JP7107675B2 - 半導体実装装置および半導体実装方法 - Google Patents
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Description
4…倣い機構制御装置、5…実装装置制御装置、6…制御装置、21…押圧接着機構、22…倣い機構、23…位置検出部、24…位置検出部、26…支持部材、29…位置検知装置、61…取得部、62…算出部、63…記憶部、64…判定部、65…倣い機構制御部、66…実装装置制御部、211…ボンディングツール、221…固定部、222…回動部、231、241…反射部、231a、241a…反射面、232、242…発光部、233、243…受光部、2228…押さえ部材
Claims (5)
- 半導体チップの押圧接着機構と、
互いに対向する部分球面形状の凸部または凹部を有する固定部と回動部を有して前記押圧接着機構の傾きを調整する倣い機構と、
前記回動部の第1回動位置を検知する第1位置検知部と、
前記第1位置検知部が前記第1回動位置を検知する第1検知位置と異なる第2検知位置で、前記回動部の第2回動位置を検知する第2位置検知部と、
前記第1位置検知部が検知した前記第1回動位置を表す第1情報と前記第2位置検知部が検知した前記第2回動位置を表す第2情報とを取得する取得部と、
取得した前記第1情報および前記第2情報に対応する基準位置情報を記憶する記憶部と、
新たに取得した前記第1情報および前記第2情報と、前記記憶部が記憶する前記基準位置情報とに基づいて前記回動部の変位を算出する算出部と、
前記算出部が算出した前記変位がしきい値よりも大きい場合に、前記回動部の回動位置が前記基準位置情報の示す位置と一致するように、前記倣い機構を回動する回動駆動部を制御する倣い機構制御部と、
を備える半導体実装装置。 - 前記第1位置検知部が前記回動部に非接触で前記第1回動位置を検知し、
前記第2位置検知部が前記回動部に非接触で前記第2回動位置を検知する
請求項1に記載の半導体実装装置。 - 前記第1位置検知部が、前記第1検知位置を含む前記回動部の回動中心を中心とする第1円の接線の方向と略平行に第1反射面を有するよう前記回動部に設けられた第1反射部と、前記第1反射面に対して光を照射するよう前記固定部に設けられた第1発光部と、前記第1反射面で反射された光を受光するよう前記固定部に設けられた第1受光部を用いて、前記第1回動位置を検知し、
前記第2位置検知部が、前記第2検知位置を含む前記回動部の回動中心を中心とする第2円の接線の方向と略平行に第2反射面を有するよう前記回動部に設けられた第2反射部と、前記第2反射面に対して光を照射するよう前記固定部に設けられた第2発光部と、前記第2反射面で反射された光を受光するよう前記固定部に設けられた第2受光部を用いて、前記第2回動位置を検知する
請求項1または2に記載の半導体実装装置。 - 前記第1円と前記第2円のなす角が略直角である
請求項3に記載の半導体実装装置。 - 半導体チップの押圧接着機構と、互いに対向する部分球面形状の凸部または凹部を有する固定部と回動部を有して前記押圧接着機構の傾きを調整する倣い機構と、
前記回動部の第1回動位置を検知する第1位置検知部と、
前記第1位置検知部が前記第1回動位置を検知する第1検知位置と異なる第2検知位置で、前記回動部の第2回動位置を検知する第2位置検知部と、
前記第1位置検知部が検知した前記第1回動位置を表す第1情報と前記第2位置検知部が検知した前記第2回動位置を表す第2情報とを取得する取得部と、
取得した前記第1情報および前記第2情報に対応する基準位置情報を記憶する記憶部と、
新たに取得した前記第1情報および前記第2情報と、前記記憶部が記憶する前記基準位置情報とに基づいて前記回動部の変位を算出する算出部と、
前記算出部が算出した前記変位がしきい値よりも大きい場合に、前記回動部の回動位置が前記基準位置情報の示す位置と一致するように、前記倣い機構を回動する回動駆動部を制御する倣い機構制御部とを用いて、
前記回動部の回動位置を制御する
半導体実装方法。
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JP2017239860A JP7107675B2 (ja) | 2017-12-14 | 2017-12-14 | 半導体実装装置および半導体実装方法 |
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JP2019106509A JP2019106509A (ja) | 2019-06-27 |
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JP2014195247A (ja) | 2013-02-28 | 2014-10-09 | Shinano Kenshi Co Ltd | 情報読取素子およびそれを用いた情報読取装置 |
JP2016051857A (ja) | 2014-09-01 | 2016-04-11 | Ckd株式会社 | 倣い装置 |
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