JP7094344B2 - 半導体テスト構造 - Google Patents
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- 半導体テスト構造であって、
半導体基板上に設けられた複数の局所領域の各々に有効領域と複数のダミー領域とが配置され、
前記有効領域は、電気的な特性を測定できるように電極に接続され、
前記ダミー領域は、前記有効領域の周囲を囲み、複数の前記局所領域の各々において互いにパターン密度が異なるように設けられていることを特徴とする半導体テスト構造。 - 請求項1に記載の半導体テスト構造であって、
前記パターン密度は、複数の前記局所領域において5%以上80%以下の範囲に亘って分散していることを特徴とする半導体テスト構造。 - 請求項1又は2に記載の半導体テスト構造であって、
前記ダミー領域の配置ピッチは、前記局所領域の一辺の1/100以上1/5以下の範囲であることを特徴とする半導体テスト構造。 - 請求項3に記載の半導体テスト構造であって、
前記ダミー領域のサイズは、前記配置ピッチの1/10以上9/10以下の範囲であることを特徴とする半導体テスト構造。 - 請求項1~4のいずれか1項に記載の半導体テスト構造であって、
前記ダミー領域は、前記局所領域において一定の配置ピッチで配置されていることを特徴とする半導体テスト構造。 - 請求項1~5のいずれか1項に記載の半導体テスト構造であって、
前記有効領域は、寄生トランジスタによる影響を把握できるサイズを有することを特徴とする半導体テスト構造。 - 請求項1~6のいずれか1項に記載の半導体テスト構造であって、
化学機械研磨法が適用され、前記化学機械研磨法によって研磨された後に前記電極を用いて前記有効領域の電気的な特性が測定可能であることを特徴とする半導体テスト構造。 - 請求項1~7のいずれか1項に記載の半導体テスト構造であって、
前記有効領域は、MOSFETを含み、
前記MOSFETの閾値電圧及び飽和ドレイン電流の少なくとも1つを測定することを特徴とする半導体テスト構造。 - 請求項8に記載の半導体テスト構造であって、
前記MOSFETのゲート電極は、対応する前記有効領域の外側のレンチアイソレーション構造の表面上まで延びることを特徴とする半導体テスト構造。 - 請求項1~9のいずれか1項に記載の半導体テスト構造であって、
前記局所領域のサイズは、100μm×100μm以上500μm×500μm以下であることを特徴とする半導体テスト構造。
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