JP7058134B2 - シリンダ装置、プレス装置、ワーククランプ装置、シリンダ装置動作方法、ワークのクランプ方法、及びワークのプレス方法 - Google Patents

Description

本発明は、シリンダ装置、プレス装置、ワーククランプ装置、シリンダ装置動作方法、ワークのクランプ方法、及びワークのプレス方法に関し、例えば、流体圧シリンダを用いたものに関する。

エア（気体）や油（液体）といった流体を用いた流体圧シリンダが工業の広い分野で利用されている。
これら流体圧シリンダは、流体の圧力でシリンダ内のピストンに推力を発生させることにより、例えば、プレスやアクチュエータの駆動など、様々な機械的な動作の原動となることができる。

ところで、油圧シリンダは、油圧による大きな加圧力により小さなサイズでも大きな推力を得られるという特徴があるが、油圧供給装置などの大がかりな設備が必要であるという点が問題であった。
そのため、特許文献１では、エアシリンダと油圧シリンダを組み合わせたエアハイドロシリンダによってエア圧で油圧を発生させることにより、複雑な油圧系を省略し、低コストで小型化が可能な流体圧シリンダを提案している。

ところが、特許文献１の技術では、エアシリンダのピストンの移動量を油圧シリンダの断面積に対応させて推力を発生させるため、ストロークが短いという問題があった。
例えば、エアハイドロシリンダの出力側にアクチュエータを装着した場合、ストロークを確保するためには、アクチュエータをエアハイドロシリンダごと移動する必要があった。

特許第４８９５３４２号公報

本発明は、エアハイドロシリンダを用いたストロークの大きいシリンダ装置を提供することを目的とする。

本発明は、前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明では、シリンダと、前記シリンダ内の一端側に形成された空圧室と、前記シリンダ内を前記空圧室の圧力で他端側に移動する油圧室と、前記空圧室が前記油圧室に与えるスラスト方向の力からラジアル方向の力を発生させ、当該ラジアル方向の力によって前記油圧室を前記シリンダ内に固定する固定手段と、前記空圧室が前記固定した油圧室に発生させる油圧を増幅する油圧増幅手段と、前記増幅した油圧を出力する出力ロッドと、を具備し、前記油圧室は、前記出力ロッドが設けられた第１油圧室と、前記固定手段が設けられた第２油圧室と、から構成されており、前記固定手段は、前記第２油圧室の油圧によって前記ラジアル方向の力を発生させて前記第２油圧室と前記第１油圧室を固定し、前記油圧増幅手段は、前記第１油圧室に発生した油圧を増幅して前記出力ロッドに出力する、ことを特徴とするシリンダ装置を提供する。
請求項２に記載の発明では、前記油圧室は、前記空圧室が前記油圧室に与える前記他端側方向の力と前記出力ロッドが前記油圧室に与える前記一端側方向の力と、を受けて油圧を発生させることを特徴とする請求項１に記載のシリンダ装置を提供する。
請求項３に記載の発明では、前記固定手段は、前記ラジアル方向の力によって弾性変形した前記第２油圧室の側壁を前記シリンダの内壁に押圧することにより前記第２油圧室と前記第１油圧室を固定することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のシリンダ装置を提供する。
請求項４に記載の発明では、前記固定手段は、前記第２油圧室に発生した油圧で、スラスト方向に移動するテーパ部材をクランパに押圧することによりラジアル方向の力を発生させ、当該力によって前記クランパを前記シリンダの内壁に押圧することにより前記第２油圧室と前記第１油圧室を固定することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のシリンダ装置を提供する。
請求項５に記載の発明では、前記第１油圧室は、前記出力ロッドを出力方向に押圧する出力ピストンを備えており、前記出力ピストンを前記出力方向に対向する方向に付勢する付勢手段を具備したことを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３、又は請求項４に記載のシリンダ装置を提供する。
請求項６に記載の発明では、前記第１油圧室の前記出力ピストンは、前記第１油圧室に増幅されて発生した油圧が前記出力ロッドに働いて推力を出力する状態でも移動せず、前記出力ロッドに出力だけを伝達することを特徴とする請求項５に記載のシリンダ装置を提供する。
請求項７に記載の発明では、前記空圧室は、前記第１油圧室を加圧する第１ピストンを備えた第１空圧室と、前記第２油圧室を加圧する第２ピストンを備えた第２空圧室と、前記第１空圧室と前記第２空圧室を連通する連通孔とから構成され、前記第１空圧室は、第１吸排気口を有すると共に前記第２空圧室の前記一端側に形成されている、ことを特徴とする請求項１から請求項６までのうちの何れか１の請求項に記載のシリンダ装置を提供する。
請求項８に記載の発明では、前記第１ピストンは、前記第１空圧室の圧力で、前記出力ロッドが押圧対象に当接するまで、又は、前記第１油圧室が移動可能な前記他端側の端部に到達するまで、前記第２空圧室、前記第１油圧室、及び前記第２油圧室を前記他端側に移動する、ことを特徴とする請求項７に記載のシリンダ装置を提供する。
請求項９に記載の発明では、前記第２油圧室の前記第２ピストンが前記第２油圧室に増幅した油圧を発生させる際の、前記第２ピストンの移動量が、前記第２ピストンに配設された前記第２油圧室のシール部材の弾性変形量の範囲内である、ことを特徴とする請求項８に記載のシリンダ装置を提供する。
請求項１０に記載の発明では、前記第１空圧室は、第１吸排気口を有し、前記第１空圧室と前記第２空圧室を連通する連通孔を具備したことを特徴とする請求項８又は、請求項９に記載のシリンダ装置を提供する。
請求項１１に記載の発明では、前記第１油圧室は、前記第２油圧室の前記他端側に形成されており、前記第１ピストンは、前記第２空圧室と前記第２油圧室を貫通して前記第１油圧室まで形成されていることを特徴とする請求項８、請求項９、又は請求項１０に記載のシリンダ装置を提供する。
請求項１２に記載の発明では、前記シリンダ内の他端側に設けられ、第２吸排気口を有し、前記油圧室を前記一端側に押圧する第３空圧室を具備したことを特徴とする請求項１０、又は請求項１１に記載のシリンダ装置を提供する。
請求項１３に記載の発明では、前記第１空圧室を貫通し、前記第１ピストンから前記シリンダの前記一端側に形成された空圧ロッドを具備したことを特徴とする請求項７から請求項１２までのうちの何れか１の請求項に記載のシリンダ装置を提供する。
請求項１４に記載の発明では、前記第１ピストンのロッド部分は、所定のクリアランスを設けた２つのロッド部分に分割されていることを特徴とする請求項７から請求項１１までのうちの何れか１の請求項に記載のシリンダ装置を提供する。
請求項１５に記載の発明では、請求項１２に記載のシリンダ装置と、前記シリンダ装置に対してワークを所定位置に設置するワーク設置手段と、前記シリンダ装置を駆動して、前記出力ロッドに装着した工具で前記設置したワークをプレスするプレス手段と、前記プレスしたワークを前記所定位置から離脱する離脱手段と、を具備したことを特徴とするプレス装置を提供する。
請求項１６に記載の発明では、請求項１２に記載したシリンダ装置と、前記シリンダ装置に対してワークを所定位置に設置するワーク設置手段と、前記シリンダ装置を駆動して、前記出力ロッドで前記設置したワークを押圧しクランプする手段と、前記クランプしたワークを前記所定位置から離脱する離脱手段と、を具備したことを特徴とするワーククランプ装置を提供する。
請求項１７に記載の発明では、請求項１２のシリンダ装置を動作させるシリンダ装置動作方法であって、第２吸排気口から第３空圧室を加圧すると共に第１吸排気口から第１空圧室と第２空圧室を減圧することにより第１油圧室と第２油圧室を一端側に移動させて初期状態に設定する第１ステップと、前記第１吸排気口から前記第１空圧室と前記第２空圧室を加圧すると共に前記第２吸排気口から前記第３空圧室を減圧することにより前記第１空圧室と前記第２空圧室を他端側に移動させて、前記出力ロッドを押圧対象に当接させ、又は、前記第１油圧室が移動可能な前記他端側の端部に到達させる、第２ステップと、前記第１吸排気口から更に加圧して前記固定手段を動作させ、前記第１油圧室と前記第２油圧室をシリンダに固定する第３ステップと、前記第１吸排気口から更に加圧して前記油圧増幅手段を動作させ、前記出力ロッドを前記押圧対象に押圧する第４ステップと、前記第２吸排気口から前記第３空圧室を加圧すると共に前記第１吸排気口を減圧して前記第１油圧室と前記第２油圧室を前記一端側に移動させて初期状態に復帰させる第５ステップと、を有することを特徴とするシリンダ装置動作方法を提供する。
請求項１８に記載の発明では、請求項１２に記載のシリンダ装置を動作させてワークを所定位置にクランプする方法であって、ワークを所定位置に設置する第１ステップと、前記シリンダ装置を駆動して、前記出力ロッドがワークに当接し停止するまで、又は、前記第１油圧室が移動可能な前記他端側の端部に到達し停止するまで、前記第１空圧室の圧力で移動させる第２ステップと、前記固定手段により前記第１油圧室と前記第２油圧室を固定する第３ステップと、前記油圧増幅手段により前記第１油圧室の油圧力が増幅される第４ステップと、第４ステップにより増幅された油圧力により前記出力ロッドがワークを油圧力で押圧し所定の位置にクランプする第５ステップと、を有することを特徴とするワークのクランプ方法を提供する。
請求項１９に記載の発明では、請求項１５に記載のプレス装置を動作させてワークをプレスする方法であって、前記シリンダ装置を駆動して、前記出力ロッドの位置を初期状態に戻す第１ステップと、ワークを所定位置に設置する第２ステップと、前記シリンダ装置を駆動して、前記出力ロッドがワークに当接し停止するまで、又は、前記第１油圧室が移動可能な前記他端側の端部に到達し停止するまで、前記第１空圧室の圧力で移動させる第３ステップと、前記固定手段により前記第１油圧室と前記第２油圧室を固定する第４ステップと、前記油圧増幅手段により前記第１油圧室の油圧力が増幅される第５ステップと、第５ステップにより増幅された油圧力により前記出力ロッドに装着した工具がワークを油圧力で押圧し、ワークをプレスする第６ステップと、前記シリンダ装置を駆動して、前記出力ロッドと共に前記出力ロッドに装着した工具を空圧力で前記ワークから離脱させる第７ステップと、プレスが完了したワークを所定の位置から離脱する第８ステップと、を有することを特徴とするワークのプレス方法を提供する。
請求項２０に記載の発明では、前記空圧室は、前記第１油圧室を加圧する第１ピストンを備えた第１空圧室と、前記第２油圧室を加圧する第２ピストンを備えた第２空圧室とから構成され、前記第２空圧室は、前記第２油圧室の前記一端側に配設され、前記第１空圧室は、前記第２油圧室の前記他端側に配設され、前記第２空圧室を加圧する第１吸排気口と、前記第２空圧室と前記第２油圧室を貫通して前記第１空圧室を加圧する第３吸排気口と、を備える、ことを特徴とする請求項１から請求項６までのうちの何れか１の請求項に記載のシリンダ装置を提供する。
請求項２１に記載の発明では、前記空圧室は、前記第１油圧室を加圧する第１ピストンを備えた第１空圧室と、前記第２油圧室を加圧する第２ピストンを備えた第２空圧室とから構成され、前記第２空圧室は、前記第２油圧室の前記一端側に配設され、前記第１空圧室は、前記第２油圧室の前記他端側に配設され、前記第２空圧室を加圧する第１吸排気口と、前記第２油圧室を貫通して、前記第２空圧室と前記第１空圧室を連通する連通手段と、を備える、ことを特徴とする請求項１から請求項６までのうちの何れか１の請求項に記載のシリンダ装置を提供する。
請求項２２に記載の発明では、前記第２油圧室を有する入力側ハウジングと、前記第１空圧室及び前記第１油圧室を有する出力側ハウジングを備え、前記入力側ハウジングは、前記出力側ハウジングの前記一端側に固定されている、ことを特徴とする請求項２０、又は請求項２１に記載のシリンダ装置を提供する。
請求項２３に記載の発明では、前記第２ピストンは、前記入力側ハウジングと前記第２空圧室との間に配設され、前記第２空圧室からの圧力で前記他端側に移動し、当該移動により前記第２油圧室を加圧するロッド部分を備える、ことを特徴とする請求項２２に記載のシリンダ装置を提供する。
請求項２４に記載の発明では、前記請求項２０に従属する請求項２３に記載のシリンダ装置であって、前記第３吸排気口は、前記第２ピストンと前記ロッド部分を貫通することで、前記第２空圧室と前記第２油圧室を貫通している、ことを特徴とするシリンダ装置を提供する。
請求項２５に記載の発明では、前記請求項２１に従属する請求項２３に記載のシリンダ装置であって、前記連通手段は、前記第２ピストンとロッド部分を貫通し前記第２ピストンに固定された連通ロッドと、前記第１空圧室と前記第２空圧室との連通路上に配設された弁機構とを、備え、前記弁機構は、前記第２ピストンと共に移動する前記連通ロッドの移動に伴い開閉を行う、ことを特徴とするシリンダ装置を提供する。
請求項２６に記載の発明では、請求項２４のシリンダ装置を動作させるシリンダ装置動作方法であって、前記第１吸排気口から前記第２空圧室を加圧することで、前記第２ピストンと、前記入力側ハウジングと前記出力側ハウジングを、前記他端側に移動させる移動ステップと、前記出力ロッドを押圧対象に当接させ、又は、前記出力側ハウジングの出力側端部を前記シリンダの前記他端側の端部に当接させることで、前記入力側ハウジングと、前記出力側ハウジングの移動を停止させる移動停止ステップと、前記第１吸排気口から前記第２空圧室を更に加圧して、前記第２ピストンを前記他端側に移動させることで、前記第２油圧室を前記ロッド部分で加圧して前記固定手段を動作させ、前記入力側ハウジングと前記出力側ハウジングを前記シリンダに固定する固定ステップと、前記固定の後、前記第３吸排気口から第１空圧室を加圧して前記油圧増幅手段を動作させ、前記出力ロッドの先端から増幅された油圧による推力を発生させる推力発生ステップと、を有することを特徴とするシリンダ装置動作方法を提供する。
請求項２７に記載の発明では、請求項２５のシリンダ装置を動作させるシリンダ装置動作方法であって、前記第１吸排気口から前記第２空圧室を加圧することで、前記第２ピストンと、前記入力側ハウジングと前記出力側ハウジングを、前記他端側に移動させる移動ステップと、前記出力ロッドを押圧対象に当接させ、又は、前記出力側ハウジングの出力側端部を前記シリンダの前記他端側の端部に当接させることで、前記入力側ハウジングと、前記出力側ハウジングの移動を停止させる移動停止ステップと、前記第１吸排気口から前記第２空圧室を更に加圧して、前記第２ピストンを前記他端側に移動させることで、前記第２油圧室を前記ロッド部分で加圧して前記固定手段を動作させ、前記入力側ハウジングと前記出力側ハウジングを前記シリンダに固定する固定ステップと、前記固定ステップによる固定の後、前記第１吸排気口から更に前記第２空圧室を加圧して、前記第２ピストンと共に前記連通ロッドを前記他端側に移動させることで、前記弁機構を開き前記第２空圧室と前記第１空圧室を連通させる連通ステップと、前記連通ステップによる連通の後、前記第１吸排気口から更に連通した前記第１空圧室を加圧して前記油圧増幅手段を動作させ、前記出力ロッドの先端から増幅された油圧による推力を発生させる推力発生ステップと、を有することを特徴とするシリンダ装置動作方法を提供する。

本発明は、空圧室によって油圧室をシリンダ内で移動させることにより、ストロークの確保と推力の確保を両立させることができる。

第１実施形態のシリンダ装置を説明するための図である。 プレス加工を説明するための図である。 第２実施形態のシリンダ装置を説明するための図である。 第２実施形態の変形例を説明するための図である。 第３実施形態のシリンダ装置を説明するための図である。 第４実施形態のシリンダ装置を説明するための図である。 第５実施形態のシリンダ装置を説明するための図である。 第５実施形態の部品図である。 第５実施形態の動作状態を表す説明図である。 第５実施形態の他の動作状態を表す説明図である。 第６実施形態のシリンダ装置を説明するための図である。 第６実施形態の動作状態を表す説明図である。 第６実施形態の他の動作状態を表す説明図である。

（第１実施形態の概要）
従来のエアハイドロシリンダの場合、エアシリンダ部分では、ストロークは大きいが推力が小さいという特徴があり、油圧シリンダ部分では、ストロークは小さいが推力が大きいという特徴がある。
そこで。本実施形態のシリンダ装置１（図１）では、空圧室２０から成る空圧系に、油圧室３０から成る油圧系をシリンダ２内でスラスト方向に移動させる機能と、移動後に油圧室３０を加圧して油圧を発生させる機能を持たせることにより、必要なストロークを確保すると共に必要な推力を発生する。

より詳細には、空圧室２０は、第１ピストン１１を加圧する第１空圧室２１と、第２ピストン１２を加圧する第２空圧室２２から構成されている。
第１空圧室２１と第２空圧室２２は、抜止めボルト１７の内部に形成された貫通孔によって連通している。

一方、油圧発生部５５は、油圧室３０を内蔵しており、更に、油圧室３０は、第１ピストン１１を介して第１空圧室２１により加圧される第１油圧室３１と、第２ピストン１２を介して第２空圧室２２により加圧される第２油圧室３２から構成されている。
油圧発生部５５は、シリンダ２内をスラスト方向に移動できるようになっており、第２油圧室３２は、油圧によって薄肉部１５をラジアル方向に弾性変形させ、移動する油圧発生部５５をシリンダ２内で固定する機能を有している。
第１油圧室３１は、固定により高まった第１油圧室３１の油圧を出力ロッド７に出力する。

シリンダ装置１の動作は、以下の通りである。
まず、第１吸排気口５を開放すると共に第２吸排気口６からエアを注入し、油圧発生部５５を第１吸排気口５の側に寄せて初期状態にセットする。
次に、第２吸排気口６を開放して第１吸排気口５からエアを注入する。
これにより第１空圧室２１が加圧され、第１ピストン１１が押されて油圧発生部５５が第２吸排気口６の側に移動する。これにより出力ロッド７の十分なストロークが得られる。

出力ロッド７がワーク１００に当接すると油圧発生部５５の移動が止められる。油圧発生部５５の内部にある第２油圧室３２は、出力側に蓋３４が内壁として構成されており、第２空圧室２２の第２ピストン１２とで内部の油を挟んだ構造をしている。
第１ピストン１１と第２ピストン１２に使用されているシール部材は材質が異なり、第２ピストン１２のシール部材の方が摺動抵抗が小さく、より早く動作を開始し、より早く動作を完了するようになっている。この第１ピストン１１と第２ピストン１２のシール部材の摺動抵抗の違いは、材質の違いによる摩擦抵抗の差に基づくが、形状や、締め代の差に基づくようにしてもよい。
油圧発生部５５の移動が停止して内部隔壁である蓋３４の移動が止まると、入力側から第２ピストン１２により押圧されるので内部圧力が上昇する。同時に油圧発生部５５の内部にある第１油圧室３１は、出力ロッド７と第１空圧室２１の第１ピストン１１で挟まれており、出力側を出力ロッド７で移動が止められると、入力側から第１ピストン１１により押圧されるので内部圧力が上昇する。
この時、摺動抵抗が小さい第２ピストン１２の方が早く動くので、第２油圧室３２による油圧で薄肉部１５が先に弾性変形し、シリンダ２の内周面に当接して、摩擦によって油圧発生部５５がシリンダ２に固定される。

油圧発生部５５が固定されると、第１吸排気口５から供給されるエアにより、第１ピストン１１と第２ピストン１２が第１油圧室３１と第２油圧室３２を更に加圧する。
これにより第２油圧室３２で高まった油圧が更に薄肉部１５をシリンダ２の内周面に押圧し、より固定が堅持される。油圧発生部５５がシリンダ２に固定されると第１油圧室３１の油圧力によって第３ピストン１３を前進させる推力が大きくなるので、さらに高められた第１油圧室３１の油圧力が第３ピストン１３を介して出力ロッド７に出力され、油圧による大きな推力がワーク１００に印加される。
以上のようにして、シリンダ装置１は、エアシリンダによる長いストロークと、油圧シリンダによる大きな油圧の両方を兼ね備えることができる。

（第１実施形態の詳細）
図１（ａ）は、第１実施形態に係るシリンダ装置１のスラスト方向（中心線の方向）の断面図を示しており、図１（ｂ）は、部品図を示している。
なお、図１（ａ）では、図面の複雑化を避けるためＯリングを省略してある。省略したＯリングは、エアや油などの流体を封じる空間を構成する部材間に配設されることで、当該空間をシールし、流体の遺漏を防ぐために設置されるもので、図１（ｂ）の部品図では、Ｏリングも図示してある。

シリンダ装置１は、シリンダ２の両開放端を蓋３、４で塞いで構成されており、内部には、第１空圧室２１の第１ピストン１１によってスラスト方向に移動する油圧発生部５５が収納（内蔵）されている。

油圧発生部５５は、ピストンハウジング１４を筐体とし、その内部に収納された第２空圧室２２、第２油圧室３２、及び第１油圧室３１などから構成された油圧発生機能を有するアセンブリである。
油圧発生部５５は、第１空圧室２１の圧力により出力側に移動する。そして、第２油圧室３２は、油圧によって移動した油圧発生部５５をシリンダ２内で固定し、第１油圧室３１は固定されることによって内部で高まった油圧を出力ロッド７の１方向に推進力として出力する。

このように、シリンダ装置１は、シリンダ内を空圧室の圧力で他端側（出力側）に移動する油圧室を備えており、当該油圧室は、出力ロッド７が設けられた第１油圧室３１と、固定手段（薄肉部１５）が設けられた第２油圧室３２から構成されている。

シリンダ装置１を構成する部品の材質は、アルミニウム、ステンレス、鉄などの金属である。
シリンダ装置１の大きさは、一例として、外径が２０ミリ程度、ストローク長さが５０ミリ程度であるが、これよりも大きくても、あるいは、小さくてもよい。以上が、シリンダ装置１の構成の概略である。

以下では、第１吸排気口５が形成された一端側を加圧用のエアが入力される側であるため入力側と呼び、第２吸排気口６が形成された他端側を油圧が出力される側であるため出力側と呼ぶことにする。
また、シリンダ２内の部品が最も入力側に位置する図１（ａ）に示した状態を初期状態と呼ぶことにする。

シリンダ２は、両端面が開放された円筒部材であって、シリンダ装置１の筐体を構成している。
シリンダ２の入力側端部は、円柱状の部材で構成された蓋３によって閉塞されている。
蓋３の出力側には、シリンダ２を挿入する凹部４３が形成されており、シリンダ２の入力側端部の外周に形成された雄ネジと凹部４３の内周面に形成された雌ネジを嵌合させることにより、シリンダ２と蓋３は、ネジ止めされて接合されている。

シリンダ２内の入力側の端部部分には、シリンダ２の内壁に沿ってスラスト方向に摺動する第１ピストン１１が設けられている。
第１ピストン１１の入力側端面と凹部４３の底面は対面しており、凹部４３の底面には、溝が形成された凸部４４が形成されている。

凸部４４により、第１ピストン１１の入力側への移動範囲が規制されるため、第１ピストン１１が最も入力側に寄った場合でも、凹部４３、第１ピストン１１の端面、及びシリンダ２の内壁で囲まれた空間が形成される。
蓋３の側面には、第１吸排気口５から当該空間に連通する吸排気路が形成されており、これによって、第１吸排気口５からの吸気や排気によって加減圧が可能な第１空圧室２１が当該空間に形成される。
凸部４４に溝が形成されているのは、第１吸排気口５からエアが供給された場合に、第１ピストン１１の端面全体にエアが速やかに行き渡るようにするためである。

第１ピストン１１の出力側端面には、後述の抜止めナット１８、第２空圧室２２、第２ピストン１２、張出部５７、第２油圧室３２、蓋３４を中心線に沿って貫通して第１油圧室３１に至るロッド部分５０がスラスト方向に形成されている。
このように、第１油圧室３１は、第２油圧室３２の他端側（出力側）に形成されており、第１ピストン１１は、第２空圧室２２と第２油圧室３２を貫通して第１油圧室３１まで形成されている。
第１ピストン１１は、油圧発生部５５をシリンダ２内で出力側に移動させる機能と、第１油圧室３１を加圧して出力ロッド７に油圧を出力させる機能を有している。

第１ピストン１１の出力側には、油圧発生部５５が配置されている。
油圧発生部５５は、略円筒状の形状を有するピストンハウジング１４を筐体とし、当該筐体内に形成されている第２空圧室２２、第２油圧室３２、第１油圧室３１を駆動して油圧を発生させる油圧発生アセンブリである。

ピストンハウジング１４は、入力側から第２空圧室２２、第２油圧室３２、第１油圧室３１を形成する内部形状を有する概略円筒形の部材である。
ピストンハウジング１４の中央部には、シリンダ２の内周面と所定のクリアランスを隔てて摺動する薄肉部１５が外筒部に形成されており、薄肉部１５の両側の部分は、薄肉部１５よりも外径が小さく形成されている。

ピストンハウジング１４の入力側の端部には、ピストンハウジング１４の開口部を閉塞する抜止めナット１８が、ピストンハウジング１４に形成された雌ネジと、抜止めナット１８に形成された雄ネジを嵌合させることによりネジ止めされて固定されている。
第１ピストン１１と抜止めナット１８の間には、両者を離れる方向に付勢するコイルバネ１９が設けられている。
コイルバネ１９は、第１ピストン１１の出力側端面と抜止めナット１８の入力側端面の対応する位置に形成された凹部に設置されている。

また、第１ピストン１１には、抜止めボルト１７を挿通するための貫通孔が形成されており、抜止めナット１８には、抜止めボルト１７を固定するためのネジ孔が貫通して設けられている。
抜止めナット１８の貫通孔は、入力側がザグリ加工されており、第１ピストン１１の貫通孔から当該ザグリ加工された部分まで円筒部材であるカラー１６が挿入されている。

そして、カラー１６には、抜止めボルト１７が挿入され、抜止めボルト１７の先端が抜止めナット１８に形成された雌ネジに嵌合してネジ止めされている。
また、第１ピストン１１の貫通孔の入力側は、ザグリ加工されており、抜止めボルト１７の頭部が当該ザグリ部分に当接することにより、第１ピストン１１の抜けを防止している。

図示しないがカラー１６の外周面と第１ピストン１１の貫通孔の内周面の間にはＯリングが設けられており、第１ピストン１１は、カラー１６に対してスラスト方向に摺動することができる。
このように、第１ピストン１１は、コイルバネ１９によって抜止めナット１８から離れる方向に付勢されると共に、抜止めボルト１７によって、第１ピストン１１が抜止めナット１８から所定距離以上離れないように最大離隔量が規制されている。

この最大離隔量は、第１ピストン１１の出力側端面と抜止めナット１８の入力側端面の間に、第１ピストン１１が抜止めナット１８側に押し込まれるストロークを確保するための間隙５１が形成される量に設定されている。
以上の構成によって、初期状態では、コイルバネ１９によって第１ピストン１１と抜止めナット１８は、抜止めボルト１７によって規制される量だけ離れているが、第１空圧室２１に圧力が加わって、第２油圧室により油圧発生部５５が固定されるか、油圧発生部５５が蓋４と当接し移動できなくなると、第１ピストン１１は、抜止めナット１８に接近できるようになる。
なお、この際に、間隙５１にあった空気は、ピストンハウジング１４の外周とシリンダ２の内周の間の空間を経由して第３空圧室４１に排出される。

抜止めナット１８の出力側には、凹部が形成されており、ピストンハウジング１４内で抜止めナット１８の出力側に配置された第２ピストン１２の端面と当該凹部が形成する空間により第２空圧室２２が形成される。
抜止めボルト１７は、中心線に沿って貫通孔が形成されており、当該貫通孔を介して第１空圧室２１と第２空圧室２２は、連通している。

このように、シリンダ装置１は、シリンダ内の一端側（入力側）に形成された空圧室（空圧室２０）を備えており、当該空圧室２０は、第１油圧室３１を加圧する第１ピストン１１を備えた第１空圧室２１と、第２油圧室３２を加圧する第２ピストン１２を備えた第２空圧室２２と、から構成されている。
そして、第１空圧室２１は、第２空圧室２２の一端側に設けられており、第１吸排気口５を有している。
更に、第１ピストン１１は、第１空圧室２１と第２空圧室２２を連通する連通孔を有している。

第２ピストン１２の出力側には、第２油圧室３２を形成するために、シリンダ２の内周面から中心線方向に張り出した張出部５７が形成されている。
第２ピストン１２の出力側端面と、張出部５７の入力側端面の間には、張出部５７から離れる方向に第２ピストン１２を付勢するコイルバネ３３が設置されており、コイルバネ３３の中心を第１ピストン１１のロッド部分５０と第２ピストン１２のロッド部分５８が挿通している。

以上の構成によって、初期状態では、第２ピストン１２の入力側端面は、抜止めナット１８の凹部の縁部分先端に当接し、第２ピストン１２の出力側端面と張出部５７の入力側端面の間には、第２ピストン１２が張出部５７側に押し込まれるストロークを確保するための間隙５２が設けられている。
また、ピストンハウジング１４の間隙５２が形成された部分には、第２ピストン１２が張出部５７の方に移動する際に、間隙５２の空気をピストンハウジング１４とシリンダ２の間の空間に逃がすための貫通孔４０が形成されている。

張出部５７の中心線上には、第２油圧室３２に至る貫通孔が設けられており、第２ピストン１２のロッド部分５８が摺動可能に挿入されている。
更に、ロッド部分５８は、中心線上に第２ピストン１２を貫通する貫通孔が形成されており、第１ピストン１１のロッド部分５０が当該貫通孔を摺動可能に挿通している。
このようにロッド部分５８は、円筒状に形成されており、張出部５７を貫通して第２油圧室３２に露出した端部が第２油圧室３２の油を加圧するピストンとして機能する。

ここで、第１空圧室２１と第２空圧室２２のエアの圧力をＰ１、第２空圧室２２における第２ピストン１２の断面積（エアから圧力を受ける部分をスラスト方向に投影した面積、以下同様）をＳ１、第２油圧室３２におけるロッド部分５８の断面積をＳ２、コイルバネ３３が第２ピストン１２を付勢する力をＦ１とすると、第２油圧室３２の油圧Ｐ２は、Ｐ２＝（Ｐ１・Ｓ１－Ｆ１）／Ｓ２となる。そのため、（Ｐ１・Ｓ１－Ｆ１）／Ｓ２＞Ｐ１なら、第２空圧室２２の圧力が増幅されて第２油圧室３２に伝達される。
油圧発生部５５は、この条件が満たされるように構成されており、第２油圧室３２は、増大した油圧で油圧発生部５５を強固に固定する。

第２油圧室３２は、入力側が張出部５７で仕切られ、外周部分がピストンハウジング１４の薄肉部１５で仕切られ、出力側が蓋３４で仕切られた空間で構成されており、油圧用の油が充填されている。
第２油圧室３２は、第２ピストン１２がスラスト方向の力によって張出部５７の方に押圧されると、ロッド部分５８が第２油圧室３２に挿入されるため、上記の式に従って加圧される。特に出力ロッド７がワーク１００に当接すると（より詳細には、出力ロッド７の先端に取り付けられた工具がワーク１００に当接すると）、急激に加圧される。

第２油圧室３２は、第２ピストン１２がスラスト方向の力によって張出部５７の方に押圧されると、ロッド部分５８が第２油圧室３２に挿入されるため、上記の式に従って加圧される。この時、加圧された圧力は周囲の内壁を均等に押圧する。第２油圧室３２の内壁のスラスト方向の断面積は、入力側と出力側を比較すると、出力側よりもロッド部分５８の端面積の分だけ入力側の方が小さい。このため、第２油圧室３２内部の油が内壁を押圧する力は断面積が大きい出力側の方が大きくなるので、第２油圧室３２には出力側へ移動しようとする力が働く。
この時、空圧室２１と空圧室２２には同時にエアが供給されるので、第２ピストン１２と第１ピストン１１は同時に動作を開始する。そのため同時に第１油圧室３１にも油圧力が発生し始める。第１油圧室３１で発生した油圧力は、蓋３４の出力側端面を押圧するので、油圧発生部５５には入力側へ移動しようとする力が発生する。
この出力側と入力側に移動させようとする相反する力の関係において、第２油圧室３２による出力側へ移動しようとする力の方が大きい場合は、油圧発生部５５には第２油圧室３２により出力ロッド７を押圧する方向に力が作用するが、出力ロッド７は移動できないので油圧発生部５５もその場で停止する。
そして第２油圧室３２内部で高まった油圧は、出力ロッド７の停止に伴いスラスト方向に移動できなくなり、剛性が弱い薄肉部１５に圧力が作用し、矢線で示したラジアル方向（中心線から外に向かう方向）に弾性変形して膨張し、薄肉部１５の外周面がシリンダ２の内周面に押圧される。これにより、薄肉部１５とシリンダ２の間に摩擦力が発生し、油圧発生部５５がシリンダ２内でスラスト方向に固定される。
一方、第１油圧室３１による入力側へ移動させる力の方が大きい場合は、第１ピストン１１よりも第２ピストン１２の方がシール部材による摺動抵抗が小さく、より早く動作するので、第１ピストン１１が間隙５１の隙間を動き切る前（第１ピストン１１が抜止めナット１８に当接する前）に第２ピストン１２の動作が完了し、剛性が弱い薄肉部１５に圧力が作用し、外周面がシリンダ２の内周面に押圧して、油圧発生部５５がシリンダ２内でスラスト方向に固定される。

このように、シリンダ装置１は、空圧室が油圧室に与えるスラスト方向の力からラジアル方向の力を発生させ、当該ラジアル方向の力によって油圧室をシリンダ２内に固定する固定手段（薄肉部１５）を備えている。
そして、当該油圧室は、空圧室が油圧室に与える他端側方向（出力側）の力と出力ロッドが油圧室に与える一端側方向（入力側）の力を受けて油圧を発生させている。
より詳細には、当該固定手段は、第２油圧室３２の油圧によってラジアル方向の力を発生させ、当該ラジアル方向の力によって弾性変形した第２油圧室３２の側壁をシリンダ２の内壁に押圧することにより第２油圧室３２と第１油圧室３１を固定している。

蓋３４は、外周面に雄ネジが形成されており、ピストンハウジング１４の出力側端部に形成された雌ネジにねじ込んで固定されている。
蓋３４の中心には、出力側にザグリ部分が形成された貫通孔が形成されており、当該貫通孔には、第１ピストン１１のロッド部分５０の先端部分が挿入されている。

そして、第１ピストン１１の先端部分に形成されたネジ孔には、抜止めボルト３５がネジ止めにより固定されている。
抜止めボルト３５の頭部が蓋３４の貫通孔に形成されたザグリ部に当接することにより、ロッド部分５０の抜けを防止している。

蓋３４の出力側には、中心線に沿って出力側に出力ロッド７が形成された第３ピストン１３が配置されており、蓋３４の出力側端面、第３ピストン１３の入力側端面、後述する給油口栓３８の入力側端面、及びピストンハウジング１４の内周面で空間によって仕切られた第１油圧室３１が形成されている。
第３ピストン１３の入力側端面の中央には、ロッド部分５８が過度に挿入された場合に、これを逃がす凹部が形成されている。

出力ロッド７は、第３ピストン１３の入力側端部に至るまで中心線上に貫通孔が形成された円筒構造を有している。
そして、貫通孔の入力側には、第１油圧室３１に給油してからこれを密閉するための給油口栓３８がネジ機構により固定されている。

当該構成により、第１ピストン１１がピストンハウジング１４に近づくと、ロッド部分５０が第１油圧室３１に挿入されて第１油圧室３１の油が加圧され、出力ロッド７が当該加圧された油圧を受けて出力側に移動する。
ここで、第１空圧室２１と第２空圧室２２のエアの圧力をＰ１、第１空圧室２１における第１ピストン１１の断面積をＳ３、第１油圧室３１の油圧をＰ３、第１油圧室３１における第１ピストン１１の断面積をＳ４とする。
この場合、Ｐ３＝Ｓ３・Ｐ１／Ｓ４となり、Ｓ３＞Ｓ４なら、第１空圧室２１の圧力が増幅されて第１油圧室３１に伝達される。

なお、後述するようにコイルバネ３６によって入力側に付勢されているが、これによる力をＦ２とし、第１油圧室３１における第３ピストン１３の断面積をＳ５とすると、出力ロッド７がワーク１００を押圧する力Ｆ３は、Ｆ３＝（Ｐ１・Ｓ３・Ｓ５／Ｓ４）－Ｆ２となる。

シリンダ装置１の油圧系（油圧室３０）は、第１空圧室２１の圧力がピストン１１のロッド部分５０により第１油圧室３１で増幅されて、ワーク１００の加工に必要な力Ｆ３を出力ロッド７により発揮するように（推力が増大するように）設定されている。
このようにシリンダ装置１は、空圧室２０が第１油圧室３１に発生させる油圧を増幅する油圧増幅手段（ピストン１１、ロッド部分５０）と、当該増幅した油圧を出力する出力ロッド７を備えており、当該油圧増幅手段は、第１油圧室３１に発生した油圧を増幅して出力ロッド７に出力している。

ピストンハウジング１４の出力側の開放端には、ネジ溝が形成されており、中心に出力ロッド７を挿通する貫通孔が形成された抜止めナット３７がネジ止めされている。
第３ピストン１３の出力側端面と、抜止めナット３７の入力側端面の間には、両者が離れる方向に付勢するコイルバネ３６が設置されており、コイルバネ３６の中心を出力ロッド７が挿通している。
このように、第１油圧室３１は、出力ロッドを出力方向に押圧する出力ピストン（第３ピストン）を備えており、シリンダ装置１は、当該出力ピストンを出力方向に対向する方向に付勢する付勢手段を具備している。

コイルバネ３６は、空圧室２０（第１空圧室２１、第２空圧室２２）が加圧される際に、第２油圧室３２が加圧されて油圧発生部５５がシリンダ２にクランプされる前に、出力ロッド７が移動してしまうことで、ワークと当接する位置が変動してしまうのを防ぐ機能を有している。
コイルバネ３６は、油圧発生部５５の内部において、第３ピストンと１３と出力ロッド７を入力側（蓋３４の方向）に付勢する機能を有し、出力ロッド７の出力側への動作が、空圧室２０の加圧と第１油圧室３１の加圧以外（例えば、外乱）で生じることを防ぐ機能を有している。この時、コイルバネ３６により、第３ピストン１３（出力ロッド７）と、蓋３４もしくは油圧発生部５５の一部とが当接してもよいし、図１で示されているように第１油圧室３１内部の油により隔離され当接していなくてもよい。
またコイルバネ３６は、出力ロッド７が空圧室２０の加圧と第１油圧室３１の加圧により前進動作を行った後に、第３ピストン１３と出力ロッド７が元の位置に後退する場合の動作補助の機能を有している。
なお、コイルバネ３６を有しない構成も可能である。但し、第３ピストン１３の出力側端面と、油圧発生部５５の入力側端面が終始当接しない状態であることが条件となる。この形態は、出力ロッド７の移動量が極端に短く、ほとんど動作しない場合や、逆に極端に長く、最適なコイルバネを設計・製造できない場合に適している。

蓋４は、円柱状の部材であって、入力側にシリンダ２を挿入するための凹部が形成されている。
当該凹部の内周面には雌ネジが形成されており、これがシリンダ２の対応する外周面に形成された雄ネジと嵌合することにより両者は、ネジ止めされている。
蓋４の中心線上には、出力ロッド７を挿通するための貫通孔が形成されており、出力ロッド７は、当該貫通孔を経由して蓋４の外部まで延設されている。
蓋４の凹部の底面には、蓋３の凸部４４と同様に、先端に溝が形成された凸部４５が形成されている。ピストンハウジング１４（油圧発生部５５）が出力方向に移動すると、抜止めナット３７が蓋４の凸部４５と当接する。凸部４５先端の溝は、この当接状態において第２吸排気口６から供給されるエアが、抜止めナット３７と出力ロッド７の間を通って第３ピストン１３の端面全体にエアが速やかに行き渡るようにするために形成されている。

更に、蓋４の側面には、第２吸排気口６からシリンダ２の内部に連通する吸排気路が設けられており、シリンダ２内の出力側には第２吸排気口６から吸排気される第３空圧室４１が形成されている。
第３空圧室４１は、第１吸排気口５を開放して第２吸排気口６からエアを供給することにより、油圧発生部５５を入力側に移動して、シリンダ装置１を初期状態に復帰させるのに用いられる。
このように、シリンダ装置１は、シリンダ内の他端側に設けられ、第２吸排気口６を有し、油圧室（油圧室３０）を一端側に押圧する第３空圧室４１を備えている。

以上のように構成されたシリンダ装置１は、次のようにして動作する。
まず、第１吸排気口５を開放して空圧室２０（第１空圧室２１、第２空圧室２２）を減圧しつつ、第２吸排気口６からエアを供給して、空圧室２０、油圧室３０（第１油圧室３１、第２油圧室３２）を初期状態に設定する。
次に、第２吸排気口６を開放して第３空圧室４１を減圧しつつ、第１吸排気口５からエアを供給する。

すると、第１空圧室２１と第２空圧室２２の気圧が上昇し、第１ピストン１１が油圧発生部５５を押圧することにより、出力ロッド７がワーク１００に当接するまで油圧発生部５５が出力側にスライドして移動する。
このように、第１ピストンは、第１空圧室２１の圧力で、出力ロッド７が押圧対象（ワーク１００）に当接するまで、第２空圧室２２、第１油圧室３１、及び第２油圧室３２を他端側（出力側）に移動している。

油圧発生部５５が移動して出力ロッド７の先端（より詳細には出力ロッド７に取り付けられた工具の先端）がワーク１００に当接すると、第１ピストン１１が第１油圧室３１を圧し、第２ピストン１２が第２油圧室３２を圧するため、第１油圧室３１と第２油圧室３２の油が加圧されてこれらの油圧が上昇する。
この時油圧発生部５５は、第２油圧室３２のスラスト方向の内壁の断面積において、出力側の断面積が入力側の断面積よりもロッド部分５８の端面積分だけ大きいため、面積差分だけ押圧力が出力ロッド７の方向に発生する。
この時、第１油圧室３１に発生した油圧力は、蓋３４の出力側端面を押圧するので、油圧発生部５５には入力側へ移動しようとする力が発生する。
この出力側と入力側に移動させようとする相反する力の関係において、第２油圧室３２による出力側へ移動しようとする力の方が大きい場合は、出力ロッド７がワークに当接して停止しているので、油圧発生部５５も移動が停止する。
これにより第２油圧室３２内部の油はスラスト方向に移動できないので内部圧が更に上昇し、薄肉部１５をラジアル方向に押圧して弾性変形させ、シリンダ２の内周面に当接させる。これにより油圧発生部５５がシリンダ２内で固定される。
一方、第１油圧室３１による入力側へ移動させる力の方が大きい場合は、第１ピストン１１よりも第２ピストン１２の方が摺動抵抗が小さく、より早く動作するので、第１ピストン１１が間隙５１の隙間を動き切る前に第２ピストン１２の動作が完了し、剛性が弱い薄肉部１５に圧力が作用し、外周面がシリンダ２の内周面に押圧して、油圧発生部５５がシリンダ２内でスラスト方向に固定される。

油圧発生部５５が固定された状態で、空圧室２０にさらにエアが供給されるため、第１油圧室３１、第２油圧室３２の油圧が更に上昇する。これにより薄肉部１５はさらにシリンダ２を押圧し、薄肉部１５の押圧力による把持力が上昇する。薄肉部１５による把持力が高まることにより、油圧発生部５５がスラスト方向に堅持され（油圧発生部５５が薄肉部１５でシリンダ２に固定され）、第１油圧室３１の油圧力が発生するスラスト方向の力を受けても動かなくなる。すると第１油圧室３１の油圧力が出力ロッド７に印加され、コイルバネ３６の付勢力に抗してワーク１００を油圧力で押圧する。
この時ワーク１００は、出力ロッド７がワーク１００に当接後、押圧されてその場で固定されるのみで、出力ロッド７から印加される油圧力により移動もしくは変形等が無い場合には、第３ピストン１３が第１油圧室３１室内をスラスト方向に移動することがないので、第１油圧室３１内部の油を第３ピストン１３のＯリング（図１（ｂ）参照）の移動とともに外部に持ち出すことが無い。
また第２油圧室３２は、内部の油が密閉されていて体積が一定であるため、薄肉部１５がラジアル方向に膨らむと、そのラジアル方向の体積増加分だけスラスト方向の体積が減少して短くなり、短くなった分、第２ピストン１２が前進できる。薄肉部１５のラジアル方向の変形量は極わずかであり、そのためそれに伴うスラスト方向の変化量も僅かで、第２ピストン１２が移動する量も小さくほとんど動かない。そのため第２ピストン１２のＯリング（図１（ｂ）参照）が移動して第２油圧室３２内部の油を外部に持ち出すことがほとんど無い。本実施形態では、第２ピストン１２の移動量は、Ｏリング等のシール部材（第２ピストン１２に配設された第２油圧室３２のシール部材）の弾性変形範囲内の量になるよう設定されており、本実施形態では、Ｏリングが全く移動しないので内部油が外部に持ち出されることが無い。
ワーク１００に対する押圧処理が終了すると、第１吸排気口５を開放し、第１空圧室２１と第２空圧室２２を減圧する。

これにより、第１油圧室３１と第２油圧室３２の油圧が低下する。
第１油圧室３１では、コイルバネ３６の付勢力により第３ピストン１３が初期状態の位置まで戻り、第２油圧室３２では、薄肉部１５の弾性変形が復元力により戻る。これにより、油圧発生部５５の固定が解除される。また、第２ピストン１２は、コイルバネ３３の付勢力により初期状態の位置に戻る。

次に、シリンダ装置１を用いてワーク１００を押圧し、クランプする例を説明する。
シリンダ装置１にはワーク１００を押圧しクランプするのに最適なクランプ用部材が出力ロッド７の先端に組付いているものとする。
そして、シリンダ装置１は、ワーク１００を押圧し、クランプされる部材へのクランプ動作を次の順で行う。
（１）まず、第１吸排気口５を開放して第２吸排気口６にエアを供給することにより、シリンダ装置１を初期状態とし、これによってクランプ部材を後退させて、ワーク１００を所定の位置に設置する。この時ワーク１００は、押圧されても動かないように設置されている。
（２）そして、第２吸排気口６を開放して第１吸排気口５からエアを供給する。すると、エア駆動で出力ロッド７が出力方向に前進し、出力ロッド７の先端に取り付けたクランプ用部材がワーク１００に当接する。
（３）クランプ部材が当接すると、空圧室２０の圧力が高まって、油圧発生部５５がシリンダ２に固定され。出力ロッド７に油圧力による推力が発生する。これにより、強い力でワーク１００を押圧するので、ワーク１００がクランプされる部材に強く押し付けられ、クランプされる。
（４）ワーク１００をクランプされる部材から解放する場合は、第１吸排気口５を開放して第２吸排気口６からエアを供給し、エア駆動により出力ロッド７を退避させ、次いでワーク１００を所定の位置から離脱させる。
以下、ワーク１００を交換しながら、以上のサイクルを繰り返す。

ここで、シリンダエンドでの油圧力発生について、すなわち、出力側のシリンダエンド（蓋４）に油圧発生部５５が当接した状態で油圧力を発生させる場合について説明する。この動作例は、出力ロッド７がワーク１００に当接しなくても油圧推進力を発生できる事例である。
以下その動作について説明する。
油圧発生部５５が前進し、シリンダエンド（蓋４）に当接すると、第２空圧室２２により第２ピストンが第２油圧室３２を押圧し、同時に第１空圧室２１により第１ピストンが第１油圧室３１を押圧する。油圧発生部５５は前進できないので、第２油圧室３２内部の油は蓋３４と第２ピストン１２とにより狭窄され加圧される。すると薄肉部１５が弾性変形し、シリンダ２の内壁を固定する。この時、第２ピストン１２の摺動抵抗の方が第１ピストン１１よりも小さいので早く動作し、第１ピストン１１が間隙５１の隙間を動き切る前に第２ピストン１２の動作が完了する。
油圧発生部５５がシリンダ２に固定されるとスラスト方向の把持力が上昇し剛性が高まるので、第１油圧室３１で発生するスラスト方向の油圧推力を受け止めることができ、出力ロッド７に油圧推進力が発生する。
これにより、出力ロッド７がワークに当接していない状態においても出力ロッド７に油圧推進力を印加することができる。

図２（ａ）は、シリンダ装置１を用いてプレス加工（抜き加工）を行う例を説明するための図である。
図示しないプレス装置は、出力方向を下方にしてシリンダ装置１を固定している。
出力ロッド７の先端には、抜き型用の工具であるパンチ７１が出力ロッド７と同軸に固定されており、その下方には、下から設置台７３、ワーク１００、治具７２の順で設置されている。これらは、ワーク設置手段として機能している。

パンチ７１は、円柱形状を有しており、金属板で構成されたワーク１００に円形の孔を明ける金型である。
治具７２は、パンチの際に、ワーク１００を設置台７３に押圧してワーク１００を固定する部材であって、パンチ７１を通過させる貫通孔が形成されている。
設置台７３にも、パンチする際にパンチ７１を逃がす貫通孔が形成されている。

以上の構成において、シリンダ装置１は、次の順でプレス加工を行う。
（１）まず、第１吸排気口５を開放して第２吸排気口６にエアを供給することにより、シリンダ装置１を初期状態とし、これによってパンチ７１を後退させて、設置台７３の上にワーク１００と治具７２を所定位置に設置する。
（２）次に、治具７２でワーク１００を設置台７３に押圧して固定する。そして、第２吸排気口６を開放して第１吸排気口５からエアを供給する。
すると、エアによる駆動で出力ロッド７が出力方向に前進し、パンチ７１の先端がワーク１００に当接する。

（３）パンチ７１の先端が当接すると、空圧室２０の圧力が高まって、油圧発生部５５がシリンダ２に固定され、出力ロッド７が油圧で駆動される。これにより、強い力でパンチ７１がワーク１００に押しつけられて、ワーク１００が穿孔される。このようにプレス装置は、プレス手段を備えている。
（４）ワーク１００に孔が空けられると、第１吸排気口５を開放して第２吸排気口６からエアを供給し、エア駆動によりパンチ７１を引き上げ、次いでワーク１００を所定位置から離脱する。このようにプレス装置は、離脱手段を備えている。

図２（ｂ）は、シリンダ装置１を用いたプレス加工でワーク１００に凹部を形成する例を説明するための図である。
オス金型７４は、円柱形状を有するオス型の金型であって、先端に凹部を形成するための突起部が形成されており、出力ロッド７に同軸に取り付けられている。
メス金型７５は、メス型の金型であって、オス金型７４の突起部を受ける凹部が形成されている。

以上の構成において、シリンダ装置１は、次の順でプレス加工を行う。
（１）まず、第１吸排気口５を開放して第２吸排気口６にエアを供給することにより、シリンダ装置１を初期状態とし、これによってオス金型７４を後退させて、メス金型７５の上にワーク１００と治具７２を設置する。
（２）次に、治具７２でワーク１００をメス金型７５に押圧して固定する。そして、第２吸排気口６を開放して第１吸排気口５からエアを供給する。すると、エアによる駆動で出力ロッド７が出力方向に前進し、オス金型７４の先端がワーク１００に当接する。

（３）オス金型７４の先端が当接すると、空圧室２０の圧力が高まって、油圧発生部５５がシリンダ２に固定され、出力ロッド７が油圧で駆動される。これにより、強い力でオス型７４がワーク１００に押しつけられて、ワーク１００に凹部が形成される。
（４）ワーク１００に凹部が形成されると、第１吸排気口５を開放して第２吸排気口６からエアを供給し、エア駆動によりオス金型７４を引き上げる。

（第２実施形態）
本実施の形態に係るシリンダ装置１ａは、入力側にも出力ロッド７７を備えている。
以下では、第１実施形態と同じ箇所については、説明を簡略化、又は省略し、相違点について説明する。
図３は、シリンダ装置１ａのスラスト方向の断面図を示している。
蓋３の凹部４３の中央には貫通孔が形成されている。
第１ピストン１１の入力側端面には、当該貫通孔を挿通し、シリンダ装置１の外部まで延設された出力ロッド７７が第１ピストン１１の中心線上に形成されている。
このように、シリンダ装置１ａは、第１空圧室２１を貫通し、第１ピストンからシリンダの一端側に形成された空圧ロッド（出力ロッド７７）を備えている。

また、第１ピストン１１の出力側に形成されているロッド部分５０は、第１ピストン１１に設けられたロッド部分５０ａと、第１油圧室３１を加圧するロッド部分５０ｂに分割されており、ロッド部分５０ａの出力側端部は、ロッド部分５０ｂの入力側端部に形成された凹部に挿入されている。

そして、当該挿入部分において、ロッド部分５０ａの先端とロッド部分５０ｂの凹部の底面の間には、間隙７８が設けられている。
このようにロッド部分５０を２分割して間隙７８を設けたのは、出力ロッド７がワーク１００に当接させた瞬間に第１ピストン１１により第１油圧室３１に油圧が発生するのを以下のようにして回避するためである。

第１ピストン１１が油圧発生部５５を出力側に移送する際には、空圧室２２に供給されたエアが第２ピストン１２を押圧し、第２ピストン１２が第２油圧室３２を押圧して移動する。この時出力側への移動の反力が油圧発生部５５に働いていないので、第２油圧室３２の油が狭窄されることが無く、薄肉部１５は弾性変形を生じない。またコイルバネ１９によって第１ピストン１１と抜止めナット１８が離反する方に付勢されているため、間隙７８が維持されたまま油圧発生部５５が移動する。
出力ロッド７がワーク１００に当接すると、第２油圧室３２により油圧発生部５５は、シリンダ２をクランプする。
当接の際には、間隙７８の存在により第１油圧室３１が加圧されないので出力ロッド７に油圧は発生せずワーク１００に当接する。

次に、第１ピストン１１が更に間隙７８の分だけ出力側に移動してロッド部分５０ａとロッド部分５０ｂが接すると、第１油圧室３１に油圧が発生して出力ロッド７が当該油圧で駆動される。
このようにロッド部分５０を分割する方式は、油圧発生部５５のシリンダ２への固定の方を出力ロッド７の油圧推力発生よりも確実に早く動作させることができ、また出力ロッド７の当接の瞬間に油圧をワーク１００に及ぼしたくない場合に有効である。

以上のように構成されたシリンダ装置１ａで、初期状態から第１吸排気口５にエアを供給すると、出力ロッド７７と出力ロッド７が第１ピストン１１と共に出力方向に移動し、出力ロッド７がワーク１００に当接すると、まず、油圧発生部５５の固定が成され、次いで、出力ロッド７に油圧が発生する。
このように、第２実施形態では、出力ロッド７をエアと油圧で駆動し、出力ロッド７７をエアで駆動することができる。出力ロッド７７は、例えば、シリンダ装置１ａの外部に図示しないセンサを設け、出力ロッド７７にセンサが感知できるドッグを設けることにより、第１ピストン１１が動作した位置を検出するのに利用できる。

図４は、図３で説明した第２実施形態における変形例を説明するための図である。
当該変形例では、第１油圧室３１や第２油圧室３２の圧力を計測できるようにする。図４では、シリンダ装置１ａから必要な部分だけ抜き出して示している。
図４（ａ）の例では、第１油圧室３１から、抜止めボルト３５、ロッド部分５０、出力ロッド７７を貫通する貫通孔８１を形成し、出力ロッド７７の先端に圧力センサ８０を設置する。
そして、第１油圧室３１と貫通孔８１を油で満たし、第１油圧室３１の油圧を圧力センサ８０で検出する。
なお、図３に示したように第２実施形態のロッド部分５０は間隙７８を挟んでロッド部分５０ａとロッド部分５０ｂに２分割されているが、本変形例のロッド部分５０は、図４（ａ）（ｂ）に示すように、一体形成されている。

図４（ｂ）の例では、第２油圧室３２においてロッド部分５０の側面に開口部を設け、当該開口部からロッド部分５０と出力ロッド７７を貫通する貫通孔８２を形成し、出力ロッド７７の先端に圧力センサ８０を設置する。
そして、第２油圧室３２と貫通孔８２を油で満たし、第２油圧室３２の油圧を圧力センサ８０で検出する。

図４（ｃ）の例では、出力ロッド７のシリンダ装置１から外部に突出している部分で、先端に至るまでの間の側面に開口部を設け、当該開口部から第１油圧室３１に至るまで出力ロッド７の中心を貫通する貫通孔８３を形成し、当該開口部に油圧力センサ８５を設置する。
そして、第１油圧室３１と貫通孔８３を油で満たし、第１油圧室３１の油圧を油圧力センサ８５で検出する。
図４（ｂ）の圧力センサ８０と図４（ｃ）の油圧力センサ８５を組み合わせると、第２油圧室３２と第１油圧室３１の両方の油圧を計測することができる。

（第３実施形態）
本実施の形態に係るシリンダ装置１ｂは、クランパによって油圧発生部５５をシリンダ２に固定する。
図５（ａ）は、シリンダ装置１ｂの、クランパ９０周辺における、スラスト方向の断面図を表し、図５（ｄ）は、クランパ９０周辺の部品図を表している。
第２油圧室３２の入力側端面は、ピストンハウジング１４に固定された円柱部材９５の端面と、円柱部材９５の周囲に配置された円環部材９１の端面から構成されている。
円環部材９１は、内周面が円柱部材９５の外周面と接しており、外周面がピストンハウジング１４の内周面と接している。これら接した面はＯリングによってシールされており、気密性を保ったまま円環部材９１は、スラスト方向に移動することができる。
円柱部材９５の入力側には、雌ネジが形成されており、第１実施形態における抜け止めナット１８に相当する部材が組付いている。抜け止めナット１８に相当する部材の入力側外周には雄ネジが形成されており、ナット９７がねじ込まれて固定されている。

ナット９７の出力側端面と、円環部材９１の間には、コイルバネ９６が設置されており、円環部材９１は、第２油圧室３２を構成する空間を確保しつつ（図示しないが、この空間を確保するために円環部材９１の出力側への移動を規制する規制手段が設けられている）、コイルバネ９６によって出力側に付勢されている。
このため、円環部材９１は、第２油圧室３２の油圧が上昇すると、入力側に移動し、油圧が低下すると、出力側に移動して元に戻るようになっている。

図５（ｂ）に示したように、円環部材９１の入力側端部には、入力側（図面左側）に行くほど外径が小さくなるテーパ部９２が形成されている。
そして、円環部材９１のテーパ部９２とナット９７の出力側端面との間に形成された空間には、固定手段として機能するクランパ９０が配置されている。
クランパ９０は、入力側に行くほど内径が小さくなるテーパ部９３が形成された円環部材であって、テーパ部９３の角度は、テーパ部９２の角度と等しくなっている。

図５（ｃ）に示したようにクランパ９０は、矢線で示したラジアル方向に広がるように４分割されている。
クランパ９０の外周面は、シリンダ２の内周面と平行に形成されており、初期状態では、クランパ９０の外周面とシリンダ２の内周面に所定のクリアランスが形成され、両者の間に摩擦力が生じないようになっている。

更に、クランパ９０の外周面には円周方向に溝が形成されており、当該溝には、Ｏリング９４が設置されている。
一般的にＯリングは、気密性を保つために設置されるが、Ｏリング９４は、ラジアル方向に広がったクランパ９０を引き戻すために設置されている。
そのため、クランパ９０の外周面に形成された溝の高さは、Ｏリング９４の直径よりも大きく設定されており、Ｏリング９４がシリンダ２の内周面に接しないようになっている。
なお、本実施形態では、Ｏリング９４を用いているが、ラジアル方向に広がって内径が大きくなった場合に、元の内径に縮んで戻ろうとする部材であれば、他の部材を用いることができる。例えば、弾力性があるひも状の円環状弾性部材を使用してもよい。また、コイルバネの両端を繋いで円環状にしたものを使用してもよい。

このように構成されたシリンダ装置１ｂにおいて、初期状態では、第２油圧室３２の圧力が低いため、円環部材９１は、コイルバネ９６によって出力側に付勢されており、これによって、ナット９７の出力側端面と円環部材９１のテーパ部９２の間に十分なクリアランスが確保される。
そのため、クランパ９０は、Ｏリング９４の収縮力により中心軸方向に束ねられてクランパ９０とシリンダ２の内周面との間にクリアランスが生じ、油圧発生部５５は、スラスト方向に移動することができる。

一方、第２油圧室３２の圧力が高まると、油圧によってクランパ９０が入力側方向に押されて移動する。
すると、クランパ９０には、ナット９７の出力側端面と円環部材９１のテーパ部９２で挟まれて、図５（ｂ）の矢線で示したように、両端側からスラスト方向の力を受ける。
具体的に説明すると、第２ピストン１２が前進すると、第２油圧室３２の圧力が上昇し、圧力の上昇は連通路３２ａを通り円環部材９１の端面空間の油圧室３２ｂ（第２油圧室）まで達する。
円環部材９１は、Ｏリング９４がクランパ９０を収縮させようとする力よりも、第２油圧室３２の圧力により発生するスラスト方向に移動しようとする力の方が大きくなったとき、クランパ９０を押し広げながら入力側に移動する。この時、第２ピストン１２により押しのけられた第２油圧室３２内部の油が、連通路３２ａを通り端面空間に流入するので円環部材９１がスラスト方向に移動する。

このスラスト方向の力は、円環部材９１のテーパ部９２とクランパ９０のテーパ部９３の当接により、図５（ｂ）の矢線で示したように、ラジアル方向の力に変換され、その結果、クランパ９０は、ラジアル方向に押し出される。
これにより、クランパ９０の外周面とシリンダ２の内周面が当接して摩擦力が発生し、油圧発生部５５は、シリンダ２内で固定される。
第３実施形態で用いたクランパ９０による固定方法は、第１実施形態、第２実施形態、及び後述の第４実施形態で用いることも可能である。

この例では、第２油圧室３２に発生した油圧で、スラスト方向に移動するテーパ部材（円環部材９１）をクランパ９０に押圧することによりラジアル方向の力を発生させ、当該力によってクランパ９０をシリンダの内壁に押圧することにより第２油圧室３２と第１油圧室３１を固定している。

（第４実施形態）
本実施の形態に係るシリンダ装置１ｃは、シリンダ装置１にシリンダ装置１ａの分割ロッド方式を組み合わせたものである。
図６に示したように、シリンダ装置１ｃは、シリンダ装置１においてロッド部分（シャフト部分）５０をロッド部分５０ａとロッド部分５０ｂに分割し、その間に間隙７８を設けたものである。
第２実施の形態で説明したように、当該構成を採用すると、第１空圧室２１の圧力が高まって第１ピストン１１により油圧発生部５５が移動し、出力ロッド７がワーク１００に当接した瞬間には、第１油圧室３１に油圧が発生せず、当接の瞬間に出力ロッド７がワーク１００に対して油圧を出力するのを防ぐことができる。
このように、シリンダ装置１ｃでは、第１ピストンのロッド部分５０が、所定のクリアランスを設けた２つのロッド部分５０ａ、５０ｂに分割されている。

以上に説明した各実施の形態により、次のような効果を得ることができる。
（１）エアピストンと油圧ピストンを巧みに組み合わせてエアハイドロ機構を内蔵することにより、ワーク１００に当接するまではエアピストンとして動作させ、ワーク１００に当接してからは油圧シリンダとして動作させることができ、油圧ポンプ等の個別付帯設備や施工に手間が掛る油圧配管等が必要ないエア供給のみで、エアピストンによる長いストロークの移動と油圧ピストンの特徴である大きな推力の両方を実現することができる。
（２）エアピストンによって必要なストロークを稼いだ後、薄肉部１５の弾性変形やクランパ９０の押し出しなどによってスラスト方向の力をラジアル方向の力に変換して油圧ピストンをシリンダ２内で固定することができる。
（３）ラジアル方向の力を油圧により増大させて油圧ピストンを固定することができるため、強固に固定することができる。
（４）シリンダ２内に固定した油圧シリンダに油圧を発せさることにより大きな力を発生させることができる。
（５）必要なストロークのほとんどをエアピストンでカバーし、必要最小限のストロークを油圧ピストンで行うため、油圧ピストンのストローク量が小さくてすみ、そのため、油の遺漏による損耗を最小限に抑えることができる。
特に出力ロッド７がワーク１００に当接し、その後出力ロッド７の移動を伴わないで油圧力だけをワークに印加する使用方法の場合は、各油圧室内部での各油圧ピストンの移動量が各シール部材の弾性変形の範囲内でしかないので、各油圧室内部の油の遺漏を発生させないことができる。

次に、第５実施形態と第６実施形態について説明する。
この第５実施形態と、第６実施形態では、エア駆動によりピストンハウジング６０を所定位置まで移動させた後にシリンダ２に固定する移動、固定動作（クランプ動作）と、その後に、エアハイドロ機構により出力ロッド７の先端に増幅された油圧力を発生させる油圧出力動作とを、別々に行うことができるようにしたものである。

（第５実施形態）
以下、第５実施形態について説明する。
この第５実施形態では、固定動作において、ロッド部分５８と第２ピストン１２の動作により、第２油圧室３２にラジアル方向の油圧を発生させることで、薄肉部１５を膨張させピストンハウジング６０の動きをシリンダ２に固定させる。
一方、油圧出力動作では、第１ピストン１１の移動によりロッド部分５０の先端が第１油圧室３１を押すことで第３ピストン１３から出力ロッド７に増幅した油圧力を発生させる。

図７は第５実施形態におけるシリンダ装置１ｄの構成を表したスラスト方向の断面を表したもので、（ａ）は全体を表し、（ｂ）は拡大した一部分を表している。
図８はシリンダ２内に配設される各部品を表したもので、（ａ）は各部品の断面を表し、（ｂ）は第１ハウジング６１の正面図と側面図、及び抜止めリング２９の正面図である。
なお、第１実施形態と同一構造や同一機能の部分については同一の符号を付して適宜その説明を省略する。また、図７（ｂ）では、各部をシールするためのＯリングが表示されているが、その説明は省略する。また、図面を見やすくするため、他の実施形態と同様に、断面を表す表示はせず、図７（ａ）だけエアが存在する領域に斜線を、油が存在する領域にドットを付している。

図７、８に示すように、本実施形態のシリンダ装置１ｄでは、第１実施形態におけるピストンハウジング１４（図１参照）に代えて、第１ハウジング６１、第２ハウジング６２、第３ハウジング６３からなるピストンハウジング６０（図示しない）がシリンダ２内に配設されている。
図７に示すように、入力側から順に、第２ピストン１２と連結されたロッド部分５８を収容する第２ハウジング６２、ロッド部分５０が連接された第１ピストン１１を収容する第１ハウジング６１、出力ロッド７が連接された第３ピストン１３を収容する第３ハウジング６３の順に配設されている。

第２ハウジング６２は、両端側が厚肉部に形成され、その間が薄肉部１５を構成し、薄肉部１５の内側が第２油圧室３２となっている。
第２ハウジング６２の両端の厚肉部には、第２油圧室３２に油を充填するための給油孔が形成され、何れか一方から油を注入した後に給油口栓３８１、給油口栓３８２で密閉されている。
第２ハウジング６２における入力側の端部には、周上に配置された複数のボルト３９ａによって、蓋３９が固定されている。この蓋３９は、第１実施形態における張出部５７に対応している。
蓋３９には入力側に円筒形状の凹部３９ｄ（図８（ａ）参照）が形成され、凹部３９ｄの底部には中央にロッド部分５８用の貫通孔が形成され、この貫通孔の外側に凹部３９ｄの底部を貫通する連通孔３９ｃが形成されている。この連通孔３９ｃは、後述する第５空圧室６５と第３空圧室４１とを連通する経路の一部を構成している。
蓋３９の入力側端部には、シリンダ２の内周壁との間にクリアランスを有するフランジ部が形成され、このフランジ部の周面には摺動補助リング２ａが配設されている。摺動補助リング２ａは、他の摺動補助リング２ｂ、２ｃを含め金属以外の材料（例えば樹脂）で形成され、シリンダ２と蓋３９、第１ハウジング６１との金属接触を回避し、シリンダ２の内周面と第２ハウジング６２との摺動を円滑にするために配設されている。

蓋３９の凹部３９ｄと中央の貫通孔を貫通するように、ロッド部分５８が挿通されている。このロッド部分５８の入力側には、第２ピストン１２が連結ネジ１２ａで固定されている。
ロッド部分５８は、出力側から入力側に向かって順に径が太くなる、小径部、中径部、大径部を備え、小径部と中径部の境界には段部５８ａが形成されている。このロッド部分５８が蓋３９内を出力方向に移動することで、第２ハウジング６２内に形成される第２油圧室３２が加圧され、この油圧によって薄肉部１５がラジアル方向に弾性変形し、ピストンハウジング６０（６１～６３）がシリンダ２内で固定される。

ロッド部分５８の大径部には、中径部の外周に沿った凹部５８ｂが形成されている。ロッド部分５８の中径部は、コイルバネ３３に挿通され、コイルバネ３３の一端側が凹部５８ｂに配置され、他端側が蓋３９に形成した凹部３９ｄの底面に当接している。
ロッド部分５８の大径部の出力側端面には径方向に張り出したフランジ部５８ｃが形成されている。
ロッド部分５８は、コイルバネ３３を挿通したロッド部分５８の小径部と中径部を蓋３９に通した状態において、抜止めリング２９が入力側から蓋３９にボルト２９ｃで固定されている。抜止めリング２９の内径は、ロッド部分５８のフランジ部５８ｃの外形よりも小さく形成されているため、コイルバネ３３により入力側に付勢されロッド部分５８が抜けないようになっている。
抜止めリング２９は、図８（ｂ）に示すように、２分割されていて、同一周上にボルト３９ａ（蓋３９の固定用）が貫通する貫通孔２９ａと、ボルト２９ｃで抜止めリング２９を蓋３９に固定するためのボルト穴２９ｂが複数形成されている。また２分割された合わせ目は、蓋３９に組付けても密着せず隙間があり、第５空圧室６５内部のエアと連通孔３９ｃ内部のエアは自由に行き来できる構成となっている。

抜止めリング２９を固定した状態において、ロッド部分５８には、第２ピストン１２が連結ネジ１２ａで固定されている。このように、ロッド部分５８と第２ピストン１２とが分割されているのは、ボルト３９ａによる蓋３９の固定と、ボルト２９ｃによる抜止めリング２９の固定を行うためである。
ロッド部分５８の中央には貫通孔が形成されていて、この貫通孔に吸排気ロッド８ａが挿通されている。この吸排気ロッド８ａは、ロッド部分５８の入力側端部で螺合されている。更に、ロッド部分５８の入力側の端部は第２ピストン１２の端面よりも入力側まで突出しており、この突出部において、吸排気ロッド８ａが径方向から固定ネジ１２ｂで固定されている。

本実施形態の蓋３には中央部に貫通孔が形成され、この貫通孔に吸排気ロッド８ａが挿通されている。吸排気ロッド８ａには、第１空圧室２１にエア（気体）を供給するための吸排気路８ｂが形成されている。吸排気ロッド８ａの入力側端部は第３吸排気口８に接続されている。

第２ピストン１２は、入力側の端面が蓋３とシリンダ２の内周面とともに第２空圧室２２を形成し、出力側の端面が蓋３９とシリンダ２とともに第５空圧室６５を形成している。

第２ハウジング６２の出力側の端部には、蓋３９と対向して蓋３４の一部が挿入されている。蓋３４の出力側にはフランジ部が形成され、このフランジ部が第２ハウジング６２の出力側端部と当接し、ボルト３４ａで固定されている。
蓋３４の中央には連通孔３４ｄが貫通して形成されている。そして、第２油圧室３２を通るロッド部分５８の先端（小径部）が、連通孔３４ｄの途中まで挿通されている。
蓋３４の連通孔３４ｄの外側には、蓋３４を貫通する連通孔３４ｂが形成されている。 この連通孔３４ｂと、蓋３９の連通孔３９ｃとは、内側が第２油圧室３２に配設されるカラー２８によって連通されている。
蓋３４の出力側端面には、連通孔３４ｂとつながる連通溝３４ｃが径方向に形成されている。

第１ハウジング６１は、第２ハウジング６２よりも出力側に配設され、入力側の端部には、蓋２７が複数のボルト２７ｅで固定されている。
この蓋２７は、第２ハウジング６２に固定された状態で、第２ハウジング６２の内側からボルト２７ａによって蓋３４に固定されている。これにより、蓋３４に形成された連通溝３４ｃが蓋２７で蓋され、第５空圧室６５からのエア通路を形成している。
蓋２７には、出力側に凹部２７ｆ（図８（ａ）参照）が形成されている。この凹部２７ｆは、第１空圧室２１の入力側端面として機能する。
蓋２７には、凹部２７ｆの底面を貫通し、蓋３４の連通孔３４ｄと連通する連通孔２７ｂが形成されると共に、凹部２７ｆの底面には連通孔２７ｂと繋がる連通溝２７ｄが径方向に形成されている。
また、蓋２７の外周面には、蓋３４の連通溝３４ｃと繋がる連通溝２７ｃが軸方向に形成されている。

蓋２７をボルト２７ａで蓋３４に固定した状態で、第１ハウジング６１内には、中央にロッド部分５０が延設された第１ピストン１１が配設されている。
第１ピストン１１が配設されることで、第１ハウジング６１は第１ピストン１１で仕切られ、入力側に第１空圧室２１が、出力側に第４空圧室６４が形成される。

図８に示すように、第１ハウジング６１には、両端側に周溝６１ａ、６１ｂが全周に渡って形成されている。この周溝６１ａには、上述したように摺動補助リング２ｂ、２ｃが嵌められ、シリンダ２との摺動を円滑にしている。
また、第１ハウジング６１には、全長に渡って軸方向（長手方向）に連通溝６１ｅが形成されている。連通溝６１ｅの入力側端部は、蓋２７の連通溝２７ｃと繋がっている。
周溝６１ａ、６１ｂと連通溝６１ｅとが交叉する箇所には、周溝６１ａ、６１ｂに嵌められた摺動補助リング２ｂ、２ｃによって連通溝６１ｅが塞がれないようにするために、摺動補助リング２ｂ、２ｃの幅よりも広く、厚さよりも深い凹部６１ｃ、６１ｄが形成されている。この連通溝６１ｅとシリンダ２の内周面との間が、第５空圧室６５からのエアの通路となっている。

図７に戻り、第１ピストン１１が内側に配置された第１ハウジング６１の出力側の端部には、第３ハウジング６３が複数のボルト６３ｅで固定されている。
第３ハウジング６３の出力側には凹部６３ａ（図８参照）が形成されている。この凹部６３ａの底面中央には貫通孔６３ｂが形成され、この貫通孔６３ｂには、ロッド部分５０が挿通されている。
第３ハウジング６３の軸方向の途中にはフランジ部が形成され、このフランジ部には外周には径方向に溝６３ｃが形成されている。
また、第３ハウジング６３のフランジ部には、溝６３ｃと繋がる位置から径方向に延び途中から軸方向に曲がった、断面Ｌ字状の連通孔６３ｄが形成されている。
断面Ｌ字状の連通孔６３ｄは、第３ハウジング６３の入力側端面まで貫通することで、第４空圧室６４と繋がっている。
一方、溝６３ｃは、その入力側が第１ハウジング６１の外周に形成した連通溝６１ｅと繋がり、出力側が第３空圧室４１と繋がっている。

第３ハウジング６３の凹部６３ａには、中央に出力ロッド７が形成された第３ピストン１３が配置されている。
第３ハウジング６３の凹部６３ａは、第３ピストン１３が配置されることで仕切られ、入力側に第１油圧室３１が形成される。
第３ピストン１３には、第１油圧室３１に油を充填するための給油孔が形成され、油を注入した後に給油口栓３８で密閉されている。
なお、第１油圧室３１と出力ロッド７の中央には、軸方向に貫通していない空洞部７ａが形成されている。この空洞部７ａも第１油圧室３１を構成し、空洞部７ａの内部も油が充填されている。
空洞部７ａは、その内径がロッド部分５０の径よりも大きく形成されることで、ロッド部分５０が出入するようになっている。

第３ハウジング６３の出力側端部には、抜止めリング３７ａが複数のボルト３７ｂで固定されている。抜止めリング３７ａの固定は、凹部６３ａに第３ピストン１３が配置され、油が充填され給油口栓３８がされた状態で行われる。
第３ピストン１３と抜止めリング３７ａのそれぞれ対向する面には、凹部１３ｂ、凹部３７ｃが形成され、第３ピストン１３を入力側に付勢するコイルバネ３６が配置されている。

第２ハウジング６２は、蓋３９、蓋３４と共に入力側ハウジングを構成し、第１ハウジング６１と第３ハウジング６３は、蓋２７、抜止めナット３７と共に出力側ハウジングを構成している。
また、蓋３４と蓋２７とがボルト２７ａで固定されることにより、入力側ハウジングが出力側ハウジングの入力側（一端側）に固定されている。

次に、第５実施形態のシリンダ装置１ｄによる２種類の動作について説明する。
（第１動作）
図９は、シリンダ装置１ｄによる第１動作の各状態を表したものである。
この第１動作では、出力ロッド７の先端がワーク１００に当接することでピストンハウジング６０（６１、６２、６３）の固定を行い、その後に任意のタイミングで出力ロッド７の先端から増幅された油圧力を出力する。

最初に、シリンダ装置１ｄを初期状態にする動作について、図７を参照して説明する。
シリンダ装置１ｄの初期状態とは、シリンダ２内のピストンハウジング６０と第２ピストン１２を入力側に移動した状態で、図７に示した状態が該当する。
初期状態にするには、第１吸排気口５と第３吸排気口８を開放した状態で、第２吸排気口６から所定圧力でエアを供給する。第３空圧室４１に供給されたエアは、第３空圧室４１を形成するピストンハウジング部６０の出力側端面を押圧し、ピストンハウジング全体が入力方向に移動を開始する。同時に、第３空圧室４１に供給されたエアは、溝６３ｃ、凹部６１ｄ、凹部６１ｃ、連通溝６１ｅ、連通溝２７ｃ、連通溝３４ｃ、連通孔３４ｂ、カラー２８、連通孔３９ｃを通り、第５空圧室６５に到達する。第５空圧室に供給されたエアは、第２ピストン１２の出力側端面を押圧し入力側に移動する。この時、第１吸排気口５を開放しているので、第２ピストン１２とロッド部分５８は、第２空圧室２２による出力方向の空圧を受けないため、容易に入力方向に移動できる。
また、ロッド部分５８のフランジ部５８ｃはリング２９と係合するのでピストンハウジング６０全体も同時に移動する。ここで、第３空圧室４１に供給されたエアは、ピストンハウジング６０の出力側端面を押圧するのでピストンハウジング６０全体は入力側に移動する。この時、第５空圧室６５に供給されたエアによる内部圧力は、ピストンハウジング６０の入力側端面も同時に押圧しており、且つコイルバネ３３の付勢により第５空圧室６５の空間を保持したまま移動する。なお、ロッド部分５８に螺合されている吸排気ロッド８ａも移動する。
この入力側への動きに伴い、第２空圧室２２内のエアは、第１吸排気口５から排出される。

また、供給されたエアは第３空圧室４１から溝６３ｃ、連通孔６３ｄを通り第４空圧室６４内の圧力も上昇する。第４空圧室６４からの圧力により第１ピストン１１は、蓋２７に当接するまで入力側に移動する。この際、第１空圧室２１内に存在するエアは、第１ピストン１１に押され、連通溝２７ｄ、連通孔２７ｂ、連通孔３４ｄ、吸排気路８ｂを通り第３吸排気口８から放出される。
なお、出力ロッド７と第３ピストン１３は、第３空圧室４１の圧力上昇とコイルバネ３６により入力側に付勢され入力側に移動する。それと同時に、第１ピストン１１が移動するのに伴い、第１油圧室３１内部の油が凹部６３ａから出力ロッド７の空洞部７ａへ流入することにより第１油圧室３１の凹部６３ａの空間が減少し、第３ピストン１３が入力側に移動する。第３ピストン１３は、第３ハウジング６３の凹部６３ａの底面に当接するまで移動する。
以上の動きによりシリンダ装置１ｄは、図７に示した初期状態となる。

この初期状態において、図９（ａ）に示すように、第３吸排気口８を開放したまま、第２吸排気口６を開放すると共に、第１吸排気口５からエアを供給する。
すると、第２空圧室２２の圧力が上昇し、第２ピストン１２を出力側に押し、第２ピストン１２はロッド部分５８を介して第２油圧室３２を押圧する。この時出力側への押圧力の反力がピストンハウジング６０全体に働いていないので、第２油圧室３２の油が狭窄されることが無く、薄肉部１５は弾性変形を生じない。そのためロッド部分５８が第２油圧室３２を押圧することにより、ピストンハウジング６０全体が出力側に移動する。コイルバネ３３はピストンハウジング６０全体を出力方向に押すことを補助している。
なお、第３吸排気口８が開放されているため、第１空圧室２１の空圧は上昇しないので、第１ピストン１１とロッド部分５０は出力方向に移動せず、蓋２７に当接したままである。またロッド部分５０が出力方向に移動しないので、第１油圧室３１内の油圧も上昇せず、第３ピストン１３も第３ハウジング６３に当接したままである。
そして、図９（ａ）に示すように、第２ピストン１２とピストンハウジング６０の移動と共に、出力ロッド７も出力方向に移動し、出力ロッド７の先端部がワーク１００に当接する。

出力ロッド７がワーク１００に当接すると、第３ピストン１３が第３ハウジング６３と当接しているので、ピストンハウジング６０全体の移動が停止する。
この状態で、図９（ｂ）に示すように、更に第１吸排気口５からエアを供給する。すると、ピストンハウジング６０が移動停止しているため、第２空圧室２２内の圧力が更に上昇し、コイルバネ３３による入力方向の付勢力を越え、第２ピストン１２とロッド部分５８が出力方向に移動する。
なお、第２ピストン１２の移動により第５空圧室６５の容積が小さくなるが、第５空圧室６５内のエアは、第３空圧室４１に移動し、第２吸排気口６から排出される。具体的な経路としては、図７に示すように、第５空圧室６５から、凹部３９ｄ、連通孔３９ｃ、カラー２８、連通孔３４ｂ、連通溝３４ｃ、連通溝２７ｃ、連通溝６１ｅ、溝６３ｃ、第３空圧室４１を通り、第２吸排気口６から排出される経路である。

ロッド部分５８の移動により、第２油圧室３２は段部５８ａで押圧され、内部圧力が上昇する。この油圧により、図９（ｂ）において径方向の矢印で示すように、薄肉部１５が外向きに弾性変形し、ピストンハウジング６０は、移動が停止しているだけの状態から、シリンダ２に固定された状態となる。

なお、薄肉部１５で固定されない状態では、ピストンハウジング６０は移動できずに停止しているだけの状態である。
この非固定状態（図９（ａ）の状態）で、第１吸排気口５からのエア供給を停止し、第３吸排気口８からエアの供給をすると、ピストンハウジング６０全体が逆方向（入力方向）に移動してしまう。すなわち、第１空圧室２１の圧力で第１ピストン１１とロッド部分５０が移動して第１油圧室３１内の油圧が上昇するが、出力ロッド７はワーク１００で固定されているため、ワーク１００からの反力によりピストンハウジング６０全体が逆方向（入力方向）に移動してしまう。
そこで、ピストンハウジング６０が薄肉部１５の弾性変形により固定されたか否かについては、シリンダ２の外周部にひずみゲージ（図示しない）を配設し、薄肉部１５によるシリンダ２への押圧力により生じるシリンダ２の変形ひずみを検知し、所定のひずみ量を検知することでピストンハウジング６０の固定を判断する。あるいは第２油圧室３２内の圧力を検出する圧力センサ（図示しない）を配置し、この圧力が所定値（薄肉部１５が弾性変形する値）を超えたか否かにより判断してもよい。なお、圧力センサによる検出対象を第２空圧室２２としてもよい。また、圧力センサに変えて、出力ロッド７の移動を検出するセンサや吸排気ロッド８ａの移動を検出するセンサを設け、移動が停止してから所定時間（第２油圧室の圧力が上昇し肉薄部１５が弾性変形するまでの時間）経過により、固定されたと判断するようにしてもよい。

薄肉部１５の弾性変形によりピストンハウジング６０がシリンダ２に固定された図９（ｂ）の状態では、出力ロッド７はワーク１００に当接しているだけで、出力ロッド７の先端からは増幅された推力は出力されない。
そこで、所望のタイミングにおいて、図９（ｃ）に示すように、第３吸排気口８からエアを供給すると、供給されたエアは、吸排気路８ｂ、連通孔３４ｄ、連通孔２７ｂを通り第１空圧室２１の圧力を上昇させる。
そして第１ピストン１１が第１空圧室２１の圧力を受け、ロッド部分５０の先端が、第１油圧室３１を押圧し、増幅された油圧力を第３ピストン１３が受ける。この増幅された油圧力を第３ピストン１３が受けることにより推力が増大され、大きな推力が出力ロッド７からワーク１００に出力される。

（第２動作）
次に、図７に示した初期状態からの、第２動作について説明する。
図１０は、シリンダ装置１ｄによる第２動作の各状態を表したものである。
この第２動作では、出力ロッド７の先端がワーク１００に当接する前に、ピストンハウジング６０の出力側端部（抜止めリング３７ａ）が蓋４に当接することでピストンハウジング６０の固定を行い、その後に任意のタイミングで出力ロッド７の先端から増幅された油圧力を出力する。

初期状態において、図１０（ａ）に示すように、第３吸排気口８を開放したまま、第２吸排気口６を開放すると共に、第１吸排気口５からエアを供給する。
このエアの供給により、図９（ａ）で説明したのと同様に、第２ピストン１２とピストンハウジング６０（６１、６２、６３）が出力方向に移動する。
そして、出力ロッド７の先端がワーク１００と当接してピストンハウジング６０が移動停止する第１動作と異なり、この第２動作では、抜止めリング３７ａが蓋４に当接することでピストンハウジング６０全体の移動が停止する。

この状態で、図１０（ｂ）に示すように、更に第１吸排気口５からエアを供給する。すると、図９（ｂ）を参照して説明した第１動作と同様に、第２空圧室２２内の圧力上昇によりロッド部分５８が移動し、第２油圧室３２の油圧を上昇させる。これにより薄肉部１５が弾性変形してピストンハウジング６０全体がシリンダ２に固定される。

薄肉部１５の弾性変形によりピストンハウジング６０がシリンダ２に固定された図１０（ｂ）の状態から、所望のタイミングで第３吸排気口８からエアを供給する。すると、供給されたエアが、吸排気路８ｂ、連通孔３４ｄ、連通孔２７ｂを通り第１空圧室２１の圧力を上昇させる。この上昇した圧力を第１ピストン１１が受けることで、ロッド部分５０の先端が第１油圧室３１を押圧する。
第３吸排気口８からのエア供給による、ここまでの動作は第１動作と同様である。
しかし、第２動作では、図１０（ｂ）に示すように、出力ロッド７の先端には何も当接していないため、第３ピストン１３と出力ロッド７は出力方向に移動可能である。
このため、第１ピストン１１とロッド部分５０は、ロッド部分５０の先端が第１油圧室３１を押圧しながら出力方向に移動し、出力ロッド７の空洞部７ａに入り込む。
これにより、空洞部７ａ内の油は、ロッド部分５０の外周面と出力ロッド７の内周面との間を通って第１油圧室３１の凹部６３ａ側に移動する。この第１油圧室３１内の油の移動により第３ピストン１３は、ロッド部分５０の第１油圧室３１内部への挿入ストローク量に応じた距離まで出力方向に移動する。
この状態で、ロッド部分５０の先端が第１油圧室３１を押圧することで上昇する油圧を、第３ピストン１３が受けることで、出力ロッド７の先端から大きな推力が出力される。
なお、ロッド部分５０が空洞部７ａ内を移動して出力ロッド７から推力が出力されるまでの、出力ロッド７の移動量（油圧ストローク）をＬｈとしたとき、ロッド部分５０の第１油圧室３１内部への挿入ストローク量（＝第１ピストン１１の移動量）をＬａ、ロッド部分５０の第１油圧室３１における出力側断面積をＳａ、第１油圧室３１における第３ピストン１３および出力ロッド７の入力側断面積をＳｈとすると、次の式の関係が成り立つ。
Ｌｈ＝Ｌａ×（Ｓａ／Ｓｈ）

以上説明したように、第５実施形態によれば、第２油圧室３２の油圧を上昇させてピストンハウジング６０をシリンダ２に固定するための第１吸排気口５とは別に、出力ロッド７の先端から推力を発生させるための第３吸排気口８を設けている。
これにより、ピストンハウジング６０の固定動作と、出力ロッド７からの推力発生動作を独立させることができる。
また、第５実施形態によれば、出力ロッド７がワーク１００に当接した状態でも、当接していない状態（抜止めリング３７ａが蓋４に当接した状態）でも、出力ロッド７先端から第１油圧室３１の油圧により増幅された推力を出力することができる。

ここで、第１実施形態と第５実施形態の各油圧室の状態変化の差違について以下に説明する。
上述したように、第１実施形態では第１油圧室３１と第２油圧室３２は同時に圧力上昇を開始する。すなわち、第１実施形態は第５実施形態と異なり、第１空圧室２１と第２空圧室２２とは連通孔により連通されているため、油圧発生部５５が移動して出力ロッド７の先端がワーク１００に当接した後に、第１空圧室２１と第２空圧室２２には第１吸排気口５からのエアが同時に供給される。これにより、第１ピストン１１と第２ピストン１２は同時に動き始めて薄肉部１５の変形と出力ロッド７への押圧が開始される。
ここで、出力ロッド７はワークに当接して動かないので、第１油圧室３１の圧力は、蓋３４の出力側端面にも印加される。これにより、第１油圧室３１の圧力は蓋３４を入力側に押圧し、油圧発生部５５を入力側に押圧する。これと同時に、第２油圧室３２の圧力が、蓋３４の入力側端面に印加されて蓋３４を出力側に押圧し、油圧発生部５５を出力側に押圧する。この時の力関係で、蓋３４を介し、油圧発生部５５を入力側に押圧する力の方が大きい場合は、第１吸排気口５から供給されるエアにより出力側に移動する第１ピストン１１、第２ピストン１２および第１油圧室３１により押圧されている出力ロッド７以外は入力側に移動しようとする。
このため第１ピストン１１と抜け止めナット１８とが当接して両者間の間隙５１が無くなる前に、第２ピストン１２が前進し、薄肉部１５が変形してシリンダ２に固定される必要がある。すなわち第２ピストン１２の動作が、第１ピストン１１の動作より早くなる必要がある。これは、第２ピストン１２が動作して薄肉部１５を変形させる方が、第１ピストンが間隙５１の距離を動作するよりも早くすることにより、油圧発生部５５が確実に固定され、その後第１油圧室の圧力上昇に伴い、出力ロッド７に油圧推力を安定して発生させるためである。

第１実施形態においては、第１ピストン１１よりも第２ピストン１２の方が軽く構成されている。また、各ピストンの動作時に働く摺動抵抗を、第２ピストン１２の動作が第１ピストン１１の動作より早くなるように設定されている。上記の摺動抵抗の相違は、例えば、各ピストンに使用するシール部材の材質や形状の違い、取付時の締め代の違いにより設定される。

（第６実施形態）
次に第６実施形態について説明する。
この第６実施形態では、増幅した油圧力でピストンハウジング６０をシリンダ２に固定する固定動作（クランプ動作）と、エアハイドロ機構により出力ロッド７の先端に増幅された油圧力を発生させる油圧出力動作とを、逆止弁（ボールチェック弁）５４を用いて、自動的に連続して行うことができるようにしたものである。

図１１は、第６実施形態におけるシリンダ装置１ｅの一部を表した断面図（ａ）と、その部品を表した断面図（ｂ）である。
この図１１では、第６実施形態に特徴的な逆止弁５４周辺について表し、他の部分は図７、８で表した第５実施形態のシリンダ装置１ｄと同じである。
図１１に示すように、シリンダ装置１ｅは、第１ハウジング６１の入力側端部に固定される蓋２７と、第２ハウジング６２の出力側端部に固定される蓋３４との間に逆止弁５４が配設されている。
この逆止弁５４は、連通ロッド８ｄの先端に取り付けられる開閉ロッド５４ａ、ストップリング５４ｂ、球体５４ｃ、円筒部材５４ｄ、コイルバネ５４ｅを備えている。
蓋２７には、逆止弁５４が収容される凹部２７ｇが形成されている。この凹部２７ｇ内には、球体５４ｃ、円筒部材５４ｄ、コイルバネ５４ｅが収容された状態で、ストップリング５４ｂが蓋２７に螺合されている。
コイルバネ５４ｅは、凹部２７ｇの底部と円筒部材５４ｄの底部との間に配置され、逆止弁５４を介して球体５４ｃを入力方向に付勢することで、球体５４ｃによりストップリング５４ｂに形成された通気穴５４ｆを閉じている。

第５実施形態における吸排気ロッド８ａは、入力側が蓋３を貫通し端部が第３吸排気口８に接続され、連通路８ｅが軸方向に貫通していた（図７参照）。
これに対して吸排気ロッド８ａに対応する本実施形態の連通ロッド８ｄは、図１１に示すように、入力側の端部が、ロッド部分５８の入力側の端面まで形成され、吸排気路８ｅは第２空圧室２２と連通している。
一方、連通ロッド８ｄの出力側の端部は軸方向に貫通しておらず、先端面よりも少し手前で径方向に貫通形性された連通路８ｆと繋がっている。
この連通ロッド８ｄは、第５実施形態と同様に、ロッド部分５８に形成された貫通孔内に挿通され、入力側の端部で螺合するとともに固定ネジ１２ｂで径方向から固定されている。
ロッド部分５８に形成された貫通孔は、第５実施形態と異なり、先端側（出力側の小径部）の内径が連通ロッド８ｄの出力側の外径よりも大きく形成されている。
これにより第２空圧室２２のエアは、連通路８ｅから連通路８ｆを通り、さらに連通ロッド８ｄ外周とロッド部分５８の貫通孔との間を通り、連通孔３４ｄに供給される。
連通ロッド８ｄの先端には、中心軸に沿って凹部が形成され、ここに逆止弁５４の開閉ロッド５４ａが圧入されている。
この連通ロッド８ｄは、逆止弁５４、連通孔２７ｂ、連通溝２７ｄと共に、第２空圧室２２と第１空圧室２１とを連通する連通手段として機能している。

次に、第６実施形態のシリンダ装置１ｅによる第１動作と第２動作について説明する。
（第１動作）
図１２は、シリンダ装置１ｅによる第１動作の各状態を表したものである。
この第１動作では、出力ロッド７の先端がワーク１００に当接することでピストンハウジング６０の固定する動作に連続して、逆止弁（ボールチェック弁）５４が自動的に作動して、出力ロッド７の先端から増幅された油圧力を出力する。

シリンダ装置１ｅを初期状態にする場合、第１吸排気口５を開放した状態で、第２吸排気口６から所定圧力でエアを供給する。これによりシリンダ２内の各部が入力側に移動するが、この動きは第５実施形態と同様である。
なお、図１１は初期状態ではなく出力側に移動した状態を表している。

初期状態において、図１２（ａ）に示すように、第２吸排気口６を開放すると共に、第１吸排気口５からエアを供給する。
すると、第２空圧室２２の圧力が上昇し、第２ピストン１２を出力側に押し、第２ピストン１２はロッド部分５８で第２油圧室３２を押圧する。ここで、出力側への移動の押圧力の反力がピストンハウジング６０全体に働いていないので、第２油圧室３２の油が狭窄されることが無く、薄肉部１５は弾性変形を生じない。そのためロッド部分５８が第２油圧室３２を押圧することにより、ピストンハウジング６０全体が出力側に移動する。コイルバネ３３はピストンハウジング６０全体を出力方向に押すことを補助している。これらの動作は、図９（ａ）の説明と同じ動作で、出力ロッド７が出力方向に移動して先端部がワーク１００に当接する。
なお、第２空圧室２２で上昇した圧力により、連通路８ｅ、８ｆを通り、連通孔３４ｄの圧力も上昇するが、この空圧よりもコイルバネ５４ｅ（図１１参照）の付勢力の方が大きいため、逆止弁５４は封止され状態のままである。

出力ロッド７がワーク１００に当接すると、第３ピストン１３が第３ハウジング６３と当接しているので、ピストンハウジング６０全体の移動が停止する。
この状態で、図１２（ｂ）に示すように、更に第１吸排気口５からエアを供給すると、第２空圧室２２内の圧力がコイルバネ３３の付勢力を越え、第２ピストン１２とロッド部分５８が出力方向に移動する。
これにより第２油圧室３２は、段部５８ａで押圧されて内部圧力が上昇し、薄肉部１５が外向きに弾性変形してピストンハウジング６０全体が、移動が停止状態から、シリンダ２に固定された状態となる。

図１２（ｃ）は、薄肉部１５の弾性変形によりピストンハウジング６０がシリンダ２に固定された状態で、同時にロッド部分５８の先端に固定された開閉ロッド５４ａが球体５４ｃを押して逆止弁５４を開いた状態を示している。
この状態になると、第１吸排気口５から供給されているエアが、第２空圧室２２から吸排気路８ｅ、連通孔３４ｄ、通気穴５４ｆ、凹部２７ｇ、連通孔２７ｂ、連通溝２７ｄ（図１１参照）を通り、第１空圧室２１の圧力を上昇させる。
そして第１ピストン１１が第１空圧室２１の圧力を受け、ロッド部分５０の先端が、第１油圧室３１を押圧し、増幅された油圧力を第３ピストン１３が受ける。この増幅された油圧力を第３ピストン１３が受けて、大きな推力が出力ロッド７からワーク１００に出力される。

このとき、第２ハウジング６２の固定（図１２（ｂ）の状態）と、開閉ロッド５４ａが球体５４ｃを押して逆止弁５４を開く（図１２（ｃ）の状態）がほぼ同時であればどちらが早くても構わない。第２ハウジング６２の固定の方が早い場合は、その後、第２空圧室２２の加圧により第２ピストン１２やロッド部分５８は、組付けられたシール部材に弾性変形が生じて、これによりロッド部分５８がさらに出力側に移動して逆止弁５４を開く。
逆止弁５４を開く方が僅かに早い場合は、その僅かな時間分だけ第１空圧室２１に先にエアが供給され、第３油圧室３１が加圧されるので出力ロッド７が僅かに移動するが、第１ピストン１１の移動距離が僅かであり、かつ出力ロッド７の移動量Ｌｈは先に説明したように、Ｌｈ＝Ｌａ×（Ｓａ／Ｓｈ）しか動かないので全体のストロークに大きな影響を与えない。但し、第２油圧室３２が固定されていない間は、出力ロッド７に大きな油圧力を発生することができない。

第６実施形態のシリンダ装置１ｅにおいても、薄肉部１５で固定されない状態（図１２（ａ）の状態）では、ピストンハウジング６０は移動できずに停止しているだけの状態である。
そこで、第５実施形態と同様に、ピストンハウジング６０が薄肉部１５の弾性変形により固定されたか否かについては、シリンダ２の外周部にひずみゲージ（図示しない）を配設し、薄肉部１５によるシリンダ２への押圧力により生じるシリンダ２の変形ひずみを検知し、所定のひずみ量を検知することでピストンハウジング６０の固定を判断する。あるいは第２油圧室３２内の圧力を検出する圧力センサ（図示しない）を配置し、この圧力が所定値（薄肉部１５が弾性変形する値）を超えたか否かにより判断してもよい。なお、圧力センサによる検出対象を第２空圧室２２としてもよい。また、圧力センサに変えて、出力ロッド７の移動を検出するセンサを設け、移動が停止してから所定時間（第２油圧室の圧力が上昇し肉薄部１５が弾性変形するまでの時間）経過により、固定されたと判断するようにしてもよい。

なお、第５、第６実施形態において、シリンダ２の外周部にひずみゲージを配設し、薄肉部１５によるシリンダ２への押圧力により生じるシリンダ２の変形ひずみを検知してピストンハウジング６０の固定を判断したが、第１実施形態から４実施形態においても同様に、ひずみゲージを配設してピストンハウジング１４が薄肉部１５の弾性変形により固定されたか否かについて判断してもよい。

（第２動作）
次に、初期状態からの第２動作について説明する。
図１３は、シリンダ装置１ｅによる第２動作の各状態を表したものである。
この第２動作では、出力ロッド７の先端がワーク１００に当接する前に、ピストンハウジング６０の出力側端部（抜止めリング３７ａ）が蓋４に当接することでピストンハウジング６０の固定をする。この固定動作に連続して、逆止弁５４が自動的に作動して、出力ロッド７の先端から増幅された油圧力を出力する。

この第６実施形態における第２動作では、シリンダ２内の各部は、初期状態から、図１３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の状態に順次動作する。
そして、図１３（ａ）～（ｃ）の各状態における、逆止弁５４を除いた、第２ピストン１２とロッド部分５８、ピストンハウジング６０（６１、６２、６３）、第１ピストン１１とロッド部分５０、及び、第３ピストン１３と出力ロッド７の動作は、第５実施形態において図１０（ａ）～（ｃ）で説明した第２動作と同じである。

一方、逆止弁５４の動作と、逆止弁５４が開くタイミングや、第１空圧室２１のエアが第１空圧室２１を加圧する動作は、図１２で説明した逆止弁５４の動作と同じである。
但し、第２ハウジング６２の固定と逆止弁５４が開くタイミングは、僅かに逆止弁５４が早く開くように連通ロッド８ｄを調整し、開閉ロッド５４ａの位置を最適にセットしてある。
また第１空圧室２１が加圧された状態で第１ピストン１１とロッド部分５０が空洞部７ａ内を進行方向に移動し、出力ロッド７の先端から推力が出力される動作については、図１０（ｃ）で説明した動作と同じである。

なお、この第２動作では、図１３（ｃ）に示すように、第１ピストン１１が第１ハウジング６１内を出力方向に大きく移動しているため、初期状態に戻す動作については、第１動作の場合と異なり、次の通りである。
図１３（ｃ）の状態から初期状態に戻す場合、第１吸排気口５を開放した後に、第２吸排気口６から所定圧力でエアを供給する。この第２吸排気口６から供給されたエアは、第３空圧室４１と、第４空圧室６４および第５空圧室６５に供給される。
一方、第１吸排気口５の開放により、第２ピストン１２とロッド部分５８は、第２空圧室２２による出力方向の空圧を受けない。このため、第５空圧室６５に供給されたエアによる加圧とコイルバネ３３の付勢力とにより、第２ピストン１２とロッド部分５８は入力方向に移動を開始する。これにより第２ハウジング６２の薄肉部１５による固定が解放される。

第３空圧室４１と第４空圧室６４は第２吸排気口６からのエア供給により加圧され、第１ハウジング６１を入力側に移動させるように力が働いているので、第２ハウジング６２の固定が解放されると同時に、ピストンハウジング６０（６１～６３）全体が入力側へ移動する。
ピストンハウジング６０全体の入力側への移動は、第２ハウジング６２の固定が解放されればよいので、フランジ部５８ｃが抜止めリング２９に当接する前に開始する。
このとき逆止弁５４は第２ハウジング６２の固定が解除されても僅かに開いているように開閉ロッド５４ａがセットされている。そのため同時に第１ピストン１１が第１ハウジング６１内部で入力側へ移動を開始する。
第２ピストン１２が蓋３に当接して、ピストンハウジング６０全体が停止する。

第４空圧室６４は既に加圧されているので第１空圧室２１のエアが逆止弁５４を通り、連通路８ｅを通って第１吸排気口５から排出される。これにより第１ピストン１１が入力側に移動する。また出力ロッド７も同時に入力側に移動する。
第１ピストン１１が蓋２７に当接して入力側への移動が完了したら、第２吸排気口６を開放する。第１ピストンの移動の完了は、第３吸排気口８からのエアの排気流量や出力ロッド７の位置で把握することができる。
コイルバネ３３により、ピストンハウジング６０（６１～６３）全体が移動を開始し、逆止弁５４が閉じ、フランジ部５８ｃが抜止めリング２９に当接するまで出力側に移動し、初期状態となる。

なお図１２で説明した第１動作では、第１ハウジング６１内における第１ピストン１１の移動は僅かであるため、逆止弁５４が閉じる前に第１ピストン１１は入力側への移動を完了する。このため、第１吸排気口５を開放し、第２吸排気口６からエアを供給することで初期状態に戻る。

以上説明したように、第６実施形態によれば、第２油圧室３２の油圧を上昇させてピストンハウジング６０をシリンダ２に固定するための第１吸排気口５を設け、この固定動作に連続して逆止弁５４が開くようにしている。
第１吸排気口５からのエア供給だけで、ピストンハウジング６０のシリンダ２への固定に連続して、出力ロッド７の先端から増幅した推力を出力することができる。

なお、説明した第５実施形態、第６実施形態においても、段落００８６で説明した第１から第４実施形態の効果を得ることができる。
また、説明した第５実施形態と第６実施形態では、第２ハウジング６２の薄肉部１５でピストンハウジング６０をシリンダ２に固定する場合について説明したが、図５で説明した第３実施形態と同様に、クランパによってピストンハウジング６０をシリンダ２に固定するようにしてもよい。
また、第５実施形態、第６実施形態においても、図２で説明したのと同様にして、プレス加工による抜き加工や凹部を形成することができる。

１、１ａ、１ｂ、１ｃ シリンダ装置
２ シリンダ
３、４、３４ 蓋
５ 第１吸排気口
６ 第２吸排気口
７ 出力ロッド
１１ 第１ピストン
１２ 第２ピストン
１３ 第３ピストン
１４ ピストンハウジング
１５ 薄肉部
１６ カラー
１７ 抜止めボルト
１８ 抜止めナット
１９ コイルバネ
２０ 空圧室
２１ 第１空圧室
２２ 第２空圧室
３０ 油圧室
３１ 第１油圧室
３２ 第２油圧室
３３ コイルバネ
３５ 抜止めボルト
３６ コイルバネ
３７ 抜止めナット
３８ 給油口栓
４０ 貫通孔
４１ 第３空圧室
４３ 凹部
４４ 凸部
４５ 凸部
５０、５０ａ、５０ｂ ロッド部分
５１、５２、７８ 間隙
５５ 油圧発生部
５７ 張出部
５８ ロッド部分
７１ パンチ
７２ 治具
７３ 設置台
７４ オス金型
７５ メス金型
７７ 出力ロッド
８０ 圧力センサ
８１、８２、８３ 貫通孔
８５ 油圧力センサ
９０ クランパ
９１ 円環部材
９２、９３ テーパ部
９４ Ｏリング
９５ 円柱部材
９６ コイルバネ
９７ ナット
１００ ワーク
２ａ、２ｂ、２ｃ 摺動補助リング
７ａ 空洞部
８ 第３吸排気口
８ａ 吸排気ロッド
８ｂ 吸排気路
８ｄ 連通ロッド
８ｅ、８ｆ 連通路
２７、３４、３９ 蓋
３７ａ 抜止めリング
５４ 逆止弁
６０ ピストンハウジング
６１ 第１ハウジング
６２ 第２ハウジング
６３ 第３ハウジング
６４ 第４空圧室
６５ 第５空圧室

Claims (27)

1. シリンダと、
   前記シリンダ内の一端側に形成された空圧室と、
   前記シリンダ内を前記空圧室の圧力で他端側に移動する油圧室と、
   前記空圧室が前記油圧室に与えるスラスト方向の力からラジアル方向の力を発生させ、当該ラジアル方向の力によって前記油圧室を前記シリンダ内に固定する固定手段と、
   前記空圧室が前記固定した油圧室に発生させる油圧を増幅する油圧増幅手段と、
   前記増幅した油圧を出力する出力ロッドと、
   を具備し、
   前記油圧室は、前記出力ロッドが設けられた第１油圧室と、前記固定手段が設けられた第２油圧室と、から構成されており、
   前記固定手段は、前記第２油圧室の油圧によって前記ラジアル方向の力を発生させて前記第２油圧室と前記第１油圧室を固定し、
   前記油圧増幅手段は、前記第１油圧室に発生した油圧を増幅して前記出力ロッドに出力する、
   ことを特徴とするシリンダ装置。
2. 前記油圧室は、前記空圧室が前記油圧室に与える前記他端側方向の力と前記出力ロッドが前記油圧室に与える前記一端側方向の力と、を受けて油圧を発生させることを特徴とする請求項１に記載のシリンダ装置。
3. 前記固定手段は、前記ラジアル方向の力によって弾性変形した前記第２油圧室の側壁を前記シリンダの内壁に押圧することにより前記第２油圧室と前記第１油圧室を固定することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のシリンダ装置。
4. 前記固定手段は、前記第２油圧室に発生した油圧で、スラスト方向に移動するテーパ部材をクランパに押圧することによりラジアル方向の力を発生させ、当該力によって前記クランパを前記シリンダの内壁に押圧することにより前記第２油圧室と前記第１油圧室を固定することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のシリンダ装置。
5. 前記第１油圧室は、前記出力ロッドを出力方向に押圧する出力ピストンを備えており、前記出力ピストンを前記出力方向に対向する方向に付勢する付勢手段を具備したことを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３、又は請求項４に記載のシリンダ装置。
6. 前記第１油圧室の前記出力ピストンは、前記第１油圧室に増幅されて発生した油圧が前記出力ロッドに働いて推力を出力する状態でも移動せず、前記出力ロッドに出力だけを伝達することを特徴とする請求項５に記載のシリンダ装置。
7. 前記空圧室は、前記第１油圧室を加圧する第１ピストンを備えた第１空圧室と、前記第２油圧室を加圧する第２ピストンを備えた第２空圧室と、前記第１空圧室と前記第２空圧室を連通する連通孔とから構成され、
   前記第１空圧室は、第１吸排気口を有すると共に前記第２空圧室の前記一端側に形成されている、
   ことを特徴とする請求項１から請求項６までのうちの何れか１の請求項に記載のシリンダ装置。
8. 前記第１ピストンは、前記第１空圧室の圧力で、前記出力ロッドが押圧対象に当接するまで、又は、前記第１油圧室が移動可能な前記他端側の端部に到達するまで、前記第２空圧室、前記第１油圧室、及び前記第２油圧室を前記他端側に移動する、
   ことを特徴とする請求項７に記載のシリンダ装置。
9. 前記第２油圧室の前記第２ピストンが前記第２油圧室に増幅した油圧を発生させる際の、前記第２ピストンの移動量が、前記第２ピストンに配設された前記第２油圧室のシール部材の弾性変形量の範囲内である、
   ことを特徴とする請求項８に記載のシリンダ装置。
10. 前記第１空圧室は、第１吸排気口を有し、
    前記第１空圧室と前記第２空圧室を連通する連通孔を具備したことを特徴とする請求項８又は、請求項９に記載のシリンダ装置。
11. 前記第１油圧室は、前記第２油圧室の前記他端側に形成されており、
    前記第１ピストンは、前記第２空圧室と前記第２油圧室を貫通して前記第１油圧室まで形成されていることを特徴とする請求項８、請求項９、又は請求項１０に記載のシリンダ装置。
12. 前記シリンダ内の他端側に設けられ、第２吸排気口を有し、前記油圧室を前記一端側に押圧する第３空圧室を具備したことを特徴とする請求項１０、又は請求項１１に記載のシリンダ装置。
13. 前記第１空圧室を貫通し、前記第１ピストンから前記シリンダの前記一端側に形成された空圧ロッドを具備したことを特徴とする請求項７から請求項１２までのうちの何れか１の請求項に記載のシリンダ装置。
14. 前記第１ピストンのロッド部分は、所定のクリアランスを設けた２つのロッド部分に分割されていることを特徴とする請求項７から請求項１１までのうちの何れか１の請求項に記載のシリンダ装置。
15. 請求項１２に記載のシリンダ装置と、
    前記シリンダ装置に対してワークを所定位置に設置するワーク設置手段と、
    前記シリンダ装置を駆動して、前記出力ロッドに装着した工具で前記設置したワークをプレスするプレス手段と、
    前記プレスしたワークを前記所定位置から離脱する離脱手段と、
    を具備したことを特徴とするプレス装置。
16. 請求項１２に記載したシリンダ装置と、
    前記シリンダ装置に対してワークを所定位置に設置するワーク設置手段と、
    前記シリンダ装置を駆動して、前記出力ロッドで前記設置したワークを押圧しクランプする手段と、
    前記クランプしたワークを前記所定位置から離脱する離脱手段と、
    を具備したことを特徴とするワーククランプ装置。
17. 請求項１２のシリンダ装置を動作させるシリンダ装置動作方法であって、
    第２吸排気口から第３空圧室を加圧すると共に第１吸排気口から第１空圧室と第２空圧室を減圧することにより第１油圧室と第２油圧室を一端側に移動させて初期状態に設定する第１ステップと、
    前記第１吸排気口から前記第１空圧室と前記第２空圧室を加圧すると共に前記第２吸排気口から前記第３空圧室を減圧することにより前記第１空圧室と前記第２空圧室を他端側に移動させて、前記出力ロッドを押圧対象に当接させ、又は、前記第１油圧室が移動可能な前記他端側の端部に到達させる、第２ステップと、
    前記第１吸排気口から更に加圧して前記固定手段を動作させ、前記第１油圧室と前記第２油圧室をシリンダに固定する第３ステップと、
    前記第１吸排気口から更に加圧して前記油圧増幅手段を動作させ、前記出力ロッドを前記押圧対象に押圧する第４ステップと、
    前記第２吸排気口から前記第３空圧室を加圧すると共に前記第１吸排気口を減圧して前記第１油圧室と前記第２油圧室を前記一端側に移動させて初期状態に復帰させる第５ステップと、
    を有することを特徴とするシリンダ装置動作方法。
18. 請求項１２に記載のシリンダ装置を動作させてワークを所定位置にクランプする方法であって、
    ワークを所定位置に設置する第１ステップと、
    前記シリンダ装置を駆動して、前記出力ロッドがワークに当接し停止するまで、又は、前記第１油圧室が移動可能な前記他端側の端部に到達し停止するまで、前記第１空圧室の圧力で移動させる第２ステップと、
    前記固定手段により前記第１油圧室と前記第２油圧室を固定する第３ステップと、
    前記油圧増幅手段により前記第１油圧室の油圧力が増幅される第４ステップと、
    第４ステップにより増幅された油圧力により前記出力ロッドがワークを油圧力で押圧し所定の位置にクランプする第５ステップと、
    を有することを特徴とするワークのクランプ方法。
19. 請求項１５に記載のプレス装置を動作させてワークをプレスする方法であって、
    前記シリンダ装置を駆動して、前記出力ロッドの位置を初期状態に戻す第１ステップと、
    ワークを所定位置に設置する第２ステップと、
    前記シリンダ装置を駆動して、前記出力ロッドがワークに当接し停止するまで、又は、前記第１油圧室が移動可能な前記他端側の端部に到達し停止するまで、前記第１空圧室の圧力で移動させる第３ステップと、
    前記固定手段により前記第１油圧室と前記第２油圧室を固定する第４ステップと、
    前記油圧増幅手段により前記第１油圧室の油圧力が増幅される第５ステップと、
    第５ステップにより増幅された油圧力により前記出力ロッドに装着した工具がワークを油圧力で押圧し、ワークをプレスする第６ステップと、
    前記シリンダ装置を駆動して、前記出力ロッドと共に前記出力ロッドに装着した工具を空圧力で前記ワークから離脱させる第７ステップと、
    プレスが完了したワークを所定の位置から離脱する第８ステップと、
    を有することを特徴とするワークのプレス方法。
20. 前記空圧室は、前記第１油圧室を加圧する第１ピストンを備えた第１空圧室と、前記第２油圧室を加圧する第２ピストンを備えた第２空圧室とから構成され、
    前記第２空圧室は、前記第２油圧室の前記一端側に配設され、
    前記第１空圧室は、前記第２油圧室の前記他端側に配設され、
    前記第２空圧室を加圧する第１吸排気口と、
    前記第２空圧室と前記第２油圧室を貫通して前記第１空圧室を加圧する第３吸排気口と、を備える、
    ことを特徴とする請求項１から請求項６までのうちの何れか１の請求項に記載のシリンダ装置。
21. 前記空圧室は、前記第１油圧室を加圧する第１ピストンを備えた第１空圧室と、前記第２油圧室を加圧する第２ピストンを備えた第２空圧室とから構成され、
    前記第２空圧室は、前記第２油圧室の前記一端側に配設され、
    前記第１空圧室は、前記第２油圧室の前記他端側に配設され、
    前記第２空圧室を加圧する第１吸排気口と、
    前記第２油圧室を貫通して、前記第２空圧室と前記第１空圧室を連通する連通手段と、を備える、
    ことを特徴とする請求項１から請求項６までのうちの何れか１の請求項に記載のシリンダ装置。
22. 前記第２油圧室を有する入力側ハウジングと、前記第１空圧室及び前記第１油圧室を有する出力側ハウジングを備え、
    前記入力側ハウジングは、前記出力側ハウジングの前記一端側に固定されている、
    ことを特徴とする請求項２０、又は請求項２１に記載のシリンダ装置。
23. 前記第２ピストンは、前記入力側ハウジングと前記第２空圧室との間に配設され、前記第２空圧室からの圧力で前記他端側に移動し、当該移動により前記第２油圧室を加圧するロッド部分を備える、
    ことを特徴とする請求項２２に記載のシリンダ装置。
24. 前記請求項２０に従属する請求項２３に記載のシリンダ装置であって、
    前記第３吸排気口は、前記第２ピストンと前記ロッド部分を貫通することで、前記第２空圧室と前記第２油圧室を貫通している、ことを特徴とするシリンダ装置。
25. 前記請求項２１に従属する請求項２３に記載のシリンダ装置であって、
    前記連通手段は、前記第２ピストンとロッド部分を貫通し前記第２ピストンに固定された連通ロッドと、前記第１空圧室と前記第２空圧室との連通路上に配設された弁機構とを、備え、
    前記弁機構は、前記第２ピストンと共に移動する前記連通ロッドの移動に伴い開閉を行う、
    ことを特徴とするシリンダ装置。
26. 請求項２４のシリンダ装置を動作させるシリンダ装置動作方法であって、
    前記第１吸排気口から前記第２空圧室を加圧することで、前記第２ピストンと、前記入力側ハウジングと前記出力側ハウジングを、前記他端側に移動させる移動ステップと、
    前記出力ロッドを押圧対象に当接させ、又は、前記出力側ハウジングの出力側端部を前記シリンダの前記他端側の端部に当接させることで、前記入力側ハウジングと、前記出力側ハウジングの移動を停止させる移動停止ステップと、
    前記第１吸排気口から前記第２空圧室を更に加圧して、前記第２ピストンを前記他端側に移動させることで、前記第２油圧室を前記ロッド部分で加圧して前記固定手段を動作させ、前記入力側ハウジングと前記出力側ハウジングを前記シリンダに固定する固定ステップと、
    前記固定の後、前記第３吸排気口から第１空圧室を加圧して前記油圧増幅手段を動作させ、前記出力ロッドの先端から増幅された油圧による推力を発生させる推力発生ステップと、
    を有することを特徴とするシリンダ装置動作方法。
27. 請求項２５のシリンダ装置を動作させるシリンダ装置動作方法であって、
    前記第１吸排気口から前記第２空圧室を加圧することで、前記第２ピストンと、前記入力側ハウジングと前記出力側ハウジングを、前記他端側に移動させる移動ステップと、
    前記出力ロッドを押圧対象に当接させ、又は、前記出力側ハウジングの出力側端部を前記シリンダの前記他端側の端部に当接させることで、前記入力側ハウジングと、前記出力側ハウジングの移動を停止させる移動停止ステップと、
    前記第１吸排気口から前記第２空圧室を更に加圧して、前記第２ピストンを前記他端側に移動させることで、前記第２油圧室を前記ロッド部分で加圧して前記固定手段を動作させ、前記入力側ハウジングと前記出力側ハウジングを前記シリンダに固定する固定ステップと、
    前記固定ステップによる固定の後、前記第１吸排気口から更に前記第２空圧室を加圧して、前記第２ピストンと共に前記連通ロッドを前記他端側に移動させることで、前記弁機構を開き前記第２空圧室と前記第１空圧室を連通させる連通ステップと、
    前記連通ステップによる連通の後、前記第１吸排気口から更に連通した前記第１空圧室を加圧して前記油圧増幅手段を動作させ、前記出力ロッドの先端から増幅された油圧による推力を発生させる推力発生ステップと、
    を有することを特徴とするシリンダ装置動作方法。

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