変形例４、５に係る振動装置１０４、１０５の平面図である。変形例４の説明においては、上記実施形態と異なる個所についてのみ説明し、後は省略する。変形例５の説明においては、変形例４と異なる個所についてのみ説明し、後は省略する。

図７（Ａ）に示すように、変形例４に係る振動装置１０４において、タッチパネル７１は、振動ユニット１０の第２主面１９側に配置されている。センサ１３は、振動ユニット１０の第２主面１９側に接続されている。タッチパネル７１は、センサ１３および接続部材１１を介して、振動ユニット１０の枠状部材１６に接続されている。振動子１２１は、振動ユニット１０の第１主面１８側に接続されている。このような構成の場合、後からセンサ１３およびタッチパネル７１を枠状部材１６に配置しやすい。

なお、タッチパネル７１は、回路１７の検出回路１７１に接続されていてもよい。タッチパネル７１および検出回路１７１により、タッチ検出部が構成される。タッチパネル７１は、例えばキー配列に対応した位置に設けられ、検出回路１７１によりユーザのタッチ操作を検出する。なお、タッチ検出部としては、ユーザのタッチ操作を検出する機能であればどの様な方式であってもよく、メンブレン式、静電容量式、又は圧電フィルム式等の様々な方式を用いることができる。

ユーザがタッチパネル７１をタッチすると、検出回路１７１は、ユーザのタッチ操作を検出する。例えば、駆動回路１７０は、検出回路１７１がタッチ操作を検出すると、振動用フィルム１２に駆動信号を印加して、振動部１４を振動させる。これにより、ユーザは、タッチパネル７１を押したときに振動部１４が振動するため、振動がタッチパネル７１に伝わって、ユーザにキーを「押した」と感じさせることができる。

図７（Ｂ）に示すように、変形例５に係る振動装置１０５において、センサ１３が振動ユニット１０の第１主面１８側に配置されていること以外は変形例４に係る振動装置１０４と同様である。センサ１３は振動用フィルム１２と同一の第１主面１８側に配置されているため、振動装置１０４と比べて嵩張りが少ない。従って、振動装置１０５は、振動装置１０４と比べて薄型に形成することができる。

なお、センサ１３は、本実施形態において４か所に配置され、変形例２、３において２か所に配置される例を挙げたが、これには限定されない。センサ１３は、１か所のみ、又は３か所に配置されてもよい。また、センサ１３は、同一の角を挟むように２か所に配置されてもよい。その他、センサ１３は、枠状部材１６の同一の辺に複数設けられていてもよい。

また、センサ１３は、単層でも良いし、積層しても良い。特に積層する枚数を増やすことによって、各センサ１３からの出力を加算できるため、より大きな出力を得ることができる。

次に、図８は、変形例６に係る振動装置１０７の断面図である。振動装置１０７において、センサ１３０は、枠状部材１６の第１主面１８側に配置されている。タッチパネル７１は、枠状部材１６の第２主面１９に粘着剤で接続されている。タッチパネル７１は、枠状部材１６のさらに外側でホルダ９０に粘着剤で接続されている。ホルダ９０は、タッチパネル７１を筐体２に接続するための部材である。ホルダ９０は、中央に開口を有する板状の部材である。開口の面積は、タッチパネル７１よりもわずかに小さい。タッチパネル７１は、辺縁においてホルダ９０の内周縁部に乗せられ、粘着剤で接続される。

ホルダ９０は、外周縁部において筐体２に接続される。筐体２とホルダ９０の間には、クッション材４２が配置される。筐体２とホルダ９０は、ネジ９５で強固に接続される。

また、ホルダ９０は、Ｚ軸方向に沿って突出する凸部を有する。凸部は、平面視してタッチパネル７１よりも外周に配置されている。凸部の高さは、タッチパネル７１の上面とほぼ同じかわずかに高い。

ユーザが、タッチパネル７１に押圧操作を加えると、タッチパネル７１が撓む。タッチパネル７１が撓むと、振動ユニット１０も撓み、枠状部材１６も撓む。第１主面１８に接続されたセンサ１３０も撓む。

センサ１３０は、図５に示した構造と同じ構造を有する。ただし、圧電フィルム５１は、圧電定数ｄ３１の大きいＰＶＤＦ、またはポリ乳酸で構成する。つまり、変形例６のセンサ１３０は、曲げ変形を検知する。なお、圧電フィルム５１がポリ乳酸である場合、一軸延伸方向をＸ方向およびＹ方向に対して４５度の角度を成す方向に配置する。

変形例６の振動装置１０７は、曲げ変形を検知することによりタッチパネル７１への押圧操作を検知できる。したがって、センサ１３０の下面側に筐体２等の剛体物を配置する必要がない。これにより、振動装置の厚みを薄くすることができる。

次に、図９は、変形例７に係る振動装置１０８の断面図である。図８と同じ構成については同じ符号を付す。振動装置１０８では、センサ１３０がホルダ９０の下面に配置されている。センサ１３０は、平面視してホルダ９０のうち凸部と内周縁の間に配置されている。

タッチパネル７１は、ホルダ９０の内周縁部で接続されている。したがって、ユーザが、タッチパネル７１に押圧操作を加えると、ホルダ９０のうちタッチパネル７１に接続されている位置に押圧力が加わる。これにより、ホルダ９０の内周縁側が撓み、ホルダ９０に曲げ変形が生じる。よって、センサ１３０は、タッチパネル７１に対する押圧操作を検知する。

変形例７の振動装置１０８は、振動ユニット１０にセンサ１３０が配置されていない。したがって、センサ１３０は、振動ユニット１０の振動が伝わり難い。よって、振動装置１０８は、センサ１３０の誤検知を防止することができる。

次に、図１０は、変形例８に係る振動装置１０９の断面図である。図９と同じ構成については同じ符号を付す。振動装置１０９では、タッチパネル７１は、枠状部材１６のさらに外側で接続部材９７を介してホルダ９１に接続されている。ホルダ９１は、ホルダ９０に比べて、中央部の開口を有していない点と、中央部がＺ軸方向に向かって凹んでいる点で相違する。

ユーザが、タッチパネル７１に押圧操作を加えると、接続部材９７を介して、ホルダ９１のうちタッチパネル７１に接続されている箇所に押圧力が加わる。これにより、ホルダ９１の凹み部分が撓み、曲げ変形が生じる。そして、センサ１３０は、平面視してホルダ９１のうち接続部材９７の接続箇所と凹み部分の外周縁との間に配置されている。すなわち、センサ１３０は、タッチパネル７１が撓んだ時にホルダ９１が撓む部分に配置されている。したがって、センサ１３０は、タッチパネル７１に対する押圧操作を検知する。

図１１は、変形例９に係る振動装置１１０の断面図である。この例では、センサ１３０は、タッチパネル７１に接続されている。タッチパネル７１は、不図示の筐体２に固定されている。センサ１３０は、タッチパネル７１の撓みに応じた出力をする。したがって、センサ１３０は、タッチパネル７１に対する押圧操作を検知する。

変形例９の振動装置１１０は、センサ１３０をタッチパネル７１に直接貼り付けることにより、振動ユニット１０にセンサ１３０を貼り付けるよりも薄型にすることができる。

図１２は、変形例１０に係る振動装置１１１の断面図である。この例では、センサ１３０は、タッチパネル７１に全面に接続されている。振動ユニット１０は、センサ１３０の下面に接続されている。この場合、センサ１３０の感度を高くすることができる。

また、タッチパネル７１は、静電容量センサを備えている。そこで、センサ１３０は、タッチパネル７１の中に積層することも可能である。

なお、タッチパネル７１は、さらに表示器に積層されていてもよい。したがって、センサ１３０は、静電容量センサおよび表示器に積層されていてもよい。センサ１３０は、表示器の下面側に積層されていてもよいし、圧電フィルム５１にポリ乳酸等の透明性の高い材料を用いる場合、表示器の上面側に配置されていてもよい。

また、図１３に示す様に、センサ１３０は、平面視して振動ユニット１０とタッチパネル７１との接続箇所よりも内側に配置されていてもよい。この場合、振動装置１１１は、センサ１３０の厚みの分だけ薄くなる。

最後に、本実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

２…筐体
１０…振動ユニット
１１…接続部材
１２…振動用フィルム
１３，６１，１３０…センサ
１４…振動部
１５…支持部
１６…枠状部材
１７…回路
１８…第１主面
１９…第２主面
２０…開口
２１…第１開口
２２…第２開口
４２…クッション材
５１…圧電フィルム
７１…タッチパネル
９０，９１…ホルダ
９１…ホルダ
９５…ネジ
９７…接続部材
１００，１０１，１０２，１０３，１０４，１０５，１０７，１０８，１０９，１１０，１１１…振動装置
１２１…振動子
１３１…第１電極
１３２…第２電極
１７０…駆動回路
１７１…検出回路

Claims

面方向に振動する振動子を有する振動ユニットと、
平面視で長方形状を有し、前記振動ユニットが接続されるタッチパネルであって、前記振動ユニットはタッチパネルに対して法線方向に位置し、タッチパネルは、前記振動ユニットの外側で接続部材を介してホルダに接続されており、前記ホルダには、前記タッチパネルと重なる部分において凹み部分が設けられている、タッチパネルと、
前記振動ユニットのうち平面視して前記振動子の周囲の少なくとも一部に配置された、法線方向の押圧操作を検知するセンサであって、前記ホルダのうち前記接続部材の接続箇所と前記凹み部分の外周縁との間に配置されているセンサと、を備え、
前記センサは、平面視で、前記タッチパネルの２本の短辺の中央を繋ぐ直線上に位置する、
振動装置。
前記センサは、圧電フィルムを備える、
請求項１に記載の振動装置。
前記圧電フィルムは、圧電定数ｄ３３を有する、
請求項２に記載の振動装置。
前記圧電フィルムは、ＰＶＤＦである、
請求項２又は３のいずれかに記載の振動装置。
前記振動ユニットは、第１主面および第２主面を有し、面方向に変形することにより前記振動子を振動させる振動用フィルムを、前記振動ユニットの前記第１主面側に備え、
前記センサは、前記振動ユニットの前記第１主面側に配置されている、
請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の振動装置。
前記振動ユニットは、第１主面および第２主面を有し、面方向に変形することにより前記振動子を振動させる振動用フィルムを、前記振動ユニットの前記第１主面側に備え、
前記タッチパネルは、前記振動ユニットの前記第２主面側に配置され、タッチ操作を受け付ける、
請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の振動装置。