JP2008096251A - 高帯域原子間力顕微鏡装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明によれば、閉ループ方式において、AFMで計測する物体の表面形状を推定する外乱オブザーバである表面形状オブザーバ(STO)は、フィードバックループとは独立な開ループで実現され、本発明に係るAFMの帯域は、閉ループ方式の安定性に影響を与えることはないため、フィードバック制御系よりも高帯域化されたAFMを提供することができる。
【選択図】図1
Description
図1に、一例として、本発明に係るAFM100の概略図を示す。図1において、AFM100は、光テコ方式を採用しており、カンチレバ101に取り付けられた探針102を試料表面103に沿って走査し、試料表面103と探針102との間に働く原子間力によるカンチレバ101のたわみと摩擦力によるゆがみを測定することで、試料表面103の構造をナノスケールで測定する。
図1に示した探針102を試料表面103に接触させる前後の、探針102と試料表面103との間の距離Rと探針102に働く力Nの関数を表示したものが図2に示されるフォース・カーブと呼ばれるグラフである。状態201は、探針102を試料表面103に近づける際、ある点で探針102が試料表面103にジャンプして吸着することを表している。その後、状態202で引力から斥力に変わり、状態203で探針102が試料表面103からジャンプして離れることを表している(非特許文献1参照)。
非特許文献6に記載されているように、試料表面103から探針102に作用する力は、次式の典型的なLJポテンシャルで表される。
AFMの測定には、探針を試料表面に接触させずに測定するノンコンタクトモード、探針を試料表面に接触させながら測定するコンタクトモード、探針を振動させることで周期的に試料表面に接触させるタッピングモードがある。実施形態1は、最も基本的なコンタクトモードを用いてモデル化を行う。理想的なコンタクトモードの場合、式(1)の第1項が支配的であることから試料表面103からの作用力は斥力のみとみなすことができる。したがって、試料表面103にコンタクトした、その瞬間のバネの長さは自然長であるため、図7に示すように、バネ603の自然長をLa0、バネ601とバネ602を合成したバネ701のバネ係数をk2、自然長をLb0、時刻tのバネ603の長さをLa(t)、時刻tのバネ701の長さをLb(t)とおくと、質量mをもつ、カンチレバ101の探針102の運動方程式は、以下の式(2)のようになる。また、図7において、
まず同定したモデルに対する制御器を設計する。プラントの3000Hzの共振モードを考慮して帯域300Hzのコントローラ108を設計した。コントローラ108は、以下で説明するようにして、試料表面103の表面形状を推定する。
前述したモデル化により式(6)から、図14に示すように、試料表面103の表面形状1401を時刻tにおける入力端外乱d(t)とみなせることが明らかになったので、入力端外乱d(t)を外乱オブザーバの理論(非特許文献5参照)により推定する新しい外乱オブザーバを導入できる。本発明では、この特別な外乱オブザーバを、表面形状オブザーバ(STO)と名付ける。入力電圧uと出力電圧yから試料表面103の表面形状の推定値
ここでは、探針102を試料表面103に接触させ、走査を行わず試料表面103の一点で固定させている状態で、ピエゾ107のZ軸に信号を印加して擬似的な外乱信号d(t)すなわち試料表面103の表面形状を作り出し、実施形態1に係るAFMを用いて、出力電圧を計測した結果について述べる。
図32は、実施形態1に係るAFMにおいて、従来型開ループ方式を採用して、n−Si基盤を走査して得られた画像を示す図である。図33は、実施形態1に係るAFMにおいて、新型開ループ方式を採用して、n−Si基盤を走査して得られた画像を示す図である。図34は、実施形態1に係るAFMにおいて、従来型閉ループ方式を採用して、n−Si基盤を走査して得られた画像を示す図である。図35は、実施形態1に係るAFMにおいて、新型閉ループ方式を採用して、n−Si基盤を走査して得られた画像を示す図である。
以下で、実施形態2のAFMにおける原子間力オブザーバ(AFO)の設計について詳細に説明する。
101 カンチレバ
102 探針
103 試料表面
104 レーザ光
105 四分割フォトダイオード
106 レーザ光
107 ピエゾ
108 コントローラ
109 データ記憶手段
Claims (6)
- 試料表面の表面形状を推定する高帯域原子間力顕微鏡装置であって、
前記試料表面と原子間力を介して相互作用する探針を有し、前記原子間力によってたわみ、摩擦力によってゆがみを生ずるカンチレバと、
前記カンチレバに向けて第1のレーザ光を入射するレーザ光提供手段と、
前記カンチレバが前記第1のレーザ光を反射することにより発せられた第2のレーザ光を検出する光検出手段と、
前記試料を載せたピエゾと、
前記試料の変位が一定になるように、前記試料表面と前期探針との間の距離を前記ピエゾに入力電圧を入力することにより制御し、前記第2のレーザ光の強度の相対変化から前記カンチレバの前記たわみと前記ゆがみとを出力電圧として検出し、前記出力電圧から前記試料表面の表面形状を推定するコントローラと、
推定された前記表面形状を記録するデータ記憶手段とを備えたことを特徴とする高帯域原子間力顕微鏡装置。 - 前記コントローラは、前記入力電圧と前記出力電圧とを入力とし、前記出力電圧から得られる前記試料表面の表面形状を外乱オブザーバとみなして、前記試料表面の表面形状を推定することを特徴とする請求項1に記載の高帯域原子間力顕微鏡装置。
- 前記コントローラは、前記入力電圧をゼロとして、前記出力電圧を入力とし、前記出力電圧から得られる前記試料表面の表面形状を外乱オブザーバとみなして、開ループ方式により前記試料表面の表面形状を推定することを特徴とする請求項1に記載の高帯域原子間力顕微鏡装置。
- 前記コントローラは、前記入力電圧と前記出力電圧とを入力とし、前記出力電圧から得られる前記試料表面の表面形状を外乱オブザーバとみなして、前記外乱オブザーバをフィードバックループとは独立の開ループとする閉ループ方式により前記試料表面の表面形状を推定することを特徴とする請求項1に記載の高帯域原子間力顕微鏡装置。
- 前記光検出手段は、四分割フォトダイオードであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の高帯域原子間力顕微鏡装置。
- 前記レーザ光提供手段は、可視光半導体レーザであることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の高帯域原子間力顕微鏡装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009069014A (ja) * | 2007-09-13 | 2009-04-02 | Yokohama National Univ | 原子間力顕微鏡装置 |
JP2009210361A (ja) * | 2008-03-03 | 2009-09-17 | Yokohama National Univ | 原子間力顕微鏡装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH07159155A (ja) * | 1993-12-08 | 1995-06-23 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型プローブ顕微測定法および走査型プローブ顕微鏡 |
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2006
- 2006-10-11 JP JP2006277583A patent/JP4904495B2/ja active Active
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