JP7109381B2 - 顕微鏡及び顕微鏡検査法 - Google Patents
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- 対象(12)を配置するための対象面と、
撮像ビーム経路(16)であって、前記対象面における最小直径を画定する分解能で前記対象面から画像面に前記対象(12)を撮像する撮像ビーム経路(16)と、
照射装置(18)から前記対象面に照射放射を投影する照射ビーム経路(14)であって、前記照射装置(18)が、多数の光源(24)を含み、前記光源(24)が、前記対象面への投影において、2Dアレイの形を有し、前記アレイにおける隣接する光源(24)が、前記最小直径より小さい互いからの距離で配置される照射ビーム経路(14)と、
多数の検出画素(40)を含む検出装置(20)であって、前記検出画素(40)が、前記対象面への投影において、2Dアレイの形式を有し、前記アレイにおける隣接する検出画素(40)が、エアリー直径より小さい互いからの距離で配置され、前記アレイにおける各検出画素(40)が、正確に1つの光源(24)に割り当てられる検出装置(20)と、
前記検出装置(20)及び前記照射装置(18)を制御する制御装置(22)と、
を含む、対象(12)を撮像するための顕微鏡であって、
前記制御装置が、前記アレイにおける前記光源(24)を少なくとも1つの第1のグループ(54a)及び少なくとも1つの第2のグループ(54b)に分割し、前記第1のグループ(54a)及び前記第2のグループ(54b)が、前記アレイにおける相互に隣接する光源(24)から構成され、且つ前記アレイの一部をカバーし、
前記制御装置(22)が、一度に前記第1のグループの1つの光源(24)だけをオンにし、且つクロック毎に順次前記第1のグループ(54a)の前記光源(24)を切り替え、前記第2のグループ(54b)の前記光源(24)が、前記第1のグループ(54a)の前記光源(24)と同じクロック毎に切り替えられ、
前記制御装置(22)が、前記光源(24)の前記切り替えの前記クロックと同一のクロック毎に前記検出装置(20)を読み出し、
さらに、前記制御装置(22)が、前記第1のグループ(54a)及び前記第2のグループ(54b)用に、前記光源の前記切り替えの前記順序に対して異なる順序で、前記アレイの対応部分における前記検出画素(40)を評価することを特徴とする顕微鏡。 - 前記制御装置(22)が、前記撮像ビーム経路(16)によって案内された入射によって信号が生成される前記検出画素(40)の信号を読み出し、前記検出画素(40)が、全ての光源が(24)が切り替えられてしまうまで光に露光されることを特徴とする、請求項1に記載の顕微鏡。
- 前記検出装置(20)が、CCDアレイセンサを含み、前記信号が電荷であり、前記検出画素(40)の電荷が、再分配用にシフトされることを特徴とする、請求項2に記載の顕微鏡。
- 前記検出装置(20)を読み出すために、前記制御装置(22)が、前記アレイの前記対応部分における前記実際にオンにされた光源(24)に割り当てられる前記検出画素(40)だけを各クロックサイクルにおいて読み出し、前記制御装置(22)が、前記オンにされた光源(24)に基づいて、前記個別検出画素(40)の情報から前記対象(12)の回折画像を計算することを特徴とする、請求項1に記載の顕微鏡。
- 前記照射装置(18)が、前記対象面への投影において、少なくとも2つの相異なる波長範囲を有する照射放射を生成するように適合され、前記制御装置(22)が、相異なる波長範囲の放射を放出する光源(24)が前記対象面への投影において、前記最小直径より大きい距離を有するように、前記波長範囲に対して前記光源(24)を制御することを特徴とする、請求項1に記載の顕微鏡。
- 各検出画素(40)が、少なくとも2つのカラー画素(58)を含み、個別カラーフィルタ(60)が、各カラー画素(58)の上流に配置され、前記制御装置(22)が、全てのカラー画素(58)を同時に読み出すことを特徴とする、請求項1に記載の顕微鏡。
- 前記制御装置(22)が、少なくとも2度、前記個別光源(24)を切り替え、且つ前記順序で前記検出装置(20)を読み出すことを特徴とする、請求項1に記載の顕微鏡。
- 対象(12)を撮像するための顕微鏡検査法であって、
対象面(12)に前記対象を配置するステップと、
前記対象面における最小直径を画定する分解能で、撮像ビーム経路(16)を通して前記対象面から画像面に前記対象(12)を撮像するステップと、
照射ビーム経路(14)を用い、照射装置(18)から前記対象面に照射放射を投影するステップであって、前記照射装置(18)が、多数の光源(24)を含み、前記光源(24)が、前記対象面への投影において、2Dアレイの形を有し、前記アレイにおける隣接する光源(24)が、前記最小直径より小さい互いからの距離に配置されるステップと、
検出装置(20)を用いて、前記撮像ビーム経路(16)によって案内される放射を検出するステップであって、前記検出装置(20)が、多数の検出画素(40)を含み、前記検出画素(40)が、前記対象面への投影において、前記2Dアレイの形を有し、前記アレイにおける隣接する検出画素(40)が、エアリー直径より小さい互いからの距離に配置され、前記アレイにおける各検出画素(40)が、正確に1つの光源(24)に割り当てられるステップと、
前記アレイにおける前記光源(24)を少なくとも1つの第1のグループ(54a)及び少なくとも1つの第2のグループ(54b)に分割するステップであって、前記第1のグループ(54a)及び前記第2のグループ(54b)が、前記アレイにおいて相互に隣接する光源(24)で構成され、且つ前記アレイの一部をカバーするステップと、
一度に前記第1のグループ(54a)のただ1つの光源(24)をオンにするステップ、クロック毎に順次前記第1のグループ(54a)の前記光源(24)を切り替えるステップ、及び前記第1のグループ(54a)の前記光源と同じクロック毎に前記第2のグループ(54b)の前記光源(24)を切り替えるステップと、
前記光源の(24)前記切り替えの前記クロックと同一のクロック毎に前記検出装置(20)を読み出すステップと、
を含み、
前記第1のグループ(54a)及び前記第2のグループ(54b)用に、前記アレイの前記対応部分における前記検出画素(40)が、前記光源の前記切り替えの前記順序に対して異なる順序で評価されることを特徴とする顕微鏡検査法。 - 前記検出画素(40)の信号が、前記撮像ビーム経路(16)によって案内された入射によって生成され、前記検出画素(40)が、全ての光源が(24)がくまなく切り替えられてしまうまで光に露光されることを特徴とする、請求項8に記載の顕微鏡検査法。
- 前記検出装置(20)が、CCDアレイセンサを含み、前記信号が電荷であり、前記検出画素(40)の電荷が、再分配用にシフトされることを特徴とする、請求項8に記載の顕微鏡検査法。
- 前記検出装置(20)を読み出すために、前記アレイの前記対応部分における前記実際にオンにされた光源(24)に割り当てられる前記検出画素(40)だけが、各クロックサイクルにおいて読み出され、前記対象(12)の前記回折画像が、前記オンにされた光源(24)に基づいて、前記個別検出画素(40)の情報から計算されることを特徴とする、請求項8に記載の顕微鏡検査法。
- 前記照射装置(18)が、前記対象面への投影において、少なくとも2つの相異なる波長範囲を有する照射放射を生成するように適合され、相異なる波長範囲の放射を放出する光源(24)が、前記対象面への投影において、前記最小直径より大きい距離を有するように、前記光源(24)が、前記波長範囲に対して制御されることを特徴とする、請求項8に記載の顕微鏡検査法。
- 各検出画素(40)が、少なくとも2つのカラー画素(58)を含み、個別カラーフィルタ(60)が、各カラー画素(58)の上流に配置され、全てのカラー画素(58)が、同時に読み出されることを特徴とする、請求項8に記載の顕微鏡検査法。
- 前記個別光源(24)が、くまなく切り替えられ、前記検出装置が、前記順序で少なくとも2度読み出されることを特徴とする、請求項8に記載の顕微鏡検査法。
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