JP7112947B2 - 多軸レーザ干渉測長器 - Google Patents
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Description
さらに、前記参照測定光は、前記ハーフミラー(44)で前記第3参照測定光と前記第2参照測定光とに分岐され、前記第3参照測定光は、前記リトロリフレクタ(54)で反射されることが望ましい。
11…第1受光部、12…第2受光部、13…第3受光部
21…第1偏光ビームスプリッタ
22…第2偏光ビームスプリッタ
23…第3偏光ビームスプリッタ
31、32、33…ミラー
41、42、43、44…ハーフミラー
51、52、53、54、71、72、81、82…リトロリフレクタ
60…参照測定光、61…基準測定光
62…第1参照測定光、63…第2参照測定光、64…第3参照測定光
Claims (9)
- 光源より射出されるレーザ光を光学系により分岐し、反射ターゲットでそれぞれ反射させて合流させることで干渉信号を得て、該干渉信号を光電変換して光路差を算出する多軸レーザ干渉測長器において、
前記光学系は、
前記光源より射出された前記レーザ光を基準測定光と参照測定光に分岐する偏光ビームスプリッタと、
分岐した前記参照測定光を第1、第2、…、第n参照測定光に分岐するハーフミラーと、
前記反射ターゲットとして可動テーブルの測定部に取り付けられ、前記基準測定光及びn個の前記参照測定光を各々反射させるn+1個のリトロリフレクタと、
反射後の前記基準測定光をn個に分岐し、n個の前記参照測定光とそれぞれ合流させることで得られたそれぞれの前記干渉信号を光電変換するn個の受光器と、
を備えたことを特徴とする多軸レーザ干渉測長器。 - n個に分岐された反射後の前記基準測定光と、n個の前記参照測定光とをそれぞれ合流させるn個の偏光ビームスプリッタを設けたことを特徴とする請求項1に記載の多軸レーザ干渉測長器。
- 前記偏光ビームスプリッタは、前記光源より射出された前記レーザ光を前記基準測定光と前記参照測定光に分岐する第1偏光ビームスプリッタを有し、
前記ハーフミラーは、前記参照測定光を第1参照測定光と第2参照測定光に分岐する第1ハーフミラー(41)を有し、
前記リトロリフレクタは、
前記反射ターゲットとして前記可動テーブルの測定部に取り付けられ、前記基準測定光を反射する第1リトロリフレクタ(51)と、
前記反射ターゲットとして前記可動テーブルの測定部に取り付けられ、前記第1参照測定光を反射する第2リトロリフレクタ(52)と、
前記反射ターゲットとして前記可動テーブルの測定部に取り付けられ、前記第2参照測定光を反射する第3リトロリフレクタ(53)と、を有し、
前記ハーフミラーは、前記第1リトロリフレクタ(51)で反射された前記基準測定光を分岐する第2ハーフミラー(42)を有し、
前記第1偏光ビームスプリッタには、前記第2ハーフミラー(42)で分岐された前記基準測定光の一方、及び前記第2リトロリフレクタ(52)で反射した前記第1参照測定光が入射され、
前記偏光ビームスプリッタは、前記第2ハーフミラー(42)で分岐された前記基準測定光の他方、及び前記第3リトロリフレクタ(53)で反射した前記第2参照測定光が入射される第2偏光ビームスプリッタを有し、
前記第1偏光ビームスプリッタで得られた前記第1参照測定光と前記基準測定光との干渉信号を光電変換する第1受光部と、
前記第2偏光ビームスプリッタで得られた前記第2参照測定光と前記基準測定光との干渉信号を光電変換する第2受光部と、
を備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載の多軸レーザ干渉測長器。 - 前記第2リトロリフレクタ(52)で反射した前記第1参照測定光は、第1ミラー(31)で曲げられて前記第1偏光ビームスプリッタに入射することを特徴とする請求項3に記載の多軸レーザ干渉測長器。
- 前記第2参照測定光は、第2ミラー(32)及び第3ミラー(33)で曲げられて前記第3リトロリフレクタ(53)で反射されることを特徴とする請求項3又は4に記載の多軸レーザ干渉測長器。
- 前記光学系は、
前記光源より射出された前記レーザ光を前記基準測定光と前記参照測定光に分岐する第1偏光ビームスプリッタと、
前記参照測定光を第1参照測定光、第2参照測定光及び第3参照測定光に分岐するハーフミラー(41、44)と、
前記反射ターゲットとして前記可動テーブルの測定部に取り付けられ、前記基準測定光を反射するリトロリフレクタ(51)と、
前記反射ターゲットとして前記可動テーブルの測定部に取り付けられ、前記第1参照測定光を反射するリトロリフレクタ(52)と、
前記反射ターゲットとして前記可動テーブルの測定部に取り付けられ、前記第2参照測定光を反射するリトロリフレクタ(53)と、
前記第3参照測定光を反射するリトロリフレクタ(54)と、
前記リトロリフレクタ(51)で反射された前記基準測定光を分岐するハーフミラー(42、43)と、
分岐された前記基準測定光及び前記リトロリフレクタ(52)で反射した前記第1参照測定光が入射される第1偏光ビームスプリッタと、
分岐された前記基準測定光及び前記リトロリフレクタ(53)で反射した前記第2参照測定光が入射される第2偏光ビームスプリッタと、
分岐された前記基準測定光及び前記リトロリフレクタ(54)で反射した前記第3参照測定光が入射される第3偏光ビームスプリッタと、
前記第1偏光ビームスプリッタで得られた前記第1参照測定光と前記基準測定光との干渉信号を光電変換する第1受光部と、
前記第2偏光ビームスプリッタで得られた前記第2参照測定光と前記基準測定光との干渉信号を光電変換する第2受光部と、
前記第3偏光ビームスプリッタで得られた前記第3参照測定光と前記基準測定光との干渉信号を光電変換する第3受光部と、
を備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載の多軸レーザ干渉測長器。 - 前記リトロリフレクタ(51)で反射された前記基準測定光は、ハーフミラー(42、43)で分岐して、前記第1偏光ビームスプリッタ、前記第2偏光ビームスプリッタ、前記第3偏光ビームスプリッタ(23)に入射することを特徴とする請求項6に記載の多軸レーザ干渉測長器。
- 前記参照測定光は、前記ハーフミラー(41)で前記第1参照測定光が分岐され、ハーフミラー(44)で前記第3参照測定光と前記第2参照測定光とに分岐され、前記第2参照測定光は、ミラー(32、33)で曲げられて前記リトロリフレクタ(53)で反射されることを特徴とする請求項6又は7に記載の多軸レーザ干渉測長器。
- 前記参照測定光は、前記ハーフミラー(44)で前記第3参照測定光と前記第2参照測定光とに分岐され、前記第3参照測定光は、前記リトロリフレクタ(54)で反射されることを特徴とする請求項6から請求項8のいずれか一項に記載の多軸レーザ干渉測長器。
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