JP7136711B2 - シリカガラスレンズの製造方法及びシリカガラスレンズ - Google Patents
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Description
フランジ部裏面の表面粗さRaも50nm以下であることが好ましい。50nmよりも大きいと金属層を平坦に形成する際に支障が出やすくなるからである。
このようなシリカ粉原料を用い、表面粗さが0.05μm以下の成形型を用いれば、表面粗さの小さなシリカガラスレンズを得ることが可能である。
なお、金属層用アライメントは、成形型で設けず、硬化および乾燥後に改めてドリルなどで設けても良い。
真球度0.97、平均粒径2μmの球状シリカ粉を原料として、分散剤及びゲル化剤の硬化剤としてのポリエチレンイミン(日本触媒)1wt%添加し、イオン交換水を加えてスラリー化して、ボールミルにて50rpmで24時間撹拌した。撹拌後は、さらにゲル化剤のモノマーとしてエポキシ(ナガセケムテックス)を1wt%添加し、真空脱泡しながら混合した。得られたスラリーを外形58.8mm(縦)×58.8mm(横)、深さ2.4mmの底面に曲率半径1.2mmの球面レンズが3.6mmピッチで12×12で配列された凹み形状を持つ表面粗さRaが0.05μmのシリコーンゴム製の成形型に鋳込んだ。なお、成形型には、角に位置するレンズの凹み形状からX方向に3mm離れた位置に、外形直径が1mm、高さが0.5mmの金属層用アライメントを形成するための突起を4つ設けた。スラリーを成形型に鋳込んだ時の温度は25℃であり、そのまま24時間おいて硬化及び乾燥させ、成形型から脱型し、レンズアレイ形状成形体20を得た(成形体形成工程;ステップS101)。
実施例と同形状のフランジ付きレンズ形状を機械加工でシリカガラスのブロックから切り出した。フランジの辺の長さは、縦横共に3mmである。加工後、実施例と同様に、裏面全体に、厚み100nmのCr膜、厚み200nmのNi膜、厚み350nmのAu膜をこの順でスパッタリング法にて成膜し、マスクレス露光機にて露光及び現像を行い、レジストパターンを形成し、エッチングによりフランジの一部に対応して金属層を形成した。得られたシリカガラスレンズをマイクロスコープにて観察したところ、金属層の位置精度は±0.2mmで金属層の位置ズレを確認した。
Claims (6)
- シリカガラスよりなるレンズ部とフランジ部とを有し、前記フランジ部の裏面に金属層が形成されたシリカガラスレンズの製造方法であって、
シリカ粉原料と、分散剤と、ゲル化剤と、ゲル化剤の硬化剤と、水とを含むスラリーを成形型に流し込み、ゲルキャスト法により、フランジ成形部に複数のレンズ成形部がアレイ状に配列されたレンズアレイ形状成形体を形成する成形体形成工程と、
前記成形体形成工程の後、前記レンズアレイ形状成形体を焼結し、フランジ焼結部に複数のレンズ焼結部がアレイ状に配列されたレンズアレイ形状焼結体を得る焼結体形成工程と、
前記焼結体形成工程の後、前記レンズアレイ形状焼結体に対し、前記フランジ焼結部の裏面を必要に応じて平坦に加工し、少なくともその一部に、乾式めっきにより金属層を形成する金属層形成工程と、
前記金属層形成工程の後、前記レンズアレイ形状焼結体を前記レンズ焼結部毎に個片化するように切断し、個片化した前記レンズ焼結部よりなるレンズ部と前記フランジ焼結部よりなるフランジ部とを有するシリカガラスレンズを形成する切断工程と
を含むことを特徴とするシリカガラスレンズの製造方法。 - 前記フランジ部の辺の長さは2.5mm以上5mm以下、前記フランジ部の厚みは0.3mm以上、前記レンズ部の高さは0.75mm以上、前記レンズ部の裏面の表面粗さは50nm、前記フランジ部の平行度は100μm以下であることを特徴とする請求項1記載のシリカガラスレンズの製造方法。
- 前記金属層形成工程において、乾式めっきは、真空蒸着法、スパッタリング法、又は、イオンプレーティング法であることを特徴とする請求項1又は請求項2記載のシリカガラスレンズの製造方法。
- 前記レンズアレイ形状焼結体のフランジ焼結部の厚みは1mm以上、辺の長さは30mm以上とすることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1に記載のシリカガラスレンズの製造方法。
- 前記成形体形成工程において、前記レンズアレイ形状成形体に、前記金属層を形成する際に位置合わせをするための金属層用アライメントを形成することにより、前記レンズアレイ形状焼結体に金属層用アライメントを形成することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1に記載のシリカガラスレンズの製造方法。
- 前記シリカ粉原料は、真球度が0.9以上、平均粒径が3μm以下であることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1に記載のシリカガラスレンズの製造方法。
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