JP2020056499A - シリンダ装置、プレス装置、ワーククランプ装置、シリンダ装置動作方法、ワークのプレス方法、及びワークのクランプ方法 - Google Patents

Abstract

【課題】エアハイドロ機構を用いたストロークの大きいシリンダ装置であって、エアハイドロ機構を固定するための増加油圧力を有効に使用する。【解決手段】シリンダ装置の第２油圧室３２の外周面を薄肉部１５とすることにより、第２空圧室からの空気圧を受けて油圧が増加し、薄肉部１５が膨張してシリンダ２をクランプする。そして、第２油圧室３２の増加によって、薄肉部１５が軸方向に伸びることを抑制し、径方向に膨張するようにするため、軸方向の伸張抑制手段として、薄肉部１５をその両端側から伸止めボルト３４ｇで固定する。伸止めボルト３４ｇは、薄肉部１５の両端側の圧肉部、又は、薄肉部１５の両端を挟むように配設される蓋３９と蓋３４とを固定する。また、伸止めボルト３４ｇによる締め付けにより薄肉部１５が縮むことを防止するために、薄肉部１５の両端側の圧肉部の間にスペーサー８０を配設する。【選択図】図１

Description

本発明は、シリンダ装置、プレス装置、ワーククランプ装置、シリンダ装置動作方法、ワークのプレス方法、及びワークのクランプ方法に関し、例えば、流体圧シリンダを用いたものに関する。

エア（気体）や油（液体）といった流体を用いた流体圧シリンダが工業の広い分野で利用されている。
これら流体圧シリンダは、流体の圧力でシリンダ内のピストンに推力を発生させることにより、例えば、プレスやアクチュエータの駆動など、様々な機械的な動作の原動となることができる。

ところで、油圧シリンダは、油圧による大きな加圧力により小さなサイズでも大きな推力を得られるという特徴があるが、油圧供給装置などの大がかりな設備が必要であるという点が問題であった。
そのため、特許文献１では、エアシリンダと油圧シリンダを組み合わせたエアハイドロシリンダ（エアハイドロ機構）によってエア圧で油圧を発生させることにより、複雑な油圧系を省略し、低コストで小型化が可能な流体圧シリンダを提案している。

ところが、特許文献１の技術では、エアシリンダのピストンの移動量を油圧シリンダの断面積に対応させて推力を発生させるため、ストロークが短いという問題があった。
例えば、エアハイドロシリンダの出力側にアクチュエータを装着した場合、ストロークを確保するためには、アクチュエータをエアハイドロシリンダごと移動する必要があった。

このため、本件特許の出願人は、エアハイドロ機構部全体をエアにより大きく移動させると共に、油圧の増大による膨張を利用してシリンダに対してエアハイドロ機構を固定し、この固定状態でエアハイドロ機構による大きな推力を出力するシリンダ装置について出願（特願２０１８−２１７２３（未公開））している。
このシリンダ装置では、周面に薄肉部を形成した第２油圧室をエアハイドロ機構に接続し、第２油圧室の油圧増大によって薄肉部が膨張することでシリンダに固定するようにしている。
しかし、第２油圧室の薄肉部は、ラジアル方向の膨張だけでなく、スラスト方向の膨張を生じる場合があるため、第２油圧室の増圧分の全てをラジアル方向の膨張に利用できていなかった。

特許第４８９５３４２号公報

本発明は、エアハイドロ機構を用いたストロークの大きいシリンダ装置に対し、エアハイドロ機構を固定するための増加流体圧力を有効に使用することを目的とする。

（１）請求項１に記載の発明では、シリンダと、前記シリンダ内に配設され、前記シリンダ内をスラスト方向に移動可能な出力側ハウジングと、前記出力側ハウジングの入力側に固定され、スラスト方向の一方側の蓋と他方側の蓋により内面の一部が構成される第２流体室と、当該第２流体室の圧力増加により外周面が径方向に膨張して前記シリンダに対して固定される固定機構部を備えた入力側ハウジングと、前記出力側ハウジング内に配設され、前記固定機構部による固定がされた状態で、増幅された流体圧力による推力を出力するエアハイドロ機構と、エアが供給される第２空圧室と、前記第２空圧室の空圧を受けて前記入力側ハウジングと出力側ハウジングとを出力側に移動させると共に、所定位置において前記第２流体室を加圧膨張させる第２ピストン部と、前記一方側の蓋と前記他方側の蓋との間の距離を固定する距離固定手段と、を具備したことを特徴とするシリンダ装置を提供する。
（２）請求項２に記載の発明では、前記エアハイドロ機構は、エアが供給される第１空圧室と、前記第１空圧室の１面を構成する空圧受面を有する第１ピストンと、前記第１ピストンに配設され、前記空圧受面よりも小面積のロッド端面を有する第１ロッドと、前記第１ロッドの前記端面により１面が形成される第１流体室と、前記第１流体室の他の１面を構成し、前記第１ロッドの端面よりも大きな流体圧受面を有する出力ピストンと、前記出力ピストンに配設され、前記第１流体室の圧力により外部へ推力を出力する出力ロッドと、を備えることを特徴とする請求項１に記載のシリンダ装置を提供する。
（３）請求項３に記載の発明では、前記第１流体室、第２流体室の少なくとも一方が油圧室で構成される、ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシリンダ装置を提供する。
（４）請求項４に記載の発明では、前記距離固定手段は、前記第２流体室内を貫通し、前記出力側ハウジングに設けた前記一方側の蓋と他方側の蓋とをボルトで固定する、ことを特徴とする請求項２、又は請求項３に記載のシリンダ装置を提供する。
（５）請求項５に記載の発明では、前記距離固定手段は、前記第２流体室内に配置され、前記一方側の蓋と前記他方側の蓋との間に当接して配置されたスペーサーを有する、ことを特徴とする請求項２から請求項４のうちのいずれか１の請求項に記載のシリンダ装置を提供する。
（６）請求項６に記載の発明では、前記第２ピストン部は、前記入力側ハウジングと前記第２空圧室との間に配設され前記第２空圧室からの圧力を受けて出力側に移動する第２ピストンと、前記第２ピストンに配設され、前記第２ピストンの出力側に移動することにより前記第２流体室を加圧する第２ロッドと、を備える、ことを特徴とする請求項１から請求項５のうちのいずれか１の請求項に記載のシリンダ装置を提供する。
（７）請求項７に記載の発明では、前記シリンダ内の他端側に設けられ、前記入力側ハウジングと出力側ハウジングとを入力側に移動させる第３空圧室と、を具備したことを特徴とする請求項６に記載のシリンダ装置を提供する。
（８）請求項８に記載の発明では、請求項７に記載のシリンダ装置と、前記シリンダ装置に対してワークを所定位置に設置するワーク設置手段と、前記シリンダ装置を駆動して、前記出力ロッドに装着した工具で前記設置したワークをプレスするプレス手段と、前記プレスしたワークを前記所定位置から離脱する離脱手段と、を具備したことを特徴とするプレス装置を提供する。
（９）請求項９に記載の発明では、請求項７に記載のシリンダ装置と、前記シリンダ装置に対してワークを所定位置に設置するワーク設置手段と、前記シリンダ装置を駆動して、前記出力ロッドで前記設置したワークを押圧しクランプする手段と、前記固定したワークを前記所定位置から離脱する手段と、を具備したことを特徴とするワーククランプ装置を提供する。
（１０）請求項１０に記載の発明では、請求項７のシリンダ装置を動作させるシリンダ装置動作方法であって、前記第３空圧室を加圧すると共に、前記第１空圧室と前記第２空圧室を減圧することにより、前記入力側ハウジングと出力側ハウジングを入力側に移動させて初期状態にする第１ステップと、前記第１空圧室を加圧すると共に、前記第３空圧室を減圧することにより、前記入力側ハウジングと出力側ハウジングを出力側に移動して、前記出力ロッドを押圧対象に当接させ、又は、前記出力側ハウジングを前記シリンダの出力側の端部に当接させる、第２ステップと、前記第２空圧室を更に加圧して前記第２ピストンと前記第２ロッドを出力側に移動させて前記第２流体室を加圧することにより、前記入力側ハウジングと前記出力側ハウジングを前記シリンダに対して固定する第３ステップと、前記第２空圧室を加圧して、前記エアハイドロ機構を動作させ、前記第１流体室の増幅された流体圧力で前記出力ロッドを前記対象に押圧する第４ステップと、前記第３空圧室を加圧すると共に、前記第１空圧室と第２空圧室を減圧して、前記入力側ハウジングと出力側ハウジングを入力側に移動させて初期状態に復帰させる第５ステップと、を有することを特徴とするシリンダ装置動作方法を提供する。
（１１）請求項１１に記載の発明では、請求項８のプレス装置を動作させてワークをプレスする方法であって、前記第３空圧室を加圧すると共に、前記第１空圧室と前記第２空圧室を減圧することにより、前記入力側ハウジングと出力側ハウジングを入力側に移動させて初期状態にする第１ステップと、ワークを所定位置に設置する第２ステップと、前記第１空圧室を加圧すると共に、前記第３空圧室を減圧することにより、前記出力ロッドが前記ワークに当接して停止するまで前記入力側ハウジングと出力側ハウジングを出力側に移動させる第３ステップと、前記第２空圧室を更に加圧して前記第２ピストンと前記第２ロッドを出力側に移動させて前記第２流体室を加圧することにより、前記入力側ハウジングと前記出力側ハウジングを前記シリンダに対して固定する第４ステップと、前記第２空圧室を加圧して、前記エアハイドロ機構を動作させ、前記第１流体室の流体圧力を増幅する第５ステップと、第５ステップにより増幅された流体圧力により前記出力ロッドに装着した工具がワークを押圧し、ワークをプレスする第６ステップと、前記第３空圧室を加圧すると共に、前記第１空圧室と第２空圧室を減圧して、前記出力ロッドと共に前記出力ロッドに装着した工具をワークから離脱させる第７ステップと、プレスが完了したワークを所定の位置から離脱する第８ステップと、を有することを特徴とするワークのプレス方法を提供する。
（１２）請求項１２に記載の発明では、請求項９のワーククランプ装置を動作させてワークを所定位置にクランプする方法であって、前記第３空圧室を加圧すると共に、前記第１空圧室と前記第２空圧室を減圧することにより、前記入力側ハウジングと出力側ハウジングを入力側に移動させて初期状態にする第１ステップと、ワークを所定位置に設置する第２ステップと、前記第１空圧室を加圧すると共に、前記第３空圧室を減圧することにより、前記出力ロッドが前記ワークに当接して停止するまで前記入力側ハウジングと出力側ハウジングを出力側に移動させる第３ステップと、前記第２空圧室を更に加圧して前記第２ピストンと前記第２ロッドを出力側に移動させて前記第２流体室を加圧することにより、前記入力側ハウジングと前記出力側ハウジングを前記シリンダに対して固定する第４ステップと、前記第２空圧室を加圧して、前記エアハイドロ機構を動作させ、前記第１流体室の流体圧力を増幅する第５ステップと、第５ステップにより増幅された流体圧力により前記出力ロッドがワークを押圧し所定の位置にクランプする第６ステップと、を有することを特徴とするワークのクランプ方法を提供する。
（１３）請求項１３に記載の発明では、前記第２空圧室のエアを、前記第２ピストン部を貫通して、前記第１空圧室に供給する出力用エア通路と、前記出力用エア通路上に配設され、前記固定機構部が前記入力側ハウジングを前記シリンダに固定した状態において、前記出力用エア通路を開状態にする逆止弁と、を備えることを特徴とする請求項２から請求項７のうちのいずれか１の請求項に記載のシリンダ装置を提供する。
（１４）請求項１４に記載の発明では、前記出力側ハウジングの出力側に形成され、エアが供給されることで前記出力側ハウジングを入力側に移動させる第３空圧室と、前記第３空圧室に供給されたエアを、前記第１ピストンの出力側に形成された第４空圧室に供給する第１エア通路と、前記第３空圧室に供給されたエアを、前記第２ピストンの出力側に形成された第５空圧室に供給する第２エア通路と、前記第２エア通路上に配設され、前記第１ピストンの移動に応じて、前記第２エア通路を開閉する開閉弁と、を備え、前記開閉弁は、前記第１ピストンが入力側に移動し、前記第１空圧室内のエアの排出が終了した後に前記第２エア通路を開く、ことを特徴とする請求項１３に記載のシリンダ装置を提供する。

本発明は、エアが供給される第２空圧室により、エアハイドロ機構が配設された出力側ハウジングをシリンダ内で移動させることにより、ストロークの確保と推力の確保を両立させることができる。
また、第２油圧室の内面の一部を構成する一方側の蓋と他方側の蓋との間の距離を距離固定手段で固定しているので、第２油圧室のスラスト方向の膨張を抑制し、ラジアル方向に有効に膨張させることができる。

第１実施形態のシリンダ装置を説明するための図である。 第１実施形態の部品図である。 第１実施形態におけるスペーサーについての説明図である。 第１実施形態の動作状態を表す説明図である。 第１実施形態の他の動作状態を表す説明図である。 第２実施形態のシリンダ装置を説明するための図である。 第２実施形態の動作状態を表す説明図である。 第２実施形態の他の動作状態を表す説明図である。 プレス加工を説明するための図である。 第３実施形態における内部切替弁の部品図である。 第３実施形態の動作状態を表す説明図である。

（１）実施形態の概要
本実施形態（第１実施形態、第２実施形態）によるシリンダ装置１、１ｂでは、推力は小さいがストロークが大きいエアシリンダ部分の特徴と、パスカルの原理を利用して空気圧で入力した推力を出力側に増幅した流体圧力として変換して大きな推力を出力するエアハイドロ機構の特徴と、を１つのシリンダに合わせ持つシリンダ装置（エアハイドロシリンダ）を提供するものである。
このエアハイドロ機構において、増幅した流体圧力として出力する部分に使用する流体は、流動性を持つ気体、液体またはゲル状の物質であれば何でも良いが、入手が容易で非圧縮性流体である作動油などの油が最適である。よって以下の説明では、エアハイドロ機構で推力を増幅する流体室を油圧室、その内部に使用する流体を油として説明する。
シリンダ装置では、シリンダ２内にスラスト方向に移動可能なピストンハウジング６０（６１〜６３）を配置し、このピストンハウジング６０をスラスト方向に大きく移動させる移動機能と、移動後にピストンハウジング６０をシリンダ２に固定（内側からクランプ）する固定機能、エアハイドロ機構により増幅された大きな油圧力を発生させる油圧出力機能の３機能を、空圧室２０（第１空圧室２１と第２空圧室２２）から成る空圧系と、油圧室３０（第１油圧室３１と第２油圧室３２）から成る油圧系により実現している。
すなわち、出力側から順に、第１油圧室３１、第１空圧室２１、第２油圧室３２（以上、ピストンハウジング６０内に配置され、ピストンハウジング６０が各々の一部を構成する）、及び第２空圧室２２を配置し、第２空圧室２２のエア駆動により移動機能を、第２空圧室２２のエア駆動と第２油圧室３２の油圧増加により固定機能を、第１空圧室２１と第１油圧室３１により油圧出力機能を実現する。
ピストンハウジング６０の移動機能、固定機能による動作と、その後の油圧出力機能による動作とを、別々に行うことができるように構成されている。
ここで、エアハイドロ機構は、第１空圧室２１の１面を構成するエアピストン（第１ピストン部＝第１ピストン１１と第１ロッド５０）と、第１油圧室３１の一面を構成する油圧ピストン（第３ピストン部＝第３ピストン１３と出力ロッド７）を組み合わせることで、第１空圧室２１に供給する空気圧を大きな油圧力に増大して出力ロッド７から出力する機構である。

本実施形態の第２油圧室３２は、その一部を構成するピストンハウジング６０の外周面を薄肉形成（薄肉部１５）することにより、第２空圧室２２からの空気圧を第２ピストン部（第２ピストン１２と第２ロッド５８）を介して受けることで油圧が増加し、固定機構部として機能する薄肉部１５が膨張してシリンダ２をクランプする構造となっている。
そして、第２油圧室３２の油圧の増加によって、薄肉部１５が軸方向（スラスト方向）に伸びることを抑制し、径方向（ラジアル方向）に膨張するようにするため、軸方向の伸張抑制手段として、薄肉部１５をその両端側から伸止めボルト３４ｇで固定する。伸止めボルト３４ｇは、薄肉部１５の両端側の厚肉部、又は、薄肉部１５の両端を挟むように配設される蓋３９と蓋３４とを固定することで、距離固定手段として機能している。
また、この伸止めボルト３４ｇによる締め付けにより薄肉部１５が縮むことを防止するために、薄肉部１５の両端側の厚肉部、又は、薄肉部１５の両端の間にスペーサー８０を配設する。

（２）実施形態の詳細
（第１実施形態）
以下、第１実施形態について説明する。
この第１実施形態では、移動機能の動作において、第２空圧室の一部を構成する第２ピストン１２の軸方向の移動により、ピストンハウジング６０（６１〜６３）を軸方向に移動させ、固定機能の動作において、第２ピストン部の動作により、第２油圧室３２にラジアル方向の油圧を発生させることで、薄肉部１５を径方向に膨張させピストンハウジング６０の動きをシリンダ２に固定させる。
一方、油圧出力機能の動作では、第１ピストン１１の移動により第１ロッド５０の先端が第１油圧室３１を押すことで第３ピストン１３から出力ロッド７に増幅した油圧力を発生させる。

図１は第１実施形態におけるシリンダ装置１の構成を表したスラスト方向（中心線の方向）の断面を表したもので、（ａ）は全体を表し、（ｂ）は拡大した一部分を表している。
図２はシリンダ２内に配設される各部品を表したもので、（ａ）は各部品の断面を表し、（ｂ）は第１ハウジング６１の正面図と側面図、及び抜止めリング２９の正面図である。
なお、第１実施形態と同一構造や同一機能の部分については同一の符号を付して適宜その説明を省略する。また、図１（ｂ）では、各部をシールするためのＯリングが表示されているが、その説明は省略する。また、図面を見やすくするため、他の実施形態と同様に、断面を表す表示はせず、図１（ａ）だけエアが存在する領域に斜線を、油が存在する領域にドットを付している。
また、図１、図２では、シリンダ装置１を構成する各部品を表示するために、ピストンハウジング６０の内部（特に第２ハウジング６２内）における断面の位置（角度）を適宜変更して表示している。

図１、２に示すように、本実施形態のシリンダ装置１は、両端面が開放された円筒形状のシリンダ２と、その両開放端側を塞ぐ蓋３、４を備えている。蓋３、４は、それぞれ周方向に配置された複数のボルト３ａ、４ａによりシリンダ２に固定されている。
本実施形態のシリンダ装置１を構成する部品（Ｏリングや摺動補助リング等の特定の部品を除く）の材質は、アルミニウム、ステンレス、鉄などの金属である。
シリンダ装置１の大きさは、一例として、外径が６０ミリ程度、出力ロッド７のストローク長さが５０ミリ程度であるが、これよりも大きくても、あるいは、小さくてもよい。
以下では、第１吸排気口５が形成された一端側（蓋３側）を移動、加圧用のエアが入力される側であるため入力側と呼び、第２吸排気口６が形成された他端側（蓋４側）を油圧が出力される側であるため出力側と呼ぶことにする。
また、シリンダ２内の部品が最も入力側に位置する図１（ａ）に示した状態を初期状態と呼ぶことにする。

シリンダ２内には、第１ハウジング６１、第２ハウジング６２、第３ハウジング６３からなるピストンハウジング６０（図示しない）がシリンダ２内に配設されている。
ピストンハウジング６０は、図１に示すように、入力側から順に、第２ハウジング６２、第１ハウジング６１、第３ハウジング６３の順に配設されている。
第２ハウジング６２には、第２ピストン１２とこの第２ピストン１２に連結された第２ロッド５８が収容され、第１ハウジング６１には、第１ピストン１１とこの第１ピストン１１に連接された第１ロッド５０が収容され、第３ハウジング６３には、第３ピストン１３と第３ピストン１３に連接された出力ロッド７の一部が収容されている。

第２ハウジング６２は、両端側が厚肉部に形成され、その間が薄肉部１５を構成し、薄肉部１５の内側が第２油圧室３２となっている。
第２ハウジング６２の両端の厚肉部には、第２油圧室３２に油を充填するための給油孔が形成され、何れか一方から油を注入した後に給油口栓３８１、給油口栓３８２で密閉されている。
第２ハウジング６２における入力側の端部には、周上に配置された複数のボルト３９ａによって、蓋３９が固定されている。この蓋３９は、ボルト３９ａによって第２ハウジング６２の肉厚部（入力側）に固定されるフランジ部と、第２ハウジング６２の肉厚部（入力側）よりも第２ハウジング６２の内側（中心側）に張り出した張出部を備えている。この張出部の先端側には、後述するスペーサー８０の軸方向の一部が嵌入される、管状の小径凸部３９ｇが形成されている。
蓋３９の張出部には、入力側に円筒形状の凹部３９ｄ（図２（ａ）参照）が形成され、凹部３９ｄの底部には中央に第２ロッド５８用の貫通孔が形成され、この貫通孔の径方向の外側には凹部３９ｄの底部から張出部を貫通する連通孔３９ｃが２箇所形成（図では１箇所だけ表示）されている。この連通孔３９ｃは、後述する第５空圧室６５と第３空圧室４１とを連通する経路（第２エア通路）の一部を構成している。

蓋３９の入力側端部に形成されたフランジ部の外径はシリンダ２の内径よりも小さく形成されることで、シリンダ２の内周壁との間にクリアランスを有している。この蓋３９のフランジ部の外周面には、全周にわたって周溝３９ｂ（図２（ａ）参照）が形成されており、この周溝３９ｂには摺動補助リング２ａが配設されている。
摺動補助リング２ａは、他の摺動補助リング２ｂ、２ｃ、２ｄを含め金属以外の材料（例えば樹脂）で形成され、シリンダ２と蓋３９、第１ハウジング６１、蓋３４との金属接触を回避し、シリンダ２の内周面と第２ハウジング６２との摺動を円滑にするために配設されている。

蓋３９の張出部には、凹部３９ｄの底部から張出部を貫通する貫通孔３９ｆが４箇所形成されている（図２（ａ）参照）。
この貫通孔３９ｆの内周面には、伸止めボルト３４ｇ用と緩み止めボルト３９ｈ用の雌ねじが形成されている。貫通孔３９ｆには、出力側から入力側の方向に伸止めボルト３４ｇが、その反対側から緩み止めボルト３９ｈが螺合される。
伸止めボルト３４ｇは、蓋３４側から挿入されて、その頭部で蓋３４に固定されると共に、先端のネジ部が蓋３９の貫通孔３９ｆに螺合されることで、蓋３４と蓋３９との距離を固定し、これによって第２ハウジング６２の薄肉部１５が軸方向に伸びることを抑止している。
一方、緩み止めボルト３９ｈは、蓋３９の凹部３９ｄ側から、その先端部が伸止めボルト３４ｇの先端部に当接し、伸止めボルト３４ｇを出力方向に付勢するまで、貫通孔３９ｆにねじ込まれる。これにより、第２油圧室３２の加圧による薄肉部１５の膨張と、減圧による収縮が繰り返されて発生する伸縮荷重により伸止めボルト３４ｇに緩みが生じることが回避される。

なお、蓋３９に形成した貫通孔３９ｆと連通孔３９ｃは、図２（ａ）では同一面上に存在するように表示しているが、実際の位置関係は同一平面ではなく、４つの貫通孔３９ｆと２つの連通孔３９ｃは互いに干渉を避けた位置に形成されている。貫通孔３９ｆに螺合される伸止めボルト３４ｇと、連通孔３９ｃに挿通されるカラー２８の位置関係は、図３（ｃ）で後述する通りである。

蓋３９の凹部３９ｄと中央の貫通孔には、第２ロッド５８が挿通及び貫通している。この第２ロッド５８の入力側には、第２ピストン１２が連結ネジ１２ａで固定されている。
第２ロッド５８は、出力側から入力側に向かって順に径が太くなる、小径部、中径部、大径部を備え、小径部と中径部の境界には段部５８ａが形成されている。この第２ロッド５８が蓋３９内を出力方向に移動することで、段部５８ａが第２ハウジング６２内に形成される第２油圧室３２を加圧し、この加圧された油圧によって薄肉部１５がラジアル方向に弾性変形し、ピストンハウジング６０（６１〜６３）がシリンダ２内で固定される。

第２ロッド５８の大径部の出力側端面には径方向に張り出したフランジ部５８ｃが形成されている。
第２ロッド５８のフランジ部５８ｃから先端側を蓋３９の凹部３９ｄ内に通した状態において、抜止めリング２９が入力側から蓋３９にボルト２９ｃで固定されている。抜止めリング２９の内径は、第２ロッド５８の大径部よりも大きく、フランジ部５８ｃの外形よりも小さく形成されているため、第２ロッド５８が抜けないようになっている。
抜止めリング２９は、図２（ｃ）に示すように、２分割されていて、同一周上にボルト３９ａ（蓋３９の固定用）が貫通する貫通孔２９ａと、ボルト２９ｃで抜止めリング２９を蓋３９に固定するためのボルト穴２９ｂが複数形成されている。また２分割された合わせ目は、蓋３９に組付けても密着せず隙間があり、第５空圧室６５内部のエアと連通孔３９ｃ内部のエアは自由に行き来できる構成となっている。

抜止めリング２９を固定した状態において、第２ロッド５８には、第２ピストン１２が連結ネジ１２ａで固定されている。このように、第２ロッド５８と第２ピストン１２とが分割されているのは、ボルト３９ａによる蓋３９の固定と、ボルト２９ｃによる抜止めリング２９の固定を行うためである。
第２ロッド５８の中央には貫通孔が形成されていて、この貫通孔に吸排気ロッド８ａが挿通されている。この吸排気ロッド８ａは、第２ロッド５８の入力側端部で螺合されている。更に、第２ロッド５８の入力側の端部は第２ピストン１２の端面よりも入力側まで突出しており、この突出部において、吸排気ロッド８ａが径方向から固定ネジ１２ｂで固定されている。

本実施形態の蓋３には中央部に貫通孔が形成され、この蓋３の貫通孔と、シール蓋３ｃの貫通孔に吸排気ロッド８ａが挿通されている。シール蓋３ｃは吸排気ロッド８ａにＯリングで挿通した状態で複数のボルト３ｄにより蓋３に固定されている。
吸排気ロッド８ａには、第１空圧室２１にエア（気体）を供給するための吸排気路８ｂが形成されている。
吸排気ロッド８ａの入力側端部は第３吸排気口８に接続されている。

第２ピストン１２は、入力側の端面が蓋３とシリンダ２の内周面とともに第２空圧室２２を形成し、出力側の端面が蓋３９とシリンダ２とともに第５空圧室６５を形成している。

第２ハウジング６２の出力側には、蓋３９と対向して蓋３４の一部（張出部）が挿入されている。この蓋３４は、ボルト３４ａによって第２ハウジング６２の肉厚部（出力側）に固定されるフランジ部と、第２ハウジング６２の肉厚部（出力側）よりも第２ハウジング６２の内側（中心側）に張り出した張出部を備えている。
蓋３４のフランジ部の外径はシリンダ２の内径よりも小さく形成されることで、シリンダ２の内周壁との間にクリアランスを有している。この蓋３４のフランジ部の外周面には、全周にわたって周溝３４ｅ（図２（ａ）参照）が形成されており、この周溝３４ｅには摺動補助リング２ｄが配設されている。

蓋３４の中央には連通孔３４ｄが貫通して形成されている。そして、第２油圧室３２を通る第２ロッド５８の先端（小径部）が、連通孔３４ｄの途中まで挿通されている。
蓋３４の連通孔３４ｄの径方向外側の２箇所には、蓋３４を貫通する連通孔３４ｂが形成されている。この連通孔３４ｂと、蓋３９の連通孔３９ｃとは、第２油圧室３２に配設されるカラー２８の内側によって連通している。

また蓋３４における連通孔３４ｄの径方向外側には、伸止めボルト３４ｇが挿通される貫通孔３４ｆが４箇所形成されている（図２（ａ）参照）。
上述したように、貫通孔３４ｆに挿通された伸止めボルト３４ｇは、その頭部で蓋３４に固定されると共に、先端のネジ部が蓋３９の貫通孔３９ｆに螺合されると共に、蓋３９に螺合された緩み止めボルト３９ｈで出力方向に付勢されている。
この伸止めボルト３４ｇは、第２ハウジング６２の薄肉部１５が内部の第２油圧室３２の圧力により、径方向の膨張だけでなく、軸方向にも伸びてしまうことを抑制するために使用されるが、逆に、締め付けによって薄肉部１５が軸方向に縮んでしまうことを防止するために、蓋３９の張出部と蓋３４の張出部の間にスペーサー８０が配置されている。
すなわち、第２ハウジング６２の両端に配置され、内部に張り出す張出部を有する蓋３９と蓋３４間の距離を一定に保つために、伸止めボルト３４ｇとスペーサー８０が使用され、補助的に緩み止めボルト３９ｈが使用されている。蓋３９と蓋３４間の距離が一定に保たれることで、蓋３９、蓋３４が固定されて第２ハウジング６２の長さが一定に保たれている。

図３はスペーサー８０について表したもので、（ａ）は出力側からみた斜視図、（ｂ）は入力側からみた斜視図、（ｃ）はスペーサー８０と他部品との配置関係を表した説明図である。
図３に示されるように、スペーサー８０には、貫通孔８０ａ、油通路８０ｂ、Ｕ字溝８０ｃ、Ｕ字溝８０ｄが形成されている。油通路８０ｂ、Ｕ字溝８０ｃ、Ｕ字溝８０ｄは、それぞれが干渉を避けた位置に形成されている。
貫通孔８０ａは、スペーサー８０の中央に軸方向に貫通形成されている。この貫通孔８０ａには、図３（ｃ）に示すように、その中央から順に、吸排気路８ｂを有する第３吸排気ロッド８ａ、第２ロッド５８の小径部が貫通し、更に外側に、段部５８ａ（第２ロッド５８）を間隔とする第２油圧室３２をおいて、蓋３９の小径凸部３９ｇが途中（油通路８０ｂの溝底面）まで挿通されている。
油通路８０ｂは、出力側の面に径方向に等間隔に形成された溝である。スペーサー８０は、図１、図２（ａ）に示すように、その貫通孔８０ａに蓋３９の小径凸部３９ｇが、油通路８０ｂの溝底面の位置（若しくは手前位置）まで挿通されている。これにより、第２ロッド５８の段部５８ａが出力方向に移動した場合に、第２ロッド５８の小径部外周面と蓋３９の貫通孔内周面との間に存在する油（第２油圧室３２）が、油通路８０ｂを通ってスペーサー８０の外側に移動し、第２油圧室３２内の圧力が上昇する。

Ｕ字溝８０ｃとＵ字溝８０ｄは、それぞれカラー２８と伸止めボルト３４ｇを配設するための溝で、スペーサー８０の全長にわたって形成されている。それぞれ配設されるカラー２８とボルト３４ｇの数に応じて、Ｕ字溝８０ｃは対向する２箇所に、Ｕ字溝８０ｄは４箇所に形成されている。
このＵ字溝８０ｃ、Ｕ字溝８０ｄを、スペーサー８０の全長に渉る貫通孔ではなく、外周面側が開放されたＵ字溝としたのは次の理由による。すなわち、カラー２８、伸止めボルト３４ｇを配設した後に第２油圧室３２内に油を充填するが、貫通孔だとカラー２８等と貫通孔との間にエアが残留してしまうのに対し、Ｕ字溝８０ｃ、８０ｄとすることで開放された外周面側からエアの残留を無くすことができるためである。

図１、図２に戻り、第２ハウジング６２の出力側には第１ハウジング６１が配設されている。
第１ハウジング６１の入力側の端部には、蓋２７が複数のボルト２７ｅで固定されている。
この蓋２７は、第１ハウジング６１に固定された状態で、第１ハウジング６１の内側からボルト２７ａによって第２ハウジング６２の蓋３４に固定されている。これにより第１ハウジング６１と第２ハウジング６２とが連結されている。
蓋２７には、出力側に凹部２７ｇ（図２（ａ）参照）が形成されている。この凹部２７ｇは、第１空圧室２１の入力側端面として機能する。
蓋２７には、凹部２７ｇの底面を貫通し、蓋３４の連通孔３４ｄと連通する連通孔２７ｂが形成されると共に、凹部２７ｇの底面には連通孔２７ｂと繋がる連通溝２７ｄが径方向に形成されている。
また、蓋２７の外周面には、軸方向の溝２７ｃが全長にわたって形成されている。そして、蓋２７には、溝２７ｃと繋がる位置から径方向内側に延び途中から軸方向入力側に曲がった、断面Ｌ字状のＬ字状連通孔２７ｆが形成されている。Ｌ字状連通孔２７ｆは、蓋２７の入力側端面まで貫通することで、蓋３４の連通孔３４ｂと繋がっている。これにより、蓋２７の外周面に形成した溝２７ｃは、Ｌ字状連通孔２７ｆ、蓋３４の連通溝３４ｃ、カラー２８、蓋３９の連通孔３９ｃと凹部３９ｄ、によって第５空圧室６５からのエア通路（第２エア通路の一部）を形成している。
一方、溝２７ｃは、後述する第１ハウジング６１の外周に形成した連通溝６１ｅと繋がっている。

蓋２７をボルト２７ａで蓋３４に固定した状態で、第１ハウジング６１内には、中央に第１ロッド５０が延設された第１ピストン１１が配設されている。
第１ピストン１１が配設されることで、第１ハウジング６１は第１ピストン１１で仕切られ、入力側に第１空圧室２１が、出力側に第４空圧室６４が形成される。

図２（ｂ）に示すように、第１ハウジング６１には、両端側に周溝６１ａ、６１ｂが全周に渡って形成されている。この周溝６１ａには、上述したように摺動補助リング２ｂ、２ｃが嵌められ、シリンダ２との摺動を円滑にしている。
また、第１ハウジング６１には、全長に渡って軸方向（長手方向）に連通溝６１ｅが形成されている。連通溝６１ｅの入力側端部は、蓋２７の連通溝２７ｃと繋がっている。
周溝６１ａ、６１ｂと連通溝６１ｅとが交叉する箇所には、周溝６１ａ、６１ｂに嵌められた摺動補助リング２ｂ、２ｃによって連通溝６１ｅが塞がれないようにするために、摺動補助リング２ｂ、２ｃの幅よりも広く、厚さよりも深い凹部６１ｃ、６１ｄが形成されている。この連通溝６１ｅとシリンダ２の内周面との間が、第５空圧室６５からのエアの通路となっている。
溝６３ｃ、凹部６１ｄと凹部６１ｃを含む連通溝６１ｅ、連通溝２７ｃ、Ｌ字状連通孔２７ｆ、連通孔３４ｂ、カラー２８、連通孔３９ｃ、凹部３９ｄは、第３空圧室４１に供給されたエアを、第５空圧室６５に供給する第２エア通路として機能する。

図１に戻り、第１ピストン１１が内側に配置された第１ハウジング６１の出力側の端部には、第３ハウジング６３が複数のボルト６３ｅで固定されている。
第３ハウジング６３の出力側には凹部６３ａが形成されている。この凹部６３ａの底面中央には貫通孔６３ｂ（図２（ａ）参照）が形成され、この貫通孔６３ｂには、第１ロッド５０が挿通されている。
第３ハウジング６３の軸方向の途中にはフランジ部が形成され、このフランジ部には外周には溝６３ｃが形成されている。
また、第３ハウジング６３のフランジ部には、溝６３ｃと繋がる位置から径方向に延び途中から軸方向に曲がった、断面Ｌ字状のＬ字状連通孔６３ｄが形成されている。
Ｌ字状連通孔６３ｄは、第３ハウジング６３の入力側端面まで貫通することで、第４空圧室６４と繋がっている。
一方、溝６３ｃは、その入力側が第１ハウジング６１の外周に形成した連通溝６１ｅと繋がり、出力側が第３空圧室４１と繋がっている。また、第３空圧室４１と第４空圧室６４は、連通溝６１ｅやカラー２８等により第５空圧室６５と繋がっている。
溝６３ｃとＬ字状連通孔６３ｄは、第３空圧室４１に供給されたエアを、第１ピストンの出力側に形成された第４空圧室６４に供給する第１エア通路として機能している。

第３ハウジング６３の凹部６３ａには、中央に出力ロッド７が形成された第３ピストン１３が配置されている。
第３ハウジング６３の凹部６３ａは、第３ピストン１３が配置されることで仕切られ、入力側に第１油圧室３１が形成される。
第３ピストン１３には、第１油圧室３１に油を充填するための給油孔が形成され、油を注入した後に給油口栓３８で密閉されている。
なお、第１油圧室３１と出力ロッド７の中央には、軸方向に貫通していない空洞部７ａが形成されている。この空洞部７ａも第１油圧室３１を構成し、空洞部７ａの内部も油が充填されている。
空洞部７ａは、その内径が第１ロッド５０の径よりも大きく形成されることで、第１ロッド５０が出入するようになっている。

第３ハウジング６３の出力側端部には、抜止めリング３７ａが複数のボルト３７ｂで固定されている。抜止めリング３７ａの固定は、凹部６３ａに第３ピストン１３が配置され、油が充填され給油口栓３８がされた状態で行われる。
第３ピストン１３と抜止めリング３７ａのそれぞれ対向する面には、凹部１３ｂ、凹部３７ｃが形成され、第３ピストン１３を入力側に付勢するコイルバネ３６が配置されている。

第２ハウジング６２は、蓋３９、蓋３４と共に入力側ハウジングを構成し、第１ハウジング６１と第３ハウジング６３は、蓋２７、抜止めリング３７ａと共に出力側ハウジングを構成している。
また、蓋３４と蓋２７とがボルト２７ａで固定されることにより、入力側ハウジングが出力側ハウジングの入力側（一端側）に固定されている。

次に、第１実施形態のシリンダ装置１による２種類の動作について説明する。
（第１動作）
図４は、シリンダ装置１による第１動作の各状態を表したものである。
この第１動作では、出力ロッド７の先端がワーク１００に当接することでピストンハウジング６０（６１、６２、６３）のシリンダ２への固定を行い、その後に任意のタイミングで出力ロッド７の先端から増幅された油圧力を出力する。

最初に、シリンダ装置１を初期状態にする動作について、図１を参照して説明する。
シリンダ装置１の初期状態とは、シリンダ２内のピストンハウジング６０と第２ピストン１２を入力側に移動した状態で、図１に示した状態が該当する。
初期状態にするには、第１吸排気口５と第３吸排気口８を開放した状態で、第２吸排気口６から所定圧力でエアを供給する。
第３空圧室４１に供給されたエアは、第３空圧室４１を形成するピストンハウジング６０の出力側端面を押圧し、ピストンハウジング６０全体が入力方向に移動を開始する。
同時に、第３空圧室４１に供給されたエアは、第２エア通路として機能する、溝６３ｃ、凹部６１ｄと凹部６１ｃを含む連通溝６１ｅ、連通溝２７ｃ、Ｌ字状連通孔２７ｆ、連通孔３４ｂ、カラー２８、連通孔３９ｃ、凹部３９ｄを通り、第５空圧室６５に到達する。第５空圧室６５に供給されたエアは、第２ピストン１２の出力側端面を押圧し入力側に移動する。この時、第１吸排気口５を開放しているので、第２ピストン１２と第２ロッド５８は、第２空圧室２２による出力方向の空圧を受けないため、容易に入力方向に移動できる。
そして、第２ピストン１２と第２ロッド５８が入力側に移動し、フランジ部５８ｃが抜止めリング２９と係合する。フランジ部５８ｃが抜止めリング２９に係合した以降のピストンハウジング６０は、抜止めリング２９を介してフランジ部５８ｃにより入力側に引かれると共に、その出力側端面が第３空圧室４１のエアで入力側に押圧されることで、第２ピストン１２が蓋３に当接するまで移動する。
この第２ピストン１２の入力側への動きに伴い、第２空圧室２２内のエアは、第１吸排気口５から排出される。

また、第２吸排気口６から供給されたエアは第３空圧室４１から溝６３ｃ、Ｌ字状連通孔６３ｄを通り第４空圧室６４内の圧力も上昇する。第４空圧室６４からの圧力により第１ピストン１１は、蓋２７に当接するまで入力側に移動する。この際、第１空圧室２１内に存在するエアは、第１ピストン１１に押され、連通溝２７ｄ、連通孔２７ｂ、連通孔３４ｄ、吸排気路８ｂを通り第３吸排気口８から放出される。
なお、出力ロッド７と第３ピストン１３は、第３空圧室４１の圧力上昇とコイルバネ３６により入力側に付勢され入力側に移動する。それと同時に、第１ピストン１１が入力側に移動するのに伴い、第１油圧室３１内部における凹部６３ａ部分の油が、出力ロッド７の空洞部７ａへ流入することにより、凹部６３ａにおける第１油圧室３１の空間が減少し、第３ピストン１３が入力側に移動する。第３ピストン１３は、第３ハウジング６３の凹部６３ａの底面に当接するまで移動する。
以上の動きによりシリンダ装置１は、図１に示した初期状態となる。

この初期状態において、図４（ａ）に示すように、第３吸排気口８と第２吸排気口６を開放すると共に、第１吸排気口５からエアを供給する。
すると、第２空圧室２２の圧力が上昇し、第２ピストン１２を出力側に押し、第２ピストン１２は第２ロッド５８の段部５８ａで第２油圧室３２を押圧する。この時出力側への押圧力の反力がピストンハウジング６０全体に働いていないので、第２油圧室３２の油が狭窄されることが無く、薄肉部１５は弾性変形を生じない。そのため第２ロッド５８の段部５８ａが第２油圧室３２を押圧することにより、ピストンハウジング６０全体が出力側に移動する。
なお、第３吸排気口８が開放されているため、第１空圧室２１の空圧は上昇しないので、第１ピストン１１と第１ロッド５０は、ピストンハウジング６０を基準として出力方向に移動せず、蓋２７に当接したままである。また第１ロッド５０が出力方向に移動しないので、第１油圧室３１内の油圧も上昇せず、第３ピストン１３も第３ハウジング６３に当接したままである。
そして、図４（ａ）に示すように、第２ピストン１２とピストンハウジング６０の移動と共に、出力ロッド７も出力方向に移動し、出力ロッド７の先端部がワーク１００に当接する。

出力ロッド７がワーク１００に当接すると、第３ピストン１３が第３ハウジング６３と当接しているので、ピストンハウジング６０全体の移動が停止する。
この状態で、図４（ｂ）に示すように、更に第１吸排気口５からエアを供給する。すると、ピストンハウジング６０が移動停止しているため、第２空圧室２２内の圧力が更に上昇し、第２ピストン１２と第２ロッド５８が出力方向に移動する。
なお、第２ピストン１２の移動により第５空圧室６５の容積が小さくなるが、第５空圧室６５内のエアは、第３空圧室４１に移動し、第２吸排気口６から排出される。具体的な経路としては、図１に示すように、第５空圧室６５から、凹部３９ｄ、連通孔３９ｃ、カラー２８、連通孔３４ｂ、Ｌ字状連通孔２７ｆ、連通溝２７ｃ、連通溝６１ｅ、溝６３ｃ、第３空圧室４１を通り、第２吸排気口６から排出される経路である。

第２ロッド５８の移動により、第２油圧室３２は段部５８ａで押圧され、内部圧力が上昇する。この油圧により、図４（ｂ）において径方向の矢印で示すように、第２ハウジング６２の薄肉部１５が外向きに弾性変形しシリンダ２に固定される。これにより、ピストンハウジング６０は、移動が停止しているだけの状態から、薄肉部１５でシリンダ２に固定された状態となる。
なお、第２ハウジング６２の薄肉部１５は、その両端の蓋３９と蓋３４とが伸止めボルト３４ｇで止められているため、第２油圧室３２の内部圧力の上昇によっては長手方向に伸びずに、径方向に膨張するように弾性変形する。

なお、第２ハウジング６２が薄肉部１５で固定されない状態では、ピストンハウジング６０は移動できずに停止しているだけの、非固定状態（図４（ａ）の状態）である。
この非固定状態で、第１吸排気口５からのエア供給を停止し、第３吸排気口８からエアの供給をすると、ピストンハウジング６０全体が逆方向（入力方向）に移動してしまう。すなわち、第１空圧室２１の圧力で第１ピストン１１と第１ロッド５０が移動して第１油圧室３１内の油圧が上昇するが、出力ロッド７はワーク１００で固定されているため、ワーク１００からの反力によりピストンハウジング６０全体が逆方向（入力方向）に移動してしまう。
そこで、ピストンハウジング６０が薄肉部１５の弾性変形により固定されたか否かについては、シリンダ２の外周部にひずみゲージ（図示しない）を配設し、薄肉部１５によるシリンダ２への押圧力により生じるシリンダ２の変形ひずみを検知し、所定のひずみ量を検知することでピストンハウジング６０の固定を判断する。あるいは第２油圧室３２内の圧力を検出する圧力センサ（図示しない）を配置し、この圧力が所定値（薄肉部１５が弾性変形する値）を超えたか否かにより判断してもよい。なお、圧力センサによる検出対象を第２空圧室２２としてもよい。また、圧力センサに変えて、出力ロッド７の移動を検出するセンサや吸排気ロッド８ａの移動を検出するセンサを設け、移動が停止してから所定時間（第２油圧室の圧力が上昇し薄肉部１５が弾性変形するまでの時間）経過により、固定されたと判断するようにしてもよい。

薄肉部１５の弾性変形によりピストンハウジング６０がシリンダ２に固定された図４（ｂ）の状態では、出力ロッド７はワーク１００に当接しているだけで、出力ロッド７の先端からは増幅された推力は出力されない。
そこで、所望のタイミングにおいて、図４（ｃ）に示すように、第３吸排気口８からエアを供給すると、供給されたエアは、吸排気路８ｂ、連通孔３４ｄ、連通孔２７ｂを通り第１空圧室２１の圧力を上昇させる。
そして第１ピストン１１が第１空圧室２１の圧力を受け、太矢印で示すように、第１ロッド５０の先端が、第１油圧室３１を押圧し、増幅された油圧力を第３ピストン１３が受ける。この増幅された油圧力を第３ピストン１３が受けることにより推力が増大され、大きな推力が出力ロッド７からワーク１００に出力される。
このとき出力ロッド７の大きな推力によりワークが変形もしくは移動する場合は、それに伴い出力ロッド７に油圧力によるストロークが生じる。すなわちワークが変形もしくは移動を行っている間のみ、出力ロッド７が増幅された油圧力で出力方向に移動し、ワークの停止と共に移動を停止する。
出力ロッド７の移動については、第１ピストン１１が第１空圧室２１の圧力を受け、出力側に移動して、第１ロッド５０が第１油圧室３１を押圧することによって生じるが、詳細の動作については後述する図５（ｂ）〜（ｃ）の動作と同じである。

（第２動作）
次に、図１に示した初期状態からの、第２動作について説明する。
図５は、シリンダ装置１による第２動作の各状態を表したものである。
この第２動作では、出力ロッド７の先端がワーク１００に当接する前に、ピストンハウジング６０の出力側端部（抜止めリング３７ａ）が蓋４に当接することでピストンハウジング６０の移動が停止し、その後に任意のタイミングで出力ロッド７の先端から増幅された油圧力を出力する。

初期状態において、図５（ａ）に示すように、第３吸排気口８と第２吸排気口６を開放すると共に、第１吸排気口５からエアを供給する。
第１吸排気口５からのエアの供給により、図４（ａ）で説明したのと同様に、第２ピストン１２とピストンハウジング６０（６１、６２、６３）が出力方向に移動する。
そして、第１動作と異なり、この第２動作では、出力ロッド７の先端がワーク１００と当接してピストンハウジング６０が移動停止する前に、ピストンハウジング６０の最も出力側に位置する抜止めリング３７ａが蓋４に当接することでピストンハウジング６０全体の移動が停止する。

この状態で、図５（ｂ）に示すように、更に第１吸排気口５からエアを供給する。すると、図４（ｂ）を参照して説明した第１動作と同様に、第２空圧室２２内の圧力上昇により第２ピストン１２と第２ロッド５８が出力方向に移動し、第２油圧室３２の油圧を上昇させる。これにより薄肉部１５が径方向に弾性変形してピストンハウジング６０全体がシリンダ２に固定される。

薄肉部１５の弾性変形によりピストンハウジング６０がシリンダ２に固定された図５（ｂ）の状態から、図５（ｃ）に示すように、所望のタイミングで第３吸排気口８からエアを供給する。すると、供給されたエアが、吸排気路８ｂ、連通孔３４ｄ、連通孔２７ｂを通り第１空圧室２１の圧力を上昇させる。この上昇した圧力を第１ピストン１１が受けることで、第１ロッド５０の先端が第１油圧室３１を押圧する。
第３吸排気口８からのエア供給による、ここまでの動作は第１動作と同様である。

しかし、第２動作では、図５（ｂ）に示すように、出力ロッド７の先端には何も当接していないため、第３ピストン１３と出力ロッド７は出力方向に移動可能である。
このため、第１ピストン１１と第１ロッド５０は、第１ロッド５０の先端が第１油圧室３１を押圧しながら出力方向に移動し、出力ロッド７の空洞部７ａに入り込む。
これにより、空洞部７ａ内の油は、第１ロッド５０の外周面と出力ロッド７の内周面との間を通って第１油圧室３１の凹部６３ａ側に移動する。この第１油圧室３１内の油の移動により第３ピストン１３は、第１ロッド５０の第１油圧室３１内部への挿入ストローク量に応じた距離（油圧ストローク分）まで出力方向に移動する。
この状態で、第１ロッド５０の先端が第１油圧室３１を押圧することで油圧が上昇し、この上昇した油圧を、第３ピストン１３が受けることで、出力ロッド７の先端から大きな推力が出力される。
図５（ｂ）では出力ロッド７の先端がワークに当接していない状態を示したが、図４のようにワークに当接する場合でも、出力ロッド７の増幅された推力によりワークが変形もしくは移動する場合では図５（ｃ）のように第１ロッド５０が動作するので出力ロッド７に油圧ストロークを発生させる。
なお、第１ロッド５０が空洞部７ａ内を移動して出力ロッド７から推力が出力されるまでの、出力ロッド７の移動量（油圧ストローク）をＬｈとしたとき、第１ロッド５０の第１油圧室３１内部への挿入ストローク量（＝第１ピストン１１の移動量）をＬａ、第１ロッド５０の第１油圧室３１における出力側断面積をＳａ、第１油圧室３１における第３ピストン１３および出力ロッド７の入力側断面積をＳｈとすると、次の式の関係が成り立つ。
Ｌｈ＝Ｌａ×（Ｓａ／Ｓｈ）

以上説明したように、第１実施形態によれば、第２油圧室３２の油圧を上昇させてピストンハウジング６０をシリンダ２に固定するための第１吸排気口５とは別に、出力ロッド７の先端から推力を発生させるための第３吸排気口８を設けている。
これにより、ピストンハウジング６０の固定動作と、出力ロッド７からの推力発生動作を独立させることができる。
また、第１実施形態によれば、出力ロッド７がワーク１００に当接した状態でも、当接していない状態（抜止めリング３７ａが蓋４に当接した状態）でも、出力ロッド７先端から第１油圧室３１の油圧により増幅された推力を出力することができる。

（第２実施形態）
次に第２実施形態のシリンダ装置１ｂについて説明する。
第１実施形態では第１吸排気口５用の切替弁と、第３吸排気口８用の切替弁の２つがシリンダ２の外部に必要であったが、この第２実施形態によれば、切替弁として機能する逆止弁５４をシリンダ２の内部に配設することで、第３吸排気口８が不要になる。すなわち、外部の切替弁としては第１吸排気口５用の１つでよい。
これにより第２実施形態では、増幅した油圧力でピストンハウジング６０をシリンダ２に固定する固定動作（クランプ動作）と、エアハイドロ機構により出力ロッド７の先端に増幅された油圧力を発生させる油圧出力動作とを、逆止弁（ボールチェック弁）５４を用いて、自動的に連続して行うことができる。

図６は、第２実施形態におけるシリンダ装置１ｂの一部を表した断面図（ａ）と、その部品を表した断面図（ｂ）である。
この図６では、第２実施形態に特徴的な逆止弁５４周辺について表し、他の部分は、伸止めボルト３４ｇ、緩み止めボルト３９ｈ、スペーサー８０を含め、図１、２で表した第１実施形態のシリンダ装置１と同じである。
図６に示すように、シリンダ装置１ｂは、第１ハウジング６１の入力側端部に固定される蓋２７と、第２ハウジング６２の出力側端部に固定される蓋３４との間に逆止弁５４が配設されている。
この逆止弁５４は、連通ロッド８ｄの先端に取り付けられる開閉ロッド５４ａ、ストップリング５４ｂ、球体５４ｃ、円筒部材５４ｄ、コイルバネ５４ｅを備えている。
蓋２７には、逆止弁５４が収容される凹部２７ｇが形成されている。この凹部２７ｇ内には、球体５４ｃ、円筒部材５４ｄ、コイルバネ５４ｅが収容された状態で、ストップリング５４ｂが蓋２７に螺合されている。
コイルバネ５４ｅは、凹部２７ｇの底部と円筒部材５４ｄの底部との間に配置され、逆止弁５４を介して球体５４ｃを入力方向に付勢することで、球体５４ｃによりストップリング５４ｂに形成された通気穴５４ｆを閉じている。

第１実施形態における吸排気ロッド８ａは、入力側が蓋３を貫通し端部が第３吸排気口８に接続され、連通路８ｅが軸方向に貫通していた（図１参照）。
これに対して吸排気ロッド８ａに対応する本実施形態の連通ロッド８ｄは、図６に示すように、入力側の端部が、第２ロッド５８の入力側の端面まで形成され、連通路８ｅは第２空圧室２２と連通している。
一方、連通ロッド８ｄの出力側の端部は軸方向に貫通しておらず、先端面よりも少し手前で径方向に貫通形性された連通路８ｆと繋がっている。
この連通ロッド８ｄは、第１実施形態と同様に、第２ロッド５８に形成された貫通孔内に挿通され、入力側の端部で螺合するとともに固定ネジ１２ｂで径方向から固定されている。
第２ロッド５８に形成された貫通孔は、第１実施形態と異なり、先端側（出力側の小径部）の内径が連通ロッド８ｄの出力側の外径よりも大きく形成されている。
これにより第２空圧室２２のエアは、連通路８ｅから連通路８ｆを通り、さらに連通ロッド８ｄ外周と第２ロッド５８の貫通孔との間を通り、連通孔３４ｄに供給される。
連通ロッド８ｄの先端には、中心軸に沿って凹部が形成され、ここに逆止弁５４の開閉ロッド５４ａが圧入されている。
この連通ロッド８ｄは、逆止弁５４、連通孔２７ｂ、連通溝２７ｄと共に、第２空圧室２２と第１空圧室２１とを連通する連通手段として機能している。

第２ロッド５８の大径部には、中径部の外周に沿った凹部５８ｂが形成されている。第２ロッド５８の中径部は、コイルバネ３３に挿通され、コイルバネ３３の一端側が凹部５８ｂに配置され、他端側が蓋３９に形成した凹部３９ｄの底面に当接している。
第２ロッド５８の大径部の出力側端面には径方向に張り出したフランジ部５８ｃが形成されている。
第２ロッド５８は、コイルバネ３３を挿通した第２ロッド５８の小径部と中径部を蓋３９に通した状態において、抜止めリング２９が入力側から蓋３９にボルト２９ｃで固定されている。
コイルバネ３３は、第２ロッド５８とピストンハウジング６０（６１、６２、６３）全体とを互いに離れる方向に付勢する。すなわち、コイルバネ３３は、ピストンハウジング６０に対して第２ロッド５８を入力側に付勢し、第２ロッド５８に対してピストンハウジング６０を出力側に付勢している。
このため、コイルバネ３３は、シリンダ装置１ｂを初期状態にする場合には、第２吸排気口６から供給される所定圧力のエアに加えて、コイルバネ３３の付勢力によって、フランジ部５８ｃが抜け止め抜止めリング２９と当接するまで戻りやすくしている。一方、後述する動作において、コイルバネ３３はピストンハウジング６０全体を出力方向に押すことを補助している。
なお、この第２ロッド５８の大径部に設ける凹部５８ｂとコイルバネ３３については、第１実施形態にも設けることが可能である。

次に、第２実施形態のシリンダ装置１ｂによる第１動作と第２動作について説明する。
（第１動作）
図７は、シリンダ装置１ｂによる第１動作の各状態を表したものである。
この第１動作では、出力ロッド７の先端がワーク１００に当接することでピストンハウジング６０の固定する動作に連続して、逆止弁（ボールチェック弁）５４が自動的に作動して、出力ロッド７の先端から増幅された油圧力を出力する。

シリンダ装置１ｂを初期状態にする場合、第１吸排気口５を開放した状態で、第２吸排気口６から所定圧力でエアを供給する。これによりシリンダ２内の各部が入力側に移動するが、この動きはコイルバネ３３による付勢力で第２ロッド５８が戻り易くなっている点を除いて、第１実施形態と同様である。
なお、図６は初期状態ではなく出力側に移動した状態を表している。

初期状態において、図７（ａ）に示すように、第２吸排気口６を開放すると共に、第１吸排気口５からエアを供給する。
すると、第２空圧室２２の圧力が上昇し、第２ピストン１２を出力側に押し、第２ピストン１２は第２ロッド５８の段部５８ａで第２油圧室３２を押圧する。ここで、出力側への移動の押圧力の反力がピストンハウジング６０全体に働いていないので、第２油圧室３２の油が狭窄されることが無く、薄肉部１５は弾性変形を生じない。そのため第２ロッド５８が第２油圧室３２を押圧することにより、ピストンハウジング６０全体が出力側に移動する。コイルバネ３３はピストンハウジング６０全体を出力方向に押すことを補助している。これらの動作は、図４（ａ）の説明と同じ動作で、出力ロッド７が出力方向に移動して先端部がワーク１００に当接する。
なお、第２空圧室２２で上昇した圧力により、連通路８ｅ、８ｆを通り、連通孔３４ｄの圧力も上昇するが、この空圧により球体５４ｃに生じる入力側への移動力よりもコイルバネ５４ｅ（図６参照）の付勢力の方が大きいため、逆止弁５４は封止され状態のままである。

出力ロッド７がワーク１００に当接すると、第３ピストン１３が第３ハウジング６３と当接しているので、ピストンハウジング６０全体の移動が停止する。
この状態で、図７（ｂ）に示すように、更に第１吸排気口５からエアを供給すると、第２空圧室２２内の圧力がコイルバネ３３の付勢力を越え、第２ピストン１２と第２ロッド５８が出力方向に移動する。
これにより第２油圧室３２は、段部５８ａで押圧されて内部圧力が上昇し、薄肉部１５が外向きに弾性変形してピストンハウジング６０全体が、移動が停止状態から、シリンダ２に固定された状態となる。

図７（ｃ）は、薄肉部１５の弾性変形によりピストンハウジング６０がシリンダ２に固定された状態で、同時に第２ロッド５８の先端に固定された開閉ロッド５４ａが球体５４ｃを押して逆止弁５４を開いた状態を示している。
この状態になると、第１吸排気口５から供給されているエアが、第２空圧室２２から連通路８ｅ、連通孔３４ｄ、通気穴５４ｆ、凹部２７ｇ、連通孔２７ｂ、連通溝２７ｄ（図６参照）を通り、第１空圧室２１の圧力を上昇させる。
そして第１ピストン１１が第１空圧室２１の圧力を受け、第１ロッド５０の先端が、第１油圧室３１を押圧し、増幅された油圧力を第３ピストン１３が受ける。この増幅された油圧力を第３ピストン１３が受けて、大きな推力が出力ロッド７からワーク１００に出力される。

このとき、第２ハウジング６２の固定（図７（ｂ）の状態）と、開閉ロッド５４ａが球体５４ｃを押して逆止弁５４を開く（図７（ｃ）の状態）がほぼ同時であればどちらが早くても構わない。第２ハウジング６２の固定の方が早い場合は、その後、第２空圧室２２の加圧により第２ピストン１２や第２ロッド５８は、組付けられたシール部材に弾性変形が生じて、これにより第２ロッド５８がさらに出力側に移動して逆止弁５４を開く。
逆止弁５４を開く方が僅かに早い場合は、その僅かな時間分だけ第１空圧室２１に先にエアが供給され、第１油圧室３１が加圧され油圧力が発生し、出力ロッド７はワーク１００に当接しているため動かないが、その反力として第３ハウジング６３が入力側に僅かに移動するが、第１ピストン１１の移動距離が僅かであり、かつ出力ロッド７の移動量Ｌｈは先に説明したように、Ｌｈ＝Ｌａ×（Ｓａ／Ｓｈ）しか動かないので全体のストロークに大きな影響を与えない。但し、第２油圧室３２が固定されていない間は、出力ロッド７に大きな油圧力を発生することができない。
また出力ロッド７に大きな推力が発生後、それによりワークが変形もしくは移動する場合は、それに伴い出力ロッド７に油圧力によるストロークが生じる。すなわちワークが変形もしくは移動を行っている間のみ、出力ロッド７が増幅された油圧力で出力方向に移動し、ワークの停止と共に移動を停止する。この場合の出力ロッド７の動作については、第１実施形態と同様である。

第２実施形態のシリンダ装置１ｂにおいても、薄肉部１５で固定されない状態（図７（ａ）の状態）では、ピストンハウジング６０は移動できずに停止しているだけの状態である。
そこで、第１実施形態と同様に、ピストンハウジング６０が薄肉部１５の弾性変形により固定されたか否かについては、シリンダ２の外周部にひずみゲージ（図示しない）を配設し、薄肉部１５によるシリンダ２への押圧力により生じるシリンダ２の変形ひずみを検知し、所定のひずみ量を検知することでピストンハウジング６０の固定を判断する。あるいは第２油圧室３２内の圧力を検出する圧力センサ（図示しない）を配置し、この圧力が所定値（薄肉部１５が弾性変形する値）を超えたか否かにより判断してもよい。なお、圧力センサによる検出対象を第２空圧室２２としてもよい。また、圧力センサに変えて、出力ロッド７の移動を検出するセンサを設け、移動が停止してから所定時間（第２油圧室の圧力が上昇し薄肉部１５が弾性変形するまでの時間）経過により、固定されたと判断するようにしてもよい。

（第２動作）
次に、初期状態からの第２動作について説明する。
図８は、シリンダ装置１ｂによる第２動作の各状態を表したものである。
この第２動作では、出力ロッド７の先端がワーク１００に当接する前に、ピストンハウジング６０の出力側端部（抜止めリング３７ａ）が蓋４に当接することでピストンハウジング６０の固定をする。この固定動作に連続して、逆止弁５４が自動的に作動して、出力ロッド７の先端から増幅された油圧力を出力する。

この第２実施形態における第２動作では、シリンダ２内の各部は、初期状態から、図８（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の状態に順次動作する。
そして、図８（ａ）〜（ｃ）の各状態における、逆止弁５４を除いた、第２ピストン１２と第２ロッド５８、ピストンハウジング６０（６１、６２、６３）、第１ピストン１１と第１ロッド５０、及び、第３ピストン１３と出力ロッド７の動作は、第１実施形態において図５（ａ）〜（ｃ）で説明した第２動作と同じである。

一方、逆止弁５４の動作と、逆止弁５４が開くタイミングや、第１空圧室２１のエアが第１空圧室２１を加圧する動作は、図７で説明した逆止弁５４の動作と同じである。
但し、第２ハウジング６２の固定と逆止弁５４が開くタイミングは、僅かに逆止弁５４が早く開くように連通ロッド８ｄを調整し、開閉ロッド５４ａの位置を最適にセットしてある。
また第１空圧室２１が加圧された状態で第１ピストン１１と第１ロッド５０が空洞部７ａ内を進行方向に移動し、出力ロッド７の先端から推力が出力される動作については、図５（ｃ）で説明した動作と同じである。

なお、この第２動作では、図８（ｃ）に示すように、第１ピストン１１が第１ハウジング６１内を出力方向に大きく移動しているため、初期状態に戻す動作については、第１動作の場合と異なり、次の通りである。
図８（ｃ）の状態から初期状態に戻す場合、第１吸排気口５を開放した後に、第２吸排気口６から所定圧力でエアを供給する。この第２吸排気口６から供給されたエアは、第３空圧室４１と、第４空圧室６４および第５空圧室６５に供給される。
第４空圧室６４にエアが供給されると第１ピストン１１が蓋２７に当接するまで移動する。このとき第１空圧室２１のエアは逆止弁５４を通り、連通路８ｅを通って第１吸排気口５から排出される。
同時に第５空圧室６５にもエアが供給されるので第２ピストン１２と第２ロッド５８も入力方向に移動を開始するが、第１ピストン１１の方が第２ピストン１２よりも予め摺動抵抗が小さく設定されており、第２ピストン１２が移動して逆止弁５４が閉じる前に第１ピストン１１の動作が完了する。
摺動抵抗の違いは、潤滑油の有無や材質の違い、使用するパッキンの材質の違いや締め代を調整することにより行う。
一方、第１吸排気口５の開放により、第２ピストン１２と第２ロッド５８は、逆止弁５４を通ってエアが第２空圧室２２に流入しても出力方向の空圧を受けない。このため、第５空圧室６５に供給されたエアによる加圧とコイルバネ３３の付勢力とにより、第２ピストン１２と第２ロッド５８は入力方向に移動を開始する。これにより第２ハウジング６２の薄肉部１５による固定が解放される。

第３空圧室４１と第４空圧室６４は第２吸排気口６からのエア供給により加圧され、第１ハウジング６１を入力側に移動させるように力が働いているので、第２ハウジング６２の固定が解放されると同時に、ピストンハウジング６０（６１〜６３）全体が入力側へ移動する。
ピストンハウジング６０全体の入力側への移動は、第２ハウジング６２の固定が解放されればよいので、フランジ部５８ｃが抜止めリング２９に当接する前に開始する。
このとき逆止弁５４は、第１ピストン１１が動作完了後に閉じるように開閉ロッド５４ａがセットされており、閉じるのは第２ハウジング６２の固定が解除される前でも後でもよい。
第２ピストン１２は、第５空圧室６５にエアが供給されることにより、フランジ部５８ｃが抜止めリング２９に当接するまで出力側に移動し、さらに第２ピストン１２が蓋３に当接して、ピストンハウジング６０全体が停止する。

第１ピストン１１が蓋２７に当接して入力側への移動が完了し、ピストンハウジング６０全体が停止状態となったら、第２吸排気口６を開放する。これにより初期状態となる。
第１ピストンの移動の完了は、第３吸排気口８からのエアの排気流量や出力ロッド７の位置で把握することができる。

なお図７で説明した第１動作では、第１ハウジング６１内における第１ピストン１１の移動は僅かであるため、逆止弁５４が閉じる前に第１ピストン１１は入力側への移動を容易に完了する。このため、予め第１ピストン１１と第２ピストン１２の摺動抵抗を調整しておかなくても第１吸排気口５を開放し、第２吸排気口６からエアを供給することで初期状態に戻る。

以上説明したように、第２実施形態によれば、第２油圧室３２の油圧を上昇させてピストンハウジング６０をシリンダ２に固定するための第１吸排気口５を設け、この固定動作に連続して逆止弁５４が開くようにしている。
第１吸排気口５からのエア供給だけで、ピストンハウジング６０のシリンダ２への固定に連続して、出力ロッド７の先端から増幅した推力を出力することができる。

次に、シリンダ装置１（１ｂ）を用いたプレス加工について図９を参照して説明する。
図９（ａ）は、シリンダ装置１を用いてプレス加工（抜き加工）を行う例を説明するための図である。
なお、シリンダ装置１ｂも同様であるため、シリンダ装置１を例に説明する。
図示しないプレス装置は、出力方向を下方にしてシリンダ装置１を固定している。
出力ロッド７の先端には、抜き型用の工具であるパンチ７１が出力ロッド７と同軸に固定されており、その下方には、下から設置台７３、ワーク１００、治具７２の順で設置されている。これらは、ワーク設置手段として機能している。

パンチ７１は、円柱形状を有しており、金属板で構成されたワーク１００に円形の孔を明ける金型である。
治具７２は、パンチの際に、ワーク１００を設置台７３に押圧してワーク１００を固定する部材であって、パンチ７１を通過させる貫通孔が形成されている。
設置台７３にも、パンチする際にパンチ７１を逃がす貫通孔が形成されている。

以上の構成において、シリンダ装置１は、次の順でプレス加工を行う。
（１）まず、第１吸排気口５と第３吸排気口８を開放して第２吸排気口６にエアを供給することにより、シリンダ装置１を初期状態とし、これによってパンチ７１を後退させて、設置台７３の上にワーク１００と治具７２を所定位置に設置する。
（２）次に、治具７２でワーク１００を設置台７３に押圧して固定する。そして、第２吸排気口６と第３吸排気口８を開放して第１吸排気口５からエアを供給する。
すると、エアによる駆動で、図４（ａ）で説明した第１動作により、出力ロッド７が出力方向に前進し、パンチ７１の先端がワーク１００に当接する。

（３）パンチ７１の先端が当接すると、第１吸排気口５からのエア供給によって、図４（ｂ）で説明したように、第２油圧室３２内の圧力が高まり、薄肉部１５が径方向に弾性変形することで、ピストンハウジング６０全体がシリンダ２に固定される。ピストンハウジング６０の固定をひずみゲージ等で検出したら、第２吸排気口６の開放と第１吸排気口５からのエア供給を継続しながら、第３吸排気口８からエアを供給する。第３吸排気口８からのエアにより、図４（ｃ）で説明したように、第１空圧室２１が加圧され、これにより第１ピストン１１の第１ロッド５０先端が第１油圧室３１の油圧力を増幅し、この増幅された油圧力で出力ロッド７が駆動される。これにより、強い力でパンチ７１がワーク１００に押しつけられて、ワーク１００が穿孔される。このようにプレス装置は、プレス手段を備えている。
（４）ワーク１００に孔が空けられると、第１吸排気口５と第３吸排気口８を開放して第２吸排気口６からエアを供給し、エア駆動によりパンチ７１を引き上げ、次いでワーク１００を所定位置から離脱する。このようにプレス装置は、離脱手段を備えている。

図９（ｂ）は、シリンダ装置１を用いたプレス加工でワーク１００に凹部を形成する例を説明するための図である。
オス金型７４は、円柱形状を有するオス型の金型であって、先端に凹部を形成するための突起部が形成されており、出力ロッド７に同軸に取り付けられている。
メス金型７５は、メス型の金型であって、オス金型７４の突起部を受ける凹部が形成されている。

以上の構成において、シリンダ装置１は、次の順でプレス加工を行う。
（１）まず、第１吸排気口５と第３吸排気口８を開放して第２吸排気口６にエアを供給することにより、シリンダ装置１を初期状態とし、これによってオス金型７４を後退させて、メス金型７５の上にワーク１００と治具７２を設置する。
（２）次に、治具７２でワーク１００をメス金型７５に押圧して固定する。そして、第２吸排気口６と第３吸排気口８を開放して第１吸排気口５からエアを供給する。すると、エアによる駆動で出力ロッド７が出力方向に前進し、オス金型７４の先端がワーク１００に当接する。

（３）オス金型７４の先端が当接すると、第１吸排気口５からのエア供給によって、第２油圧室３２内の圧力が高まり、薄肉部１５の弾性変形でピストンハウジング６０全体がシリンダ２に固定される。ピストンハウジング６０の固定をひずみゲージ等で検出したら、第２吸排気口６の開放と第１吸排気口５の状態を維持しながら、第３吸排気口８からエアを供給する。第３吸排気口８からのエアにより、第１空圧室２１が加圧され、これにより第１ピストン１１の第１ロッド５０先端が第１油圧室３１の油圧力を増幅し、この増幅された油圧力で出力ロッド７が駆動される。これにより、強い力でオス金型７４の先端がワーク１００に押しつけられて、ワーク１００に凹部が形成される。
（４）ワーク１００に凹部が形成されると、第１吸排気口５と第３吸排気口８を開放して第２吸排気口６からエアを供給し、エア駆動によりオス金型７４を引き上げる。

（第３実施形態）
次に第３実施形態のシリンダ装置１ｃについて説明する。
第２実施形態では、内部切替弁として機能する逆止弁５４をシリンダ２内に配設ことにより、増幅した油圧力でピストンハウジング６０をシリンダ２に固定する固定動作と、エアハイドロ機構により出力ロッド７の先端に増幅された油圧力を発生させる油圧出力動作とを自動的に連続して行うことができる。
この第２実施形態では、上述したように、第２動作の後に初期状態に戻す場合、第１吸排気口５を開放した後に、第２吸排気口６から所定圧力でエアが供給され、第３空圧室４１に供給されたエアがピストンハウジング６０を、第４空圧室６４に供給されたエアが第１ピストン１１を、第５空圧室６５に供給されたエアが第２ピストン１２と第２ロッド５８を、それぞれ入力側に移動させる。
そして第１ピストン１１の入力方向の移動に伴い、第１空圧室２１のエアが逆止弁５４を通って第１吸排気口５から排出される必要があるため、第２ピストン１２が移動して逆止弁５４が閉じる前に、第１ピストン１１の動作が完了（蓋２７に当接）する必要がある。そのため、第２実施形態では、潤滑油やパッキンの材質の違い等により、第１ピストン１１の摺動抵抗を、第２ピストン１２よりも小さく設定して、エアが供給されてから動作が完了するまでの時間が短くなるようになっている。

これに対して第３実施形態では、第２吸排気口６からのエアが第５空圧室６５に供給される通路上（具体的には、蓋２７を通るＬ字状連通孔２７ｆ上）に、第１ピストン１１の移動により動作する開閉弁５３を設ける。
開閉弁５３は、第２動作後に初期状態に戻す際に、第１ピストン１１の動作が完了して蓋２７に当接するまで閉状態であるため、第２ピストン１２が移動して逆止弁５４が閉じることがない。
第２ピストン１２は、第１ピストン１１の動作が完了して蓋２７に当接して開閉弁５３が開状態になった後に、第２吸排気口６からのエアが第５空圧室６５に供給されて入力方向に移動する。

図１０は、第３実施形態のシリンダ装置１ｃにおける、開閉弁５３とその周辺の部品図である。
なお、第３実施形態におけるシリンダ装置１ｃは、図１０に示した開閉弁５３と蓋２７、蓋３４以外の構成については、第２実施形態と同じであるためその説明を適宜省略することとする。
図１０に示されるように、開閉弁５３は、蓋３４と蓋２７の間で、入出力方向に移動するように配設されている。
蓋２７には、Ｌ字状連通孔２７ｆにおける、径方向に延びる部分と交差する位置に、Ｌ字状連通孔２７ｆのエア通路を開閉する開閉弁５３を配設するための貫通孔２７ｋが軸方向（長手方向）に形成されている。貫通孔２７ｋは、入力側の大径部と出力側の小径部により段差を有して形成され、この段差により開閉ロッド５３ａの出力側の移動が規制されている。

開閉弁５３は、開閉ロッド５３ａとコイルバネ５３ｂを備えており、開閉ロッド５３ａが蓋２７の貫通孔２７ｋの大径部に摺動自在に挿通されている。開閉ロッド５３ａは、後述する蓋２７の小径部を軸方向に摺動自在に貫通しており、その先端が第１ピストン１１と接離するようになっている。
開閉ロッド５３ａは、出力側のロッド部５３ｄと、胴部５３ｃと、コイルバネ５３ｂの一端側（出力側）を収容する円筒部５３ｇとを備えている。
胴部５３ｃの外径は、入力側が円筒部５３ｇと同径に形成された大径部と、出力側が円筒部５３ｇよりも小径に形成された小径部を有している。胴部５３ｃの大径部は蓋２７の貫通孔２７ｋの内径と略同径であり、小径部は貫通孔２７ｋよりも小径に形成されている。
胴部５３ｃには、径方向に貫通する連通路５３ｅが小径部に形成されると共に、大径部の外周面に外周溝５３ｆが形成されている。
また、胴部５３ｃの中心には軸方向に伸び、円筒部５３ｇの底面から連通路５３ｅまで貫通する連通孔５３ｊが形成されている。これにより蓋２７の貫通孔２７ｋと蓋３４の貫通孔３４ｋは、円筒部５３ｇの内部、連通孔５３ｊ、連通路５３ｅを介して連通し、貫通孔２７ｋと貫通孔３４ｋ内部のエアは、開閉ロッド５３ａの動作に連動して互いに行き来することができる。
外周溝５３ｆは、開閉弁５３が開状態において、Ｌ字状連通孔２７ｆと繋がる位置に形成されている。外周溝５３ｆとＬ字状連通孔２７ｆが一致すると、外周溝５３ｆの溝内部をエアが流れるようになり、Ｌ字状連通孔２７ｆを連通させることが可能になる。

蓋３４における出力側に形成されているフランジ部には、軸方向の貫通孔３４ｋが形成されている。なお、蓋３４のフランジ部には、他に蓋３４を第２ハウジング６２に固定するためのボルト３４ａや、給油口栓３８２を通すための貫通孔等が形成されているため、これらと干渉しない位置に貫通孔３４ｋが形成されている。
貫通孔３４ｋの内径は、蓋２７の貫通孔２７ｋと同径であり、コイルバネ５３ｂと開閉弁５３の円筒部５３ｇが、軸方向に摺動するように収容されている。
コイルバネ５３ｂの他端側（入力側）の端部は、貫通孔３４ｋを通り、第２ハウジング６２に当接している（図１１参照）。

このコイルバネ５３ｂにより、開閉ロッド５３ａはロッド部５３ｄを出力側に付勢している。
但し、シリンダ装置１の初期状態等では、開閉ロッド５３ａが第１ピストン１１により入力側に押し込まれることで、開閉弁５３が開状態となり、Ｌ字状連通孔２７ｆが外周溝５３ｆで連通している。
そして、第２動作において、第１ピストン１１が蓋２７から離れるに従って、開閉ロッド５３ａはコイルバネ５３ｂの付勢力で出力側に移動し、第１ピストン１１と開閉ロッド５３ａとが離れた状態において、蓋２７のＬ字状連通孔２７ｆは円筒部５３ｇで閉鎖される。すなわち、第２吸排気口６から第５空圧室６５までのエア流路が、開閉弁５３で遮断される。

次に、第３実施形態のシリンダ装置１ｃによる第１動作と第２動作について説明する。
図１１は、第３実施形態の動作状態を表す説明図で、（ａ）は初期状態におけるシリンダ装置１ｃの一部を、（ｂ）は第２動作における途中の状態を表したものである。
（第１動作）
上述したように第１動作では、出力ロッド７の先端がワーク１００に当接することで、ピストンハウジング６０（６１、６２、６３）がシリンダ２に固定され、その後に任意のタイミングで出力ロッド７の先端から増幅された油圧力を出力する動作である。
このとき、前述したようにピストンハウジング６０（６１、６２、６３）がシリンダ２へ固定されるまでは逆止弁５４は閉状態であり、第１空圧室２１にエアは供給されないので第１ピストン１１は動作しない。そのため、第５空圧室６５内のエアは、開閉弁５３が開状態であるので、第２実施形態と同様に、第２ピストン１２の出力方向の移動に伴い、第２エア通路（蓋３９の凹部３９ｄと連通孔３９ｃ、カラー２８の貫通孔、蓋３４の連通孔３４ｂ、連通溝２７ｃ、開閉弁５３、連通溝６１ｅ、凹部６１ｃ、第３空圧室４１）を通り、第２吸排気口６から排出される。

出力ロッド７がワーク１００に当接してピストンハウジング６０がシリンダ２に固定されるのとほぼ同時に逆止弁５４が開となり、第１空圧室２１にエアが供給され、第１ロッド５０の先端が第１油圧室３１を押圧した結果、出力ロッド７に増幅した推力が発生する。このとき当接したワーク１００が出力ロッド７の推力により変形もしくは移動しない場合は、第２実施形態と同様に第１ピストン１１は蓋２７と当接した状態のままであり、開閉弁５３は開状態のままである。
ワーク１００が出力ロッド７の推力により変形もしくは移動する場合は、出力ロッド７の移動量に伴い、第１ピストン１１も移動する。第１ピストン１１が移動すると、開閉弁５３はコイルバネ５３ｂの付勢力により出力方向に移動し、閉状態となり、Ｌ字状連通孔２７ｆの連通が遮断される。
第１動作の後、初期状態に戻す場合において、ワーク１００が出力ロッド７の推力により変形もしくは移動しない場合は、第２実施形態と同様に、第２吸排気口６から供給されるエアが開閉弁５３とＬ字状連通孔２７ｆを通り第５空圧室６５に供給されて、第２ピストン１２と第２ロッド５８を入力側に移動させる。すなわち、第１ピストン１１は蓋２７と当接した状態であり、開閉弁５３は開状態であるため、第２吸排気口６から供給されるエアは、開閉弁５３を通って第５空圧室６５に供給され、直ちに第２ピストン１２と第２ロッド５８を入力方向に移動させる。これにより第２ハウジング６２の固定が解除され、ピストンハウジング６０全体の移動が可能となり、同時に入力側に移動を開始し、初期状態となる。
ワーク１００が出力ロッド７の推力により変形もしくは移動する場合は、開閉弁５３が閉状態すなわち第１ピストン１１が移動している場合と同様のため、後述する第２動作で詳細に説明する。

（第２動作）
第３実施形態の第２動作においても、第２実施形態と同様に、出力ロッド７の先端がワーク１００と当接する前に、抜止めリング３７ａが蓋４に当接し、その後ピストンハウジング６０がシリンダ２に固定されるとともに、逆止弁５４が作動して出力ロッド７の先端から増幅されて油圧力を出力する。
すなわち、図１１（ａ）に示す初期状態において、第２吸排気口６を開放して第１吸排気口５（図示しない）からエアを供給することで、ピストンハウジング６０全体が出力方向に移動し、抜止めリング３７ａが蓋４（図示しない）に当接することでピストンハウジング６０全体の移動が停止する。
この状態で、更に第１吸排気口５からエアを供給すると、第２ロッド５８の段部５８ａの移動で上昇した第２油圧室３２の内部圧力により、薄肉部１５が外向きに弾性変形してシリンダ２に固定される。この際、両端の蓋３９と蓋３４とが伸止めボルト３４ｇで止められているため、薄肉部１５は、第２油圧室３２の内部圧力の上昇によって長手方向に伸びずに、径方向に膨張するように弾性変形する点は、第１、２実施形態と同様である。

ピストンハウジング６０が固定された状態で更に第１吸排気口５からエアが供給されることで、第１空圧室２１の圧力が上昇して第１ピストン１１が出力方向に移動し、これにより第１ピストン１１が蓋２７から徐々に離れる（図１１（ｂ）参照）。
また第１ピストン１１が出力方向に移動するのに従って、ロッド部５３ｄが第１ピストン１１に当接した状態のまま、コイルバネ５３ｂの付勢力により円筒部５３ｇとロッド部５３ｄが出力方向に移動し、円筒部５３ｇによってＬ字状連通孔２７ｆが塞がれ、開閉弁５３が閉状態となる。

第１空圧室２１に更にエアが供給されることで、第１ピストン１１はロッド部５３ｄから離れると共に、第１ロッド５０が出力ロッド７の空洞部７ａに入り込む（図示しない）。
これにより、第１、第２実施形態と同様に、第１ロッド５０の先端が第１油圧室３１を押圧することで油圧が上昇し、この上昇した油圧を、第３ピストン１３（図示しない）が受けることで、出力ロッド７の先端から大きな推力が出力される。

次に、第２動作の後にシリンダ装置１ｃを初期状態に戻す動作について説明する。
図１１（ｂ）の状態からシリンダ装置１ｃを初期状態に戻す場合、エアを供給していた第１吸排気口５を開放すると共に、第２吸排気口６からエアを供給する。
すると、第２吸排気口６から供給されたエアは、第２実施形態と同様に、第３空圧室４１（図示せず、以下図１参照）から第３ハウジング６３の溝６３ｃとＬ字状連通孔６３ｄを通り第４空圧室６４に供給され、第４空圧室６４の圧力が高まり第１ピストン１１が入力方向に移動する。
この間、第１空圧室２１内のエアは、開状態の逆止弁５４、連通孔３４ｄ、連通路８ｅを通り、開放されている第１吸排気口５から出力される。

そして、第１ピストン１１が入力方向に移動してロッド部５３ｄに当接した後、更に移動して蓋２７に当接するまでの間、第１ピストン１１はコイルバネ５３ｂの付勢力に抗して開閉ロッド５３ａを入力側に移動させ、開閉弁５３を開状態にする。
開閉弁５３が開状態になると、第２吸排気口６から供給されているエアは、第３空圧室４１からＬ字状連通孔２７ｆ、凹部３９ｄ等を通って、第５空圧室６５に供給される。

このとき、第１吸排気口５を開放しているので、第２ピストン１２と第２ロッド５８は、第２空圧室２２による出力方向の空圧を受けないため、容易に入力方向に移動可能な状態である。
このため、開閉弁５３が開くことで第５空圧室６５にエアが供給され、第５空圧室６５内のエアの圧力と、コイルバネ３３の付勢力によって、第２ピストン１２と第２ロッド５８は入力側に移動する。
第２ロッド５８が入力方向に移動することで、第２油圧室３２内の圧力が下がって薄肉部１５の膨張が元に戻り、ピストンハウジング６０によるシリンダ２に対する固定状態が解除される。
そして、第２ピストン１２と第２ロッド５８が入力側に移動し、フランジ部５８ｃが抜止めリング２９と係合する。これ以降のピストンハウジング６０は、抜止めリング２９を介して第２ロッド５８と第２ピストン１２により入力側に引かれると共に、ピストンハウジング６０の出力側端面が第３空圧室４１のエアで入力側に押圧されることで、第２ピストン１２を含むピストンハウジング６０全体が入力側に移動し、初期状態となる。

このように、開閉弁５３をＬ字状連通孔２７ｆの通路上に配置することで、出力ロッド７から油圧力を発生した後、初期状態に戻す際に、確実に第１ピストン１１を戻した（蓋２７に当接させた）後に、薄肉部１５の膨張による固定機能を解除することができる。

なお、第１動作、第２動作において、出力ロッド７の移動量が僅かしかない場合、それに伴い第１ピストン１１の移動量も少ないので開閉弁５３が全開と全閉の中間位置（半分開状態）で第１ピストン１１と共に停止する場合がある。このような半開の状態から初期状態に戻す場合は、第１動作での動作とほぼ同じである。
開閉弁５３の総移動量は元々微小であり、中間位置からの戻り動作であることからさらに移動量が少ない。そのため第１ピストンは戻り動作開始後、直ちに蓋２７と当接する。さらに第２形態で説明したように、第１ピストン１１の方が第２ピストン１２よりも摺動抵抗が少なく移動速度が速いため、第１ピストン１１は逆止弁５４が閉じる前に確実に蓋２７と当接する。

以上に説明した各実施の形態により、次のような効果を得ることができる。
（１）エアシリンダと油圧シリンダを巧みに組み合わせたエアハイドロ機構を内蔵することにより、ワーク１００に当接するまではエアシリンダとして動作させ、ワーク１００に当接してからは油圧シリンダとして動作させることができ、油圧ポンプ等の個別付帯設備や施工に手間が掛る油圧配管等が必要ないエア供給のみで、エアシリンダによる長いストロークの移動と油圧シリンダの特徴である大きな推力の両方を実現することができる。
（２）エア供給によりエアシリンダのピストン部分としてピストンハウジング６０を必要なストロークだけ動かした後、薄肉部１５の径方向の弾性変形によってスラスト方向の力をラジアル方向の力に変換してピストンハウジング６０をシリンダ２内で固定することができる。
この際に薄肉部１５は、伸止めボルト３４ｇとスペーサー８０により軸方向の変形を規制され、径方向にのみ弾性変形するため、確実にピストンハウジング６０を固定することができる。
（３）ピストンハウジング６０の径方向の弾性変形による固定は、エアハイドロ機構により増大された油圧力により固定することができるため、強固に固定することができる。
（４）シリンダ２内に固定したピストンハウジング６０の内部にエアハイドロ機構による油圧力を発せさることにより大きな力を外部に出力させることができる。
（５）必要なストロークのほとんどをエア供給によるエア駆動でカバーし、必要最小限のストロークをエア供給による油圧駆動で行うため、油圧ピストンのストローク量が小さくてすみ、且つ油圧配管の必要が無い。そのため、油の遺漏による損耗を最小限に抑えることができる。
特に出力ロッド７がワーク１００に当接し、その後出力ロッド７の移動を伴わないで油圧力だけをワークに印加する使用方法の場合は、各油圧室内部での各油圧ピストンの移動量が各シール部材の弾性変形の範囲内でしかないので、各油圧室内部の油の遺漏を発生させないことができる。
（６）また出力用エア通路に逆止弁５４を設けているので、常に固定機能によるクランプ動作完了後に、油圧出力機能による推力を発生させることができ、また外部でのエア供給切り替えの必要が無く、クランプから推力発生への動作順序を間違うことなく自動的に切り替えることが可能となる。
（７）更に、第２エア通路に開閉弁５３を配設するので推力発生後に初期状態へ戻す時にも、外部でのエア供給切り替えの必要が無く、第１ピストン１１が初期状態に戻った後、クランプを解除する動作順序を間違うことなく自動的に切り替えることが可能となる。

１、１ｂ シリンダ装置
２ シリンダ
２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ 摺動補助リング
３、４、２７、３４、３９ 蓋
３ａ、４ａ ボルト
５ 第１吸排気口
６ 第２吸排気口
７ 出力ロッド
７ａ 空洞部７ａ
８ 第３吸排気口
８ａ 吸排気ロッド
８ｂ 吸排気路
８ｄ 連通ロッド
８ｅ、８ｆ 連通路
１１ 第１ピストン
１２ 第２ピストン
１３ 第３ピストン
１５ 薄肉部
２０ 空圧室２０
２１ 第１空圧室
２２ 第２空圧室
３０ 油圧室
３１ 第１油圧室
３２ 第２油圧室
３３ コイルバネ
３４ｇ 伸止めボルト
３６ コイルバネ
３７ａ 抜止めリング
３８ 給油口栓
３９ｈ 緩み止めボルト
４１ 第３空圧室
５０ 第１ロッド
５３ 開閉弁
５３ａ 開閉ロッド
５３ｂ コイルバネ
５３ｃ 胴部
５３ｄ ロッド部
５４ 逆止弁
５８ 第２ロッド
６０ ピストンハウジング
６１ 第１ハウジング
６２ 第２ハウジング
６３ 第３ハウジング
６４ 第４空圧室
６５ 第５空圧室
７１ パンチ
７２ 治具
７３ 設置台
７４ オス金型
７５ メス金型
７７ 出力ロッド
８０ スペーサー
８０ａ 貫通孔
８０ｂ 油通路
８０ｃ、８０ｄ Ｕ字溝
１００ ワーク

Claims (14)

1. シリンダと、
   前記シリンダ内に配設され、前記シリンダ内をスラスト方向に移動可能な出力側ハウジングと、
   前記出力側ハウジングの入力側に固定され、スラスト方向の一方側の蓋と他方側の蓋により内面の一部が構成される第２流体室と、当該第２流体室の圧力増加により外周面が径方向に膨張して前記シリンダに対して固定される固定機構部を備えた入力側ハウジングと、
   前記出力側ハウジング内に配設され、前記固定機構部による固定がされた状態で、増幅された流体圧力による推力を出力するエアハイドロ機構と、
   エアが供給される第２空圧室と、
   前記第２空圧室の空圧を受けて前記入力側ハウジングと出力側ハウジングとを出力側に移動させると共に、所定位置において前記第２流体室を加圧膨張させる第２ピストン部と、
   前記一方側の蓋と前記他方側の蓋との間の距離を固定する距離固定手段と、
   を具備したことを特徴とするシリンダ装置。
2. 前記エアハイドロ機構は、
   エアが供給される第１空圧室と、
   前記第１空圧室の１面を構成する空圧受面を有する第１ピストンと、
   前記第１ピストンに配設され、前記空圧受面よりも小面積のロッド端面を有する第１ロッドと、
   前記第１ロッドの前記端面により１面が形成される第１流体室と、
   前記第１流体室の他の１面を構成し、前記第１ロッドの端面よりも大きな流体圧受面を有する出力ピストンと、
   前記出力ピストンに配設され、前記第１流体室の圧力により外部へ推力を出力する出力ロッドと、
   を備えることを特徴とする請求項１に記載のシリンダ装置。
3. 前記第１流体室、第２流体室の少なくとも一方が油圧室で構成される、
   ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシリンダ装置。
4. 前記距離固定手段は、前記第２流体室内を貫通し、前記出力側ハウジングに設けた前記一方側の蓋と他方側の蓋とをボルトで固定する、
   ことを特徴とする請求項２、又は請求項３に記載のシリンダ装置。
5. 前記距離固定手段は、前記第２流体室内に配置され、前記一方側の蓋と前記他方側の蓋との間に当接して配置されたスペーサーを有する、
   ことを特徴とする請求項２から請求項４のうちのいずれか１の請求項に記載のシリンダ装置。
6. 前記第２ピストン部は、
   前記入力側ハウジングと前記第２空圧室との間に配設され前記第２空圧室からの圧力を受けて出力側に移動する第２ピストンと、
   前記第２ピストンに配設され、前記第２ピストンの出力側に移動することにより前記第２流体室を加圧する第２ロッドと、を備える、
   ことを特徴とする請求項１から請求項５のうちのいずれか１の請求項に記載のシリンダ装置。
7. 前記シリンダ内の他端側に設けられ、前記入力側ハウジングと出力側ハウジングとを入力側に移動させる第３空圧室と、を具備したことを特徴とする請求項６に記載のシリンダ装置。
8. 請求項７に記載のシリンダ装置と、
   前記シリンダ装置に対してワークを所定位置に設置するワーク設置手段と、
   前記シリンダ装置を駆動して、前記出力ロッドに装着した工具で前記設置したワークをプレスするプレス手段と、
   前記プレスしたワークを前記所定位置から離脱する離脱手段と、
   を具備したことを特徴とするプレス装置。
9. 請求項７に記載のシリンダ装置と、
   前記シリンダ装置に対してワークを所定位置に設置するワーク設置手段と、
   前記シリンダ装置を駆動して、前記出力ロッドで前記設置したワークを押圧しクランプする手段と、
   前記固定したワークを前記所定位置から離脱する手段と、
   を具備したことを特徴とするワーククランプ装置。
10. 請求項７のシリンダ装置を動作させるシリンダ装置動作方法であって、
    前記第３空圧室を加圧すると共に、前記第１空圧室と前記第２空圧室を減圧することにより、前記入力側ハウジングと出力側ハウジングを入力側に移動させて初期状態にする第１ステップと、
    前記第１空圧室を加圧すると共に、前記第３空圧室を減圧することにより、前記入力側ハウジングと出力側ハウジングを出力側に移動して、前記出力ロッドを押圧対象に当接させ、又は、前記出力側ハウジングを前記シリンダの出力側の端部に当接させる、第２ステップと、
    前記第２空圧室を更に加圧して前記第２ピストンと前記第２ロッドを出力側に移動させて前記第２流体室を加圧することにより、前記入力側ハウジングと前記出力側ハウジングを前記シリンダに対して固定する第３ステップと、
    前記第２空圧室を加圧して、前記エアハイドロ機構を動作させ、前記第１流体室の増幅された流体圧力で前記出力ロッドを前記対象に押圧する第４ステップと、
    前記第３空圧室を加圧すると共に、前記第１空圧室と第２空圧室を減圧して、前記入力側ハウジングと出力側ハウジングを入力側に移動させて初期状態に復帰させる第５ステップと、
    を有することを特徴とするシリンダ装置動作方法。
11. 請求項８のプレス装置を動作させてワークをプレスする方法であって、
    前記第３空圧室を加圧すると共に、前記第１空圧室と前記第２空圧室を減圧することにより、前記入力側ハウジングと出力側ハウジングを入力側に移動させて初期状態にする第１ステップと、
    ワークを所定位置に設置する第２ステップと、
    前記第１空圧室を加圧すると共に、前記第３空圧室を減圧することにより、前記出力ロッドが前記ワークに当接して停止するまで前記入力側ハウジングと出力側ハウジングを出力側に移動させる第３ステップと、
    前記第２空圧室を更に加圧して前記第２ピストンと前記第２ロッドを出力側に移動させて前記第２流体室を加圧することにより、前記入力側ハウジングと前記出力側ハウジングを前記シリンダに対して固定する第４ステップと、
    前記第２空圧室を加圧して、前記エアハイドロ機構を動作させ、前記第１流体室の流体圧力を増幅する第５ステップと、
    第５ステップにより増幅された流体圧力により前記出力ロッドに装着した工具がワークを押圧し、ワークをプレスする第６ステップと、
    前記第３空圧室を加圧すると共に、前記第１空圧室と第２空圧室を減圧して、前記出力ロッドと共に前記出力ロッドに装着した工具をワークから離脱させる第７ステップと、
    プレスが完了したワークを所定の位置から離脱する第８ステップと、
    を有することを特徴とするワークのプレス方法。
12. 請求項９のワーククランプ装置を動作させてワークを所定位置にクランプする方法であって、
    前記第３空圧室を加圧すると共に、前記第１空圧室と前記第２空圧室を減圧することにより、前記入力側ハウジングと出力側ハウジングを入力側に移動させて初期状態にする第１ステップと、
    ワークを所定位置に設置する第２ステップと、
    前記第１空圧室を加圧すると共に、前記第３空圧室を減圧することにより、前記出力ロッドが前記ワークに当接して停止するまで前記入力側ハウジングと出力側ハウジングを出力側に移動させる第３ステップと、
    前記第２空圧室を更に加圧して前記第２ピストンと前記第２ロッドを出力側に移動させて前記第２流体室を加圧することにより、前記入力側ハウジングと前記出力側ハウジングを前記シリンダに対して固定する第４ステップと、
    前記第２空圧室を加圧して、前記エアハイドロ機構を動作させ、前記第１流体室の流体圧力を増幅する第５ステップと、
    第５ステップにより増幅された流体圧力により前記出力ロッドがワークを押圧し所定の位置にクランプする第６ステップと、
    を有することを特徴とするワークのクランプ方法。
13. 前記第２空圧室のエアを、前記第２ピストン部を貫通して、前記第１空圧室に供給する出力用エア通路と、
    前記出力用エア通路上に配設され、前記固定機構部が前記入力側ハウジングを前記シリンダに固定した状態において、前記出力用エア通路を開状態にする逆止弁と、
    を備えることを特徴とする請求項２から請求項７のうちのいずれか１の請求項に記載のシリンダ装置。
14. 前記出力側ハウジングの出力側に形成され、エアが供給されることで前記出力側ハウジングを入力側に移動させる第３空圧室と、
    前記第３空圧室に供給されたエアを、前記第１ピストンの出力側に形成された第４空圧室に供給する第１エア通路と、
    前記第３空圧室に供給されたエアを、前記第２ピストンの出力側に形成された第５空圧室に供給する第２エア通路と、
    前記第２エア通路上に配設され、前記第１ピストンの移動に応じて、前記第２エア通路を開閉する開閉弁と、を備え、
    前記開閉弁は、前記第１ピストンが入力側に移動し、前記第１空圧室内のエアの排出が終了した後に前記第２エア通路を開く、
    ことを特徴とする請求項１３に記載のシリンダ装置。

Images