JP7140164B2 - 貴金属スパッタリングターゲット - Google Patents
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Description
(スパッタリングターゲットの表面粗さ)
表面粗さの測定に使用した装置及び測定箇所を以下に示す。
測定装置:接触式表面粗さ測定器(東京精密製)
型式:SURFCOM 130A
JIS規格:JIS B 0601-2001
表面粗さの測定に供するサンプルは、スパッタリングターゲットの表層部(スパッタされる面)について、図7の●に示すように、中心部及び半径の約1/4の点(外周に近い側)の計2か所から抽出する。抽出した2か所のサンプルについて、表面粗さを測定し、その平均値を求めた。
炭素含有量の測定に使用した装置及び測定箇所を以下に示す。
測定装置:堀場製作所、EMIA-920V
分析方法:非分散赤外線吸収法
炭素含有量の測定に供するサンプルは、スパッタリングターゲットの2箇所から端材を切り出す。切り出したサンプルについて、酸洗浄後、アセトン洗浄し、乾燥させた。洗浄後、2つのサンプルについて、炭素含有量を測定し、その平均値を求めた。なお、スパッタリングターゲットの極端な場所(例えば、外周端など)からの端材の切り出しは避けた。
純度4NのAu原料を高純度アルミナ坩堝を用いて真空溶解し、Auのインゴットを作製した。得られたAuのインゴットを鍛造、圧延、熱処理を施して、スパッタリングターゲット形状に加工した。その後、スパッタリングターゲットを旋盤加工及びCMP研磨を行うことにより、スパッタされる面の表面粗さを調整した。また、インゴットからスパッタリングターゲット形状に加工する際に潤滑油等を使用せず、炭素混入を防止したものを基準のサンプルとし、炭素含有量と異常放電の関係性を調査するため、溶解の際にカーボン粉末を一定量添加して、スパッタリングターゲット中の炭素含有量を調整した。
(プレ・スパッタの条件)
スパッタ装置:電源内蔵型マグネトロン方式
神港精機製(型式:SDH10311)
DC電源:京三製作所(型式:HPK06ZI)
パワー:0.5kw~1.5kW
圧力:0.2~0.4Pa
ウエハーサイズ:6インチ
ターゲットサイズ:8インチ
プレ・スパッタ時間:20分
純度4NのPt原料を高純度アルミナ坩堝を用いて真空溶解し、Ptのインゴットを作製した。得られたPtインゴットを鍛造、圧延、熱処理を施して、スパッタリングターゲット形状に加工した。その後、スパッタリングターゲットを旋盤加工及びCMP研磨を行うことにより、スパッタされる面の表面粗さを調整した。また、インゴットからターゲット形状に加工する際に潤滑油等を使用せず、炭素混入を防止したものを基準サンプルとし、炭素含有量と異常放電の関係性を調べるために溶解時にカーボン粉末を一定量添加して、スパッタリングターゲット中の炭素含有量を調整した。
純度3N5のPd原料をアルミナ坩堝を用いて真空溶解し、Pdのインゴットを作製した。得られたPdインゴットを鍛造、圧延、熱処理を施して、スパッタリングターゲット形状に加工した。その後、スパッタリングターゲットを旋盤加工及びCMP研磨を行うことにより、スパッタされる面の表面粗さを調整した。また、Pdインゴットからターゲット形状に加工する際に潤滑油等を使用せず、炭素混入を防止したものを基準サンプルとし、炭素含有量と異常放電の関係性を調べるために溶解時にカーボン粉末を一定量添加して、スパッタリングターゲット中の炭素含有量を調整した。
純度4N5のAg原料を高純度カーボン坩堝を用いて真空溶解し、Agのインゴットを作製した。得られたAgインゴットを鍛造、圧延、熱処理を施して、スパッタリングターゲット形状に加工した。その後、スパッタリングターゲットを旋盤加工及びCMP研磨を行うことにより、スパッタされる面の表面粗さを調整した。また、Agインゴットからターゲット形状に加工する際に潤滑油等を使用せず、炭素混入を防止したものを基準サンプルとし、炭素含有量と異常放電の関係性を調べるために溶解時にカーボン粉末を一定量添加して、スパッタリングターゲット中の炭素含有量を調整した。
Claims (4)
- スパッタされる面の表面粗さRaが2μm以下であり、炭素含有量が1wtppm以下であることを特徴とする金スパッタリングターゲット。
- スパッタされる面の表面粗さRaが2μm以下であり、炭素含有量が2wtppm以下であることを特徴とする白金スパッタリングターゲット。
- スパッタされる面の表面粗さRaが2μm以下であり、炭素含有量が3wtppm以下であることを特徴とするパラジウムスパッタリングターゲット。
- スパッタされる面の表面粗さRaが2μm以下であり、炭素含有量が2wtppm以下であることを特徴とする銀スパッタリングターゲット。
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