JP7120353B2 - 露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法である。
以下、第1の実施形態について、図1~図16(B)を用いて説明する。
93(図2では不図示。図8参照)の一部である複数のYリニアモータを介して一対のベースフレーム22上でY軸方向に所定の長ストロークで駆動される。X粗動ステージ26は、一対のXビーム25間に架設された状態でY粗動ステージ24上に載置されている。X粗動ステージ26は、基板駆動系93の一部である複数のXリニアモータを介してY粗動ステージ24上でX軸方向に所定の長ストロークで駆動される。また、X粗動ステージ26は、Y粗動ステージ24に対するY軸方向への相対移動が機械的に制限されており、Y粗動ステージ24と一体的にY軸方向に移動する。
いて、基板ステージ装置20では、一対のヘッドユニット60が、基板ホルダ34に同期してY軸方向に駆動される。すなわち、主制御装置90(図8参照)は、基板エンコーダシステム50(図8参照)のうち、Yリニアエンコーダ94yの出力に基づいて、基板ホルダ34を基板駆動系93(図8参照)を介して目標位置までY軸方向に駆動しつつ、Yリニアエンコーダ96y(図8参照)の出力に基づいて、一対のヘッドユニット60を対応するベルト駆動装置68(図8参照)を介してY軸方向に駆動する。この際、主制御装置90は、一対のヘッドユニット60と基板ホルダ34とを同期して(一対のヘッドユニット60が基板ホルダ34に追従するように)駆動する。従って、基板ホルダ34のY位置(基板ホルダ34の移動中も含む)に関わらず、Xヘッド66x、Yヘッド66y(それぞれ図7参照)から照射される計測ビームそれぞれが、Xスケール53x、Yスケール53y(それぞれ図7参照)から外れることがない。換言すると、基板ホルダ34をY軸方向に移動中(Yステップ動作中)にXヘッド66x、Yヘッド66yから照射される計測ビームそれぞれがXスケール53x、Yスケール53yから外れない程度、すなわちXヘッド66x、Yヘッド66yからの計測ビームによる計測が途切れない(計測を継続できる)程度に、一対のヘッドユニット60と基板ホルダ34とを同期してY軸方向へ移動させれば良い。
クエンコーダシステム48(図8参照)の出力に基づいてマスクホルダ40が+X方向に
駆動されるとともに、該マスクホルダ40に同期して、図16(B)に示されるように、
基板エンコーダシステム50(図8参照)の出力に基づいて基板ホルダ34が+X方向に
駆動される。これにより、第4ショット領域S4にマスクパターンが転写される。この際
も一対のヘッドユニット60は、静止状態とされる。
次に第2の実施形態について図17を用いて説明する。本第2の実施形態の構成は、マスクエンコーダシステム148の一部の構成を除き、上記第1の実施形態と同じなので、以下、相違点についてのみ説明し、上記第1の実施形態と同じ構成及び機能を有する要素については、上記第1の実施形態と同じ符号を付してその説明を省略する。
次に第3の実施形態について図18を用いて説明する。本第3の実施形態の構成は、基板エンコーダシステム150の一部の構成を除き、上記第1の実施形態と同じなので、以下、相違点についてのみ説明し、上記第1の実施形態と同じ構成及び機能を有する要素については、上記第1の実施形態と同じ符号を付してその説明を省略する。
Claims (10)
- 物体に対して、架台に支持された投影光学系を介して露光光を照射し、前記物体上の複数の領域に、マスク上の所定パターンをそれぞれ走査露光する露光装置において、
前記物体を保持し、前記走査露光中に第1方向へ移動する第1移動体と、
前記マスクを保持し、前記走査露光中に前記第1方向へ移動する第2移動体と、
前記架台と前記第1移動体との間に設けられ、前記第1方向に交差する第2方向への前記第1移動体の移動中に、前記架台に対して前記第2方向へ相対移動する第3移動体と、
前記第1方向へ移動する前記第1移動体の前記架台に対する位置情報を求める第1計測系と、
前記第1方向へ移動する前記第2移動体の前記架台に対する位置情報を求める第2計測系と、
前記第1計測系と前記第2計測系との相対位置を計測する第3計測系と、を備え、
前記第1計測系は、前記第3移動体を介して、前記架台に対する前記第1移動体の前記第1方向と前記第2方向との位置情報を求める露光装置。 - 前記第1計測系は、第1格子部材及び第1ヘッドの一方が前記第1移動体に設けられ、前記第1格子部材及び前記第1ヘッドの他方が前記第3移動体に設けられる第1エンコーダシステムを含み、前記第1ヘッドの出力に基づいて少なくとも前記第1方向に関する前記第1移動体の前記第3移動体に対する位置情報を求める第1計測部と、
第2格子部材及び第2ヘッドの一方が前記第3移動体に設けられ、前記第2格子部材及び前記第2ヘッドの他方が前記架台に設けられる第2エンコーダシステムを含み、前記第2ヘッドの出力に基づいて前記第2方向に関する前記第3移動体の前記架台に対する位置情報を求める第2計測部と、を有し、
前記第1及び第2計測部の出力に基づいて、前記第1移動体の位置情報を求める請求項1に記載の露光装置。 - 前記第2計測系は、第3格子部材及び第3ヘッドの一方が前記第2移動体に設けられ、前記第3格子部材及び前記第3ヘッドの他方が前記架台に設けられる第3エンコーダシステムを含み、前記第3ヘッドの出力に基づいて少なくとも前記第1方向に関する前記第2移動体の前記架台に対する位置情報を求める第3計測部を有する、請求項2に記載の露光装置。
- 前記第3計測系は、前記第2格子部材及び前記第2ヘッドの他方と前記第3格子部材及び前記第3ヘッドの他方との相対位置を計測する請求項3に記載の露光装置。
- 前記第1計測系は、前記第1方向に関する前記第1移動体の前記第3移動体に対する相対移動中に、前記第1方向に関する前記第1移動体の位置情報を求める請求項2から4の何れか一項に記載の露光装置。
- 前記第2ヘッドは、前記第1方向に関する前記第1移動体の前記第3移動体に対する相対移動中、前記第1方向に関する前記第3移動体の位置情報を求めるように前記第2格子部材に対向し、
前記第2計測部は、前記第1方向に関する前記第3移動体の位置情報から、前記第1移動体の前記第1方向に関する位置情報を求める請求項5に記載の露光装置。 - 前記第1ヘッドは、前記第3移動体に設けられ、
前記第1格子部材は、前記第1移動体に設けられる請求項2から6の何れか一項に記載の露光装置。 - 前記第2ヘッドは、前記第3移動体に設けられ、
前記第2格子部材は、前記架台に設けられる請求項2から7の何れか一項に記載の露光装置。 - 請求項1から8の何れか一項に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。 - 請求項1から8の何れか一項に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
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