JP7070809B2 - 表面分析方法、表面分析システム、および表面分析プログラム - Google Patents
表面分析方法、表面分析システム、および表面分析プログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP7070809B2 JP7070809B2 JP2021563549A JP2021563549A JP7070809B2 JP 7070809 B2 JP7070809 B2 JP 7070809B2 JP 2021563549 A JP2021563549 A JP 2021563549A JP 2021563549 A JP2021563549 A JP 2021563549A JP 7070809 B2 JP7070809 B2 JP 7070809B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- sample
- curve
- sample surface
- force
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005211 surface analysis Methods 0.000 title claims description 77
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 52
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 230
- 238000000418 atomic force spectrum Methods 0.000 claims description 64
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 61
- 239000011368 organic material Substances 0.000 claims description 44
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 32
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 claims description 17
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims description 13
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 6
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 39
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 38
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 26
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 20
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 19
- 230000008569 process Effects 0.000 description 16
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 10
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 9
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 8
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 8
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 8
- 230000004044 response Effects 0.000 description 5
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- WCUXLLCKKVVCTQ-UHFFFAOYSA-M Potassium chloride Chemical compound [Cl-].[K+] WCUXLLCKKVVCTQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- 230000004069 differentiation Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L Sodium Sulfate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]S([O-])(=O)=O PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- FFBHFFJDDLITSX-UHFFFAOYSA-N benzyl N-[2-hydroxy-4-(3-oxomorpholin-4-yl)phenyl]carbamate Chemical compound OC1=C(NC(=O)OCC2=CC=CC=C2)C=CC(=C1)N1CCOCC1=O FFBHFFJDDLITSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- KBJFYLLAMSZSOG-UHFFFAOYSA-N n-(3-trimethoxysilylpropyl)aniline Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCNC1=CC=CC=C1 KBJFYLLAMSZSOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical group [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000001103 potassium chloride Substances 0.000 description 1
- 235000011164 potassium chloride Nutrition 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 229910052938 sodium sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000011152 sodium sulphate Nutrition 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOCC1CO1 BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q60/00—Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
- G01Q60/24—AFM [Atomic Force Microscopy] or apparatus therefor, e.g. AFM probes
- G01Q60/28—Adhesion force microscopy
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q10/00—Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
- G01Q10/04—Fine scanning or positioning
- G01Q10/045—Self-actuating probes, i.e. wherein the actuating means for driving are part of the probe itself, e.g. piezoelectric means on a cantilever probe
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q30/00—Auxiliary means serving to assist or improve the scanning probe techniques or apparatus, e.g. display or data processing devices
- G01Q30/04—Display or data processing devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q70/00—General aspects of SPM probes, their manufacture or their related instrumentation, insofar as they are not specially adapted to a single SPM technique covered by group G01Q60/00
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
Description
実施形態に係る表面分析システム10は、有機材料を含み得る試料の表面(本開示ではこれを「試料表面」ともいう)を分析するコンピュータシステムである。有機材料とは、有機化合物により構成される材料のことをいう。試料とは、表面を分析する対象となる物質のことをいう。一例では、「有機材料を含む試料」は、有機材料によって表面が形成された物質であり、例えば、フィラ等の粉体の表面に有機材料の層が形成された物質である。粉体とは、多数の微小な固体粒子の集合体のことをいう。試料表面の分析とは、試料表面の何らかの特性を明らかにする処理のことをいう。
図3および他の図面を参照しながら、表面分析システム10の動作を説明するとともに本実施形態に係る表面分析方法について説明する。図3は表面分析システム10の動作の一例を処理フローS1として示すフローチャートである。処理フローS1は、試料表面上の少なくとも一つの観測点を分析する処理を示す。処理フローS1の契機は限定されない。例えば、処理フローS1は表面分析システム10のユーザの操作に応答して実行されてもよい。あるいは、処理フローS1は、AFMまたは他の装置での処理に応答して、ユーザ操作を介することなく自動的に実行されてもよい。
コンピュータシステムを表面分析システム10として機能させるための表面分析プログラムは、該コンピュータシステムを第1分析部11(取得部111、算出部112、および格納部113)および第2分析部12として機能させるためのプログラムコードを含む。表面分析プログラムを作成するためのプログラム言語は限定されず、例えば、そのプログラム言語はPython、Java(登録商標)、またはC++でもよい。表面分析プログラムは、CD-ROM、DVD-ROM、半導体メモリ等の有形の記録媒体に非一時的に記録された上で提供されてもよい。あるいは、表面分析プログラムは、搬送波に重畳されたデータ信号として通信ネットワークを介して提供されてもよい。提供された表面分析プログラムは例えば補助記憶部103に記憶される。プロセッサ101が補助記憶部103からその表面分析プログラムを読み出してそのプログラムを実行することで、上記の各機能要素が実現する。
以上説明したように、本開示の一側面に係る表面分析方法は、探針を備える走査型プローブ顕微鏡による試料表面の測定に基づくフォースカーブを取得するステップと、探針と試料表面との間の距離である探針-表面間距離によってフォースカーブを一階微分することで微分曲線を算出するステップと、微分曲線に基づいて、試料表面から、最遠のピークまでの距離を、試料表面を形成する有機材料の破断長として算出するステップと、破断長を出力するステップとを含む。
以上、本開示での実施形態に基づいて詳細に説明した。しかし、本開示は上記実施形態に限定されるものではない。本開示は、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。
Claims (11)
- 探針を備える走査型プローブ顕微鏡による試料表面の測定に基づくフォースカーブを取得するステップと、
前記探針と前記試料表面との間の距離である探針-表面間距離によって前記フォースカーブを一階微分することで微分曲線を算出するステップと、
前記微分曲線に基づいて、前記試料表面に接触していた前記探針が該試料表面から離れていくときの複数のピークを識別するステップと、
前記複数のピークの中から、前記試料表面から最も離れたピークを最遠のピークとして識別するステップと、
前記試料表面から、前記最遠のピークまでの距離を、前記試料表面を形成する有機材料の破断長として算出するステップと、
前記破断長を出力するステップと
を含む表面分析方法。 - 前記フォースカーブを取得するステップが、
前記走査型プローブ顕微鏡の圧電素子の稼働量と前記走査型プローブ顕微鏡の検出器の電圧との関係を示す電圧-稼働量曲線を取得するステップと、
前記電圧-稼働量曲線を前記フォースカーブに変換するステップとを含む、
請求項1に記載の表面分析方法。 - 前記電圧-稼働量曲線を前記フォースカーブに変換するステップが、
前記探針を有するカンチレバーのばねたわみ量を前記稼働量から減ずることで前記探針-表面間距離を算出するステップと、
前記カンチレバーのばね定数に前記ばねたわみ量を乗ずることで、前記探針に作用する力を算出するステップとを含む、
請求項2に記載の表面分析方法。 - 前記試料表面上の複数の測定点のそれぞれにおける前記フォースカーブを取得するステップと、
複数の前記フォースカーブのそれぞれについて前記破断長を算出するステップと、
複数の前記破断長を出力するステップと
をさらに含む請求項1~3のいずれか一項に記載の表面分析方法。 - 前記複数の破断長を出力するステップが、前記試料表面における前記破断長の分布を出力するステップを含む、
請求項4に記載の表面分析方法。 - 前記複数の破断長を出力するステップが、前記複数の破断長をデータベースに格納するステップを含む、
請求項4または5に記載の表面分析方法。 - 前記走査型プローブ顕微鏡による前記試料表面の測定に基づく追加の物性量を取得するステップと、
前記破断長と前記追加の物性量との組合せに基づく分析を実行するステップと、
前記分析の結果を出力するステップと
をさらに含む請求項1~6のいずれか一項に記載の表面分析方法。 - 前記試料表面の測定が、水溶液中で前記探針を前記試料表面に接触させることを含む、
請求項1~7のいずれか一項に記載の表面分析方法。 - 前記試料表面が粉体の表面である、
請求項1~8のいずれか一項に記載の表面分析方法。 - 少なくとも一つのプロセッサを備え、
前記少なくとも一つのプロセッサが、
探針を備える走査型プローブ顕微鏡による試料表面の測定に基づくフォースカーブを取得し、
前記探針と前記試料表面との間の距離である探針-表面間距離によって前記フォースカーブを一階微分することで微分曲線を算出し、
前記微分曲線に基づいて、前記試料表面に接触していた前記探針が該試料表面から離れていくときの複数のピークを識別し、
前記複数のピークの中から、前記試料表面から最も離れたピークを最遠のピークとして識別し、
前記試料表面から、前記最遠のピークまでの距離を、前記試料表面を形成する有機材料の破断長として算出し、
前記破断長を出力する、
表面分析システム。 - 探針を備える走査型プローブ顕微鏡による試料表面の測定に基づくフォースカーブを取得するステップと、
前記探針と前記試料表面との間の距離である探針-表面間距離によって前記フォースカーブを一階微分することで微分曲線を算出するステップと、
前記微分曲線に基づいて、前記試料表面に接触していた前記探針が該試料表面から離れていくときの複数のピークを識別するステップと、
前記複数のピークの中から、前記試料表面から最も離れたピークを最遠のピークとして識別するステップと、
前記試料表面から、前記最遠のピークまでの距離を、前記試料表面を形成する有機材料の破断長として算出するステップと、
前記破断長を出力するステップと
をコンピュータに実行させる表面分析プログラム。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2019/048822 WO2021117203A1 (ja) | 2019-12-12 | 2019-12-12 | 表面分析方法、表面分析システム、および表面分析プログラム |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2021117203A1 JPWO2021117203A1 (ja) | 2021-06-17 |
JPWO2021117203A5 JPWO2021117203A5 (ja) | 2022-05-02 |
JP7070809B2 true JP7070809B2 (ja) | 2022-05-18 |
Family
ID=76330078
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021563549A Active JP7070809B2 (ja) | 2019-12-12 | 2019-12-12 | 表面分析方法、表面分析システム、および表面分析プログラム |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7070809B2 (ja) |
KR (1) | KR20220103732A (ja) |
WO (1) | WO2021117203A1 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000230933A (ja) | 1999-02-12 | 2000-08-22 | Nikon Corp | プローブ顕微鏡およびそのプローブ顕微鏡を用いた表面性状分析方法 |
JP2005283433A (ja) | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Canon Inc | 試料と相互作用する探針を有するプローブ、該プローブの製造方法、該プローブを用いた分子間の相互作用の測定方法及び測定装置 |
US20070089498A1 (en) | 2005-09-29 | 2007-04-26 | Chanmin Su | Method and apparatus of high speed property mapping |
JP2013545110A (ja) | 2010-12-10 | 2013-12-19 | ウニヴェルズィテート バーゼル | Afmにより癌進行を病期分類する方法 |
JP2018178016A (ja) | 2017-04-18 | 2018-11-15 | 住友ゴム工業株式会社 | 力学物性測定方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0972925A (ja) * | 1995-09-05 | 1997-03-18 | Nikon Corp | 走査型顕微鏡 |
JPH1144696A (ja) * | 1997-07-28 | 1999-02-16 | Nikon Corp | 撓み検出機構および走査型プローブ顕微鏡 |
-
2019
- 2019-12-12 KR KR1020227017909A patent/KR20220103732A/ko active Search and Examination
- 2019-12-12 WO PCT/JP2019/048822 patent/WO2021117203A1/ja active Application Filing
- 2019-12-12 JP JP2021563549A patent/JP7070809B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000230933A (ja) | 1999-02-12 | 2000-08-22 | Nikon Corp | プローブ顕微鏡およびそのプローブ顕微鏡を用いた表面性状分析方法 |
JP2005283433A (ja) | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Canon Inc | 試料と相互作用する探針を有するプローブ、該プローブの製造方法、該プローブを用いた分子間の相互作用の測定方法及び測定装置 |
US20070089498A1 (en) | 2005-09-29 | 2007-04-26 | Chanmin Su | Method and apparatus of high speed property mapping |
JP2013545110A (ja) | 2010-12-10 | 2013-12-19 | ウニヴェルズィテート バーゼル | Afmにより癌進行を病期分類する方法 |
JP2018178016A (ja) | 2017-04-18 | 2018-11-15 | 住友ゴム工業株式会社 | 力学物性測定方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2021117203A1 (ja) | 2021-06-17 |
KR20220103732A (ko) | 2022-07-22 |
JPWO2021117203A1 (ja) | 2021-06-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4644819B2 (ja) | 微小変位計測法及び装置 | |
KR101536788B1 (ko) | 자동 스캐닝 탐침 이미지화 방법 및 장치 | |
US9910064B2 (en) | Force measurement with real-time baseline determination | |
JP5269732B2 (ja) | ゴム材料の変形挙動予測方法およびそれに用いられる装置 | |
Baker | Between nanoindentation and scanning force microscopy: measuring mechanical properties in the nanometer regime | |
Marinello et al. | Error sources in atomic force microscopy for dimensional measurements: Taxonomy and modeling | |
JP4876216B2 (ja) | 表面位置計測方法および表面位置計測装置 | |
JP7070809B2 (ja) | 表面分析方法、表面分析システム、および表面分析プログラム | |
JP7046383B2 (ja) | 力学特性試験方法及び計測装置 | |
Leach | Introduction to surface texture measurement | |
KR101706819B1 (ko) | 나노경도 기준시편을 이용한 나노압입시스템 분석방법, 이를 이용한 나노압입시스템 교정방법, 나노압입시스템 및 기록매체 | |
Morkvenaite-Vilkonciene et al. | The improvement of the accuracy of electromagnetic actuator based atomic force microscope operating in contact mode and the development of a new methodology for the estimation of control parameters and the achievement of superior image quality | |
Devadasan et al. | Quantitative atomic force microscopy: A statistical treatment of high-speed AFM data for quality control applications | |
JP7067686B1 (ja) | 表面分析方法、表面分析システム、および表面分析プログラム | |
JP2008096251A (ja) | 高帯域原子間力顕微鏡装置 | |
Baqain et al. | Characterisation of an AFM Tip Bluntness Using Indentation of Soft Materials: Soft Materials Indentation and Tip Charecterisation | |
Jannesar et al. | Multiscaling behavior of atomic-scale friction | |
van Es et al. | Quantitative tomography with subsurface scanning ultrasound resonance force microscopy | |
Torre et al. | Combination of atomic force microscopy and principal component analysis as a general method for direct recognition of functional and structural domains in nanonocomposite materials | |
JP2020139239A (ja) | 繊維長測定方法、繊維長測定装置及び繊維長測定プログラム | |
Marinello et al. | Elastic-properties measurement at high temperatures through contact resonance atomic force microscopy | |
WO2019004829A1 (en) | METHOD, ATOMIC FORCE MICROSCOPY SYSTEM AND COMPUTER PROGRAM PRODUCT | |
JP2019049487A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡の校正方法 | |
Kilpeläinen | Metrological use and modifications of a commercial atomic force microscope | |
Mammadi et al. | Development of Optical Technique For Measuring Kinematic Fields in Presence of Cracks, FIB-SEM-DIC |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220311 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220311 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20220311 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220405 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220418 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7070809 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |