JP7046678B2 - 半導体装置、機器 - Google Patents
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Description
本実施例の半導体装置において、実施例1と異なる点を中心に説明する。
本実施例の半導体装置について、実施例1と異なる点を中心に説明する。
本実施例の半導体装置について、実施例3と異なる点を中心に説明する。
本実施例の半導体装置について、実施例4と異なる点を中心に説明する。
9 選択トランジスタ
20 セル(AD変換回路)
51、52 画素
101 信号線(チップ1)
201 電流源
205 メモリ
210-n 信号線(チップ2)
151、152、251、252 導電パターン
161~166、171~176 導電パターン
265 カウンタ
270 ランプ信号生成部
290 電圧供給部
315 絶縁層
510 接合面
Claims (14)
- 各々が光電変換部と、前記光電変換部の電荷に対応した信号レベルを出力する出力ノードとを有するとともに、複数行および複数列に渡って配された複数の画素を有する第1チップと、
前記複数列のうちの対応する列の、前記複数行の画素の各々の前記出力ノードがそれぞれ接続された複数の信号線と、
複数のセルが配された第2チップと、を有し、
前記第1チップは、前記複数の信号線のうちの1つの信号線にそれぞれが接続されるとともに、それぞれが銅を主成分とする第1導電パターンおよび第2導電パターンと、第5導電パターンと、第1制御線と、を有し、
前記第2チップは、前記複数のセルのうちの1つのセルにそれぞれが接続されるとともに、それぞれが銅を主成分とする第3導電パターンおよび第4導電パターンと、第6導電パターンと、前記複数の画素を制御する制御部と、第2制御線と、を有し、
前記第1導電パターンと前記第3導電パターンとが接合面にて接合され、前記第2導電パターンと前記第4導電パターンとが前記接合面にて接合され、前記第5導電パターンと前記第6導電パターンとが前記接合面にて接合され、
前記制御部と前記複数の画素とが、前記第1制御線、前記第5導電パターン、前記第6導電パターン、前記第2制御線を介して接続され、
前記第1導電パターンと前記第2導電パターンとの間と、前記第3導電パターンと前記第4導電パターンとの間の少なくとも一方に絶縁層が配され、
前記第1チップにおける、前記1つの信号線に接続される、第1導電パターンと第2導電パターンとを含む導電パターンの数が、
前記第1チップにおける、前記第2制御線に接続される、第5導電パターンを含む導電パターンの数よりも少ないことを特徴とする半導体装置。 - 前記第1チップは、前記第1制御線と、前記複数行のうちの1つの行の複数の画素とに接続された行制御線をさらに有し、
前記第1制御線が配された配線層が、前記行制御線が配された配線層と、前記第5導電パターンとの間に配されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記制御部が、前記複数の画素を、前記複数行の行ごとに走査する垂直走査回路であることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記制御部が、前記複数の画素に駆動電圧を供給する電圧供給部であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 各々が光電変換部と、前記光電変換部の電荷に対応した信号レベルを出力する出力ノードとを有するとともに、複数行および複数列に渡って配された複数の画素を有する第1チップと、
前記複数列のうちの対応する列の、前記複数行の画素の各々の前記出力ノードがそれぞれ接続された複数の信号線と、
複数のセルが配された第2チップと、を有し、
前記第1チップは、前記複数の信号線のうちの1つの信号線にそれぞれが接続されるとともに、それぞれが銅を主成分とする第1導電パターンおよび第2導電パターンを有し、前記第2チップは、前記複数のセルのうちの1つのセルにそれぞれが接続されるとともに、それぞれが銅を主成分とする第3導電パターンおよび第4導電パターンを有し、
前記第1導電パターンと前記第3導電パターンとが接合面にて接合され、前記第2導電パターンと前記第4導電パターンとが前記接合面にて接合され、
前記第1導電パターンと前記第2導電パターンとの間と、前記第3導電パターンと前記第4導電パターンとの間の少なくとも一方に絶縁層が配され、
前記第1チップにおいて、前記第2チップから前記第1チップに出力される信号を伝送する1本の配線に対応する導電パターンの個数よりも前記第1チップから前記第2チップに出力される信号を伝送する1本の配線に対応する前記導電パターンの個数が多いことを特徴とする半導体装置。 - 前記第2チップは、前記複数のセルのうちの対応する1つのセルに、各々が接続された複数の第2信号線と、
複数の前記第3導電パターンと、複数の前記第4導電パターンとをさらに有し、
前記複数の第3導電パターンの1つと、前記複数の第4導電パターンの1つとが前記複数の第2信号線の1つに接続されるように、前記複数の第3導電パターンと、前記複数の第4導電パターンに対して前記複数の第2信号線が対応して設けられ、
前記複数の第2信号線を互いに接続するスイッチを有することを特徴とする請求項1~5のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 前記スイッチは、前記複数の第2信号線のうち、前記複数列のうちの奇数列の画素に各々が対応する複数の第2信号線を互いに接続することを特徴とすることを特徴とする請求項6に記載の半導体装置。
- 前記複数列のうちの奇数列の画素は、第1色のカラーフィルタを有し、
前記複数列のうちの偶数列の画素は、第2色のカラーフィルタを有し、
前記スイッチは、前記複数の第2信号線のうち、前記奇数列の画素に各々が対応する複数の第2信号線を互いに接続することを特徴とすることを特徴とする請求項6に記載の半導体装置。 - 前記奇数列の画素のうち、奇数行の画素が前記第1色のカラーフィルタを有し、
前記奇数列の画素のうち、偶数行の画素が第3色のカラーフィルタを有し、
前記第1チップは、前記奇数列の画素のうちの前記奇数行の画素の各々の前記光電変換部の電荷を加算するスイッチをさらに有することを特徴とする請求項8に記載の半導体装置。 - 前記複数のセルの各々が、前記画素が出力する信号をデジタル信号に変換するAD変換回路を含むことを特徴とする請求項1~9のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 各々がアナログ信号を出力する複数の出力ノードを有する第1チップと、
前記出力ノードがそれぞれ接続された複数の信号線と、
複数のセルが配された第2チップと、を有し、
前記第1チップは、前記複数の信号線のうちの1つの信号線にそれぞれが接続されるとともに、それぞれが銅を主成分とする第1導電パターンおよび第2導電パターンと、第5導電パターンと、第1制御線と、を有し、
前記第2チップは、前記複数のセルのうちの1つのセルにそれぞれが接続されるとともに、それぞれが銅を主成分とする第3導電パターンおよび第4導電パターンと、第6導電パターンと、デジタル信号を出力する制御部と、第2制御線と、を有し、
前記アナログ信号が、前記第1導電パターンと前記第3導電パターンまたは前記第2導電パターンと前記第4導電パターンを介して出力され、
前記デジタル信号が、前記第1制御線、前記第5導電パターン、前記第6導電パターン、前記第2制御線を介して出力され、
前記第1導電パターンと前記第2導電パターンとの間と、前記第3導電パターンと前記第4導電パターンとの間の少なくとも一方に絶縁層が配され、
前記第1チップにおける、前記1つの信号線に接続される、第1導電パターンと第2導電パターンとを含む導電パターンの数が、
前記第1チップにおける、前記第2制御線に接続される、第5導電パターンを含む導電パターンの数よりも少ないことを特徴とする半導体装置。 - 前記第1導電パターンと前記第2導電パターンとの間と、前記第3導電パターンと前記第4導電パターンとの間の両方に絶縁層が配されていることを特徴とする請求項1~11のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記複数のセルの各々が、前記複数の信号線のうちの対応する信号線に電流を供給する電流源を含むことを特徴とする請求項1~12のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 請求項1~13のいずれか1項に記載の半導体装置と、
半導体装置が出力する信号を処理することによって画像を生成する処理装置とを有することを特徴とする機器。
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