JP7116735B2 - 水浄化および配分システムおよび方法 - Google Patents
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Description
本発明が関係するタイプの水浄化システムは、好ましくは超高純度水を生産することおよび1つ以上の配分部位で所望量の浄化水を差しだすことを目的とする。超高純度水は、ASTMタイプI標準を超える最高品質試薬級水として定義され得、25℃で18.0MΩ-cmより大きい特定の耐性および50億分の1(ppb)未満の総有機炭素(TOC)含量を有する。
したがって、本発明の目的は、水浄化および配分システムならびに閉じられた水循環ループを含み、配分特性、すなわち、配分量の範囲および特定の量の配分の正確性、に関して改良した方法を提供することである。
この課題を解決するために、本発明は請求項1の特徴を有する水浄化および配分システム、ならびにシステムを使用しおよび請求項15の特徴を含む水浄化および配分する方法を提供する。好ましいシステムの態様は従属請求項に定義される。
好ましくは、第3の弁および第4の弁は、バイパス通路を通るフローレートおよび複数の事前定義されたステップにおける水再循環ループの配分部分へのフローレートを各々制御するために配置される。
好ましくは、三方向弁は、電動化された弁である。
好ましくは、システムはさらに第1の弁(単数または複数)、第2の弁、第3の弁、およびポンプ手段、および提供される場合第4の弁、を制御するための制御ユニットを含む。
第1の弁(単数または複数)が閉じられたままであり、第2の弁が開かれたままであり、第3の弁がバイパス通路を通るフローを実質的に妨げるために作動され、第4の弁が水再循環ループの配分部分に流れ込むのを許容するために作動され、およびポンプ手段が作動される、再循環モード;ならびに/または
第1の弁(単数または複数)がユーザー作動に応じて選択的に開かれ、第2の弁が閉じられたままであり、第3および第4の弁が水再循環ループの配分部分に少なくともいくつかのフローを許容するために作動され、およびポンプ手段が作動される、手動配分モード;ならびに/または
第1の弁(単数または複数)が、水の事前決定した量が各出口から分配されるまで選択的に開かれ、第2の弁が閉じられたままであり、第3および第4の弁が水再循環ループの配分部分に少なくともいくつかのフローを許容するために作動され、およびポンプ手段が作動される、自動配分モード。
好ましくは、制御ユニットは、自動配分モードを実施するために配置され、ユーザー作動に応じて各出口の第1の弁を開くために配置され、第1の弁の開口の後にフローメータにより測定されたフローレートをモニターするために配置され、およびそれがモニターされたフローレートに基づいて決定された後、第1の弁を閉じるために配置され、水の事前決定した量は連結した出口から分配されている。
好ましくは、制御ユニットは、各作動モードにおける実質的に一定の供給レートにおけるポンプ手段を作動するために配置される。
好ましくは、第1の弁(単数または複数)および好ましくは第2の弁が通常閉じられた(NC)フローパスを有するタイプのソレノイド弁である。
第1の弁(単数または複数)が閉じられたままであり、第2の弁は開いたままであり、第3の弁は実質的にバイパス通路を通るフローを実質的に妨げるために作動され、第4の弁は水循環ループの分配部分に流れ込むのを許容するために作動し、およびポンプ手段が作動される、再循環モード;ならびに/または
第1の弁(単数または複数)がユーザー作動に応じて選択的に開かれ、第2の弁は閉じられたままであり、第3および第4の弁は水循環ループの分配部分に少なくともいくつかのフローを許容するために作動し、およびポンプ手段が作動される、手動分配モード;ならびに/または
第1の弁(単数または複数)が水の事前決定した量が各出口から分配されるまで選択的に開かれ、第2の弁は閉じられたままであり、第3および第4の弁は水循環ループの分配部分に少なくともいくつかのフローを許容するために作動し、およびポンプ手段が作動される、自動分配モード;
を含む、前記システムに関する。
以下には、本発明が、参照として添付した図面を使用して1つの好ましい態様に基づいて記載されるだろう。
図2に示されたシステムは先行技術文献EP1814007A1の議論に関連して既に詳細に記載されている。
図1に示された本発明の水浄化および分配システム100は、閉じられた水再循環ループ106を含み、それはその基本的なレイアウトおよび構成要素において、図2に示された文献EP1814007A1に開示されたものと類似している。
第1の弁(単数または複数)120および好ましくは第2の弁130は、通常は閉じられた(NC)フローパスを伴うタイプのソレノイド弁である。
再循環モードにおいて、第1の弁(単数または複数)120は閉じられたままであり、第2の弁130は開かれ、第3の弁200aは、バイパス通路202を通るフローを実質的にまたは完全に防止するために作動され、第4の弁200bは、再循環ループの配分部分106aへのフローを許容するために作動され、および、ポンプ手段103は、再循環の効果を発揮させシステムにおける停滞点を回避するために、一定の、好ましくは定格の(rated)最大フローレートで作動される。
出口番号1でのフローレート=フローレート104-1-フローレート104-2
に従ってフローメータ104-2および104-1により算出され得る。
円筒形弁ボア17は、外部ハウジング3において挿入および固定されるカートリッジ2において好ましくは形成される。よって、カートリッジ2およびハウジング3は異なる材料から作られ得、ここでカートリッジのための材料は、ステンレス鋼または真鍮のような、機械加工にとって極めて低い公差を到達するために選択されるものである。ハウジングは、入口および出口の水圧式接続機能、すなわち、入口および出口ポートに続く任意の所望のコネクターを実装するためのより安価な材料から作られ得る。ハウジングは、好適なプラスチック材料からさえも作られ得る。費用が問題とならないのであれば、カートリッジおよびハウジングは、材料の一体部(integral part)から作られ得、必要条件に従って機械加工され得る。この態様において2つの弁機構の弁体15、16を含む弁シャフト18は、弁ニードルの形態であり、カートリッジ2からモータ式駆動アクチュエータ6へと突出する末端に接続される。
他方で、さらなる機械的停止位置または完全停止は、最大弁のシャフト位置を通常の作動範囲を超えて右へ制御するために、例えば、弁が作動不能の場合に漏出リスクを回避するために、提供されてもよい。この完全停止位置は、同じく、弁の故障または不使用(none-use)の長い期間または輸送の場合のみ、弁シャフトによって到達されるために設計され得、および特定の駆動モードは、実行された場合、弁シャフトをこの完全停止位置へと移動させるだろう駆動アクチュエータのために実装され得る。再び、完全停止位置と最大通常使用終了位置との間のギャップが、通常の作動の間に、完全停止との所望されない衝突を回避するために実装され得る。このギャップは、システムの全体的な公差および計数アルゴリズムの正確性に関して実装されるべきであり、それは、例えば、1mmであることができる。
Claims (13)
- (閉じられた)水再循環ループ(106)を備える水浄化および配分システム(100)であって、
浄化される水を導入するための水入口(101);
フロー方向で該水再循環ループ(106)を通じて水をポンプするためのポンプ手段(103);
該水入口(101)の下流で水を浄化するための水浄化手段(150);
該水浄化手段(150)の下流の該水再循環ループ(106)から分岐される浄化水のための1つ以上の出口(単数または複数)(102)を含む水再循環ループ(106)の配分部分(106a);
該再循環ループ(106)からそれぞれの出口(102)を通る浄化水の制御配分のために、各出口(102)と該水再循環ループ(106)との間に配置される第1の弁(120);
該第1の弁(単数または複数)(120)の下流および該ポンプ手段(103)の上流の水再循環ループ(106)の該配分部分(106a)において配置される第2の弁(130);
該水再循環ループ(106)から分岐され、および該第1の弁(単数または複数)(120)および該第2の弁(130)を含む水再循環ループ(106)の該配分部分(106a)をバイパスする、バイパス通路(202);
該バイパス通路(202)を通るフローレートを制御するための第3の弁(200a)、ならびに
第1の弁(単数または複数)(120)および第2の弁(130)を含む水再循環ループの配分部分(106a)へのフローレートを制御するための第4の弁(200b)を含み、
第3の弁(200a)および第4の弁(200b)が、バイパス通路(202)を通るフローレートおよび水再循環ループの分配部分(106a)中のフローを同時に制御するために配置される三方向弁(200)の形態で一体化される
前記システム。 - 第3の弁(200a)および第4の弁(200b)が、バイパス通路(202)を通るフローレートおよび複数の事前定義されたステップにおける水再循環ループの分配部分(106a)中のフローレートを各々制御するために配置される、請求項1に記載のシステム。
- 三方向弁(200)が、反対方向におけるフローレートを制御するために配置される、請求項1または2に記載のシステム。
- 三方向弁(200)が、電動化された弁である、請求項1~3のいずれか一項に記載のシステム。
- 第1の弁(単数または複数)(120)、第2の弁(130)、第3の弁(200a)、およびポンプ手段(103)、および、提供される場合、第4の弁(200b)を制御するための制御ユニットをさらに含む、請求項1~4のいずれか一項に記載のシステム。
- コントロールユニットが、
第1の弁(単数または複数)(120)が閉じられたままであり、第2の弁(130)が開かれたままであり、第3の弁(200a)がバイパス通路(202)を通るフローを実質的に妨げるために作動され、第4の弁(200b)が水再循環ループの配分部分(106a)に流れ込むのを許容するために作動され、およびポンプ手段(103)が作動される、再循環モード;ならびに/または
第1の弁(単数または複数)がユーザー作動に応じて選択的に開かれ、第2の弁(130)が閉じられたままであり、第3および第4の弁(200a、200b)が水再循環ループの配分部分(106a)に少なくともいくつかのフローを許容するために作動され、およびポンプ手段(103)が作動される、手動配分モード;ならびに/または
第1の弁(単数または複数)が、水の事前決定した量が各出口(102)から分配されるまで選択的に開かれ、第2の弁(130)が閉じられたままであり、第3および第4の弁(200a、200b)が水再循環ループの配分部分(106a)に少なくともいくつかのフローを許容するために作動され、およびポンプ手段(103)が作動される、自動配分モード:
を実施するために配置される、請求項5に記載のシステム。 - フローメータ(104-1、104-2)が、それぞれの第1の弁(120)へのフローレートを計測するために、各第1の弁(120)の上流の再循環ループ(106)の配分部分(106a)上に位置づけられる、請求項6に記載のシステム。
- 制御ユニットが、自動配分モードを実施するために配置され、ユーザー作動に応じて各出口(102)の第1の弁(120)を開くために配置され、第1の弁(120)の開口の後にフローメータ(104-1、104-2)により測定されたフローレートをモニターするために配置され、およびそれがモニターされたフローレートに基づいて決定された後、第1の弁(120)を閉じるために配置され、水の事前決定した量は連結した出口(102)から分配されている、請求項6または7に記載のシステム。
- 制御ユニットが、自動配分モードを実施するために配置され、ユーザー作動に応じて各出口(102)の第1の弁(120)を開くために配置され、第1の弁(120)を開口の後に時間をモニターするために配置され、およびそれがモニターされた時間に基づいて決定された後、第1の弁(120)を閉じるために配置され、水の事前決定した量は連結した出口(102)から分配されている、請求項6または7に記載のシステム。
- 制御ユニットが、第3および第4の弁(200a、200b)を作動して、水再循環ループの配分部分(106a)における水の圧力を事前決定した値に調整するために配置される、請求項6~9のいずれか一項に記載のシステム。
- 作動ユニットが、各作動モードにおける実質的に一定の供給レートにおけるポンプ手段(103)を作動するために配置される、請求項6~10のいずれか一項に記載のシステム。
- 第1の弁(単数または複数)(120)および好ましくは第2の弁(130)が通常閉じられた(NC)フローパスを有するタイプのソレノイド弁である、請求項1~11のいずれか一項に記載のシステム。
- 請求項1~4のいずれか一項に記載の水浄化および分配システム(100)を作動する方法であって、
第1の弁(単数または複数)(120)が閉じられたままであり、第2の弁(130)が開かれたままであり、第3の弁(200a)がバイパス通路(202)を通るフローを実質的に妨げるために作動され、第4の弁(200b)が水再循環ループの配分部分(106a)に流れ込むのを許容するために作動され、およびポンプ手段(103)が作動される、再循環モード;ならびに/または
第1の弁(単数または複数)がユーザー作動に応じて選択的に開かれ、第2の弁(130)が閉じられたままであり、第3および第4の弁(200a、200b)が水再循環ループの配分部分(106a)に少なくともいくつかのフローを許容するために作動され、およびポンプ手段(103)が作動される、手動配分モード;ならびに/または
第1の弁(単数または複数)が水の事前決定した量が各出口(102)から分配されるまで選択的に開かれ、第2の弁(130)が閉じられたままであり、第3および第4の弁(200a、200b)が水再循環ループの配分部分(106a)に少なくともいくつかのフローを許容するために作動され、およびポンプ手段(103)が作動される、自動配分モード:
を含む、前記方法。
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