JP2009210361A - 原子間力顕微鏡装置 - Google Patents
原子間力顕微鏡装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009210361A JP2009210361A JP2008052663A JP2008052663A JP2009210361A JP 2009210361 A JP2009210361 A JP 2009210361A JP 2008052663 A JP2008052663 A JP 2008052663A JP 2008052663 A JP2008052663 A JP 2008052663A JP 2009210361 A JP2009210361 A JP 2009210361A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface shape
- cantilever
- sample
- scan
- stlo
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
【解決手段】
上記課題を解決するために、本発明に係る原子間力顕微鏡装置は、試料表面の表面形状をタッピングモードで画像化する原子間力顕微鏡装置であって、試料表面と原子間力を介して相互作用する探針を有し、カンチレバと、レーザ光提供手段と、光検出手段と、振幅変復調器と、ピエゾ素子と、試料表面の表面形状を推定するコントローラと、推定された表面形状を記録するデータ記憶手段とを備えたことを特徴とする。
【選択図】図5
Description
本実施形態は、試料の表面形状の測定時間短縮化し、試料へのダメージを低減することができるAM−AFMを開示する。
AFMにおける計測方式は、大きく分けてコンタクトモードとダイナミックモードに分類される。本実施形態に係るAFMは、コンタクトモードと比較して試料との接触力が小さく、生体試料のように柔らかい試料にも適用できる振幅変調型のダイナミックモード(タッピングモードともいう)を計測方式として用いる。
以下で、従来法に係る制御、表面形状オブザーバ(STO)に係る制御、および本実施形態に係る表面形状学習オブザーバ(STLO)に係る制御について説明する。
前述したように、従来法に係るAM−AFMは、制御入力uを表面形状の観測値としている。したがって、従来法に係るAM−AFMでは、表面形状dから制御入力uまでの伝達関数は、このシステムの相補感度関数T(s)と等しく、以下の式(4)のようになる。
上記のような従来法の持つ欠点を解決するものが、表面形状を入力端外乱とみなし、これを外乱オブザーバにより推定する表面形状オブザーバ(Surface Topography Observer(STO))(非特許文献10)である。
上記のSTOの問題点を解決するたに、フィードフォワード信号を制御入力に印加して補償を行うことにより、追従誤差eの低減を図るものが、本実施形態に係る表面形状学習オブザーバ(STLO)である。
本実施形態の特徴は、AM−AFMのコントローラにおいて、以下で説明する、単方向型表面形状学習オブザーバ(SD−STLO)、前列走査型表面形状学習オブザーバ(PLS−STLO)、および双方向型表面形状学習オブザーバ(DD−STLO)を用いて、追従誤差eの低減を図る点にある。
本実施形態に係る単方向型表面形状学習オブザーバ(Single Directional Type Surface Topography Learning Observer(SD−STLO))は、FWS時とBWS時のスキャン経路が同じであることをうまく利用したものである。
本実施形態に係る前列走査型表面形状学習オブザーバ(Pre−Line Scanning Type Surface Topography Learning Observer(PLS−STLO))は、1ライン前のFWS(行きの走査)とBWS(帰りの走査)の間に表面形状を計測および記憶し、当該FWS(行きの走査)の次のラインのFWS(行きの走査)とBWS(帰りの走査)において、記憶された表面形状を用いて制御し、試料表面の表面形状を推定する。
双方向型表面形状学習オブザーバ(Dual Directional Type Surface Topography Learning Observer(DD−STLO))は、SD−STLOとPLS−STLOの長所を継承したものである。
図12は、SD−STLOによるシミュレーションの結果を示し、図13は、PLS−STLOによるシミュレーションの結果を示し、図14は、DD−STLOによるシミュレーションの結果を示している。
以下で、AM−AFMにより、試料を計測した結果について説明する。なお、計測する試料として、高さ約100[nm]、Line&Space(それぞれ500[nm])の標準試料を用いている。
また、図22、30に示されているように、AM−AFMにおいて本実施形態に係るPLS−STLOによる制御を用いると、BWSのみならずFWSにおいてもフィードフォワード信号が制御入力に印加されるので、追従誤差(e)の抑圧を達成できる。
102 DDS(ダイレクト・デジタル・シンセサイザー)
103 カンチレバ
104 カンチレバの先端
105 LD(レーザ光)
106 PD(フォトダイオード)
107 レーザ光提供手段
108 BPF(バンドパスフィルタ)
109 RMS−DC
110 コントローラ
111 z−走査器
112 xy−走査器
113 走査回路
114 補償器
115 ピエゾ素子面
116 データ記憶手段
Claims (4)
- 試料表面の表面形状をタッピングモードで画像化する原子間力顕微鏡装置であって、
前記試料表面と原子間力を介して相互作用し、前記原子間力によって振動振幅が振幅変調を受けるカンチレバと、
前記カンチレバを前記カンチレバの共振周波数で振動させるための振動用ピエゾ素子と、前記カンチレバに向けて第1のレーザ光を入射するレーザ光提供手段と、
前記カンチレバが前記第1のレーザ光を反射することにより発せられた第2のレーザ光を検出する光検出手段と、
前記光検出手段により検出された前記カンチレバの先端の変位を振幅変復調するための振幅変復調器と、
前記試料を載せたピエゾ素子と、
前記試料表面と前記カンチレバの先端との間の距離を一定に保ち、前記ピエゾ素子に入力電圧を入力し、行きの走査の間に表面形状を計測し、前記ピエゾ素子の出力電圧および前記ピエゾ素子の入力電圧から、前記試料表面の表面形状を推定するコントローラと、
推定された前記表面形状を記録するデータ記憶手段とを備え、
前記コントローラは、前記行きの走査と同一ラインの帰りの走査において、記憶された前記表面形状を用いて制御を行うことを特徴とする原子間力顕微鏡装置。 - 試料表面の表面形状をタッピングモードで画像化する原子間力顕微鏡装置であって、
前記試料表面と原子間力を介して相互作用し、前記原子間力によって振動振幅が振幅変調を受けるカンチレバと、
前記カンチレバを前記カンチレバの共振周波数で振動させるための振動用ピエゾ素子と、
前記カンチレバに向けて第1のレーザ光を入射するレーザ光提供手段と、
前記カンチレバが前記第1のレーザ光を反射することにより発せられた第2のレーザ光を検出する光検出手段と、
前記光検出手段により検出された前記カンチレバの先端の変位を振幅変復調するための振幅変復調器と、
前記試料を載せたピエゾ素子と、
前記試料表面と前記カンチレバの先端との間の距離を一定に保ち、前記ピエゾ素子に入力電圧を入力し、1ライン前の行きの走査と帰りの走査の間に表面形状を計測し、前記ピエゾ素子の出力電圧および前記ピエゾ素子の入力電圧から、前記試料表面の表面形状を推定するコントローラと、
推定された前記表面形状を記録するデータ記憶手段とを備え、
前記コントローラは、前記行きの走査の次のラインの行きの走査と帰りの走査において、記憶された前記表面形状を用いて制御を行うことを特徴とする原子間力顕微鏡装置。 - 試料表面の表面形状をタッピングモードで画像化する原子間力顕微鏡装置であって、
前記試料表面と原子間力を介して相互作用し、前記原子間力によってその先端の振動振幅が振幅変調を受けるカンチレバと、
前記カンチレバを前記カンチレバの共振周波数で振動させるための振動用ピエゾ素子と、
前記カンチレバに向けて第1のレーザ光を入射するレーザ光提供手段と、
前記カンチレバが前記第1のレーザ光を反射することにより発せられた第2のレーザ光を検出する光検出手段と、
前記光検出手段により検出された前記カンチレバの先端の変位を振幅変復調するための振幅変復調器と、
前記試料を載せたピエゾ素子と、
前記試料表面と前記カンチレバの先端との間の距離を一定に保ち、前記ピエゾ素子に入力電圧を入力し、1ライン前の帰りの走査の間に表面形状を計測し、前記ピエゾ素子の出力電圧および前記ピエゾ素子の入力電圧から、前記試料表面の表面形状を推定するコントローラと、
推定された前記表面形状を記録するデータ記憶手段とを備え、
前記コントローラは、行きの走査において、前記行きの走査より前記1ライン前の帰りの走査で記憶された表面形状を用いて制御し、行きの走査の間に表面形状を計測および記憶し、帰りの走査において、前記帰りの走査と同一のラインの前記行きの走査で記憶された表面形状を用いて制御を行うことを特徴とする原子間力顕微鏡装置。 - 前記コントローラは、ディジタル外乱オブザーバを用いて前記試料表面の表面形状を推定することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の原子間力顕微鏡装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008052663A JP5071901B2 (ja) | 2008-03-03 | 2008-03-03 | 原子間力顕微鏡装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008052663A JP5071901B2 (ja) | 2008-03-03 | 2008-03-03 | 原子間力顕微鏡装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009210361A true JP2009210361A (ja) | 2009-09-17 |
JP5071901B2 JP5071901B2 (ja) | 2012-11-14 |
Family
ID=41183678
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008052663A Expired - Fee Related JP5071901B2 (ja) | 2008-03-03 | 2008-03-03 | 原子間力顕微鏡装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5071901B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102043070A (zh) * | 2010-10-22 | 2011-05-04 | 中国科学技术大学 | 反馈稳幅的调幅测力梯度仪及其扫描力显微镜和测频仪 |
JP2014071927A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Hitachi High-Technologies Corp | 熱アシスト磁気ヘッド検査方法及び熱アシスト磁気ヘッド検査装置 |
JP2016224018A (ja) * | 2015-06-02 | 2016-12-28 | パークシステムズ株式会社 | 調整可能なスキャン速度を有する測定装置及び測定方法 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0231143A (ja) * | 1988-07-20 | 1990-02-01 | Jeol Ltd | 走査トンネル顕微鏡 |
JPH02265155A (ja) * | 1988-07-06 | 1990-10-29 | Digital Instr Inc | 走査型トンネル顕微鏡用フイードバック制御 |
JPH06213910A (ja) * | 1992-11-30 | 1994-08-05 | Digital Instr Inc | 形状を除く表面のパラメータを正確に測定し、または形状に関連した仕事を行うための方法および相互作用装置 |
JPH07159155A (ja) * | 1993-12-08 | 1995-06-23 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型プローブ顕微測定法および走査型プローブ顕微鏡 |
JPH07270434A (ja) * | 1992-08-07 | 1995-10-20 | Digital Instr Inc | 超低力原子間力顕微鏡 |
JP2000180457A (ja) * | 1998-12-15 | 2000-06-30 | Jeol Ltd | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP2002107285A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-10 | Jeol Ltd | 磁気力顕微鏡 |
JP2004085321A (ja) * | 2002-08-26 | 2004-03-18 | Univ Osaka | 探針装置 |
JP2007047150A (ja) * | 2005-07-13 | 2007-02-22 | Jeol Ltd | 走査型プローブ顕微鏡及びその動作方法 |
JP2008096251A (ja) * | 2006-10-11 | 2008-04-24 | Yokohama National Univ | 高帯域原子間力顕微鏡装置 |
-
2008
- 2008-03-03 JP JP2008052663A patent/JP5071901B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02265155A (ja) * | 1988-07-06 | 1990-10-29 | Digital Instr Inc | 走査型トンネル顕微鏡用フイードバック制御 |
JPH0231143A (ja) * | 1988-07-20 | 1990-02-01 | Jeol Ltd | 走査トンネル顕微鏡 |
JPH07270434A (ja) * | 1992-08-07 | 1995-10-20 | Digital Instr Inc | 超低力原子間力顕微鏡 |
JPH06213910A (ja) * | 1992-11-30 | 1994-08-05 | Digital Instr Inc | 形状を除く表面のパラメータを正確に測定し、または形状に関連した仕事を行うための方法および相互作用装置 |
JPH07159155A (ja) * | 1993-12-08 | 1995-06-23 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型プローブ顕微測定法および走査型プローブ顕微鏡 |
JP2000180457A (ja) * | 1998-12-15 | 2000-06-30 | Jeol Ltd | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP2002107285A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-10 | Jeol Ltd | 磁気力顕微鏡 |
JP2004085321A (ja) * | 2002-08-26 | 2004-03-18 | Univ Osaka | 探針装置 |
JP2007047150A (ja) * | 2005-07-13 | 2007-02-22 | Jeol Ltd | 走査型プローブ顕微鏡及びその動作方法 |
JP2008096251A (ja) * | 2006-10-11 | 2008-04-24 | Yokohama National Univ | 高帯域原子間力顕微鏡装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102043070A (zh) * | 2010-10-22 | 2011-05-04 | 中国科学技术大学 | 反馈稳幅的调幅测力梯度仪及其扫描力显微镜和测频仪 |
CN102043070B (zh) * | 2010-10-22 | 2013-04-17 | 中国科学技术大学 | 反馈稳幅的调幅测力梯度仪及其扫描力显微镜和测频仪 |
JP2014071927A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Hitachi High-Technologies Corp | 熱アシスト磁気ヘッド検査方法及び熱アシスト磁気ヘッド検査装置 |
JP2016224018A (ja) * | 2015-06-02 | 2016-12-28 | パークシステムズ株式会社 | 調整可能なスキャン速度を有する測定装置及び測定方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5071901B2 (ja) | 2012-11-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9523707B2 (en) | Closed loop controller and method for fast scanning probe microscopy | |
Sulchek et al. | High-speed tapping mode imaging with active Q control for atomic force microscopy | |
US8341760B2 (en) | Scanning probe microscope | |
US8065908B2 (en) | Scan type probe microscope | |
Ren et al. | High-speed adaptive contact-mode atomic force microscopy imaging with near-minimum-force | |
JP5071901B2 (ja) | 原子間力顕微鏡装置 | |
Das et al. | Multi-variable resonant controller for fast atomic force microscopy | |
US10041970B2 (en) | High speed adaptive-multi-loop mode imaging atomic force microscopy | |
US10697998B2 (en) | Method of performing surface measurements on a surface of a sample, and scanning probe microscopy system therefore | |
Gunev et al. | Adaptive Q control for tapping-mode nanoscanning using a piezoactuated bimorph probe | |
Huang et al. | High speed atomic force microscopy enabled by a sample profile estimator | |
JP5177532B2 (ja) | 原子間力顕微鏡装置 | |
JP4904495B2 (ja) | 高帯域原子間力顕微鏡装置 | |
JP5077938B2 (ja) | 原子間力顕微鏡装置 | |
Zhang et al. | High-speed force load in force measurement in liquid using scanning probe microscope | |
Fairbairn et al. | A switched gain resonant controller to minimize image artifacts in intermittent contact mode atomic force microscopy | |
Das et al. | Double resonant controller for fast atomic force microscopy | |
Shiraishi et al. | Realization of high-speed measurement AM-FM using surface topography learning observers | |
Yong et al. | Control of vertical axis of a video-speed AFM nanopositioner | |
Shiraishi et al. | Proposal of surface topography observer considering Z-scanner for high-speed AFM | |
JPH07181028A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
Xia et al. | Introduction to Atomic Force Microscopy | |
Mohan | A new dynamic mode for fast imaging in atomic force microscopes | |
Salapaka et al. | Atomic force microscopy: Principles and systems viewpoint enabled methods | |
Agarwal et al. | Control and systems approaches to atomic force microscopy |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101215 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120221 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120511 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120710 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120727 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120813 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150831 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |