JP7079983B2 - キャリブレーションシステム及び描画装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係るキャリブレーションシステムを含む描画装置の概略構成を示す模式図である。図2は、同描画装置の平面図である。図1及び図2に示すように、描画装置1は、長尺のシート状をなす基板2を搬送する搬送システム3と、基板2に露光用のビームLを照射することによりパターンを形成する描画ユニット4と、搬送システム3及び描画ユニット4の動作を制御する制御装置5とを備える。
露光ヘッド支持部43は、露光ヘッド41から出射したビームLが、基板2の所定の露光領域に入射するように、露光ヘッド41及び調整ステージ42を支持する。
なお、このような制御装置5は、1つのハードウェアにより構成しても良いし、複数のハードウェアを組み合わせて構成しても良い。
続くステップS11において、制御装置5は搬送システム3に対し、基板2の搬送を停止させる。
他方、ビームLの照射位置及び照射強度が基準値を超える場合(ステップS16:No)、即ち、差分が閾値を超える場合、補正部534は、各露光ヘッド41の位置及び出力を補正するための補正データを生成し、補正データ記憶部525に保存する(ステップS17)。この際、補正部534は、補正データを表示デバイス66に表示させても良い。詳細には、補正部534は、差分Δxに関して、搬送ドラム33に設けられたエンコーダ33cの信号(図3のΔθ参照)を用いて設定される描画開始ポイントに対し、出力開始位置のパラメータ(ビームLの出力を開始する際のθの値)を補正する。また、補正部534は、差分Δyに関して、ポリゴンミラー414(図4A参照)を介して出射するビームLの基準となる描画開始ポイントに対し、出力開始位置のパラメータ(ビームLの出力を開始する際のポリゴンミラーの初期位置)を補正する。さらに、補正部534は、照射強度に関して、描画制御部531において各露光ヘッド41に対する出力パラメータを補正する。
図12は、本発明の第2の実施形態に係るキャリブレーションシステムを含む描画ユニットを示す模式図である。本実施形態に係るキャリブレーションシステムにおいては、センサユニット45の位置を固定し、キャリブレーション時に、露光ヘッド41を支持する露光ヘッド支持部43を水平面内で平行に移動させることにより、露光ヘッド41から出射したビームLを光センサに入射させる。
図13は、本発明の第3の実施形態に係るキャリブレーションシステムを含む描画ユニットを示す模式図である。本実施形態に係るキャリブレーションシステムにおいては、露光ヘッド41を支持する露光ヘッド支持部43を、鉛直面内において平行に移動させる。
Claims (9)
- 長尺のシート状をなし、長手方向に沿って搬送される基板に露光用のビームを照射する少なくとも1つの露光ヘッドをキャリブレーションするキャリブレーションシステムであって、
前記少なくとも1つの露光ヘッドを支持する露光ヘッド支持部であって、露光時に、前記少なくとも1つの露光ヘッドからそれぞれ出射した前記ビームを前記基板上の所定の少なくとも1つの露光領域にそれぞれ入射させる位置に配置されるように構成された露光ヘッド支持部と、
前記ビームを受光する受光面を有し、該受光面に入射した前記ビームの少なくとも照射位置及び照射強度を検出する光センサを含む少なくとも1つのセンサユニットと、
前記少なくとも1つのセンサユニットを支持するセンサユニット支持部であって、露光時に、前記少なくとも1つのセンサユニットに含まれる光センサの受光面が、前記少なくとも1つの露光領域における露光面とそれぞれ平行となるように、前記少なくとも1つのセンサユニットを支持すると共に、前記露光ヘッド支持部に対してスライド移動が可能となるように取り付けられたセンサユニット支持部と、
前記露光ヘッド支持部と前記センサユニット支持部とのうち少なくとも露光ヘッド支持部を移動させるように構成された移動機構と、
前記移動機構の動作を制御するように構成された制御部と、
を備え、
前記制御部は、キャリブレーション時に、前記露光ヘッド支持部を移動させることにより、前記少なくとも1つの露光ヘッドから出射する前記ビームの光路上に、前記少なくとも1つのセンサユニットを配置可能な空間を形成すると共に、前記露光ヘッド支持部に対して前記センサユニット支持部を相対的にスライド移動させることにより、前記受光面を、前記少なくとも1つの露光ヘッドから出射する前記ビームが露光時に入射する前記露光面に対応する位置に配置するように構成されている、キャリブレーションシステム。 - 前記移動機構は、
前記露光ヘッド支持部の一端側を回転軸として他端側を持ち上げることにより前記空間を形成するように構成された露光ヘッド移動部と、
前記露光ヘッド支持部に対して前記センサユニット支持部をスライド移動させるように構成されたスライド移動部と、
を含む、請求項1に記載のキャリブレーションシステム。 - 長尺のシート状をなし、長手方向に沿って搬送される基板に露光用のビームを照射する少なくとも1つの露光ヘッドをキャリブレーションするキャリブレーションシステムであって、
前記少なくとも1つの露光ヘッドを支持する露光ヘッド支持部であって、露光時に、前記少なくとも1つの露光ヘッドからそれぞれ出射した前記ビームを前記基板上の所定の少なくとも1つの露光領域にそれぞれ入射させる位置に配置されるように構成された露光ヘッド支持部と、
前記露光ヘッド支持部を移動させるように構成された移動機構であって、スライドレールが設けられた梁を含む移動機構と、
前記ビームを受光する受光面を有し、該受光面に入射した前記ビームの少なくとも照射位置及び照射強度を検出する光センサを含む少なくとも1つのセンサユニットと、
前記梁に対して固定された位置に設けられ、前記少なくとも1つのセンサユニットを支持するセンサユニット支持部であって、露光時に、前記少なくとも1つのセンサユニットに含まれる光センサの受光面が、前記少なくとも1つの露光領域における露光面とそれぞれ平行となるように、前記少なくとも1つのセンサユニットを支持するセンサユニット支持部と、
前記移動機構の動作を制御するように構成された制御部と、
を備え、
前記移動機構は、前記露光ヘッド支持部を、前記スライドレールに沿ってスライド移動が可能な方向に平行移動させるように構成され、
前記制御部は、キャリブレーション時に、前記露光ヘッド支持部を前記センサユニット支持部に対して相対的にスライド移動させることにより、前記少なくとも1つの露光ヘッドから出射する前記ビームの光路上に、前記少なくとも1つのセンサユニットを配置可能な空間を形成すると共に、前記受光面を、前記少なくとも1つの露光ヘッドから出射する前記ビームが露光時に入射する前記露光面に対応する位置に配置するように構成されている、キャリブレーションシステム。
- 前記移動機構は、
前記露光ヘッド支持部を鉛直方向に平行移動させることにより前記空間を形成する露光ヘッド移動部と、
前記露光ヘッド支持部に対して前記センサユニット支持部をスライド移動させるスライド移動部と、
を含む、請求項1に記載のキャリブレーションシステム。 - 前記制御部は、前記少なくとも1つの露光ヘッドから前記受光面に向けて前記ビームを出射させ、前記センサユニットから出力された検出信号に基づき、前記少なくとも1つの露光ヘッドから出射した前記ビームの前記受光面における照射位置及び照射強度を表すデータを生成するように構成され、
前記照射位置及び照射強度を表すデータをキャリブレーションデータとして記憶するように構成された記憶部をさらに備える、
請求項1~4のいずれか1項に記載のキャリブレーションシステム。 - 前記記憶部は、前記少なくとも1つの露光領域に対する前記ビームの基準照射位置及び基準照射強度を表す基準データをさらに記憶するように構成され、
前記制御部は、前記キャリブレーションデータ及び前記基準データに基づき、前記少なくとも1つの露光ヘッドから出射したビームの照射位置及び照射強度が所定の基準値の範囲に収まるか否かを判定するように構成された判定部を有する、
請求項5に記載のキャリブレーションシステム。 - 前記制御部は、前記判定部による判定結果に基づき、前記少なくとも1つの露光ヘッドから出射したビームの照射位置及び照射強度の少なくともいずれかが前記基準値の範囲に収まらない場合、前記少なくとも1つの露光ヘッドから出射したビームの照射位置及び照射強度の少なくともいずれかを補正するための補正値データを生成するように構成され、
前記記憶部は、前記補正値データをさらに記憶するように構成されている、
請求項6に記載のキャリブレーションシステム。 - 前記少なくとも1つの露光ヘッドの各々は、
レーザ光を出力する光源と、
前記レーザ光をビーム状に成形する光学系と、
ビーム状に成形された前記レーザ光を走査するポリゴンミラーと、
前記ポリゴンミラーを回転させる駆動部と、
を有し、
前記制御部は、前記補正値データに基づいて、前記光源の出力と、前記駆動部の動作との少なくともいずれかを制御することにより、前記少なくとも1つの露光ヘッドから出射する前記ビームの照射強度と照射位置との少なくともいずれかを補正するように構成されている、
請求項7に記載のキャリブレーションシステム。 - 請求項1~8のいずれか1項に記載されたキャリブレーションシステムと、
前記露光ヘッド支持部に支持された少なくとも1つの露光ヘッドと、
円筒状をなし、外周面において前記基板を支持すると共に、円筒の中心軸回りに回転することにより前記基板を搬送する搬送ドラムと、
を備える描画装置。
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