JP7069470B2 - 陽極シールド - Google Patents
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Description
Claims (20)
- ターゲットが取り付けられ、ターゲット方向に電子を放出する陽極であって、
基板材料を含む基板(274)であって、
前記ターゲット方向に直交する方向に第1の断面寸法(294)を有する第1の部分(284)と、
前記第1の断面寸法(294)よりも大きく、前記ターゲット方向に直交する方向に第2の断面寸法(296)を有し、第1の部分に対して前記ターゲット方向とは反対の方向に位置する第2の部分(286)と
を含む、前記基板(274)と、
前記基板(274)の前記第1の部分(284)の前記ターゲット方向を向いた第1の表面に取り付けられたターゲット材料を含むターゲット(282)と、
前記基板(274)の前記第2の部分(286)の前記ターゲット方向を向いた第2の表面に取り付けられたシールド材料を含む陽極シールド(272)であって、前記陽極シールド(272)が前記第1の部分(284)の前記ターゲット方向と平行な側面を開放し、前記基板材料が前記ターゲット材料及び前記シールド材料とは異なる、前記陽極シールド(272)と
を備える、陽極。 - 前記ターゲット(282)が前記基板(274)の前記第1の部分(284)にろう付けされ、前記陽極シールド(272)が前記基板(274)の前記第2の部分(286)にろう付けされる、請求項1に記載の陽極。
- 前記陽極シールド(272)が、環状楕円柱、楕円柱シェル、または中空楕円円錐台である、請求項1または2に記載の陽極。
- 前記基板の前記第1の部分(284)及び第2の部分(286)が、実質的に平行な表面を有する楕円柱を形成する、請求項1~3のいずれか1項に記載の陽極。
- 前記ターゲット(282)の平坦なターゲット表面(212)が前記陽極シールド(272)の平坦なシールド表面(216)に対して実質的に平行であるか、または
前記基板の前記第1の部分(284)の平坦な第1の部分の前記ターゲット方向を向いた端面である表面(224)が、前記第1の部分(284)の側面(214)に対して実質的に直交する、請求項1~4のいずれか1項に記載の陽極。 - 前記基板の前記第1の部分(284)の平坦な第1の部分の前記ターゲット方向を向いた端面である表面(224)が、
前記第1の部分(284)の側面(214)に関して85°~95°の角度(Φ)を有するか、または
前記第1の部分(284)の側面(214)に関して90°よりも小さい角度(Φn)を有する、請求項1~5のいずれか1項に記載の陽極。 - 前記ターゲット材料の厚さが、
前記シールド材料の厚さよりも大きいか、または
20ミクロンよりも大きい、請求項1~6のいずれか1項に記載の陽極。 - 前記基板材料が、銅(Cu)、銀(Ag)、熱分解炭素もしくは熱分解グラファイト、またはこれらの組み合わせを含み、
前記ターゲット材料及び前記シールド材料が、それぞれ、スカンジウム(Sc)、チタン(Ti)、コバルト(Co)、モリブデン(Mo)、ロジウム(Rh)、パラジウム(Pd)、タングステン(W)、プラチナ(Pt)、炭化ニオブ(NbCもしくはNb2C)、炭化タンタル(TaCx)、またはこれらの組み合わせを含む、請求項1~7のいずれか1項に記載の陽極。 - 前記ターゲット材料及び前記シールド材料が、実質的に同一の材料を含む、請求項1~8のいずれか1項に記載の陽極。
- 前記ターゲット材料及び前記シールド材料が、前記基板材料のK-アルファ1(Kα1)エネルギーレベルよりも1.5倍大きいK-アルファ1エネルギーレベルを有する、請求項1~9のいずれか1項に記載の陽極。
- X線管であって、
真空エンクロージャ(234)であって、前記真空エンクロージャの開口(228)を覆うX線透過窓(232)を含む、前記真空エンクロージャ(234)と、
前記真空エンクロージャ内に配置された陰極アセンブリ(236)であって、電子を放出するように構成された電子源(262)を含む、前記陰極アセンブリ(236)と、
前記真空エンクロージャ内に配置された請求項1~10のいずれか1項に記載の陽極であって、前記ターゲット(282)に当たる電子からX線を発生させるように構成された、前記陽極と
を備える、X線管。 - 前記陰極アセンブリ(236)が、前記基板の前記第1の部分(284)及び前記第2の部分(286)と向き合う実質的に幾何学的に連続する表面(220)を含む集束電極をさらに含む、請求項11に記載のX線管。
- 前記真空エンクロージャの前記開口(228)が、前記第2の部分(286)の前記第2の断面寸法の20%以内の開口断面寸法を有する、請求項11または12に記載のX線管。
- ターゲットが取り付けられ、ターゲット方向に電子を放出する陽極を製造する方法であって、
基板材料を含む基板を提供することと、
ターゲット材料を含むターゲット(282)を前記基板にろう付けすることと、
前記ターゲット方向に直交する方向に第1の断面積を有する前記基板(274)の第1の部分(284)及び前記ターゲット方向に直交する方向に前記第1の断面積よりも大きい第2の断面積を有し、前記第1の部分に対して前記ターゲット方向とは反対の方向に位置する第2の部分(286)を形成することであって、前記ターゲットが前記第1の部分(286)の平坦な前記ターゲット方向を向いた第1の部分の表面(224)にろう付けされる、前記形成することと、
シールド材料を含む陽極シールド(272)を前記第2の部分(286)の平坦な前記ターゲット方向を向いた第2の部分の表面(226)にろう付けすることであって、前記陽極シールド(272)が前記第1の部分(284)の前記ターゲット方向と平行な側面を開放することと、
を含む、方法。 - 前記基板(274)の前記第1の部分(284)及び前記第2の部分(286)を形成することが、前記第1の部分(284)を前記第2の部分(286)よりも小さい断面寸法に機械加工することを含む、請求項14に記載の方法。
- 前記陽極シールドをろう付けすることが、前記基板(274)を前記陽極シールド(272)に付着させるためのろう付け材料を追加することを含む、請求項14または15に記載の方法。
- ターゲットが取り付けられ、ターゲット方向に電子を放出する陽極であって、
電子がターゲットに当たったときにX線を発生させるためのターゲット材料を含むターゲット手段と、
前記ターゲットを支持し、前記ターゲットから出る熱を伝導するための基板材料を含む基板手段であって、前記ターゲット方向に直交する方向に第2の断面寸法を有する第2の部分よりも小さい、前記ターゲット方向に直交する方向に第1の断面寸法を有する第1の部分を有し、前記第2の部分は前記第1の部分に対して前記ターゲット方向とは反対の方向に位置する、前記基板手段と、
前記基板手段の前記第1の部分と重なっていない前記第2の部分から発生する後方散乱X線を遮断するためのシールド材料を含む陽極シールド手段であって、前記陽極シールド手段が前記基板手段の前記第1の部分の前記ターゲット方向と平行な側面を開放し、前記基板材料が前記ターゲット材料及び前記シールド材料とは異なる、前記陽極シールド手段と
を備える、陽極。 - 前記基板手段の前記基板材料が、900℃よりも高い融点を有するか、または300W/(m・K)よりも大きい熱伝導率を有する、請求項17に記載の陽極。
- 前記ターゲット材料及び前記シールド材料が、前記基板材料のK-アルファ1(Kα1)エネルギーレベルよりも50%大きいK-アルファ1エネルギーレベルを有する、請求項17または18に記載の陽極。
- 前記シールド材料の厚さが、前記基板材料から放出されたK放射線の99%超を遮断する、請求項1~10または請求項17~19のいずれか1項に記載の陽極。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201962890581P | 2019-08-22 | 2019-08-22 | |
US62/890,581 | 2019-08-22 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021034382A JP2021034382A (ja) | 2021-03-01 |
JP7069470B2 true JP7069470B2 (ja) | 2022-05-18 |
Family
ID=74677611
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020141130A Active JP7069470B2 (ja) | 2019-08-22 | 2020-08-24 | 陽極シールド |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11545332B1 (ja) |
JP (1) | JP7069470B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10758912B1 (en) * | 2019-04-11 | 2020-09-01 | Gene P. Guthmiller | Material processing system |
US20230243762A1 (en) * | 2022-01-28 | 2023-08-03 | National Technology & Engineering Solutions Of Sandia, Llc | Multi-material patterned anode systems |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2001148226A (ja) | 1999-09-30 | 2001-05-29 | Varian Medical Systems Inc | X線管用の固定アノードアッセンブリ |
JP2005190877A (ja) | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Rigaku Industrial Co | X線管およびこれを備えた全反射蛍光x線分析装置 |
JP2016111019A (ja) | 2014-12-03 | 2016-06-20 | ヴァリアン メディカル システムズ インコーポレイテッド | X線アセンブリ及び被覆 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3819971A (en) * | 1972-03-22 | 1974-06-25 | Ultramet | Improved composite anode for rotating-anode x-ray tubes thereof |
US4870671A (en) * | 1988-10-25 | 1989-09-26 | X-Ray Technologies, Inc. | Multitarget x-ray tube |
US6690765B1 (en) * | 2001-09-06 | 2004-02-10 | Varian Medical Systems, Inc. | Sleeve for a stationary anode in an x-ray tube |
-
2020
- 2020-08-21 US US16/999,684 patent/US11545332B1/en active Active
- 2020-08-24 JP JP2020141130A patent/JP7069470B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2001148226A (ja) | 1999-09-30 | 2001-05-29 | Varian Medical Systems Inc | X線管用の固定アノードアッセンブリ |
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JP2016111019A (ja) | 2014-12-03 | 2016-06-20 | ヴァリアン メディカル システムズ インコーポレイテッド | X線アセンブリ及び被覆 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021034382A (ja) | 2021-03-01 |
US11545332B1 (en) | 2023-01-03 |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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