JP7130553B2 - 観察または測定装置、及び、観察または測定方法 - Google Patents
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Description
試料ステージ3が摩擦を駆動力とするアクチュエータ41によって駆動される場合、試料ステージ3が加速度移動するときに、アクチュエータ41はステージガイド42に大きな摩擦力を及ぼす。例えば、試料2の観察または測定位置を変更する場合、次の観察または測定位置までの試料ステージ3の移動速度は、次の位置までの移動時間tに対して、加速、定速、及び、減速を伴う図6Aに示すような速度パターン(台形速度制御と呼ばれる)となるように設定される。
Claims (5)
- 試料を載置する試料ステージと、
複数の座標で順次観察または測定を行うために、摩擦力で前記試料ステージを駆動し、前記試料を順次移動させる駆動機構と、
前記試料ステージの移動履歴を取得し、保持する移動履歴保持部と、
前記試料における前記複数の座標において前記観察または前記測定を実行させるとともに、保持された前記移動履歴に基づき、新たに前記観察または前記測定を行うための前記試料ステージ上における前記試料の向きまたは位置を決定する制御部と、
前記決定に基づいて、前記試料の前記向きまたは前記位置を変更して前記試料を前記試料ステージ上に載置する位置変更機構と、
を備える、観察または測定装置。 - 前記移動履歴は、前記試料ステージの移動状態に基づく重み付けを含む、請求項1に記載の観察または測定装置。
- 決定された前記向きまたは前記位置に基づき、新たな前記観察または前記測定を行う前記複数の座標を座標変換する座標変換部を、さらに有する、請求項1又は請求項2に記載の観察または測定装置。
- 位置変更機構は、前記試料を載置するテーブルを含み、前記テーブルにより回転させた前記試料を前記試料ステージ上に搬送する、請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の観察または測定装置。
- 複数の座標において観察または測定を行うために、試料を載置する試料ステージを、摩擦力で駆動し、前記試料を順次移動させ、
前記試料ステージの移動履歴を取得し、保持し、
前記移動履歴に基づき、新たに前記観察または前記測定を行うための前記試料ステージ上における前記試料の向きまたは位置を決定し、
前記決定に基づき、新たな前記観察または前記測定を行う前記試料の前記向きまたは前記位置を変更して前記試料ステージ上に載置することにより、前記試料ステージ上における前記試料の前記向きまたは前記位置を変更する、
ことを備える、観察または測定方法。
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