JP7130950B2 - 圧電素子及び液体吐出ヘッド - Google Patents
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Description
結晶粒を含む第1電極と、
カリウム、ナトリウム及びニオブを含み、前記第1電極の上方に設けられた圧電体層と、
前記圧電体層の上方に設けられた第2電極と、
を備え、
前記結晶粒の平均粒径が550nm未満である。
前記第1電極は、白金族元素を主成分としてもよい。
前記第1電極は、白金を主成分としてもよい。
前記第1電極は、カリウム又はナトリウムを含んでもよい。
前記第2電極は、白金族元素を主成分とし、
カリウム又はナトリウムを含んでもよい。
前記結晶粒の平均粒径が150nm以下であってもよい。
上述の圧電素子を含む。
本実施形態に係る圧電素子について、図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る圧電素子100を模式的に示す断面図である。本実施形態の圧電素子100は、第1電極10と、第1電極10の上方に設けられた圧電体層20と、圧電体層の上方に設けられた第2電極30と、を備える。
第1電極10は、圧電体層20に電圧を印加するための一方の電極である。第1電極10は、圧電体層20の下に設けられた下部電極と呼ぶこともできる。図示の例では、第1
電極10は、基体2(振動板230)の上に設けられている。
上である。
圧電体層20は、第1電極10の上方に設けられる。図示の例では、圧電体層20は、第1電極10上に設けられている。圧電体層20の膜厚は、例えば、100nm以上3μm以下である。圧電体層20は、第1電極10と第2電極30との間に電圧が印加されることにより、変形することができる。圧電体層20は、ペロブスカイト型の結晶構造を含んでおり、電圧が印加されることにより電気機械変換効果を発現する。
いる)よりも分子半径が大きく、形成される結晶の格子間隔に、より適合しにくい。その観点から、カリウム、ナトリウムのうち、カリウムの原料をより多く仕込むことがより好ましい。
第2電極30は、圧電体層20の上方に設けられる。図示の例では、第2電極30は、圧電体層20上に設けられている。第2電極30は、圧電体層20に電圧を印加するための他方の電極である。第2電極30は、圧電体層20の上に設けられた上部電極である。
圧電素子100は、例えば、基体2上に形成される。基体2は、例えば、半導体、絶縁体などで形成された平板である。基体2は、単層であっても、複数の層が積層された構造であってもよい。基体2は、上面が平面的な形状であれば内部の構造は限定されず、例えば、内部に空間等が形成された構造であってもよい。
次に、本実施形態に係る圧電素子100の製造方法について説明する。
次に、本実施形態に係る液体吐出ヘッドについて、図面を参照しながら説明する。図2は、本実施形態に係る液体吐出ヘッド200を模式的に示す分解斜視図である。図3は、本実施形態に係る液体吐出ヘッド200を模式的に示す平面図である。図4は、本実施形
態に係る液体吐出ヘッド200を模式的に示す図3のIX-IX線断面図である。なお、図2~図4では、互いに直交する3軸として、X軸、Y軸、及びZ軸を図示している。
1電極10のY軸方向の大きさは、圧力発生室211のY軸方向の大きさよりも小さい。第1電極10のX軸方向の大きさは、圧力発生室211のX軸方向の大きさよりも大きい。X軸方向において、第1電極10の両端部は、圧力発生室211の両端部より外側に位置している。第1電極10の-X軸方向側の端部には、リード電極202が接続されている。
以下、本発明を実験例によってさらに具体的に説明するが、本発明はこれらの実験例に限定されるものではない。
シリコン基板に、酸化シリコン層及び酸化ジルコニウム層を積層し、これを各実験に用いる基板として準備した。基板を、RFマグネトロン式スパッタ装置(キャノンアネルバ株式会社製、型番:FC7000)のチャンバーに入れ、アルゴンガス流量50sccm、チャンバー内圧力2Pa、基板-ターゲット間距離100mm、電力200Wとし、ターゲットに白金を用いて、基板温度を表1に示す温度に変更して各基板に第1電極を成膜した。第1電極の結晶粒径は、主に基板温度、チャンバー内のガス圧力、電力に依存し、基板温度が高いと粒径は大きく、チャンバー内ガス圧が低いと粒径は大きく、電力が高いと粒径は大きくなる傾向がある。粒径制御はこれらの因子を最適化することで、効率性、結晶配向性に影響する因子である成膜速度とマチングする条件で行った。各基板温度で成膜した第1電極のSEM(株式会社日立ハイテクノロジーズ製、型番:S-4700)を用いた観察結果を図5、図6に示す(図中に基板温度を併記した。)。また、各基板温度で成膜した第1電極の結晶粒の平均粒径を表1に併せて記載した。平均粒径は、2000nm×2000nm角のSEM画像内に完全に収まった結晶粒を5個を無作為に選択し、選択された各結晶粒について、最大差し渡しをそれぞれ測定しその平均値を、第1電極の結晶粒の平均粒径とした。
各第1電極上に、圧電体層を表2に示すAサイト元素過剰比で成膜し、さらに第2電極を白金スパッタにより形成した。得られた積層体の断面をTEM-EDX(透過型電子顕
微鏡-エネルギー分散型X線分析、FEI製、型番:TecnaiG2F30)にて観察し、カリウム及びナトリウムの分布状態を評価した結果を図7に示す。図中白い点状に見えるのが、カリウム、ナトリウムの原子または集合した原子団である。カリウム、ナト
リウムは圧電体層内に分布するのは当然であるが、カリウムが第1電極層内、第1電極層の下部に位置する密着層内、第2電極層内にも存在しているのが確認できる。ナトリウムも同様に圧電体層の外部への拡散が認められる。但し、ナトリウムの密着層内への拡散量はカリウム程には多くない。第1電極層内、第2電極層内及び密着層内へのカリウム、ナトリウムの拡散量を、この図7に示した断面TEM-EDX像を用いて評価した。
上記「4.2.」で得られた積層体における第1電極と基板との密着力を薄膜密着強度測定機(フォトテクニカ株式会社製、型番:RomulusIV)を用いてセバスチャン法により測定した。また、基板のシリコンをエッチングして、酸化シリコン、酸化ジルコニウム、第1電極、圧電体層及び第2電極の積層体(振動板)を形成し、その固有振動数を測定した。振動板の固有振動数は、ドップラー変位計(Polytec社製、型番:NLV-2500)を用いて振動板の残留振動の周期を測定することで求めた。又はインピーダンス・アナライザー(Agilent社製、型番:4294A)を用いて、機械的共振(固有振動)と同期する、電気的共振時の交流電源の周波数から求めた。振動板の固有振動の絶対値は、振動板を構成する膜厚、ヤング率に左右されるが、振動板を構成する膜をスパッタ法、液相法何れで形成しても、その膜厚変動は1nm未満に制御できる。膜厚変動による固有振動数の変動よりも、第1電極層内、第2電極層内に拡散したカリウム、ナトリウムの拡散量の変動による電極層のヤング率の変動の方が、固有振動数の変動即ち製品特性への影響が大きい。振動板の固有振動数の変動は、即ちアクチュエーターの曲げ剛性の変動要因になり、変位特性に影響する。電極層内への拡散量は前述した如く、電極を構成する結晶粒径(粒界密度と緻密性)に依存するから、製品特性は電極の粒径に依存することになる。電極の結晶粒径と振動板の固有振動数の変動、第1電極と基板との密着力の測定結果を表1に示した。
表1に示すように、第1電極の白金の結晶粒の平均粒径が550nm未満である実験1~12では、第1電極と基板との密着力はいずれも良好であった。このことから、結晶粒界でアルカリ金属が十分にトラップされていると考えられる。これに対して平均粒径が550nm以上の実験13~16では、第1電極と基板との密着力はいずれも低下しているとともに、誤差(不均一性)も大きくなっていた。
Claims (6)
- 結晶粒を含む第1電極と、
カリウム、ナトリウム及びニオブを含み、前記第1電極の上方に設けられた圧電体層と、
前記圧電体層の上方に設けられた第2電極と、
を備え、
前記結晶粒の平均粒径が1nm以上20nm以下であり、
前記第1電極が、カリウム及びナトリウムを含む、圧電素子。 - 請求項1において、
前記第1電極は、白金族元素を主成分とする、圧電素子。 - 請求項1又は請求項2において、
前記第1電極は、白金を主成分とする、圧電素子。 - 請求項1ないし請求項3のいずれか一項において、
前記第2電極は、白金族元素を主成分とし、
カリウム及びナトリウムを含む、圧電素子。 - 請求項1ないし請求項4のいずれか一項において、
前記第2電極は、白金を主成分とする、圧電素子。 - 請求項1ないし請求項5のいずれか一項に記載の圧電素子を含む、液体吐出ヘッド。
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