JP7101501B2 - 液体塗布ユニット、液体塗布方法および液体塗布装置 - Google Patents

Description

本発明は液体塗布ユニット、液体塗布方法および液体塗布装置に関し、特に、水晶振動子の電極パターン形成用の液体塗布ユニット、液体塗布方法および液体塗布装置に関するものである。

ＲＦＩＤ（Radio Frequency Identifier）タグなどの微細な回路を印刷方式すなわち塗布方式で形成する、プリンテッドエレクトロニクス技術が急速に発展してきている。微細な電極パターンを形成する方式としては、印刷方式、インクジェット方式などが一般的である。しかし微細な電極パターンを形成する方式としては、これらの方式の他に、塗布針を用いた方式も用いられ得る。塗布針を用いた方式は、広範囲の粘度の材料を用いた微細な塗布が可能となるためである。塗布針を用いて微細な塗布を行なう方法は、たとえば特開２０１７－９４５号公報（特許文献１）に開示されている。特開２０１７－９４５号公報には、塗布ユニットを用いて微細な塗布を行なう装置が開示されている。

特開２０１７－９４５号公報

特開２０１７－９４５号公報に記載の液体塗布ユニットは、リンク機構を介して、モータの回転を直動方向の動きに変換する。これにより、当該液体塗布ユニットは、塗布針を高速に駆動することができる。

しかしながら、当該リンク機構を用いた構成においては、塗布針の上下方向の移動距離は一定で可変することはできない。当該構成においても、モータの回転角を制限し、往復運動させることで、塗布針の上下方向移動距離を可変することも可能である。しかしそのためには、モータが高速移動している状態でモータの回転方向を反転させる必要がある。このためモータが高速移動していれば塗布針の下降端位置のばらつきが大きくなる。一方、上記ばらつきを小さくするためにはモータの回転速度を遅くする必要が生じ、全体のタクトが遅くなるという課題がある。すなわち特開２０１７－９４５号公報においては、その構成上、塗布針の高速移動と上下移動距離の変更とを両立させることが困難である。

本発明は以上の課題に鑑みなされたものである。その目的は、塗布針の高速移動と上下移動距離の変更とを両立可能な液体塗布ユニット、液体塗布方法および液体塗布装置を提供することである。

本発明の液体塗布ユニットは、モータと、塗布針支持部と、直動機構とを備える。モータは塗布針を上下に駆動する。塗布針支持部は塗布針を支持する。直動機構は塗布針支持部をモータの回転に応じて上下動させる。直動機構は、偏心板と連結部材とを含む。偏心板はモータによって回転される回転軸に取り付けられ回転軸から第１の距離だけ偏心した位置に設けられた第１の固定部と、回転軸から第１の距離と異なる第２の距離だけ偏心した位置に設けられた第２の固定部とを含む。連結部材は塗布針支持部と共に上下動する第３の固定部と、第１の固定部または第２の固定部とを連結する。偏心板と連結部材とは、連結部材を第１の固定部または第２の固定部に対して回動可能に支持する軸受を介して、第１の固定部または第２の固定部において互いに連結される。

上記の液体塗布ユニットを用いた本発明の液体塗布方法においては、塗布針の先端に液体材料が塗布される。塗布針を下降させて塗布針を塗布対象面に接触させる。接触させる工程においては、塗布針の先端が塗布対象面に接触する直前に塗布針の下降速度を低下させる。

本発明の液体塗布装置は、上記の液体塗布ユニットを含み、塗布対象面に塗布液が塗布可能である。

本発明によれば、偏心板において回転軸からの距離が異なる第１の固定部および第２の固定部のいずれかと、塗布針支持部に固定された第３の固定部とが連結部材により連結される。このため連結部材が偏心板のいずれの固定部に連結されるかに応じて、その上下移動距離を変更することができる。またモータの回転を直動方向の動きに変換することにより、塗布針を高速に駆動することができる。よって、塗布針の高速移動と上下移動距離の変更とを両立させることができる。

実施の形態１に係る塗布ユニットの正面図である。 実施の形態１における図１中の点線で囲んだ領域Ａの、回転軸に沿う概略拡大断面図である。 図１中の矢印で示す方向Ｂから見た塗布ユニットの側面図である。 実施の形態１において、第１の固定部にて偏心板と連結板とが互いに連結される場合の、偏心板の回転による塗布針の上下方向の移動態様を示す概略平面図である。 実施の形態１において、第２の固定部にて偏心板と連結板とが互いに連結される場合の、偏心板の回転による塗布針の上下方向の移動態様を示す概略平面図である。 本実施の形態に従った液体塗布装置の模式的な斜視図である。 図６に示した塗布ユニットの動作にともなう塗布針の位置を説明するための模式的な断面図である。 比較例における、偏心板の回転とスペーサとの位置関係とを示した図である。 実施の形態２における図１中の点線で囲んだ領域Ａの、回転軸に沿う概略拡大断面図である。 実施の形態２において、第１の固定部にて偏心板と連結板とが互いに連結される場合の、偏心板の回転による塗布針の上下方向の移動態様を示す概略平面図である。 実施の形態２において、第２の固定部にて偏心板と連結板とが互いに連結される場合の、偏心板の回転による塗布針の上下方向の移動態様を示す概略平面図である。 固定ピンを凹部へ固定するためのナットを示す概略拡大断面図である。 図１２のようにナットで固定ピンを固定可能とするための凹部の平面形状を示す概略平面図である。 図１３のＸＩＶ－ＸＩＶ線に沿う部分の概略断面図である。 図１３のＸＶ－ＸＶ線に沿う部分の概略断面図である。 実施の形態３における図１中の点線で囲んだ領域Ａの、回転軸に沿う概略拡大断面図である。 実施の形態３において、第１の固定部にて偏心板と連結板とが互いに連結される場合の、偏心板の回転による塗布針の上下方向の移動態様を示す概略平面図である。 実施の形態３において、第２の固定部にて偏心板と連結板とが互いに連結される場合の、偏心板の回転による塗布針の上下方向の移動態様を示す概略平面図である。 実施の形態４に係る塗布ユニットの正面図である。 実施の形態１における図１９中の点線で囲んだ領域Ｃの、回転軸に沿う概略拡大断面図（Ａ）と、図２０（Ａ）中の矢印で示す方向ＸＸＢから見た連結板の概略正面図（Ｂ）とである。 実施の形態３における図１９中の点線で囲んだ領域Ｃの、回転軸に沿う概略拡大断面図の第１例（Ａ）と、実施の形態３における図１９中の点線で囲んだ領域Ｃの、回転軸に沿う概略拡大断面図の第２例（Ｂ）と、図２１（Ａ），（Ｂ）中の矢印で示す方向ＸＸＩＣから見た連結板の概略正面図（Ｃ）とである。

以下、本発明の実施の形態について図に基づいて説明する。
（実施の形態１）
まず本実施の形態の、直動機構が設けられている塗布ユニット４について、図１～図５を用いて説明する。

図１は、本実施の形態に係る塗布ユニット４Ａの正面図である。図２は、実施の形態１における図１中の点線で囲んだ領域Ａの、回転軸ＲＡに沿う概略拡大断面図である。図３は、図１中の矢印で示す方向Ｂから見た塗布ユニット４Ａの側面図である。特に図３（Ａ）には、塗布針２４が上昇している状態が示され、図３（Ｂ）には塗布針２４が下降している状態が示されている。

図１を参照して、本実施の形態に係る塗布ユニット４Ａは、液体材料を微細に塗布する塗布針を動かす液体塗布ユニットである。塗布ユニット４Ａは、モータとしてのサーボモータ１２０と、塗布針支持部１０９と、直動機構１３０とを主に備えている。サーボモータ１２０は、塗布針を上下に駆動するための駆動源としてのものである。塗布針支持部１０９は、塗布針を支持するためのものである。直動機構１３０は、塗布針支持部１０９をサーボモータ１２０の回転に応じて上下動させるものである。以下、これについて具体的に説明する。

サーボモータ１２０は、左右方向すなわち水平方向に沿って延びる形状を有しており、その延びる方向に交差する断面の中心には回転軸ＲＡが延びている。サーボモータ１２０の内部には、モータ制御部１２１が配置されている。モータ制御部１２１は、塗布針ホルダ１０２の上下動が適切な速度となるようにサーボモータ１２０の回転を制御する。

塗布針支持部１０９は、直動機構１３０の下方に配置されている。塗布針支持部１０９は、塗布針ホルダ１０２と、塗布針ホルダ収納部１０４と、塗布針ホルダ固定部１０６と、塗布液容器２１とを備えており、これらが塗布針２４を支持している。

塗布針ホルダ１０２は、先端をテーパ状に先細りさせた１本の塗布針２４を保持する。すなわち塗布針ホルダ１０２は、上下方向（鉛直方向）に沿って延びるように配置され、その先端２３が下方を向く塗布針２４を、先端２３と反対側すなわち上側から保持する。塗布針ホルダ収納部１０４は、塗布針ホルダ１０２の上側に配置されており、塗布針ホルダ１０２を収納可能な構成を有している。塗布針ホルダ固定部１０６は、塗布針ホルダ収納部１０４の上側に配置されており、塗布針ホルダ１０２を固定可能な構成を有している。

直動機構１３０は、原点センサ１１８と、偏心板１１６と、スペーサ１１４と、リニアガイド１３２と、連結板１１２（連結部材）と、スペーサ１１０（第３の固定部）と、軸受１２２、軸受１２４と、可動部１０８と、を含む。これらは概ね、サーボモータ１２０が延びる方向に関する回転軸ＲＡの延長線上であり、かつ塗布針支持部１０９の真上の領域に配置されている。

原点センサ１１８は、直動機構１３０の最も上側に配置されており、偏心板１１６に設けられた原点を検出してモータ制御部１２１に出力する。この原点は、偏心板１１６が基準となる回転角度に一致した場合（たとえば、図５（Ａ）に示した状態）に原点センサ１１８に最も近づく。

可動部１０８には、塗布針ホルダ固定部１０６に塗布針ホルダ１０２が装着されていて、塗布針ホルダ１０２の下側面から１本の塗布針２４が下方に先端２３を向けて保持されている。リニアガイド１３２は、塗布針ホルダ１０２が固定された可動部１０８を上下動可能に支持する。

図１、図２および図３を参照して、偏心板１１６は、原点センサ１１８の下方に配置されており、図１の矢印で示す方向Ｂから見た形状がたとえば円形を有している。偏心板１１６の円形状の中心は、回転軸ＲＡにおおむね一致する。すなわち偏心板１１６は、サーボモータ１２０によって回転され、塗布針ホルダ１０２の上下動方向に交差するサーボモータ１２０の回転軸ＲＡに取り付けられる。

より具体的には、偏心板１１６のたとえば円形の表面の右側に接するように、スペーサ１１４が設けられている。偏心板１１６のたとえば図２の円形の右側の表面の一部には、第１の固定部としての凹部１２３Ａ、および第２の固定部としての凹部１２３Ｂが形成されている。

凹部１２３Ａ，１２３Ｂは、偏心板１１６の厚みの一部分を除去するように形成されており、本実施の形態においてはたとえば図１中の矢印Ｂが示す方向から見て円形を有している。凹部１２３Ａと凹部１２３Ｂとは互いに間隔をあけて形成され、たとえばネジ穴である。

図２においてスペーサ１１４は、偏心板１１６の凹部１２３Ａと図１の矢印が示す方向Ｂから見て重なる領域を含むように配置されている。スペーサ１１４には、凹部１２３Ａと平面的に重なる領域において、図２の左右方向に延びるようにスペーサ１１４を貫通する孔部１１４Ｃが形成されている。

連結板１１２は、塗布針ホルダ１０２と共に上下動する可動部１０８に設けられたスペーサ１１０と、凹部１２３Ａまたは凹部１２３Ｂとの間を固定長で連結する。一例として図２においては、連結板１１２は、塗布針支持部１０９と共に上下動するスペーサ１１０（図１参照）と、第１の固定部としての凹部１２３Ａまたは第２の固定部としての凹部１２３Ｂ（図２においては凹部１２３Ａ）とを連結する。より具体的には、偏心板１１６と連結板１１２とは、連結板１１２を凹部１２３Ａまたは凹部１２３Ｂ（図２においては凹部１２３Ａ）に対して回動可能に支持する軸受１２２を介して、凹部１２３Ａまたは凹部１２３Ｂ（図２においては凹部１２３Ａ）において互いに連結される。

そのために、連結板１１２には、偏心板１１６と連結するための貫通孔１２５が形成されている。貫通孔１２５は、連結板１１２の一部を図２の左右方向に貫通することにより形成され、図１の矢印Ｂに示す方向から見てたとえば円形を有している。また当該塗布ユニット４Ａにおいては、連結板１１２と、凹部１２３Ａ，１２３Ｂのいずれかとを、軸受１２２を介して回転可能に連結するための固定ピン１２８がさらに備えられている。この固定ピン１２８は、連結板１１２の貫通孔１２５と、スペーサ１１４の孔部１１４Ｃとを貫通し、さらに凹部１２３Ａ（または凹部１２３Ｂ）内に挿入されている。固定ピン１２８の凹部１２３Ａまたは凹部１２３Ｂへの固定方法は任意の着脱可能な方法を用いることができる。また固定ピン１２８と連結板１１２の貫通孔１２５との間、すなわち貫通孔１２５内には軸受１２２が配置される。このため固定ピン１２８は、偏心板１１６およびスペーサ１１４に対して連結板１１２を、軸受１２２により、軸受１２２の中心部を中心として互いに回転可能に連結している。

なお凹部１２３Ａ，１２３Ｂは固定ピン１２８を挿入し固定可能であるため、その円形状の径は、固定ピン１２８の挿入される軸の部分の径とほぼ等しくなっている。また貫通孔１２５は軸受１２２を介して凹部１２３Ａ，１２３Ｂ（固定ピン１２８の軸の部分）と連結可能となっているため、貫通孔１２５の円形状の径は、固定ピン１２８の挿入される軸の部分の径よりも大きくなっている。また固定ピン１２８からの連結板１１２の脱落を防ぐ観点から、貫通孔１２５の径は、固定ピン１２８の頭の部分の径より小さくてもよい。

軸受１２２は、外輪１２２Ａ、内輪１２２Ｂおよびこれらの間のころ１２２Ｃにより構成されている。たとえば外輪１２２Ａが貫通孔１２５の内壁面に接触し、内輪１２２Ｂが固定ピン１２８の軸の部分に接触している。これにより、固定ピン１２８の軸周りすなわちスペーサ１１４の軸周りに連結板１１２が回転可能となっている。

なお図示されないが、塗布ユニット４Ａにおいては、連結板１１２は、軸受１２４を介して可動部１０８およびスペーサ１１０と回動可能に接続される。このことは上記の、連結板１１２が偏心板１１６と、固定ピン１２８および軸受１２２を介して回転可能に連結されるのと同様である。軸受１２４の構成は基本的に軸受１２２と同様である。軸受１２４，１２２を連結板１１２に固定する方法は任意の方法を用いることができる。

特に図３を参照して、可動部１０８は、バネ１２６を介してばね支持ピン１３１に引き付けられており、駆動時に軸受１２２，１２４のガタにより振動が発生しない構成となっている。軸受１２２，１２４に予圧を掛けてガタを無くすことで、バネ１２６を設けない構成にすることも可能である。

そして、サーボモータ１２０の駆動により、偏心板１１６が回転すると、連結板１１２の上，下方向の移動に伴って、塗布針２４は上，下方向に往復移動される。連結板１１２は、軸受１２４を介して可動部１０８と回動可能に支持されており、かつ偏心板１１６と互いに連結されているためである。その塗布針２４の上下方向の移動距離は、図４中にΔＺで示される量となる。次に図４～図５を用いて、このΔＺについて詳細に説明する。

図４は第１の固定部である凹部１２３Ａにおいて偏心板１１６と連結板１１２とが互いに連結される場合の、偏心板１１６の回転による塗布針２４の上下方向の移動態様を示している。すなわち図４（Ａ）が初期状態を示し、図４（Ｂ）～（Ｅ）は左隣の図が示す状態に対して９０°ずつ偏心板１１６が回転したときの連結板１１２の位置を示している。また図５は第２の固定部である凹部１２３Ｂにおいて偏心板１１６と連結板１１２とが互いに連結される場合の、偏心板１１６の回転による塗布針２４の上下方向の移動態様を示している。すなわち図５（Ａ）が初期状態を示し、図５（Ｂ）～（Ｅ）は左隣の図が示す状態に対して９０°ずつ偏心板１１６が回転したときの連結板１１２の位置を示している。

図４（Ａ）を参照して、凹部１２３Ａは図１の矢印Ｂの方向から見たときの円形の中心から偏心板１１６の中心すなわちサーボモータ１２０の回転軸ＲＡまでの距離が第１の距離ａとなっている。この距離ａは、回転軸ＲＡからの凹部１２３Ａの偏心量である。同様に、凹部１２３Ｂは図１の矢印Ｂの方向から見たときの円形の中心から偏心板１１６の中心すなわちサーボモータ１２０の回転軸ＲＡまでの距離が第２の距離ｂとなっている。この距離ｂは、回転軸ＲＡからの凹部１２３Ｂの偏心量である。第２の距離ｂは第１の距離ａとは異なり、図４においては距離ｂは距離ａより短い。また図示されないが凹部１２３Ａ，１２３Ｂの円形状は、固定ピン１２８を挿入可能な直径を有している。

図４（Ａ）の初期状態において、固定ピン１２８が凹部１２３Ａに挿入され、凹部１２３Ａと連結板１１２とが、連結板１１２の貫通孔１２５内に嵌められた軸受１２２を介して連結されている。図４（Ａ）の初期状態から図４（Ｂ）、図４（Ｃ）のように偏心板１１６がその中心（回転軸ＲＡ）周りに半周回転する。偏心板１１６の回転はサーボモータ１２０によりなされる。これにより、図４（Ｃ）の状態においては凹部１２３Ａの円形の中心および可動部１０８（図３参照）は図４（Ａ）の初期状態に比べて距離２ａだけ下降する。図４（Ｃ）の状態から図４（Ｄ）、図４（Ｅ）のように偏心板１１６がその中心（回転軸ＲＡ）周りに半周回転する。これにより、図４（Ｅ）の状態においては凹部１２３Ａの円形の中心および可動部１０８（図３参照）は図４（Ｃ）の状態に比べて距離２ａだけ上昇し、図４（Ａ）と同一の状態に戻る。以上の距離２ａが図３のΔＺに相当し、凹部１２３Ａを用いた場合、直動機構１３０は以上のように動作する。

一方、図５（Ａ）の初期状態において、固定ピン１２８が凹部１２３Ｂに挿入され、凹部１２３Ｂと連結板１１２とが、連結板１１２の貫通孔１２５内に嵌められた軸受１２２を介して連結されている。図５（Ａ）の初期状態から図５（Ｂ）、図５（Ｃ）のように偏心板１１６がその中心（回転軸ＲＡ）周りに半周回転する。これにより、図５（Ｃ）の状態においては凹部１２３Ｂの円形の中心および可動部１０８（図３参照）は図４（Ａ）の初期状態に比べて２ｂだけ下降する。図５（Ｃ）の状態から図５（Ｄ）、図５（Ｅ）のように偏心板１１６がその中心（回転軸ＲＡ）周りに半周回転する。これにより、図５（Ｅ）の状態においては凹部１２３Ｂの円形の中心および可動部１０８（図３参照）は図５（Ｃ）の状態に比べて２ｂだけ上昇し、図５（Ａ）と同一の状態に戻る。以上の２ｂが図３のΔＺに相当し、凹部１２３Ｂを用いた場合、直動機構１３０は以上のように動作する。

以上のような動作を行なう塗布ユニット４Ａを含む、本実施の形態の液体塗布装置２００の構成について、図６を用いて説明する。

図６は、本実施の形態に従った液体塗布装置２００の模式的な斜視図である。また図６においては、説明の便宜のため、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向が導入されている。図６を参照して、液体塗布装置２００は、上記の塗布ユニット４Ａとしての（後述の塗布ユニット４Ｂを含む）塗布ユニット４と、床面に配置された基台１２と、Ｘ軸テーブル１と、Ｙ軸テーブル２と、Ｚ軸テーブル３と、観察光学系６と、観察光学系６に接続されたＣＣＤカメラ７と、制御部１１とを含む。

基台１２の上面には、図１中のＹ軸方向に移動可能に構成されたＹ軸テーブル２が設置されている。具体的には、Ｙ軸テーブル２の下面にガイド部が設置されており、基台１２の上面に設置されたガイドレールに沿って摺動可能に接続されている。また、Ｙ軸テーブル２の下面には、ボールねじが接続されている。ボールねじをモータなどの駆動部材により動作させることにより、Ｙ軸テーブル２はガイドレールに沿って（Ｙ軸方向に）移動可能になっている。また、Ｙ軸テーブル２の上面部は、被塗布物である基板５を搭載する搭載面となっている。

基台１２上には、Ｘ軸方向にＹ軸テーブル２のガイドレールを跨ぐように設置された門型の構造体が設けられている。この構造体上には、Ｘ軸方向に移動可能なＸ軸テーブル１が搭載されている。Ｘ軸テーブル１は、たとえばボールねじを用いてＸ軸方向に移動可能である。

Ｘ軸テーブル１の移動体には、Ｚ軸テーブル３が搭載されており、このＺ軸テーブル３に塗布ユニット４および観察光学系６が搭載されている。塗布ユニット４および観察光学系６は、Ｚ軸テーブル３とともにＸ方向へ移動可能である。塗布ユニット４は、塗布ユニットに設けられた塗布針を用いて、基板５の被塗布面（上面側）に塗布液を塗布するために設けられる。観察光学系６は、塗布対象の基板５の塗布位置を観察するために設けられる。観察光学系６のＣＣＤカメラ７は、観察した画像を電気信号に変換する。Ｚ軸テーブル３は、これらの塗布ユニット４および観察光学系６をＺ軸方向に移動可能に支持している。

制御部１１は、操作パネル８、モニタ９、制御用コンピュータ１０を備え、Ｘ軸テーブル１、Ｙ軸テーブル２、Ｚ軸テーブル３、塗布ユニット４および観察光学系６を制御する。操作パネル８は、制御用コンピュータ１０への指令を入力するために用いられる。モニタ９は、観察光学系６のＣＣＤカメラ７で変換された画像データおよび、制御用コンピュータ１０からの出力データを表示する。制御用コンピュータ１０は液体塗布装置２００の全体を制御する。

基板５に回路パターンを描画する場合は、塗布対象の基板５の描画する位置を観察光学系６の直下までＸ軸テーブル１およびＹ軸テーブル２で移動させ、観察光学系６で描画開始位置を観察・確認し、描画開始位置を決定する。そして、決定した描画開始位置を基準に回路パターンを描画する。描画開始位置から、順次、描画位置が塗布ユニット４の直下にくるようにＸ軸テーブル１およびＹ軸テーブル２で基板５を移動させる。移動が完了した時点で、塗布ユニット４を駆動して塗布を行なう。これを連続して繰り返すことで、回路パターンを描画することができる。つまり、塗布すべき位置が複数存在する場合は、順次、描画開始位置が塗布ユニット４の直下にくるようにＸ軸テーブル１およびＹ軸テーブル２で基板５を移動させる。そして毎回、移動が完了した時点で、塗布ユニット４を駆動して塗布を行なう。

塗布針２４の下降端位置と観察光学系６のフォーカス位置の関係は予め記憶されており、描画時には、観察光学系６で画像のフォーカスを合わせた位置をＺ軸方向基準に、塗布針２４が基板５に接触する高さまで、Ｚ軸テーブルでＺ軸方向位置を移動させてから塗布を行なう。描画する回路パターンの面積が広く、描画途中での塗布対象の基板５の基板面高さの変化が大きい場合は、必要に応じて途中でフォーカス位置を確認し、Ｚ軸方向の位置を修正してから塗布を行なう。この時のフォーカス位置の調整は、画像処理を用いて自動でフォーカスする方法でも良いし、レーザセンサ等を用いて、常に塗布対象の基板５の表面の高さ位置を検出し、リアルタイムで補正を掛ける方法でも良い。

次に、本実施の形態の上記塗布ユニット４を含む液体塗布装置２００を用いた液体塗布方法について、図７を用いて説明する。

図７は、図６に示した塗布ユニット４の動作に伴う塗布針の位置を説明するための模式的な断面図である。具体的には、図７（Ａ）は塗布針２４が上昇している状態が示されており、図７（Ｂ）は塗布針２４が下降している状態が示されている。

図７（Ａ）を参照して、図１に示す塗布針支持部１０９の一部である塗布液容器２１内に、液体材料としての塗布液１００が保持されている。塗布針支持部１０９に支持される塗布針２４の先端２３は、塗布液容器２１内の塗布液１００に浸されている。なおこのとき、塗布針２４の先端２３は、塗布対象物である基板５と対向するように配置されている。これが塗布対象面である基板５の表面に塗布液１００を供給する前段階としての、塗布針２４の先端２３に塗布液１００が塗布される工程を示している。図７（Ａ）においては塗布針２４は上方に配置されているため、この状態は図４（Ａ），（Ｅ）または図５（Ａ），（Ｅ）に対応する。

図７（Ｂ）を参照して、図７（Ａ）の状態から塗布針２４が下降され、基板５の塗布対象面（上側の主表面）にこれが接触される。具体的には、図４（Ｃ）または図５（Ｃ）に示すように偏心板１１６が回転し連結板１１２が下降する。これにより、それまで塗布針容器２１内に先端２３が収納されていた塗布針２４が、図７（Ａ）の状態に比べて下方に移動する。塗布針容器２１の下端部には塗布針２４が貫通するための容器貫通孔２２が形成されている。このため、下降により塗布針２４の先端２３は容器貫通孔２２から塗布針容器２１の外側に突出し、基板５の塗布対象面上に接触する。これにより、塗布針２４の先端２３に付着されていた塗布液１００が基板５の塗布対象面上に供給される。以上により、塗布針２４を下降させて塗布針２４を塗布対象面に接触させる。

なお本実施の形態においては、サーボモータ１２０には上記のようにモータ制御部１２１が取り付けられている。このモータ制御部１２１は、塗布針２４の下降時において、塗布針２４の先端２３が基板５などの塗布対象面に接触する手前で減速するようにサーボモータ１２０を回転させる。このため、図７（Ｂ）の工程において塗布針２４の先端２３を塗布対象面に接触させる際には、塗布針２４の先端２３が塗布対象面に接触する直前に塗布針２４の下降速度を低下させる。

次に、比較例としての図８を参照しながら、本実施の形態の作用効果について説明する。

図８は比較例における、偏心板１１６の回転と軸受１２２と軸受１２４の位置関係とを示した図である。図８（Ａ）～（Ｅ）は、本実施の形態における図４（Ａ）～（Ｅ）または図５（Ａ）～（Ｅ）に対応する。図８（Ａ）～（Ｅ）において、比較例においても本実施の形態と同様に、偏心板１１６と連結板１１２とは、偏心板１１６に設けられた固定部である凹部１２３に対して回動可能に支持する軸受１２２を介して、凹部１２３において互いに連結される。なお凹部１２３は、回転軸から所定の距離だけ偏心した位置に設けられている。比較例においても、本実施の形態と同様に、偏心板１１６が図８（Ａ）～（Ｅ）に示すように一方向に回転することで、軸受１２２，１２４が設置された連結板１１２は上下動ストロークΔＺ分だけ上下動をする。

ただし比較例においては、偏心板１１６には単一の凹部１２３のみが形成されている。このためΔＺの値は偏心板１１６の中心と凹部１２３の中心との距離の２倍に一意的に決まり、これを変更することはできない。

そこで本実施の形態においては、図２および図４、図５に示すように、偏心板１１６には、サーボモータ１２０の回転軸ＲＡからの距離が互いに異なる凹部１２３Ａと凹部１２３Ｂの２つの固定部が形成されている。このため、軸受１２２を介して偏心板１１６が連結板１１２と連結される位置を、図４のように凹部１２３Ａにしたり、図５のように凹部１２３Ｂにしたりと、自在に変更することができる。このため偏心板１１６を回転させて連結板１１２すなわち塗布針２４を上下方向に移動させる量であるΔＺを、自在に変更することができる。

なお図２などにおいては、偏心板１１６には２つの凹部１２３Ａ，１２３Ｂが形成されている。しかし偏心板１１６には３つ以上の、互いに回転軸ＲＡからの距離が異なる固定部が形成されていてもよい。このようにすれば、凹部の数を増加させた分だけ、ΔＺの量を変更する選択肢を、更に増加させることができる。

また本実施の形態の塗布ユニット４Ａは、直動機構１３０を介して、サーボモータ１２０の回転を直動方向の動きに変換する。このため当該塗布ユニット４Ａは、塗布針２４を高速に駆動することができる。以上より、本実施の形態の塗布ユニット４Ａは、塗布針２４の高速移動と上下移動距離の変更とを両立可能である。

たとえば塗布液１００の供給により電極が形成される水晶振動子は、パッケージの深さにいろいろなサイズのものがある。このため当該電極の形成の際には、なるべく塗布針２４の上下方向の移動距離（塗布液容器２１からの突出量）を最適値にすることが望まれる。このため本実施の形態の塗布ユニット４Ａのように塗布針２４の上下移動距離を変更できることは実益がある。

本実施の形態の塗布ユニット４Ａ（塗布ユニット４）を含む液体塗布装置２００は、以上のように塗布針２４を高速移動させることが可能であるとともに、上下移動距離を変更することができる。また、図４、図５などに示すように、塗布針２４の下降時および上昇時のいずれにおいても、偏心板１１６の回転方向を同じにすることができる。たとえば図４および図５の例においては、下降時および上昇時のいずれにおいても偏心板１１６の回転方向は同じ反時計回り方向である。したがって、塗布針２４を高速に上下動させるため、塗布針２４が高速移動している最中に突如サーボモータ１２０の回転角を制限し、サーボモータ１２０を反転させる必要がない。このため、サーボモータ１２０が高速回転している際にその回転方向を反転させた場合に塗布針２４の移動量がオーバーシュートすることにより生じ得る、塗布針２４の下降端の位置のばらつきを少なくすることができる。これにより、塗布針２４による高精度な塗布液１００の塗布が可能となる。

また本実施の形態のように偏心板１１６の回転方向を反転させることなく連結板１１２の位置を制御することにより、塗布針２４の上下方向移動量などの条件だしを容易に行なうことができる。また本実施の形態の液体塗布装置２００が用いられる１つのライン内で塗布液１００を塗布する対象の変更が行なわれる際においても、当該対象の変更に合わせて塗布針２４の上下移動距離の変更作業を容易に行なうことができる。

本実施の形態の塗布ユニット４Ａでは、固定ピン１２８および軸受１２２により、連結板１１２と偏心板１１６とが回転可能に連結される。また連結板１１２に形成された貫通孔１２５を固定ピン１２８が貫通することにより、連結板１１２と偏心板１１６とが連結される。このため連結板１１２を固定ピン１２８の中心周りに滑らかに回転させることができる。

本実施の形態の塗布ユニット４Ａは、サーボモータ１２０のモータ制御部１２１が、塗布針２４の先端２３が塗布対象面に接触する手前で減速するようにサーボモータ１２０を回転させる。すなわち当該塗布ユニット４Ａを用いた液体塗布方法においては、塗布針２４を塗布対象面に接触させる工程において、塗布針２４の先端２３が塗布対象面に接触する直前に塗布針２４の下降速度を低下させる。したがって、たとえば塗布針２４の先端２３が塗布対象面に接触する際に塗布針２４の下降速度が低下しない場合に想定される、接触時の大きな衝撃の発生、およびそれに伴う塗布針２４の破損などの不具合の発生を抑制することができる。

ところで、塗布液容器２１からの塗布針２４の突出長さを変更するためには、以上に述べた連結板１１２の移動距離を変更する方法の他に、塗布液容器２１をたとえば小さくするなどそのサイズを変更することも考えられる。しかし、たとえば塗布液容器２１からの塗布針２４の突出長さを増加させるために塗布液容器２１を小さくすれば、塗布液１００が付着した状態で塗布針２４が上昇移動した場合、塗布液容器２１の最上部にある塗布針２４が貫通する容器上孔部２６（図７参照）の外にまで塗布液１００が付着した塗布針２４の一部が露出する。この結果、容器上孔部２６の内壁面などに、塗布針２４に付着した塗布液１００が付着する。これが乾燥すれば当該容器上孔部２６の内壁面に塗布液１００が隆起するように付着し、容器上孔部２６が塞がれる。このため塗布針２４が容器上孔部２６を貫通するように上下運動することが妨げられ、その正常な動作に支障をきたす。このため、容器上孔部２６の内壁面への塗布液１００の付着を防ぐ観点から、塗布液容器２１を小さくするという方法は得策ではない。したがって連結板１１２の上下運動の距離を変化させる本実施の形態を適用する実益がある。

（実施の形態２）
図９は、実施の形態２における図１中の点線で囲んだ領域Ａの、回転軸ＲＡに沿う概略拡大断面図である。図１０は、実施の形態１の図４に相当する図であり、実施の形態２において第１の固定部である凹部１２３Ａにおいて偏心板１１６と連結板１１２とが互いに連結される場合の、偏心板１１６の回転による塗布針２４の上下方向の移動態様を示している。図１１は、実施の形態１の図５に相当する図であり、実施の形態２において第２の固定部である凹部１２３Ｂにおいて偏心板１１６と連結板１１２とが互いに連結される場合の、偏心板１１６の回転による塗布針２４の上下方向の移動態様を示している。

図９～図１１を参照して、本実施の形態においても、基本的に実施の形態１と同様に、偏心板１１６と連結板１１２とが、軸受１２２を介して凹部１２３Ａまたは凹部１２３Ｂにおいて互いに連結される。しかし本実施の形態においては、凹部１２３Ａまたは凹部１２３Ｂは、回転軸ＲＡから離れる方向に沿って、実施の形態１に比べて長く延びている。具体的には、凹部１２３Ａまたは凹部１２３Ｂは、回転軸ＲＡから離れる方向、すなわち円形状を有する偏心板１１６の径方向に沿って、実施の形態１に比べて長く延びている。一方、凹部１２３Ａおよび凹部１２３Ｂは、上記径方向に交差する幅方向については、実施の形態１と同様の寸法であり、固定ピン１２８が挿入可能な程度の、固定ピン１２８の径とほぼ同様の寸法となっている。

その結果、本実施の形態の凹部１２３Ａまたは凹部１２３Ｂは、偏心板１１６の径方向すなわち回転軸ＲＡから離れる方向に関する寸法が、当該離れる方向に交差する方向に関する寸法よりも大きくなっている。なお図９～図１１においては、凹部１２３Ａおよび凹部１２３Ｂの双方が、上記のように径方向に延びる寸法が、それに交差する幅方向に関する寸法よりも大きくなっている。この点において本実施の形態の凹部１２３Ａ，１２３Ｂは、円形状を有する実施の形態１の凹部１２３Ａ，１２３Ｂとは形状が異なっている。固定ピン１２８の凹部１２３Ａ，１２３Ｂへの固定方法は任意の方法を用いることができる。ここで図１２～図１５を用いて、固定ピン１２８の凹部１２３Ａ，１２３Ｂへの固定方法の一例について説明する。

図１２は、固定ピン１２８を凹部１２３Ａ，１２３Ｂへ固定するためのナットを示す概略拡大断面図である。図１３は図１２のようにナット１２７で固定ピン１２８を固定可能とするための凹部１２３Ａ，１２３Ｂの平面形状を示す概略平面図である。図１４は図１３の凹部１２３Ａの、特に偏心板１１６の表面での孔部幅が大きい領域１２３Ｃ１における概略断面図である。図１５は図１３の凹部１２３Ａの、特に偏心板１１６の表面での孔部幅が小さい領域１２３Ｃ２における概略断面図である。

図１２を参照して、当図は基本的に図９と同様であるが、凹部１２３Ａ内に固定ピン１２８を固定するためのナット１２７が配置されている点において図９と異なっている。図９に示すように、凹部１２３Ａ内において、ナット１２７のメスねじに固定ピン１２８のオスねじが嵌合される。

図１３を参照して、当図は基本的に図１０および図１１の偏心板１１６と同様であるが、偏心板１１６に形成された凹部１２３Ａ，１２３Ｂを上方から見たときの形状において図１０および図１１と異なっている。具体的には、凹部１２３Ａを上方から見たときに、偏心板１１６の径方向に交差する幅方向の寸法が、回転軸ＲＡからたとえば離れた位置において、回転軸ＲＡに近い領域よりも大きくなっている。この点において図１３は、凹部１２３Ａを上方から見たときの偏心板１１６の幅方向の寸法が回転軸ＲＡからの距離にかかわらず（端部を除き）ほぼ一定となるように延びている図１０および図１１と異なっている。なお凹部１２３Ｂも凹部１２３Ａと同様に、上方から見たときに、偏心板１１６の径方向に交差する幅方向の寸法が、回転軸ＲＡからたとえば離れた位置において、回転軸ＲＡに近い領域よりも大きくなっている。なお凹部１２３Ａ，１２３Ｂは、図１３とは逆に、回転軸ＲＡに近い領域において回転軸ＲＡから離れた領域よりも幅方向の寸法が大きくなってもよい。

図１３、図１４および図１５を参照して、凹部１２３Ａを構成する孔部１２３Ｃは、上方から見たときの幅の大きい大幅部１２３Ｃ１と、上方から見たときの幅の小さい小幅部１２３Ｃ２とを有している。大幅部１２３Ｃ１は、図１４に示すように、その深さ方向の全体、すなわち偏心板１１６の表面１１６Ｓから凹部１２３Ａの底面までの深さｄ２の範囲内の全体において、幅方向の寸法が一定のｄ１となっている。ｄ１はナット１２７の横方向の寸法よりも大きく、ｄ１を有することにより大幅部１２３Ｃ１内にナット１２７を収納可能な大きさとなっている。

これに対して小幅部１２３Ｃ２は、図１５に示すように、その深さ方向について偏心板１１６の表面１１６Ｓに近い領域である。この領域すなわち小幅部１２３Ｃ２においては、幅方向の寸法がｄ１よりも小さいｄ３となっている。ｄ３はナット１２７の横方向の寸法よりも小さい。しかし小幅部１２３Ｃ２の真下にある底凹部１２３Ｃ３については、その幅方向の寸法が大幅部１２３Ｃ１と同じｄ１となっている。すなわち凹部１２３Ａの小幅部１２３Ｃ２よりも深さ方向について深く、大幅部１２３Ｃ１と同一の深さｄ２の底面まで拡がる底凹部１２３Ｃ３については、その幅方向の寸法が大幅部１２３Ｃ１と同じｄ１となっている。

以上の構成を有することにより、ナット１２７は以下のように収納される。まず凹部１２３Ａの大幅部１２３Ｃ１にナット１２７が収納される。その後、ナット１２７が凹部１２３Ａ内を径方向に小幅部１２３Ｃ２までスライドさせる。これにより小幅部１２３Ｃ２の真下の底凹部１２３Ｃ３内にナット１２７が収納される。これにより図１２に示すように凹部１２３Ａ内にナット１２７を収納することができる。なおナット１２７の幅方向の寸法は小幅部１２３Ｃ２の幅方向の寸法ｄ３よりも大きいため、ナット１２７は小幅部１２３Ｃ２から凹部１２３Ａの外側に抜けることはできない。図１５の小幅部１２３Ｃ２が狭いため、底凹部１２３Ｃ３の最上面の内壁面にナット１２７が干渉することで、ナット１２７が上側に抜けることが阻まれるためである。以上のナット１２７による固定方法は、凹部１２３Ｂについても同様に適用される。

本実施の形態の塗布ユニット４Ａは、以上の点において実施の形態１と異なる。しかし本実施の形態は以上の点以外については基本的に実施の形態１と同様であるため、同一の構成要素には同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。

次に、本実施の形態の作用効果について説明する。
本実施の形態においては、凹部１２３Ａまたは（および）凹部１２３Ｂが、回転軸ＲＡすなわち偏心板１１６の中心から離れる方向に沿って細長く延びている。このためたとえば図１０（Ａ）～（Ｅ）に示すように、偏心板１１６と連結板１１２とが、固定ピン１２８の中心が偏心板１１６の中心から距離ａだけ離れた位置に配置されるように固定される場合には、実施の形態１の図４（Ａ）～（Ｅ）と同様に連結板１１２は距離２ａだけ下降可能である。しかし凹部１２３Ａは径方向に細長く延びるため、凹部１２３Ａの形成される範囲内において、固定ピン１２８の中心と偏心板１１６の中心との距離を自在に変更することができる。同様に、たとえば図１１（Ａ）～（Ｅ）に示すように、偏心板１１６と連結板１１２とが、固定ピン１２８の中心が偏心板１１６の中心から距離ｂだけ離れた位置に配置されるように固定される場合には、実施の形態１の図５（Ａ）～（Ｅ）と同様に連結板１１２は距離２ｂだけ下降可能である。しかし凹部１２３Ａは径方向に細長く延びるため、凹部１２３Ａの延びる長さの範囲内において、固定ピン１２８の中心と偏心板１１６の中心との距離を自在に変更することができる。このため図３のΔＺとしてのストローク量を、実施の形態１よりも高い自由度で変化させることができる。

なお、本実施の形態においては偏心板１１６に細長い溝形状の凹部１２３Ａを１つだけ形成してもよい。

（実施の形態３）
図１６は、実施の形態３における図１中の点線で囲んだ領域Ａの、回転軸ＲＡに沿う概略拡大断面図である。図１７は、実施の形態１の図４に相当する図であり、実施の形態３において第１の固定部である凹部１２３Ａにおいて偏心板１１６と連結板１１２とが互いに連結される場合の、偏心板１１６の回転による塗布針２４の上下方向の移動態様を示している。図１８は、実施の形態３の図５に相当する図であり、実施の形態３において第２の固定部である凹部１２３Ｂにおいて偏心板１１６と連結板１１２とが互いに連結される場合の、偏心板１１６の回転による塗布針２４の上下方向の移動態様を示している。

図１６～図１８を参照して、本実施の形態においても、基本的に実施の形態１と同様に、偏心板１１６と連結板１１２とが、軸受１２２を介して凹部１２３Ａまたは凹部１２３Ｂにおいて互いに連結される。しかし本実施の形態においては、貫通孔１２５について、連結板１１２の延在する方向に関する寸法が、当該延在する方向に交差する方向に関する寸法よりも大きくなっている。一方、貫通孔１２５は、上記延在する方向に交差する方向については、実施の形態１と同様の寸法であり、固定ピン１２８の軸の部分より大きく、固定ピン１２８の頭の部分より小さい径を有している。この点において本実施の形態の貫通孔１２５は、円形状を有する実施の形態１の貫通孔１２５とは形状が異なっている。なお、軸受１２２，１２４の連結板１１２に対する固定方法としては任意の方法を採用できる。

本実施の形態の塗布ユニット４Ａは、以上の点において実施の形態１と異なる。しかし本実施の形態は以上の点以外については基本的に実施の形態１と同様であるため、同一の構成要素には同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。

次に、本実施の形態の作用効果について説明する。
本実施の形態においては、貫通孔１２５が連結板１１２の延びる方向に沿って細長く延びている。このためたとえば図１７（Ａ）～（Ｅ）、図１８（Ａ）～（Ｅ）に示すように、凹部１２３Ａまたは凹部１２３Ｂにおいて連結板１１２と偏心板１１６とが連結される場合に、連結板１１２が偏心板１１６の回転により最も下方に達する位置を調整することができる。固定ピン１２８が挿入される位置に対する貫通孔１２５の位置すなわち連結板１１２の上下方向の位置を、貫通孔１２５が延びる長さの範囲内で自在に変更することができるためである。

一方、図３中にΔＺで示されるストローク量については、本実施の形態では実施の形態１と同様に、距離２ａまたは２ｂのいずれかに限られる。偏心板１１６に形成される凹部１２３Ａ，１２３Ｂの位置は実施の形態１の凹部１２３Ａ，１２３Ｂと同様であるためである。

なお貫通孔１２５は、たとえば複数並ぶように形成された凹部１２３Ａ，１２３Ｂの双方と重なることが可能なように、すなわちその延在方向に関する寸法（両端の幅が狭い部分を除く）が、２つの凹部１２３Ａ，１２３Ｂの中心間の距離ａ＋ｂ以上であることが好ましい。このようにすれば、連結板１１２の最も下降する位置を、十分に広い範囲で自在に変更させることができる。

（実施の形態４）
以上においては簡略化のために、連結板１１２は１本だけで構成されている模式図を用いて説明を行なっている。しかし実際には、連結板１１２は板状部材が２本重なったものが用いられる場合がある。以下、図１９～図２１を用いて、実施の形態１～３の連結板１１２として板状部材を２本重ねた場合の形態について説明する。

図１９は、本実施の形態に係る塗布ユニット４Ｂの正面図である。図２０（Ａ）は、図１９中の点線で囲んだ領域Ｃの、回転軸に沿う概略拡大断面図である。図２０（Ｂ）は、図２０（Ａ）中の矢印ＸＸＢで示す方向から見た連結板の概略正面図である。

図１９を参照して、本実施の形態に係る塗布ユニット４Ｂは、基本的には図１の塗布ユニット４Ａと同様の構成を有している。しかし図１９においては、連結板１１２として、第１の板状部材１１２Ａと第２の板状部材１１２Ｂとが一体となったものが用いられている。ここでは第１の板状部材１１２Ａが外部に露出する側（図１９の右側）であり、第２の板状部材１１２Ｂがサーボモータ１２０の配置される内側（図１９の左側）であるものとする。なお第１の板状部材１１２Ａと第２の板状部材１１２Ｂとは、図２０（Ｂ）の長手方向の中央部に配置される連結板固定ネジ１３３により一体として固定されている。

図２０（Ａ），（Ｂ）を参照して、たとえば軸受１２２の中心部を中心として連結板１１２が回転可能となるよう、第２の板状部材１１２Ｂと偏心板１１６との間隔を確保する必要がある。この間隔を確保するための部材がスペーサ１１４である。同様に、たとえば軸受１２４の中心部を中心として連結板１１２が回転可能となるよう、第２の板状部材１１２Ｂと可動部１０８との間隔を確保する必要がある。この間隔を確保するための部材がスペーサ１１０である。スペーサ１１４は、平面視における固定ピン１２８の周囲に、図２０（Ａ）の左右方向に延びる（間隔を確保する）部分と、そこから屈曲し固定ピン１２８から離れる方向である径方向に延びる部分とを有する形状を有している。

軸受１２２は実施の形態１と同様に外輪１２２Ａ、内輪１２２Ｂおよびこれらの間のころ１２２Ｃにより構成されている。また軸受１２４は外輪１２４Ａ、内輪１２４Ｂおよびこれらの間のころ１２４Ｃにより構成されている。本実施の形態においては、連結板１１２（第１の板状部材１１２Ａおよび第２の板状部材１１２Ｂのそれぞれ）には、貫通孔１２５として、小径貫通孔１２５Ａと大径貫通孔１２５Ｂとが形成されている。小径貫通孔１２５Ａはたとえば外輪１２２Ａ，１２４Ａの内径とほぼ同じ直径を有し、スペーサ１１４の外形より大きな直径となっている。小径貫通孔１２５Ａは第１の板状部材１１２Ａおよび第２の板状部材１１２Ｂの厚み方向の一部のみを貫通するように形成されている。一方、大径貫通孔１２５Ｂは軸受１２２，１２４の全体を連結板１１２Ａ，１１２Ｂに嵌合可能とするために設けられた貫通孔である。大径貫通孔１２５Ｂは第１の板状部材１１２Ａおよび第２の板状部材１１２Ｂの厚み方向の上記小径貫通孔１２５Ａの厚み領域を除く他の一部のみを貫通するように形成されている。大径貫通孔１２５Ｂの直径は小径貫通孔１２５Ａの直径より大きい。図２０（Ａ）に示すように第１の板状部材１１２Ａと第２の板状部材１１２Ｂとは大径貫通孔１２５Ｂ同士が対向するように配置されている。軸受１２２，１２４は第１の板状部材１１２Ａと第２の板状部材１１２Ｂとの大径貫通孔１２５Ｂ内において、第１の板状部材１１２Ａと第２の板状部材１１２Ｂとが連結板固定ネジ１３３により締め付けられることにより固定されている。

上記のスペーサ１１４，１１０は、内輪１２２Ｂおよび内輪１２４Ｂに接触するように固定されている。またスペーサ１１４，１１０は小径貫通孔１２５Ａ内に少なくともその一部が収まり、図示されない偏心板１１６および可動部１０８に連結されている。一方、外輪１２２Ａ，１２４Ａは大径貫通孔１２５Ｂの内壁面に接触し、内輪１２２Ｂ，１２４Ｂが固定ピン１２８の軸の部分に接触している。これにより、固定ピン１２８の軸周りすなわちスペーサ１１４，１１０の軸周りに連結板１１２が回転可能となっている。なお詳細な説明を省略するが、偏心板１１６の凹部１２３Ａ，１２３Ｂが細長い形状となった実施の形態２に塗布ユニット４Ｂを適用する場合においても、図２０に示した連結板１１２の構成をそのまま適用できる。

図２１（Ａ）は、実施の形態３の構成を実施の形態４に適用した場合における図１９中の点線で囲んだ領域Ｃの、回転軸に沿う概略拡大断面図の第１例である。図２１（Ｂ）は、実施の形態３の構成を実施の形態４に適用した場合における図１９中の点線で囲んだ領域Ｃの、回転軸に沿う概略拡大断面図の第２例である。図２１（Ｃ）は、図２１（Ａ），（Ｂ）中の矢印ＸＸＩＣで示す方向から見た連結板の概略正面図である。

図２１（Ａ）～（Ｃ）を参照して、実施の形態３の構成を実施の形態４に適用した場合、上側の貫通孔１２５（小径貫通孔１２５Ａおよび大径貫通孔１２５Ｂ）が連結板１１２の延在する方向に関してそれに交差する方向よりも寸法が大きくなる点が異なる。また図２１（Ａ）と図２１（Ｂ）とは細長い貫通孔１２５内における軸受１２２および固定ピン１２８などの固定位置が異なるが、その他の点は基本的にいずれも同様である。したがって、図２１の各図が示す構成は基本的には図２０と同様の構成である。

以上に述べた各実施の形態（に含まれる各例）に記載した特徴を、技術的に矛盾のない範囲で適宜組み合わせるように適用してもよい。

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

１ Ｘ軸テーブル、２ Ｙ軸テーブル、３ Ｚ軸テーブル、４Ａ，４Ｂ 塗布ユニット、６ 観察光学系、７ ＣＣＤカメラ、１１ 制御部、１２ 基台、２１ 塗布液容器、２２ 容器貫通孔、２３ 先端、２４ 塗布針、１００ 塗布液、１０２ 塗布針ホルダ、１０４ 塗布針ホルダ収納部、１０６ 塗布針ホルダ固定部、１０８ 可動部、１０９ 塗布針支持部、１１０，１１４ スペーサ、１１２ 連結板、１１２Ａ 第１の板状部材、１１２Ｂ 第２の板状部材、１１２Ｃ 外輪ブロック部、１１４Ｃ 孔部、１１６ 偏心板、１１６Ｓ 表面、１１８ 原点センサ、１２０ サーボモータ、１２１ モータ制御部、１２２，１２４ 軸受、１２２Ａ，１２４Ａ 外輪、１２２Ｂ，１２４Ｂ 内輪、１２２Ｃ，１２４Ｃ ころ、１２３，１２３Ａ，１２３Ｂ 凹部、１２３Ｃ 孔部、１２３Ｃ１ 大幅部、１２３Ｃ２ 小幅部、１２３Ｃ３ 底凹部、 １２５ 貫通孔、１２５Ａ 小径貫通孔、１２５Ｂ 大径貫通孔、１２６ バネ、１２７ ナット、１２８ 固定ピン、１２９ スペーサ、１３０ 直動機構、１３１ ばね支持ピン、１３２ リニアガイド、１３３ 連結板固定ネジ、２００ 液体塗布装置、ＲＡ 回転軸。

Claims (8)

1. 液体材料を塗布する塗布針を動かす液体塗布ユニットであって、
   前記塗布針を上下に駆動するためのモータと、
   前記塗布針を支持する塗布針支持部と、
   前記塗布針支持部を前記モータの回転に応じて上下動させる直動機構とを備え、
   前記直動機構は、
   前記モータによって回転される回転軸に取り付けられ、前記回転軸から第１の距離だけ偏心した位置に設けられた第１の固定部と、前記回転軸から第１の距離と異なる第２の距離だけ偏心した位置に設けられた第２の固定部とを含む偏心板と、
   前記塗布針支持部と共に上下動する第３の固定部と前記第１の固定部または前記第２の固定部とを連結する連結部材とを含み、
   前記偏心板と前記連結部材とは、前記連結部材を前記第１の固定部または前記第２の固定部に対して回動可能に支持する軸受を介して、前記第１の固定部または前記第２の固定部において互いに連結され、
   前記第１の固定部または前記第２の固定部は前記回転軸から離れる方向に沿って延びており、
   前記第１の固定部または前記第２の固定部は、前記離れる方向に関する寸法が、前記離れる方向に交差する方向に関する寸法よりも大きい、液体塗布ユニット。
2. 前記連結部材と、前記第１の固定部または前記第２の固定部とを、前記軸受を介して回転可能に連結するための固定ピンをさらに備え、
   前記連結部材には、前記固定ピンおよび軸受により前記偏心板と連結するための貫通孔が形成されている、請求項１に記載の液体塗布ユニット。
3. 前記貫通孔は、前記連結部材が延在する方向に関する寸法が、前記延在する方向に交差する方向に関する寸法よりも大きい、請求項２に記載の液体塗布ユニット。
4. 前記塗布針の先端が塗布対象面に接触する手前で減速するように前記モータを回転させるモータ制御部をさらに備える、請求項１～３のいずれか１項に記載の液体塗布ユニット。
5. 請求項１～３のいずれか１項に記載の液体塗布ユニットを用いた液体塗布方法であって、
   前記塗布針の先端に前記液体材料を塗布する工程と、
   前記塗布針を下降させて前記塗布針を塗布対象面に接触させる工程とを備え、
   前記接触させる工程においては、前記塗布針の先端が前記塗布対象面に接触する直前に前記塗布針の下降速度を低下させる、液体塗布方法。
6. 請求項４に記載の液体塗布ユニットを用いた液体塗布方法であって、
   前記塗布針の先端に前記液体材料を塗布する工程と、
   前記塗布針を下降させて前記塗布針を塗布対象面に接触させる工程とを備え、
   前記接触させる工程においては、前記塗布針の先端が前記塗布対象面に接触する直前に前記塗布針の下降速度を低下させる、液体塗布方法。
7. 請求項１～３のいずれか１項に記載の液体塗布ユニットを含み、塗布対象面に塗布液を塗布可能な、液体塗布装置。
8. 請求項４に記載の液体塗布ユニットを含み、塗布対象面に塗布液を塗布可能な、液体塗布装置。

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