JP2020107504A - 観察または測定装置、及び、観察または測定方法 - Google Patents
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Abstract
Description
試料ステージ3が摩擦を駆動力とするアクチュエータ41によって駆動される場合、試料ステージ3が加速度移動するときに、アクチュエータ41はステージガイド42に大きな摩擦力を及ぼす。例えば、試料2の観察または測定位置を変更する場合、次の観察または測定位置までの試料ステージ3の移動速度は、次の位置までの移動時間tに対して、加速、定速、及び、減速を伴う図6Aに示すような速度パターン(台形速度制御と呼ばれる)となるように設定される。
Claims (5)
- 観察または測定する試料を載置する試料ステージと、
摩擦力で前記試料ステージを駆動し、前記試料を観察または測定する位置、条件を含む第1のジョブに基づき順次移動させる駆動機構と、
前記試料ステージの位置毎の移動履歴を取得し、保持する移動履歴保持部と、
前記移動履歴と、新たな観察または測定において定められた第2のジョブとに基づき、前記試料ステージにおける前記試料の位置を決定し、前記第2のジョブにより観察または測定を実行させる制御部と、
を備え、
前記駆動機構は、決定された前記位置に前記試料を載置した前記試料ステージを順次移動させる、
観察または測定装置。 - 前記移動履歴は、前記試料ステージの移動状態に基づく重み付けを含む、請求項1に記載の観察または測定装置。
- 前記位置に基づき、前記新たな観察または測定において定められた観察または測定する位置を座標変換する座標変換部を、さらに有する、請求項1又は請求項2に記載の観察または測定装置。
- 決定された前記位置は、回転移動された位置である、請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の観察または測定装置。
- 試料を観察または測定する位置、条件を含む第1のジョブを入力し、
試料を載置する試料ステージを、摩擦力で駆動し、前記第1のジョブに基づき順次移動させ、
前記試料ステージの位置毎の通過回数を含む移動履歴を取得し、保持し、
前記移動履歴と、新たな観察または測定において定められた第2のジョブとに基づき、前記試料ステージにおける前記試料の位置を決定し、
前記試料を決定された前記位置に移動させた後、前記新たな観察または測定における第2のジョブに基づき観察または測定を行う、
ことを備える、観察または測定方法。
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