JP7053621B2 - ファイバプリフォームの、化学気相浸透法のためのシェーピングツールおよび設備 - Google Patents

Description

本発明は、複合材料で部品を形成することに関し、より詳細には、複合材料部品の補強を形成する、ファイバプリフォームの、化学気相浸透法による固化および／または高密度化の間に使用されるシェーピングツールに関する。

本発明の用途の分野は、熱的構造の複合材料で部品を形成する分野であり、すなわち、構造部品を構成するのに適切にする機械的特性と、やはり、高温までその特性を維持する能力との、両方を提供する複合材料で部品を形成する分野である。熱的構造の複合材料の一般的な例は、熱分解炭素のマトリクスによって高密度化されたカーボンファイバで形成された補強用織物を有するカーボン／カーボン（Ｃ／Ｃ）の複合材料、および、セラミックマトリクスによって高密度化された、耐熱製ファイバ（カーボンまたはセラミック）で形成された補強用織物を有するセラミックマトリクス複合材料（ＣＭＣ）である。

Ｃ／ＣまたはＣＭＣの複合材料部品を形成するために、ファイバプリフォームを固化または高密度化するための周知の方法が、化学気相浸透法（ＣＶＩ）である。固化または高密度化するためのファイバプリフォームは、多数の穴が開けられたシェーピングツール内に置かれる。このシェーピングツール自体は、反応装置またはオーブン内に置かれ、そこでシェーピングツールが加熱される。マトリクスを構成する材料の１つまたは複数の気体の前駆体を含む反応物質ガスが、反応装置内に導入される。反応装置内の温度および圧力は、シェーパ内の穴を介して、プリフォームの小孔内に反応物質ガスが拡散することを可能にし、その内部で、反応物質ガスの１つまたは複数の構成要素の分解、または、複数の構成要素間での反応により、マトリクスを構成する材料の堆積を形成することを可能にするように調整される。これら構成要素は、マトリクスの前駆体を形成している。中間相の材料も、この方法により、マトリクスとともに堆積する場合がある。

いずれにしろ、その固化および／または高密度化の技術は、特定の状況下では、ファイバプリフォームの厚さ方向に現れる、マトリクスの堆積の勾配、および、プリフォームの表面に現れる局所的な余分な厚さ、または「ブリスタ」に繋がり得る。具体的には、プリフォームの表面とコアとの間で、堆積されたマトリクスの厚さまたは量が、５倍だけ変化する場合がある。これら欠点は、主として、ファイバプリフォームの特性（プリフォームの厚さ、ファイバの性質、編込みなど）と、シェーパの構造的特性（穴の数、穴のサイズおよび形状など）との間のミスマッチに起因する。

したがって、本発明の目的は、構造的特性を、固化および／または高密度化されるファイバプリフォームに応じて、規定することができる、シェーピングツールのための解決策を提供することである。

ファイバプリフォームの化学気相浸透法のためのシェーピングツールにして、
このツールは、
少なくとも、第１の接触面によって囲まれた第１の多数の穴が開けられたゾーンを有する第１のサポートと、
第２の接触面によって囲まれた第２の多数の穴が開けられたゾーンを有する第２のサポートと、によって形成される構造的エンクロージャを、備えており、
第１のサポートと第２のサポートとは、第１の接触ゾーンおよび第２の接触ゾーンを介して互いに対して保持されている、シェーピングツールであって、
このツールは、
第１のサポートがその内側面に、第１の多数の穴が開けられたゾーンを含む第１の覆われていないゾーンを含むことと、
第２のサポートがその内側面に、第２の多数の穴が開けられたゾーンを含む第２の覆われていないゾーンを含むことと、
シェーピングツールが、少なくとも、第１サポートの第１の覆われていないゾーンと、第２のサポートの第２の覆われていないゾーンとのそれぞれに存在する第１のシェーピングモールド機能要素と第２のシェーピングモールド機能要素とをさらに備え、各シェーピングモールド機能要素が、形成されることになる部品の形状に対応する、確定した形状の第１の面と、サポートの内側面に面して保持された第２の面とを有し、各シェーピングモールド機能要素が、複数の穴を有するとともに、面しているサポートに存在する穴の数、サイズ、または形状と異なる、穴の数、穴のサイズ、または穴の形状を少なくとも提供していることと、
を特徴とする、シェーピングツールによって、
この目的は達成される。

このため、本発明のシェーピングツールは、取外し可能なシェーピングモールド機能要素を有している。このシェーピングモールド機能要素では、穴のサイズ、数、および／または形状を、固化または高密度化されるファイバプリフォームの特性に応じて、規定することができ、それにより、マトリクスおよび／または中間相を、より一様な方式で、問題となっているプリフォーム内に堆積させるようになっている。このため、機械的特性が向上した複合材料部品を形成することが可能である。

本発明のシェーピングツールは、非常に柔軟に適用することができ、一方、そのような適用のコストを制限している。具体的には、シェーピングツールを特定のファイバプリフォームに適用する場合、変更する必要があるのは、シェーピングモールド機能要素のみであり、一方、ツールのメインの部分、すなわち、構造的エンクロージャを形成するサポートは維持している。

本発明のシェーピングツールの第１の特性によれば、多孔性の空乏層は、構造的エンクロージャの各サポートの内側面と、サポートの内側面に面して保持されたシェーピングモールド機能要素の第２の面との間に介在している。

気相がファイバプリフォームに達する前に、空乏層内の気相の前駆体ガスのほんの一部を消費することにより、ファイバプリフォームの表面に堆積されるマトリクスの量が減少し、それにより、プリフォームの表面の小孔がすぐに塞がれることを避け、小孔のアレイをより長い間保持する。このことは、気相がプリフォームのコアに流れ込むことを可能にしている。プリフォームの厚さにわたってより一様であり、プリフォーム内の堆積の勾配が制限されている、マトリクスの堆積が、こうして得られる。

多孔性の空乏層は、特に、カーボンマット、２次元のカーボンファブリック、カーボンフェルトの織物の１つから選択される場合がある。

本発明のシェーピングツールの第２の特性によれば、サポートと、シェーピングモールド要素とが、グラファイト、カーボン／カーボン（Ｃ／Ｃ）複合材料、およびセラミックマトリクス複合材料（ＣＭＣ）の少なくとも１つから選択される材料で形成される。

本発明は、化学気相浸透法による高密度化のために、設備内に置くための充填物であって、前記充填物が、本発明のシェーピングツールに保持されたファイバプリフォームを備えている、充填物をも提供している。

上述のように、本発明のシェーピングツールで形成されたそのような充填物は、より一様なマトリクスまたは中間相の堆積物でプリフォームを固化または高密度化する役割を果たすのみならず、局所的な余分な厚さ、または「ブリスタ」がプリフォームの表面で形成されることを避ける役割も果たす。

本発明の充填物の特定の態様によれば、ファイバプリフォームは、航空機用エンジン部品のためのプリフォームである。

本発明は、化学気相浸透法によるファイバプリフォームの高密度化のための設備を第１に備えたアセンブリであって、この設備が、反応チャンバ、このチャンバの第１の端部に位置し、予熱ゾーン通じる反応物質ガス供給パイプ、および、第２の端部の近位に位置する排出パイプを備え、第２に、この設備のチャンバ内に位置する、本発明の、少なくとも１つの充填物を含んでいる、アセンブリをも提供する。

本発明は、
ファイバプリフォームを本発明のシェーピングツール内に配置することと、
化学気相浸透法により、ファイバプリフォームをマトリクスで固化することと、
固化されたプリフォームを高密度化することと、
を含む、複合材料部品を制作する方法をも提供する。

本発明の他の特徴および利点は、非限定的例として与えられ、添付図面を参照する、本発明の特定の実施形態の以下の説明から明らかになる。

本発明の実施形態における、シェーピングツールがどのように組み立てられ、ファイバプリフォームが充填されるかを示す、拡大分解図である。 組み立てられた後の、上から見た図１のツールの図である。 基準ＩＩＩ上の断面での、図２のツールの図である。 基準ＩＶ上の断面での、図２のツールの図である。 シェーパモジュールの要素の変形実施形態を示す図である。 図１のツールおよびファイバプリフォームによって構成された充填物を含む、化学気相浸透法による高密度化のための設備の概略斜視図である。

本発明は、複合材料、特に、熱的構造の複合材料で部品を製造することに適用される。より具体的には、本発明は、化学気相浸透法により、ファイバプリフォームを固化および／または高密度化するステップの間に、有利な用途を見出している。

図１は、本発明の実施形態に係る、シェーピングツール１００にファイバプリフォーム１０を設置することを含む、充填物の準備を示している。準備がされると、充填物は、産業上の化学気相浸透法の設備の反応チャンバ内に挿入するためのものとなる。本明細書に記載の例では、ツール１００は、プレートの形態のファイバプリフォームを収容するためのものであり、このプレートの形態のファイバプリフォームは、特に、複合材料を特徴付けることが意図されている。本発明のシェーピングツールは、たとえば、航空機用エンジンのためのブレードまたは可動ノズルフラップなど、様々な形状の部品を形成する目的のために、ファイバプリフォームを収容およびシェーピングするために使用される場合がある。

ファイバプリフォーム１０は、「乾燥している（ｄｒｙ）」、すなわち、樹脂などが含浸していない、ファイバ織物に対応している。ファイバ織物は、様々な種類のファイバ、特に、セラミックファイバ（たとえば、炭化ケイ素ファイバ）またはカーボンファイバで形成される場合がある。使用されるファイバ織物は、特に、
２次元（２Ｄ）ファブリック、
特に、参照することにより、本明細書に組み込まれる、国際公開第２０１０／０６１１４０号パンフレットに特に記載されているような、３Ｄ織りまたは多層織りによって得られた３次元（３Ｄ）ファブリック、
組みひも、
ニット、
フェルト、
ヤーンもしくはトウの単方向性（ＵＤ）のシート、または、複数のＵＤシートを異なる方向で重ね、たとえば、縫込み、化学的接着剤、もしくはニードリングにより、ＵＤシートを互いに接着することによって得られる、多方向性（ｎＤ）のシートなどの、様々な種類および形状である場合がある。

ファブリック、組みひも、ニット、フェルト、シート、トウなどの、複数の重ね合わせられた層で形成されたファイバ織物を使用することも可能である。これら層は、たとえば、縫込み、ヤーンもしくは剛性の要素のインプラント、またはニードリングにより、ともに接着される。

シェーピングツール１００は、この例では、第１のサポート１４０および第２のサポート１７０によって形成された構造的エンクロージャを備えている。第１のサポート１４０は、第１のサポートの厚さを貫通する複数の穴１４１０を有する、第１の多数の穴が開けられたゾーン１４１を有している。多数の穴が開けられたゾーン１４１は、リム１４２によって囲まれている。

第２のサポート１７０は、第２のサポートの厚さを貫通する複数の穴１７１０を有する、第２の多数の穴が開けられたゾーン１７１を備えている。多数の穴が開けられたゾーン１７１は、リム１７２によって囲まれている。

本発明によれば、シェーピングツール１００は、第１のシェーピングモールド機能要素１２０、および、第２のシェーピングモールド機能要素１５０をも有している。第１のシェーピングモールド機能要素１２０は、第１のサポート１４０の内側面１４０ａに存在し、第１の多数の穴が開けられたゾーン１４１を含む、第１の覆われていないゾーン１４３に受け入れるためのものであり、この第１のシェーピングモールド機能要素１２０は、リム１４２上に置かれる。リム１４２は、この要素を、第１のサポート１４０の内側面１４０ａから離して保持することを可能にする（図３および図４）。第２のシェーピングモールド機能要素１５０は、第２のサポート１７０の内側面１７０ａに存在し、第２の多数の穴が開けられたゾーン１７１を含む、第２の覆われていないゾーン１７３に受け入れるためのものであり、この第２のシェーピングモールド機能要素１５０は、リム１７２上に置かれる。リム１７２は、この要素を、第２のサポート１７０の内側面１７０ａから離して保持することを可能にする（図３および図４）。第１のシェーピングモールド機能要素１２０と第２のシェーピングモールド機能要素１５０とは、それぞれの第１の面１２０ａと第１の面１５０ａとを有し、形成されることになる部品、具体的にはプレートの形状に対応する確定した形状を有している。第１の覆われていないゾーン１４３内の、第１のサポート１４０の内側面１４０ａに面して、リム１４２により保持される、第２の面１２０ｂを、第１のシェーピングモールド機能要素１２０は有している。一方、第２の覆われていないゾーン１７３内の、第２のサポート１７０の内側面１７０ａに面して、リム１７２により保持される、第２の面１５０ｂを、第２のシェーピングモールド機能要素１５０は有している。第１のシェーピングモールド機能要素１２０と第２のシェーピングモールド機能要素１５０とは、それぞれの複数の穴１２１と複数の穴１５１とを含んでいる。

本発明によれば、第１のシェーピングモールド機能要素１２０と第２のシェーピングモールド機能要素１５０とにそれぞれ存在する穴１２１と穴１５１との数、サイズ、および／または形状は、面しているサポートに存在する穴の数、サイズ、および／または形状とは異なっている。本明細書に記載の例では、第１のシェーピングモールド機能要素１２０は、穴１２１の数が、第１のサポート１４０に存在する穴１４１０の数より大である。同様に、第２のシェーピングモールド機能要素１５０は、穴１５１の数が、第２のサポート１７０に存在する穴１７１０の数より大である。これにより、気相がファイバ織物内に入るポイントの数を増大させること、および、気相がファイバプリフォームに接触する前に、サポート１４０内の穴１４１０およびサポート１７０内の１７１０を介して入った気相を分割することが可能になる。このことは、局所的な余分な厚さを制限すること、および、固化のための部分の厚さにおける、堆積厚さの勾配を制限すること、または、ファイバプリフォーム内のブリスタの形成を制限する働きをする。

さらに、第１のシェーピングモールド機能要素１２０と第２のシェーピングモールド機能要素１５０とにおいては、それぞれの穴１２１と穴１５１とは、それぞれの、第１のサポート１４０に存在する穴１４１０と第２のサポート１７０に存在する穴１７１０とに対してオフセットする方式で、配置することが好ましい（図３および図４）。このことも、局所的な余分な厚さが発生することを制限すること、および、固化されることになる部分の厚さにおける、堆積厚さの勾配を制限すること、または、ファイバプリフォーム内のブリスタの形成を制限する働きをする。

図５は、細長い形状の複数の穴２０１を有する、シェーピングモールド機能要素２００の変形実施形態を示している。他の穴の形状が、高密度化されることになるファイバプリフォームに関連付けられたパラメータの関数として、予見され得る。シェーピングモールド２００では、穴の表面積の合計が増大している。この穴を通して、ファイバプリフォームが、構造的エンクロージャのサポートを介してツール内に入る前駆体ガスに対して曝される。そのような状況下では、このことはさらに、ファイバプリフォーム内の局所的な余分な厚さ、または、ブリスタの発生を制限する。

本発明の特定の態様では、多孔性の空乏層が、構造的エンクロージャのサポートと、シェーピングモールド機能要素との間に介在している場合がある。本明細書に記載の例では、第１の多孔性の空乏層１３０が、第１のサポート１４０の内側面１４０ａと、リム１４２により、内側面１４０ａから離間して保持されている、第１のシェーピングモールド機能要素１２０の第２の面１４０ｂとの間に介在している。一方、第２の空乏層１６０が、第２のサポート１７０の内側面１７０ａと、リム１７２により、内側面１７０ａから離間して保持されている、第２のシェーピングモールド機能要素１５０の第２の面１５０ｂとの間に介在している。多孔性の空乏層１３０および１６０は、サポート１４０の穴１４１、および、サポート１７０の穴１７１を介して入る気相の前駆体ガスの一部を「前もって消費する（ｐｒｅ－ｃｏｎｓｕｍｅ）」役割を果たす。このことは、ファイバプリフォーム内におけるマトリクスの堆積の勾配を制限する役割を果たす。具体的には、ファイバプリフォームに達する前に、気相内の前駆体ガスのほんの一部を消費することにより、ファイバプリフォームの表面に堆積されるマトリクスの量が減少し、それにより、プリフォームの表面の小孔がすぐに塞がれることを避け、こうして、小孔のアレイに、より長い間、気相をプリフォームのコア内に流すことを可能にしている。このことは、プリフォーム内の堆積の勾配を制限することにより、プリフォームの厚さの中で、より一様なマトリクスの堆積を得る働きをする。多孔性の空乏層は、特に、炭化ケイ素（ＳｉＣ）ファイバで形成された２次元のファブリック、または、カーボンファイバのフェルトで形成される場合がある。

構造的エンクロージャおよびシェーピングモールド機能要素を形成するサポートは、特に、グラファイト、または、材料の固化または高密度化の、化学気相浸透法の動作の間に対する温度に耐えるのに適切である他の材料、たとえば、カーボン／カーボンの複合材料またはセラミックマトリクスの複合材料（ＣＭＣ）など、たとえば、Ｃ／ＳｉＣ材料（炭化ケイ素のマトリクスによって高密度化されたカーボンファイバの補強物）、または、ＳｉＣ／ＳｉＣ材料（補強物とマトリクスとの両方が炭化ケイ素で形成されている）などで形成される場合がある。

本明細書に記載される例では、ファイバプリフォーム１０は、Ｈｉ－Ｎｉｃａｌｏｎ（Ｒ）Ｔｙｐｅ ＳのタイプのＳｉＣファイバの３次元織りによって得られるプリフォームである。

ファイバプリフォーム１０は、化学気相浸透法による固化のために、シェーピングツール１００（図３および図４）内に置かれる。ツールは、この例ではネジ１０１とナット１０２とによって構成されたクランプ部材で閉じられており、スペーサ１０５が、２つのサポート１４０と１７０との間の空間を決定するために使用されている。ファイバプリフォーム１０およびツール１００は、図６に示すように、化学気相浸透オーブンまたは設備５００内に置かれる充填物２００を構成する。既知の方式で、化学気相浸透設備５００は、反応チャンバ５１０を規定する円筒状のエンクロージャ５０１を備えている。このチャンバは、その頂部が、予熱ゾーン５２２に導入されるガス供給パイプ５２１を有する取外し可能なカバー５２０によって閉じられている。予熱ゾーン５２２は、高密度化のためのプリフォーム（複数の場合もある）を包含する反応チャンバ５１０内に拡散する前に、ガスを加熱する役割を果たす。残留ガスは、設備の底部５３０から、吸引手段（図示せず）に接続された排出パイプ５３１を介して抜き出される。底部５３０は、充填物２００が置かれることになるサポート５３２を含んでいる。

予熱ゾーン内、および、やはり反応チャンバ５１０の内側における加熱は、誘導コイル（図示せず）に電磁的に結合されたグラファイトサセプタ５１１によって提供される。反応チャンバ５１０内の、予熱ゾーン５２２とサポート５３２との間に存在する空間は、含浸設備５００の有用な充填量５１２、すなわち、高密度化されることになるファイバプリフォームの充填のために利用可能である容量に対応している。

プリフォーム１０は、化学気相浸透法によって固化される。プリフォームを固化するために、堆積されることになるマトリクスの材料に関する、少なくとも１つまたは複数の前駆体を包含する反応物質ガスが、反応チャンバ５１０内に導入される。この例では炭化ケイ素（ＳｉＣ）などの、セラミック材料に関し、周知の方式で、ＳｉＣのための前駆体として、メチルトリクロロシラン（ＭＴＳ）を使用することが可能である。カーボンでは、たとえば、気体の炭化水素化合物、通常はプロパン、メタン、またはプロパンとメタンとの両方の混合物を使用することが可能である。周知の方式で、多孔性のプリフォームが、このプリフォーム内にマトリクス材料を堆積させることによって固化される。このマトリクス材料は、プリフォームの、アクセス可能な内部の小孔の小孔内に分散する反応物質ガス内に包含される前駆体（複数の場合もある）の分解によって生成される。化学気相浸透法による様々なマトリクスの堆積を得るために必要な圧力および温度の条件自体は、周知である。圧力勾配は、反応物質ガスがプリフォームを通って流れることを促進するために、供給パイプ５２１と排出パイプ５３１との間に確立される。

上述のツール１００と同じタイプの、本発明のシェーピングツールを使用するファイバプリフォームの固化において、テストを実施した。より正確には、これらテストに関し、以下の要素を使用した。
－ Ｈｉ－Ｎｉｃａｌｏｎ（Ｒ）Ｔｙｐｅ ＳのＳｉＣファイバの３次元織りによって得られるプリフォームであって、このプリフォームが、プレートの形状で存在する、プリフォーム、
－ 穴の直径が１０ミリメートル（φ１０ｍｍ）の直径を有する穴を呈する、その多数の穴が開けられたゾーン内に存在する、第１および第２のシェーピングツールのサポートであって、これら穴は、２０ｍｍの中心から中心までのピッチで互いから離間している、サポート、
－ 直径が５ｍｍの直径（φ５ｍｍ）の穴であって、８ｍｍの中心から中心までのピッチで互いから離間している穴を有する第１および第２のシェーピングモールド機能要素、 － シェーピングツールの各サポートと、各シェーピングモールド要素との間に介在する多孔性の空乏層であって、各層が、ＲＶＧ ２０００の表記で、サプライヤＣａｒｂｏｎｅ Ｌｏｒｒａｉｎｅによって販売された、絡み合ったグラファイトファイバによって構成されたフェルトで形成されている、多孔性の空乏層。

プリフォームは、ＢＮおよびＳｉＣの相を使用して、化学気相浸透法によって固化した。

これらテストは、パーツの厚さにおける、堆積厚さの勾配が、従来技術のシェーピングツールに比べ、１／５に低減されたことを示した。さらに、ガスに直接曝されたゾーン（シェーピングモールド機能要素内の穴に面するプリフォームのゾーン）と、マスクされたゾーン（シェーピングモールド機能要素の２つの穴間に位置するプリフォームのゾーン）との間の、部品の表面における堆積厚さの勾配は、従来技術のシェーピングツールに比べ、１／５から１／８に低減された。

Claims (8)

1. ファイバプリフォームの化学気相浸透法のためのシェーピングツール（１００）にして、
   このツールは、
   構造的エンクロージャであって、
   少なくとも、第１の多数の穴が開けられたゾーン（１４１）を有する第１のサポート（１４０）と、
   第２の多数の穴が開けられたゾーン（１７１）を有する第２のサポート（１７０）と、
   によって形成される、構造的エンクロージャを備えており、
   第１のサポートと第２のサポートとは、互いに対して保持されている、シェーピングツール（１００）であって、
   このツールは、
   第１のサポート（１４０）がその内側面（１４０ａ）に、第１の多数の穴が開けられたゾーン（１４１）を含む第１の覆われていないゾーン（１４３）を含むことと、
   第２のサポート（１７０）がその内側面（１７０ａ）に、第２の多数の穴が開けられたゾーン（１７２）を含む第２の覆われていないゾーン（１７３）を含むことと、
   シェーピングツール（１００）が、少なくとも、第１サポート（１４０）の第１の覆われていないゾーン（１４３）と、第２のサポート（１７０）の第２の覆われていないゾーン（１７３）とのそれぞれに存在する第１のシェーピングモールド機能要素（１２０）と第２のシェーピングモールド機能要素（１５０）とをさらに備え、各シェーピングモールド機能要素が、形成されることになる部品の形状に対応する、確定した形状の第１の面（１２０ａ；１５０ａ）と、サポートの内側面に面して保持された第２の面（１２０ｂ；１５０ｂ）とを有し、各シェーピングモールド機能要素が、複数の穴（１２１；１５１）を有するとともに、面しているサポートに存在する穴の数、サイズ、または形状とは異なる、穴の数、穴のサイズ、または穴の形状を少なくとも提供していることと、
   を特徴とする、シェーピングツール（１００）。
2. 多孔性の空乏層（１３０；１６０）が、構造的エンクロージャの各サポート（１４０；１７０）の内側面と、サポートの内側面に面して保持されたシェーピングモールド機能要素（１２０；１５０）の第２の面との間に介在している、請求項１に記載のツール。
3. 多孔性の空乏層が、カーボンマット、２次元のカーボンファブリック、カーボンフェルトの織物の１つから選択される、請求項２に記載のツール。
4. サポート（１４０、１７０）と、シェーピングモールド機能要素（１２０、１５０）とが、グラファイト、カーボン／カーボン（Ｃ／Ｃ）複合材料、およびセラミックマトリクス複合（ＣＭＣ）材料の少なくとも１つから選択される材料で形成される、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のツール。
5. 化学気相浸透法による高密度化のために、設備（５００）内に置くための充填物（２００）であって、前記充填物が、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のシェーピングツール（１００）に保持されたファイバプリフォーム（１０）を備えている、充填物（２００）。
6. ファイバプリフォームが、航空機用エンジン部品のためのプリフォームである、請求項５に記載の充填物。
7. 化学気相浸透法によるファイバプリフォームの高密度化のための設備（５００）を備えたアセンブリであって、
   このアセンブリが、
   反応チャンバ（５１０）と、
   このチャンバの第１の端部に位置し、予熱ゾーン（５２２）に導入される反応物質ガス供給パイプ（５２１）と、
   第２の端部の近位に位置する排出パイプ（５３１）と、
   を備え、
   アセンブリが、チャンバ内に位置する、請求項５または請求項６に記載の少なくとも１つの充填物（２００）をも含んでいる、アセンブリ。
8. 請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のシェーピングツール（１００）内に、ファイバプリフォーム（１０）を配置することと、
   化学気相浸透法により、ファイバプリフォームをマトリクスで固化することと、
   固化されたプリフォームを高密度化することと、
   を含む、複合材料部品を製作する方法。

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