JP7070657B2 - 駆動装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の一実施形態に係る駆動装置及び周辺の部材の構成例を示した斜視図である。この駆動装置は、真空室1内に設けられた可動部2を駆動させるためのものであり、壁面3により真空室1が区画されている。壁面3は、例えば水平方向に延びる薄板状の部材により構成されている。図1では、壁面3を隔てて上側が真空室1となっており、壁面3の一部を省略して示している。
図2のように、N極である第1磁石8の上面が、可動側磁石4に対して壁面3を挟んで鉛直下方に対向した状態では、逆極性(S極)である可動側磁石4の下面に対して、可動側磁石4を第1磁石8側に引き付けるように磁力が作用する。この図2の状態では、S極である第2磁石9の上面が、可動側磁石4に対して壁面3を挟んで斜め下方に対向している。したがって、第2磁石9の上面と同極性(S極)である可動側磁石4の下面には、第2磁石9から反発する磁力が作用する。
図1に示すように、可動部2は、互いに直交するX方向及びY方向に移動可能となっている。すなわち、水平方向に沿った第1方向(X方向)と、水平面内において第1方向に直交する第2方向(Y方向)との両方向に沿って、可動部2が移動可能となっている。ただし、第1方向及び第2方向は、互いに直交する方向に限らず、別の角度で交差する方向であってもよいし、いずれも水平方向に沿った方向に限られるものでもない。
図4A~図4Cは、駆動部5の変形例を示した平面図である。図4A~図4Cの例では、円柱状の第1磁石8を中心として、円柱状の第2磁石9が円環状に複数配置されている。より具体的には、第1磁石8を中心とする周方向に、複数の円柱状の第2磁石9が円環状に等間隔で配置されている。
可動側磁石102及び駆動側磁石103(第1磁石8及び第2磁石9)の形状は、上記のような円柱状や円弧状に限られるものではなく、任意の形状を採用することができる。
2 可動部
3 壁面
4 可動側磁石
5 駆動部
6 駆動側磁石
7 移動部材
8 第1磁石
9 第2磁石
10 空間
11 第1レール
12 第2レール
13 試料ステージ
Claims (5)
- 真空室内に設けられた可動部を駆動させるための駆動装置であって、
前記可動部に設けられた可動側磁石と、
前記真空室の外部に設けられ、前記可動側磁石に対して磁力を作用させることにより前記可動部を駆動させる駆動部とを備え、
前記駆動部は、
前記可動側磁石を引き付ける磁力を作用させる第1磁石と、
前記第1磁石に隣接して設けられ、前記可動側磁石に反発する磁力を作用させる第2磁石と、
前記第1磁石及び前記第2磁石を一体的に移動させる移動機構とを有し、
前記第2磁石は、前記第1磁石を中心として円環状に配置されていることを特徴とする駆動装置。 - 前記第2磁石は、前記第1磁石を中心として点対称に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の駆動装置。
- 前記可動部は、第1方向に沿って移動可能であり、
前記移動機構は、前記第1方向に沿って前記第1磁石及び前記第2磁石を一体的に移動可能であることを特徴とする請求項1に記載の駆動装置。 - 前記可動部は、第1方向及び当該第1方向に交差する第2方向に移動可能であり、
前記移動機構は、前記第1方向及び前記第2方向に沿って前記第1磁石及び前記第2磁石を一体的に移動可能であることを特徴とする請求項1に記載の駆動装置。 - 前記可動部は、前記真空室内に設けられた試料ステージに連結されていることを特徴とする請求項1に記載の駆動装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018041686 | 2018-03-08 | ||
JP2018041686 | 2018-03-08 | ||
PCT/JP2018/044579 WO2019171687A1 (ja) | 2018-03-08 | 2018-12-04 | 駆動装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2019171687A1 JPWO2019171687A1 (ja) | 2021-02-12 |
JP7070657B2 true JP7070657B2 (ja) | 2022-05-18 |
Family
ID=67846158
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020504789A Active JP7070657B2 (ja) | 2018-03-08 | 2018-12-04 | 駆動装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11915865B2 (ja) |
JP (1) | JP7070657B2 (ja) |
CN (1) | CN111801517A (ja) |
WO (1) | WO2019171687A1 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2018
- 2018-12-04 CN CN201880090738.8A patent/CN111801517A/zh active Pending
- 2018-12-04 WO PCT/JP2018/044579 patent/WO2019171687A1/ja active Application Filing
- 2018-12-04 JP JP2020504789A patent/JP7070657B2/ja active Active
- 2018-12-04 US US16/978,349 patent/US11915865B2/en active Active
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---|---|
WO2019171687A1 (ja) | 2019-09-12 |
US20210043350A1 (en) | 2021-02-11 |
JPWO2019171687A1 (ja) | 2021-02-12 |
CN111801517A (zh) | 2020-10-20 |
US11915865B2 (en) | 2024-02-27 |
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