JP7127610B2 - 積層型コイル部品 - Google Patents

Description

本発明は、積層型コイル部品に関する。

近年の電気機器の通信速度の高速化、及び、小型化に応じて、積層インダクタには高周波帯（例えば、６０ＧＨｚ以上のＧＨｚ帯）での高周波特性が充分であることが求められている。
積層型コイル部品として、例えば、特許文献１には、絶縁性部材の積層方向とコイルの軸方向が実装面に対して平行である積層型インダクタが開示されている。
特許文献１の図２には、コイル導体が１／２パターン（コイルの１ターンを構成するためのコイル導体の積層数が２であるパターン）であり、コイルの繰り返し形状が長方形である構成が開示されている。

特開平９－１２９４４７号公報

特許文献１の積層型インダクタにおいては、外部電極は積層体の両端部へのスパッタリング、真空蒸着等の手段によって形成されている。しかし、実装面には外部電極が配置されていないので実装性に劣ると考えられる。

そこで、実装性を向上させるために実装面に外部電極を設けることが考えられるが、実装面に外部電極を設けると、外部電極とコイル導体の間に浮遊容量が発生するので、高周波特性の低下につながるおそれがある。

本発明は上記の問題を解決するためになされたものであり、実装性に優れ、かつ、高周波特性に優れる積層型コイル部品を提供することを目的とする。

本発明の積層型コイル部品は、複数の絶縁層が長さ方向に積層されてなり、内部にコイルを内蔵する積層体と、上記コイルに電気的に接続されている第１の外部電極及び第２の外部電極と、を備え、上記コイルは、上記絶縁層とともに上記長さ方向に積層された複数のコイル導体が電気的に接続されてなり、上記積層体は、上記長さ方向において相対する第１の端面及び第２の端面と、上記長さ方向に直交する高さ方向において相対する第１の主面及び第２の主面と、上記長さ方向及び上記高さ方向に直交する幅方向において相対する第１の側面及び第２の側面と、を有し、上記第１の外部電極は、上記第１の端面の一部と上記第１の主面の一部とを延伸して覆い、上記第２の外部電極は、上記第２の端面の一部と上記第１の主面の一部とを延伸して覆い、上記第１の主面は、実装面であり、上記積層体の積層方向と上記コイルの軸方向とは、上記第１の主面と平行であり、上記コイル導体の繰り返し形状を積層方向から平面視したときに、上記コイル導体の繰り返し形状は非円形であり、上記第１の主面に対向する上記コイル導体と、上記第１の主面との間の距離が一定でない、ことを特徴とする。

本発明によれば、実装性に優れ、かつ、高周波特性に優れる積層型コイル部品を提供することができる。

図１は、本発明の積層型コイル部品の一例を模式的に示す斜視図である。 図２（ａ）は、図１に示す積層型コイル部品の側面図であり、図２（ｂ）は、図１に示す積層型コイル部品の正面図であり、図２（ｃ）は、図１に示す積層型コイル部品の底面図である。 図３は、積層型コイル部品を構成する積層体の一例を模式的に示す分解斜視図である。 図４は、積層型コイル部品を構成する積層体の一例を模式的に示す分解平面図である。 図５は、コイル導体の繰り返し形状を積層方向から平面視した形状を示す模式図である。 図６は、積層型コイル部品を構成する積層体の内部構造の一例を模式的に示す断面図である。 図７（ａ）は実施例１の試料のコイル導体の繰り返し形状を示す模式図であり、図７（ｂ）は比較例１の試料のコイル導体の繰り返し形状を示す模式図である。 図８は、透過係数Ｓ２１を測定する方法を模式的に示す図である。 図９は、実施例１及び比較例１における透過係数Ｓ２１を示すグラフである。

以下、本発明の積層型コイル部品について説明する。
しかしながら、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を変更しない範囲において適宜変更して適用することができる。なお、以下において記載する個々の望ましい構成を２つ以上組み合わせたものもまた本発明である。

図１は、本発明の積層型コイル部品の一例を模式的に示す斜視図である。
図２（ａ）は、図１に示す積層型コイル部品の側面図であり、図２（ｂ）は、図１に示す積層型コイル部品の正面図であり、図２（ｃ）は、図１に示す積層型コイル部品の底面図である。

図１、図２（ａ）、図２（ｂ）及び図２（ｃ）に示す積層型コイル部品１は、積層体１０と第１の外部電極２１と第２の外部電極２２とを備えている。積層体１０は、６面を有する略直方体形状である。積層体１０の構成については後述するが、複数の絶縁層が長さ方向に積層されてなり、内部にコイルを内蔵している。第１の外部電極２１及び第２の外部電極２２は、それぞれ、コイルに電気的に接続されている。

本発明の積層型コイル部品及び積層体では、長さ方向、高さ方向、幅方向を、図１におけるｘ方向、ｙ方向、ｚ方向とする。ここで、長さ方向（ｘ方向）と高さ方向（ｙ方向）と幅方向（ｚ方向）は互いに直交する。

図１、図２（ａ）、図２（ｂ）及び図２（ｃ）に示すように、積層体１０は、長さ方向（ｘ方向）に相対する第１の端面１１及び第２の端面１２と、長さ方向に直交する高さ方向（ｙ方向）に相対する第１の主面１３及び第２の主面１４と、長さ方向及び高さ方向に直交する幅方向（ｚ方向）に相対する第１の側面１５及び第２の側面１６とを有する。

図１に示すように、積層体１０では、長さ方向（ｘ方向）に平行、かつ、第１の端面１１から第２の端面１２までを貫通するコイル軸Ａが仮定される。
コイル軸Ａが伸びる方向は、積層体に内蔵されるコイルの軸方向でもあり、コイルの軸方向及び積層体の積層方向は、実装面である第１の主面１３と平行となっている。

図１には示されていないが、積層体１０は、角部及び稜線部に丸みが付けられていることが好ましい。角部は、積層体の３面が交わる部分であり、稜線部は、積層体の２面が交わる部分である。

第１の外部電極２１は、図１及び図２（ｂ）に示すように、積層体１０の第１の端面１１の一部を覆い、かつ、図１及び図２（ｃ）に示すように、第１の端面１１から延伸して第１の主面１３の一部を覆って配置されている。図２（ｂ）に示すように、第１の外部電極２１は、第１の端面１１のうち、第１の主面１３と交わる稜線部を含む領域を覆っているが、第２の主面１４と交わる稜線部を含む領域は覆っていない。そのため、第２の主面１４と交わる稜線部を含む領域では、第１の端面１１が露出している。また、第１の外部電極２１は、第２の主面１４を覆っていない。

なお、図２（ｂ）では、積層体１０の第１の端面１１を覆う部分の第１の外部電極２１の高さは一定であるが、積層体１０の第１の端面１１の一部を覆う限り、第１の外部電極２１の形状は特に限定されない。例えば、積層体１０の第１の端面１１において、第１の外部電極２１は、端部から中央部に向かって高くなる山なり形状であってもよい。また、図２（ｃ）では、積層体１０の第１の主面１３を覆う部分の第１の外部電極２１の長さは一定であるが、積層体１０の第１の主面１３の一部を覆う限り、第１の外部電極２１の形状は特に限定されない。例えば、積層体１０の第１の主面１３において、第１の外部電極２１は、端部から中央部に向かって長くなる山なり形状であってもよい。

図１及び図２（ａ）に示すように、第１の外部電極２１は、さらに、第１の端面１１及び第１の主面１３から延伸して第１の側面１５の一部及び第２の側面１６の一部を覆って配置されていてもよい。この場合、図２（ａ）に示すように、第１の側面１５及び第２の側面１６を覆う部分の第１の外部電極２１は、いずれも、第１の端面１１と交わる稜線部及び第１の主面１３と交わる稜線部に対して斜めに形成されていることが好ましい。なお、第１の外部電極２１は、第１の側面１５の一部及び第２の側面１６の一部を覆って配置されていなくてもよい。

第２の外部電極２２は、積層体１０の第２の端面１２の一部を覆い、かつ、第２の端面１２から延伸して第１の主面１３の一部を覆って配置されている。第１の外部電極２１と同様、第２の外部電極２２は、第２の端面１２のうち、第１の主面１３と交わる稜線部を含む領域を覆っているが、第２の主面１４と交わる稜線部を含む領域は覆っていない。そのため、第２の主面１４と交わる稜線部を含む領域では、第２の端面１２が露出している。また、第２の外部電極２２は、第２の主面１４を覆っていない。

第１の外部電極２１と同様、積層体１０の第２の端面１２の一部を覆う限り、第２の外部電極２２の形状は特に限定されない。例えば、積層体１０の第２の端面１２において、第２の外部電極２２は、端部から中央部に向かって高くなる山なり形状であってもよい。また、積層体１０の第１の主面１３の一部を覆う限り、第２の外部電極２２の形状は特に限定されない。例えば、積層体１０の第１の主面１３において、第２の外部電極２２は、端部から中央部に向かって長くなる山なり形状であってもよい。

第１の外部電極２１と同様、第２の外部電極２２は、さらに、第２の端面１２及び第１の主面１３から延伸して第１の側面１５の一部及び第２の側面１６の一部を覆って配置されていてもよい。この場合、第１の側面１５及び第２の側面１６を覆う部分の第２の外部電極２２は、いずれも、第２の端面１２と交わる稜線部及び第１の主面１３と交わる稜線部に対して斜めに形成されていることが好ましい。なお、第２の外部電極２２は、第１の側面１５の一部及び第２の側面１６の一部を覆って配置されていなくてもよい。

以上のように第１の外部電極２１及び第２の外部電極２２が配置されているため、積層型コイル部品１を基板上に実装する場合には、積層体１０の第１の主面１３が実装面となる。

本発明の積層型コイル部品のサイズは特に限定されないが、０６０３サイズ、０４０２サイズ又は１００５サイズであることが好ましい。

本発明の積層型コイル部品が０６０３サイズである場合、積層体の長さ（図２（ａ）中、両矢印Ｌ_１で示される長さ）は、０．６３ｍｍ以下であることが好ましく、０．５７ｍｍ以上であることが好ましい。
本発明の積層型コイル部品が０６０３サイズである場合、積層体の幅（図２（ｃ）中、両矢印Ｗ_１で示される長さ）は、０．３３ｍｍ以下であることが好ましく、０．２７ｍｍ以上であることが好ましい。
本発明の積層型コイル部品が０６０３サイズである場合、積層体の高さ（図２（ｂ）中、両矢印Ｔ_１で示される長さ）は、０．３３ｍｍ以下であることが好ましく、０．２７ｍｍ以上であることが好ましい。

本発明の積層型コイル部品が０６０３サイズである場合、積層型コイル部品の長さ（図２（ａ）中、両矢印Ｌ_２で示される長さ）は、０．６３ｍｍ以下であることが好ましく、０．５７ｍｍ以上であることが好ましい。
本発明の積層型コイル部品が０６０３サイズである場合、積層型コイル部品の幅（図２（ｃ）中、両矢印Ｗ_２で示される長さ）は、０．３３ｍｍ以下であることが好ましく、０．２７ｍｍ以上であることが好ましい。
本発明の積層型コイル部品が０６０３サイズである場合、積層型コイル部品の高さ（図２（ｂ）中、両矢印Ｔ_２で示される長さ）は、０．３３ｍｍ以下であることが好ましく、０．２７ｍｍ以上であることが好ましい。

本発明の積層型コイル部品が０６０３サイズである場合、積層体の第１の主面を覆う部分の第１の外部電極の長さ（図２（ｃ）中、両矢印Ｅ_１で示される長さ）は、０．１２ｍｍ以上、０．２２ｍｍ以下であることが好ましい。同様に、積層体の第１の主面を覆う部分の第２の外部電極の長さは、０．１２ｍｍ以上、０．２２ｍｍ以下であることが好ましい。
なお、積層体の第１の主面を覆う部分の第１の外部電極の長さ、及び、積層体の第１の主面を覆う部分の第２の外部電極の長さが一定でない場合、最も長い部分の長さが上記範囲にあることが好ましい。

本発明の積層型コイル部品が０６０３サイズである場合、積層体の第１の端面を覆う部分の第１の外部電極の高さ（図２（ｂ）中、両矢印Ｅ_２で示される長さ）は、０．１０ｍｍ以上、０．２０ｍｍ以下であることが好ましい。同様に、積層体の第２の端面を覆う部分の第２の外部電極の高さは、０．１０ｍｍ以上、０．２０ｍｍ以下であることが好ましい。この場合、外部電極に起因する浮遊容量を低減することができる。
なお、積層体の第１の端面を覆う部分の第１の外部電極の高さ、及び、積層体の第２の端面を覆う部分の第２の外部電極の高さが一定でない場合、最も高い部分の高さが上記範囲にあることが好ましい。

本発明の積層型コイル部品が０４０２サイズである場合、積層体の長さは、０．３８ｍｍ以上、０．４２ｍｍ以下であることが好ましく、積層体の幅は、０．１８ｍｍ以上、０．２２ｍｍ以下であることが好ましい。
本発明の積層型コイル部品が０４０２サイズである場合、積層体の高さは、０．１８ｍｍ以上、０．２２ｍｍ以下であることが好ましい。

本発明の積層型コイル部品が０４０２サイズである場合、積層型コイル部品の長さは、０．４２ｍｍ以下であることが好ましく、０．３８ｍｍ以上であることが好ましい。
本発明の積層型コイル部品が０４０２サイズである場合、積層型コイル部品の幅は、０．２２ｍｍ以下であることが好ましく、０．１８ｍｍ以上であることが好ましい。
本発明の積層型コイル部品が０４０２サイズである場合、積層型コイル部品の高さは、０．２２ｍｍ以下であることが好ましく、０．１８ｍｍ以上であることが好ましい。

本発明の積層型コイル部品が０４０２サイズである場合、積層体の第１の主面を覆う部分の第１の外部電極の長さは、０．０８ｍｍ以上、０．１５ｍｍ以下であることが好ましい。同様に、積層体の第１の主面を覆う部分の第２の外部電極の長さは、０．０８ｍｍ以上、０．１５ｍｍ以下であることが好ましい。

本発明の積層型コイル部品が０４０２サイズである場合、積層体の第１の端面を覆う部分の第１の外部電極の高さは、０．０６ｍｍ以上、０．１３ｍｍ以下であることが好ましい。同様に、積層体の第２の端面を覆う部分の第２の外部電極の高さは、０．０６ｍｍ以上、０．１３ｍｍ以下であることが好ましい。この場合、外部電極に起因する浮遊容量を低減することができる。

本発明の積層型コイル部品が１００５サイズである場合、積層体の長さは、０．９５ｍｍ以上、１．０５ｍｍ以下であることが好ましく、積層体の幅は、０．４５ｍｍ以上、０．５５ｍｍ以下であることが好ましい。
本発明の積層型コイル部品が１００５サイズである場合、積層体の高さは、０．４５ｍｍ以上、０．５５ｍｍ以下であることが好ましい。

本発明の積層型コイル部品が１００５サイズである場合、積層型コイル部品の長さは、１．０５ｍｍ以下であることが好ましく、０．９５ｍｍ以上であることが好ましい。
本発明の積層型コイル部品が１００５サイズである場合、積層型コイル部品の幅は、０．５５ｍｍ以下であることが好ましく、０．４５ｍｍ以上であることが好ましい。
本発明の積層型コイル部品が１００５サイズである場合、積層型コイル部品の高さは、０．５５ｍｍ以下であることが好ましく、０．４５ｍｍ以上であることが好ましい。

本発明の積層型コイル部品が１００５サイズである場合、積層体の第１の主面を覆う部分の第１の外部電極の長さは、０．２０ｍｍ以上、０．３８ｍｍ以下であることが好ましい。同様に、積層体の第１の主面を覆う部分の第２の外部電極の長さは、０．２０ｍｍ以上、０．３８ｍｍ以下であることが好ましい。

本発明の積層型コイル部品が１００５サイズである場合、積層体の第１の端面を覆う部分の第１の外部電極の高さは、０．１５ｍｍ以上、０．３３ｍｍ以下であることが好ましい。同様に、積層体の第２の端面を覆う部分の第２の外部電極の高さは、０．１５ｍｍ以上、０．３３ｍｍ以下であることが好ましい。この場合、外部電極に起因する浮遊容量を低減することができる。

図３は、積層型コイル部品を構成する積層体の一例を模式的に示す分解斜視図であり、図４は、積層型コイル部品を構成する積層体の一例を模式的に示す分解平面図である。

図３及び図４に示すように、積層体１０は、コイル導体間の絶縁層３１として、コイルの１ターンを構成するための絶縁層３１ｂ及び３１ｃを有する。
絶縁層３１ｂ及び３１ｃには、それぞれ、コイル導体３２ｂ及び３２ｃと、ビア導体３３ｂ及び３３ｃとが設けられている。
積層体１０は、各絶縁層が長さ方向（ｘ方向）に積層されて構成されている。
なお、積層体を構成する複数の絶縁層が積み重なる方向を積層方向という。

コイル導体３２ｂ及び３２ｃは、それぞれ、絶縁層３１ｂ及び３１ｃの主面上に設けられており、絶縁層３１ｂ及び３１ｃとともに積層される。
コイル導体３２ｂ及び３２ｃは２つ合わせてコイルの１ターンを構成するようになっていて、コイル導体３２ｂ及び３２ｃを１つの単位（１ターン分）として、繰り返し積層される。すなわち、コイルの１ターンを構成するためのコイル導体の積層数が２となっている。
図３及び図４では、１ターン分の繰り返し単位を破線で囲んだ領域で示している。

コイルの１ターンを構成するためのコイル導体は、ライン部と、ライン部の端部に配置されるランド部とを有する。
コイル導体３２ｂはライン部３６ｂと２つのランド部３７ｂを有しており、コイル導体３２ｃはライン部３６ｃと２つのランド部３７ｃを有している。
コイル導体３２ｂのランド部３７ｂの一つは、隣り合うコイル導体３２ｃのランド部３７ｃと、ビア導体３３ｂ又はビア導体３３ｃを介して接続されている。

積層型コイル部品１では、コイル導体３２の繰り返し形状を積層方向から平面視したときに、コイル導体３２の繰り返し形状は非円形であり、第１の主面１３に対向するコイル導体３２と、第１の主面１３との間の距離が一定でない。
このことについて図５を参照して説明する。

図５は、コイル導体の繰り返し形状を積層方向から平面視した形状を示す模式図である。図５には、コイル導体３２の繰り返し形状を示すために、コイル導体３２ｂとコイル導体３２ｃを合わせて示している。

コイル導体３２の繰り返し形状は、長方形の１つの辺を外側に向けて屈曲させて２つの辺を元の長方形から突出させた５角形であり、２つの辺が積層体の第１の主面に対向する形状となっている。
コイル導体３２ｃのライン部３６ｃを４つに分割してライン部３６ｃ_１、３６ｃ_２、３６ｃ_３、３６ｃ_４とし、これを５角形の４辺とみなす。この４辺とコイル導体３２ｂのライン部３６ｂを５角形の辺とみなした、図５に示す５角形がコイル導体３２の繰り返し形状となる。この形状は、いわゆる野球のホームベース形状である。
なお、図５に示す５角形において、５角形の元の長方形は、ライン部３６ｃ_１の下端とライン部ｃ_４の下端を直接繋いでいる、ライン部３６ｂと平行な辺を有すると仮定した長方形である。

この５角形において、ライン部３６ｃ_２、３６ｃ_３の２つの辺が積層体１０の第１の主面１３に対向する辺である。この２つの辺と積層体１０の第１の主面１３との間の距離は、例えば図５における両矢印ｔ_１、ｔ_２，ｔ_３、ｔ_４及びｔ_５で示される距離であり、この距離は一定とはなっていない。特に、積層体の外側に位置する両矢印ｔ_１及びｔ_５で示される距離が長くなっている。

このように、積層体の第１の主面に対向するコイル導体と、第１の主面との間の距離が一定ではないということは、コイル導体と第１の主面との間の距離が長くなっている部分が存在することを意味する。コイル導体と第１の主面との間の距離が長くなる部分を有すると、コイル導体と第１の主面に設けられた外部電極との間に発生する浮遊容量が小さくなるので、高周波特性を高めることができる。

なお、積層体の第１の主面に対向するコイル導体と、第１の主面との間の距離が一定であるかを判断する際には、図５における両矢印ｔ_１、ｔ_２，ｔ_３、ｔ_４及びｔ_５で示されるように、積層体の第１の主面からコイル導体に向けて、第１の主面に垂直な複数本の垂線を引き、複数本の垂線の長さが異なることで判定すればよい。図５に示すように積層体の中央部と外側を含む５本程度の垂線を引くことで判断することができる。

本発明の積層型コイル部品におけるコイル導体の繰り返し形状は、第１の主面に対向するコイル導体と第１の主面との間の距離が一定でない形状であり、非円形であれば、その形状は特に限定されない。
コイル導体の繰り返し形状は多角形であることが好ましく、長方形の１つの辺を外側に向けて屈曲させて２つの辺を元の長方形から突出させた５角形であることが好ましい。
コイル導体の繰り返し形状が多角形の場合、多角形の面積相当円の直径をコイル径とし、多角形の重心を通り長さ方向に平行な軸をコイル軸とする。
また、第１の主面と対向するライン部が直線ではなく曲線からなる形状であってもよい。

また、図３及び図４に示す積層体では、２つのコイル導体でコイルの１ターンが構成されており、コイルの１ターンを構成するためのコイル導体の積層数が２となっているが、コイルの１ターンを構成するためのコイル導体の積層数は２つに限定されない。
例えば、コイル導体が繰り返し単位の３／４の形状であるコイル導体を積層方向に接続してもよい。この場合、４つのコイル導体を積層することで、コイルの繰り返し単位が３周する。

ランド部は、積層体において、第１の主面とは反対側の上半分の領域に存在することが好ましい。
積層体において第１の主面となる部分は、図４に示す絶縁層３１ｂ、３１ｃにおいてそれぞれ辺３８ｂ、辺３８ｃで示されている。辺３８ｂ、３８ｃと反対側の辺３９ｂ、３９ｃは積層体において第２の主面となる部分である。
第１の主面とは反対側の上半分の領域とは、図４において、積層体の第１の主面となる辺３８ｂ、３８ｃと積層体の第２の主面となる辺３９ｂ、３９ｃの間の中線Ｍを基準として積層体の第２の主面となる辺３９ｂ、３９ｃの側の領域を意味する。
図４には、コイル導体のランド部３７ｂ、３７ｃが積層体の第２の主面となる辺３９ｂ、３９ｃの側の領域に存在していることを示している。
また、図５にも、コイル導体のランド部３７ｂが積層体の第１の主面１３と反対側の上半分の領域に存在していることを示している。

なお、本明細書中で、第１の主面とは反対側の上半分の領域に存在するランド部は、積層方向に隣り合うコイル導体間をビア導体を介して接続するためのランド部である。
後述する、絶縁層３１ａに設けられたコイル導体３２ａ、絶縁層３１ｄに設けられたコイル導体３２ｄには、連結導体と接続するためのランド部が設けられているが、連結導体と接続するためのランド部は、第１の主面とは反対側の上半分の領域に存在していなくてもよい。

積層体の第１の主面が実装面であり、第１の外部電極と第２の外部電極は第１の主面側に設けられているので、積層型コイル部品に通電した際に、積層体の第１の主面側の領域に電界が生じる。
図６は、積層型コイル部品を構成する積層体の内部構造の一例を模式的に示す断面図であり、図６にはこの電界が生じる位置を模式的に矢印Ｆで示している。
図６は、絶縁層、コイル導体及び連結導体、並びに、積層体の積層方向を模式的に示すものであり、実際の形状及び接続等を厳密には表していない。例えば、コイル導体はビア導体を介して接続されている。

コイル導体のランド部はライン部に比べて面積が大きいため、この電界を横切るように面積の大きいランド部が存在すると浮遊容量の影響が大きくなり高周波特性が低下してしまう。
そこで、コイル導体のランド部を、積層体において第１の主面とは反対側の上半分の領域に存在させることによって積層体の第１の主面側の領域に生じる電界の影響による浮遊容量を小さくすることができ、高周波特性に優れた積層型コイル部品とすることができる。

また、図３、図４に示すように、２つのコイル導体でコイルの１ターンが構成されていると、隣り合うコイル導体３２ｂ、３２ｃのそれぞれのライン部３６ｂ、３６ｃは絶縁層を挟んで対向しない。そのためコイル導体間の浮遊容量が小さくなり、高周波特性に優れた積層型コイル部品とすることができる。

本発明の積層型コイル部品では、コイル導体の繰り返し形状を積層方向から平面視したときに、コイル導体の繰り返し形状は非円形であり、第１の主面に対向するコイル導体と、第１の主面との間の距離が一定でない。
そのため、実装性及び高周波特性がともに優れている。
特に高周波帯（特に３０ＧＨｚ以上、８０ＧＨｚ以下）での高周波特性に優れる。具体的には、４０ＧＨｚでの透過係数Ｓ２１が－１ｄＢ以上、０ｄＢ以下であることが好ましく、５０ＧＨｚでの透過係数Ｓ２１が－２ｄＢ以上、０ｄＢ以下であることが好ましく、６０ＧＨｚでの透過係数Ｓ２１が－４ｄＢ以上、０ｄＢ以下であることが好ましい。透過係数Ｓ２１は、入力信号に対する透過信号の電力の比から求められる。透過係数Ｓ２１は、基本的に無次元量であるが、通常、常用対数をとってｄＢ単位で表される。
上記条件を満たす場合、例えば、光通信回路内のバイアスティー（Ｂｉａｓ－Ｔｅｅ）回路等に好適に使用することができる。

また、コイルの１ターンを構成するためのコイル導体の積層数が２である場合、及び、ランド部が、積層体において、第１の主面とは反対側の上半分の領域に存在する場合においては、高周波特性にさらに優れる積層型コイル部品とすることができる。

また、コイル導体の積層数は４０以上、６０以下であることが好ましい。コイル導体の積層数が４０未満になると、浮遊容量が大きくなり、透過係数Ｓ２１が低下する。コイル導体の積層数が６０を超えると、直流抵抗（Ｒｄｃ）が大きくなる。
コイル導体の積層数を４０以上、６０以下とすることで、６０ＧＨｚでの透過係数Ｓ２１を向上させることができる。
コイル導体の積層数には、コイルの１ターンを構成するためのコイル導体（コイル導体３２ｂ、コイル導体３２ｃ）の積層数と、位置調整用のコイル導体（コイル導体３２ａ、コイル導体３２ｄ）の積層数を共に含める。

また、積層方向に隣り合うコイル導体間の距離Ｄ(図６参照）は３μｍ以上、１０μｍ以下であることが好ましい。これにより、コイルのターン数を多くできる。その結果、インピーダンスが大きくなり、高周波帯での透過係数Ｓ２１も大きくなる。積層方向に隣り合うコイル導体間の距離Ｄは、ビア導体を介して互いに接続されているコイル導体間の積層方向における最短距離を意味する。よって、積層方向に隣り合うコイル導体間の距離Ｄと、浮遊容量の発生に関与するコイル導体間の距離とは、必ずしも一致しない。

また、積層方向におけるコイル導体の配置領域の寸法は、積層体の長さ寸法の８５％以上、９５％以下であることが好ましい。
ここで、積層方向におけるコイル導体３２の配置領域の寸法Ｌ_３(図６参照）は、第１の連結導体４１を介して第１の外部電極２１と接続されるコイル導体３２から、第２の連結導体４２を介して第２の外部電極２２と接続されるコイル導体３２までの、積層方向における距離（各コイル導体３２の厚みを含む）である。コイル導体３２の配置領域の寸法Ｌ_３が積層体１０の長さ寸法Ｌ_１の８５％よりも小さい場合、コイルの静電容量が大きくなるため、積層型コイル部品１の高周波特性が低下することがある。コイル導体３２の配置領域の寸法Ｌ_３が積層体１０の長さ寸法Ｌ_１の９５％よりも大きい場合、コイルと第１の外部電極２１及び第２の外部電極２２との間の浮遊容量が大きくなるため、積層型コイル部品１の高周波特性が低下することがある。よって、積層型コイル部品１において、コイル導体３２の配置領域の寸法Ｌ_３を上記範囲内とすると、積層型コイル部品１の高周波特性がより向上する。

続いて、積層体１０を構成する他の部分について再び図３及び図４を参照して説明する。
積層体１０は、連結導体間の絶縁層３５ａとして、絶縁層３５ａ_１、３５ａ_２、３５ａ_３及び３５ａ_４を有し、連結導体間の絶縁層３５ｂとして絶縁層３５ｂ_１、３５ｂ_２、３５ｂ_３及び３５ｂ_４を有する。

絶縁層３５ａ_１、３５ａ_２、３５ａ_３及び３５ａ_４には、それぞれビア導体３３ｇが設けられている。ビア導体３３ｇは繋がって第１の連結導体４１となる。
絶縁層３５ｂ_１、３５ｂ_２、３５ｂ_３及び３５ｂ_４には、それぞれビア導体３３ｈが設けられている。ビア導体３３ｈは繋がって第２の連結導体４２となる。
第１の連結導体４１を構成するビア導体３３ｇ、第２の連結導体４２を構成するビア導体３３ｈはいずれも積層体の第１の主面側（実装面側）に位置する。

絶縁層３５ａ_４と絶縁層３１ｂの間には絶縁層３１ａが設けられていて、絶縁層３１ａには、第１の連結導体４１を構成するビア導体３３ｇと、コイル導体３２ｂとを接続するためのコイル導体３２ａとビア導体３３ａが設けられている。
コイル導体３２ａは、２つのランド部３７ａの間にライン部３６ａを有しており、積層体の第１の主面側に位置するビア導体３３ｇと接続されるランド部３７ａから、積層体の第２の主面側に位置し、コイル導体３２ｂのランド部３７ｂとビア導体３３ａを介して接続されるランド部３７ａまでを繋いでいる。

同様に、絶縁層３５ｂ_４と絶縁層３１ｃの間には絶縁層３１ｄが設けられていて、絶縁層３１ｄには、第２の連結導体４２を構成するビア導体３３ｈと、コイル導体３２ｃとを接続するためのコイル導体３２ｄとビア導体３３ｄが設けられている。
コイル導体３２ｄは、２つのランド部３７ｄの間にライン部３６ｄを有しており、積層体の第２の主面側に位置し、コイル導体３２ｃのランド部３７ｃとビア導体３３ｄを介して接続されるランド部３７ｄから、積層体の第１の主面側に位置するビア導体３３ｈと接続されるランド部３７ｄまでを繋いでいる。

ビア導体３３ａ、３３ｂ、３３ｃ及び３３ｄは、それぞれ、絶縁層３１ａ、３１ｂ、３１ｃ及び３１ｄを積層方向（図３ではｘ方向）に貫通するように設けられている。

以上のように構成された、絶縁層３１ａ、３１ｂ、３１ｃ及び３１ｄは、図３に示すようにｘ方向に積層される。これにより、コイル導体３２ａ、３２ｂ、３２ｃ及び３２ｄは、ビア導体３３ａ、３３ｂ、３３ｃ及び３３ｄを介して電気的に接続される。その結果、積層体１０内において、ｘ方向に延在するコイル軸を有するソレノイド状のコイルが形成される。

第１の連結導体４１及び第２の連結導体４２は、積層体１０の両端面に露出する。
第１の連結導体４１は、積層体１０内において、第１の外部電極２１とこれに対向するコイル導体３２ａとの間を接続する。また、第２の連結導体４２は、第２の外部電極２２とこれに対向するコイル導体３２ｄとの間を接続する。

図６に示すように、積層型コイル部品１においては、複数の絶縁層３１が積層されていて、内部にコイルを内蔵する積層体１０となっている。
コイルは、絶縁層３１とともに積層された複数のコイル導体３２が電気的に接続されることにより形成される。
積層体１０の積層方向、及び、コイルの軸方向（図５中、コイル軸Ａを示す）は、実装面である第１の主面１３に対して平行である。

図６に示す積層型コイル部品では、第１の外部電極２１と、これに対向するコイル導体とが第１の連結導体４１により直線状に接続されており、第２の外部電極２２と、これに対向するコイル導体とが第２の連結導体４２により直線状に接続されている。第１の連結導体４１及び第２の連結導体４２は、それぞれ、実装面となる第１の主面１３に最も近い部分のコイル導体と接続されている。
第１の連結導体４１及び第２の連結導体４２はいずれも、積層方向から平面視したときにコイル導体と重なり、かつ、コイル軸よりも、実装面となる第１の主面１３側に位置している。
第１の連結導体４１及び第２の連結導体４２はいずれも、コイル導体の最も実装面に近い部分に接続されているため、外部電極の大きさを小さくして高周波特性を向上させることができる。

コイル導体の繰り返し形状が多角形の場合、多角形の面積相当円の直径をコイル径とする。
本発明の積層型コイル部品が０６０３サイズである場合、コイル径は、５０μｍ以上１００μｍ以下であることが好ましい。

本発明の積層型コイル部品が０４０２サイズである場合、コイル径は、３０μｍ以上７０μｍ以下であることが好ましい。

本発明の積層型コイル部品が１００５サイズである場合、コイル径は、８０μｍ以上１７０μｍ以下であることが好ましい。

積層方向から平面視した際の、ライン部の線幅は特に限定されないが、積層体の幅に対して１０％以上、３０％以下であることが好ましい。ライン部の線幅が積層体の幅の１０％未満であると、直流抵抗Ｒｄｃが大きくなる場合がある。一方、ライン部の線幅が積層体の幅の３０％を超えると、コイルの静電容量が大きくなり、高周波特性が悪化する場合がある。

本発明の積層型コイル部品が０６０３サイズである場合、ライン部の線幅は、３０μｍ以上９０μｍ以下であることが好ましく、３０μｍ以上７０μｍ以下であることがより好ましい。

本発明の積層型コイル部品が０４０２サイズである場合、ライン部の線幅は、２０μｍ以上６０μｍ以下であることが好ましく、２０μｍ以上５０μｍ以下であることがより好ましい。

本発明の積層型コイル部品が１００５サイズである場合、ライン部の線幅は、５０μｍ以上１５０μｍ以下であることが好ましく、５０μｍ以上１２０μｍ以下であることがより好ましい。

積層方向から平面視した際のコイル径は、積層体の幅に対して１５％以上、４０％以下であることが好ましい。

積層型コイル部品を構成する積層体の内部には、第１の連結導体及び第２の連結導体を備えていることが好ましい。
第１の連結導体及び第２の連結導体の形状は特に限定されないが、外部電極とコイル導体との間を直線状に接続していることが好ましい。
コイル導体から外部電極までを直線状に接続することにより、引き出し部を簡便にすることができるとともに、高周波特性を向上させることができる。

本発明の積層型コイル部品が０６０３サイズである場合、第１の連結導体及び第２の連結導体の長さは、１５μｍ以上４５μｍ以下であることが好ましく、１５μｍ以上３０μｍ以下であることがより好ましい。

本発明の積層型コイル部品が０４０２サイズである場合、第１の連結導体及び第２の連結導体の長さは、１０μｍ以上３０μｍ以下であることが好ましく、１０μｍ以上２５μｍ以下であることがより好ましい。

本発明の積層型コイル部品が１００５サイズである場合、第１の連結導体及び第２の連結導体の長さは、２５μｍ以上７５μｍ以下であることが好ましく、２５μｍ以上５０μｍ以下であることがより好ましい。

第１の連結導体及び第２の連結導体は、いずれも、積層方向から平面視したときにコイル導体と重なり、かつ、コイル軸よりも実装面側に位置することが好ましい。
なお、コイル軸とは、コイル導体によって形成される繰り返し形状の中心を通り、長さ方向に平行な軸である。

なお、積層方向から平面視したときに、連結導体を構成するビア導体が互いに重なっていれば、連結導体を構成するビア導体同士は厳密に直線状に並んでいなくてもよい。

第１の連結導体の幅及び第２の連結導体の幅は、積層体の幅の８％以上、２０％以下であることが好ましい。
なお、連結導体の幅とは、連結導体のうち最も狭い部分の幅を指す。すなわち、連結導体がランドを含む場合であっても、ランドを除いた形状を連結導体の形状とする。

本発明の積層型コイル部品が０６０３サイズである場合、連結導体の幅は、３０μｍ以上６０μｍ以下であることが好ましい。

本発明の積層型コイル部品が０４０２サイズである場合、連結導体の幅は、２０μｍ以上４０μｍ以下であることが好ましい。

本発明の積層型コイル部品が１００５サイズである場合、連結導体の幅は、４０μｍ以上１００μｍ以下であることが好ましい。

本発明の積層型コイル部品においては、第１の連結導体及び第２の連結導体の長さがいずれも、積層体の長さの２．５％以上、７．５％以下であることが好ましく、２．５％以上、５．０％以下であることがより好ましい。

本発明の積層型コイル部品において、第１の連結導体及び第２の連結導体は２つ以上存在していてもよい。
連結導体が２つ以上存在する場合とは、端面を覆う部分の外部電極とこれに対向するコイル導体とが、連結導体によって２箇所以上で接続されている状態を指す。

以下、本発明の積層型コイル部品の製造方法の一例について説明する。

まず、絶縁層となるセラミックグリーンシートを作製する。
例えば、フェライト材料に、ポリビニルブチラール系樹脂等の有機バインダ、エタノール、トルエン等の有機溶剤及び分散剤等を加えて混練し、スラリー状にする。その後、ドクターブレード法などの方法により、厚さ１２μｍ程度のセラミックグリーンシートを得る。

フェライト材料として、例えば、鉄、ニッケル、亜鉛及び銅の酸化物原料を混合して８００℃、１時間で仮焼した後、ポールミルにより粉砕し、乾燥することにより、平均粒径が約２μｍのＮｉ－Ｚｎ－Ｃｕ系のフェライト材料（酸化物混合粉末）を得ることができる。

なお、絶縁層となるセラミックグリーンシートの材料としては、例えば、フェライト材料等の磁性材料、ガラスセラミック材料等の非磁性材料、又は、これらの磁性材料や非磁性材料を混合した混合材料等を用いることができる。フェライト材料を用いてセラミックグリーンシートを作製する場合、高いＬ値（インダクタンス）を得るためには、Ｆｅ_２Ｏ_３：４０ｍｏｌ％以上４９．５ｍｏｌ％以下、ＺｎＯ：５ｍｏｌ％以上３５ｍｏｌ％以下、ＣｕＯ：４ｍｏｌ％以上１２ｍｏｌ％以下、残部：ＮｉＯ及び微量添加剤（不可避不純物を含む）の組成のフェライト材料を用いることが好ましい。

作製したセラミックグリーンシートに、所定のレーザー加工を施して、直径２０μｍ以上、３０μｍ以下程度のビアホールを形成する。ビアホールを有する特定のシート上にＡｇペーストを用いて、ビアホールに充填し、さらに、１１μｍ程度の厚みを有するコイル導体用の導体パターンをスクリーン印刷し、乾燥することでコイルシートを得る。
コイル導体用の導体パターンとして、図４のコイル導体３２ａ、３２ｂ、３２ｃ、３２ｄに相当する導体パターンを印刷する。

個片化後に実装面と平行な方向にコイル軸を有するコイルが積層体の内部に形成されるように、所定の順序でコイルシートを積層する。さらに、連結導体となるビア導体が形成されたビアシートを上下に積層する。

積層体を熱圧着して圧着体を得た後、所定のチップ寸法になるように切断し、個片化したチップを得る。個片化したチップに対しては、バレル研磨を行い、角部及び稜線部に所定の丸みを付けてもよい。

所定の温度、時間で脱バインダ及び焼成を施すことで、内部にコイルを内蔵した焼成体（積層体）を得る。

Ａｇペーストを所定の厚みに引き伸ばした槽に積層体を斜めに浸漬させ、焼き付けることで、積層体の４面（主面、端面及び両側面）に外部電極の下地電極を形成する。
上記の方法では、積層体の主面と端面の２回に分けて下地電極を形成する場合に比べて、下地電極を１回で形成することができる。

下地電極に対して、めっきにより、所定の厚みのＮｉ皮膜及びＳｎ皮膜を順次形成して、外部電極を形成する。
以上により、本発明の積層型コイル部品を作製することができる。

以下、本発明の積層型コイル部品をより具体的に開示した実施例を示す。なお、本発明は、これらの実施例のみに限定されるものではない。

［試料の作製］
（実施例１）
（１）所定の組成を有するフェライト材料（仮焼粉末）を準備した。

（２）上記仮焼粉末に有機バインダ（ポリビニルブチラール系樹脂）、有機溶剤（エタノール及びトルエン）をＰＳＺボールとともにポットミルに入れ、湿式で充分に混合粉砕し、磁性体スラリーを作製した。

（３）ドクターブレード法により、上記磁性体スラリーをシート状に成形加工し、これを矩形に打ち抜くことにより、厚さ１５μｍのセラミックグリーンシートを複数枚作製した。

（４）Ａｇ粉末と有機ビヒクルを含む内部導体用の導電性ペーストを準備した。

（５）ビアシートの作製
セラミックグリーンシートの所定箇所にレーザーを照射することにより、ビアホールを形成した。ビアホールに導電性ペーストを充填してビア導体を形成、その周囲に円形に導電性ペーストをスクリーン印刷することにより、ランド部を形成した。

（６）コイルシートの作製
セラミックグリーンシートの所定箇所にビアホールを形成し、導電性ペーストを充填してビア導体を形成した後、ランド部及びライン部を印刷してコイル導体を形成し、コイルシートを得た。

（７）これらのシートを図３に示した順序で所定枚数積層した後、加熱、加圧し、ダイサーで切断して個片化することにより、積層成形体を作製した。

（８）積層成形体を焼成炉に入れて、大気雰囲気下、５００℃の温度で脱バインダ処理を行い、その後、９００℃の温度で焼成することにより、積層体（焼成済み）を作製した。
得られた積層体３０個の寸法をマイクロメーターを用いて測定し平均値を求めたところ、Ｌ＝０．６０ｍｍ、Ｗ＝０．３０ｍｍ、Ｔ＝０．３０ｍｍであった。

（９）Ａｇ粉末とガラスフリットを含有する外部電極用の導電性ペーストを塗膜形成槽に流し込み、所定厚みの塗膜が形成されるようにした。この塗膜に、積層体の外部電極を形成する箇所を浸漬した。

（１０）浸漬後、８００℃程度の温度で焼き付けることで、外部電極の下地電極を形成した。

（１１）電解めっきで、下地電極の上にＮｉ皮膜及びＳｎ皮膜を順次形成して、外部電極を形成した。
以上により、図３に示すような積層体の内部構造を有する実施例１の試料を作製した。

図７（ａ）は実施例１の試料のコイル導体の繰り返し形状を示す模式図であり、図７（ｂ）は比較例１の試料のコイル導体の繰り返し形状を示す模式図である。
実施例１の試料のコイル導体の繰り返し形状は、長方形の１つの辺を外側に向けて屈曲させて２つの辺を元の長方形から突出させた５角形であり、２つの辺が積層体の第１の主面に対向する形状であり、図７（ａ）に示す形状である。
この形状は、第１の主面に対向するコイル導体と第１の主面との間の距離が一定でない形状である。

（比較例１）
図７（ｂ）に示すように、図３に示すコイル導体３２ｃに相当するコイル導体の形状を変形して、コイル導体の繰り返し形状が４角形となるコイルシートを作製し、積層することで積層成形体を作製して比較例１の試料を作製した。
比較例１の試料のコイル導体の繰り返し形状は、コイル導体の繰り返し形状が４角形であり、第１の主面に対向するコイル導体と第１の主面との間の距離が一定である形状である。
第１の主面に対向するコイル導体と第１の主面との間の距離は図７（ｂ）で両矢印ｔ_３で示す距離で一定である。
この両矢印ｔ_３で示す距離は、実施例１の試料のコイル導体の繰り返し形状において第１の主面に対向するコイル導体と第１の主面との間の距離が最も短くなる部分の距離ｔ_３と同じである。

（透過係数Ｓ２１の測定）
図８は、透過係数Ｓ２１を測定する方法を模式的に示す図である。
また、図９は、実施例１及び比較例１における透過係数Ｓ２１を示すグラフである。
図８に示すように、信号経路６１とグランド導体６２を設けた測定用治具６０に試料（積層型コイル部品１）をはんだ付けした。積層型コイル部品１の第１の外部電極２１が信号経路６１に接続され、第２の外部電極２２がグランド導体６２に接続される。

ネットワークアナライザー６３を用いて、試料への入力信号と透過信号の電力を求め、周波数を変化させて透過係数Ｓ２１を測定した。ネットワークアナライザー６３には、信号経路６１の一端と他端が接続される。
なお、透過係数Ｓ２１は、０ｄＢに近いほど損失が少ないことを示す。

図９から、実施例１における共振周波数は６４．０ＧＨｚ、比較例１における共振周波数は６２．５ＧＨｚであり、実施例１の構成であると共振周波数が高周波側にシフトしており、高周波特性に優れることがわかった。

１ 積層型コイル部品
１０ 積層体
１１ 第１の端面
１２ 第２の端面
１３ 第１の主面
１４ 第２の主面
１５ 第１の側面
１６ 第２の側面
２１ 第１の外部電極
２２ 第２の外部電極
３１、３１ａ、３１ｂ、３１ｃ 絶縁層（コイル導体間の絶縁層）
３２、３２ａ、３２ｂ、３２ｃ、３２ｄ コイル導体
３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄ、３３ｇ、３３ｈ ビア導体
３５ａ、３５ａ_１、３５ａ_２、３５ａ_３、３５ａ_４、３５ｂ、３５ｂ_１、３５ｂ_２、３５ｂ_３、３５ｂ_４ 絶縁層（連結導体間の絶縁層）
３６ａ、３６ｂ、３６ｃ、３６ｃ_１、３６ｃ_２、３６ｃ_３、３６ｃ_４、３６ｄ ライン部
３７ａ、３７ｂ、３７ｃ、３７ｄ ランド部
３８ｂ、３８ｃ 第１の主面となる辺
３９ｂ、３９ｃ 第２の主面となる辺
４１ 第１の連結導体
４２ 第２の連結導体
６０ 測定用治具
６１ 信号経路
６２ グランド導体
６３ ネットワークアナライザー
Ａ コイル軸
Ｄ 積層方向に隣り合うコイル導体間の距離
Ｅ_１ 積層体の第１の主面を覆う部分の第１の外部電極の長さ
Ｅ_２ 積層体の第１の端面を覆う部分の第１の外部電極の高さ
Ｆ 電界
Ｌ_１ 積層体の長さ寸法
Ｌ_２ 積層型コイル部品の長さ寸法
Ｌ_３ 積層方向におけるコイル導体の配置領域の寸法
Ｍ 中線
ｔ_１、ｔ_２，ｔ_３、ｔ_４、ｔ_５ コイル導体と積層体の第１の主面との間の距離
Ｔ_１ 積層体の高さ寸法
Ｔ_２ 積層型コイル部品の高さ寸法
Ｗ_１ 積層体の幅寸法
Ｗ_２ 積層型コイル部品の幅寸法

Claims (6)

1. 複数の絶縁層が長さ方向に積層されてなり、内部にコイルを内蔵する積層体と、
   前記コイルに電気的に接続されている第１の外部電極及び第２の外部電極と、を備え、
   前記コイルは、前記絶縁層とともに前記長さ方向に積層された複数のコイル導体が電気的に接続されてなり、
   前記積層体は、前記長さ方向において相対する第１の端面及び第２の端面と、前記長さ方向に直交する高さ方向において相対する第１の主面及び第２の主面と、前記長さ方向及び前記高さ方向に直交する幅方向において相対する第１の側面及び第２の側面と、を有し、
   前記第１の外部電極は、前記第１の端面の一部と前記第１の主面の一部とを延伸して覆い、
   前記第２の外部電極は、前記第２の端面の一部と前記第１の主面の一部とを延伸して覆い、
   前記第１の主面は、実装面であり、
   前記積層体の積層方向と前記コイルの軸方向とは、前記第１の主面と平行であり、
   前記コイル導体の繰り返し形状を積層方向から平面視したときに、前記コイル導体の繰り返し形状は非円形であり、前記第１の主面に対向する前記コイル導体と、前記第１の主面との間の距離が一定でなく、
   前記コイル導体の繰り返し形状を積層方向から平面視したときの前記コイル導体の繰り返し形状は、長方形の１つの辺を外側に向けて屈曲させて２つの辺を元の長方形から突出させた５角形であり、前記２つの辺が前記積層体の前記第１の主面に対向する形状であることを特徴とする積層型コイル部品。
2. 前記コイルの１ターンを構成するための前記コイル導体の積層数が２である請求項１に記載の積層型コイル部品。
3. 前記コイル導体は、ライン部と、前記ライン部の端部に配置されるランド部と、を有し、
   前記積層方向に隣り合う前記コイル導体の前記ランド部は、ビア導体を介して互いに接続され、
   前記幅方向から平面視したとき、前記ランド部は、前記積層体において、前記第１の主面とは反対側の上半分の領域に存在する、請求項１又は２に記載の積層型コイル部品。
4. 前記コイル導体の積層数は４０以上、６０以下である請求項１～３のいずれかに記載の積層型コイル部品。
5. 前記積層方向に隣り合う前記コイル導体間の距離は３μｍ以上、１０μｍ以下である請求項１～４のいずれかに記載の積層型コイル部品。
6. 前記積層方向における前記コイル導体の配置領域の寸法は、前記積層体の長さ寸法の８５％以上、９５％以下である、請求項１～５のいずれかに記載の積層型コイル部品。

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