JP7034881B2 - 計測システム及び計測装置の観察条件の設定方法 - Google Patents
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Description
(条件2)検索された観察条件には、制御に必須のパラメータの値が全て含まれる。
(条件3)検索された観察条件に対応するエントリの装置種別202が走査電子顕微鏡100の種別と一致する。
101 電子光学系鏡筒
102 制御ユニット
111 電子銃
112 一次電子線
113 偏向器
114 レンズ
115 対物レンズ
116 試料
117 試料ホルダ
119 検出器
121 演算装置
122 記憶装置
123 制御装置
124 入力装置
125 出力装置
131 制御モジュール
151 観察条件データベース
152 変換データベース
Claims (8)
- 複数のパラメータを含む観察条件に基づいて試料を観察する計測装置と、試料に関連する検索キー及び前記試料の観察時に設定された観察条件を対応づけた第一データを格納する観察条件データベースと、計測装置の種別の組合せ及び前記観察条件の変換規則を対応づけた第二データを管理する変換データベースと、を備える計測システムであって、
試料の観察条件に関する情報を算出する制御部を備え、
前記観察条件データベースには、過去の操作ログに基づいて生成された前記第一データと、公知の情報に基づいて生成された前記第一データとが格納され、
前記第一データは、計測装置の種別を特定するための第一種別データを含み、
前記制御部は、
ターゲット試料に関連する検索キー及び前記計測システムが備える計測装置の種別を特定するための第二種別データを含む観察条件検索要求を受け付ける第一の処理と、
前記観察条件データベースを参照して、前記観察条件検索要求に含まれる前記ターゲット試料に関連する検索キーに一致又は類似する前記第一データを検索する第二の処理と、
前記変換データベースを参照し、前記検索された第一データに含まれる前記第一種別データ及び前記観察条件検索要求に含まれる前記第二種別データの組合せに対応する前記第二データを検索する第三の処理と、
前記第二データに基づいて、前記検索された第一データに含まれる前記観察条件を変換する第四の処理と、
前記変換された第一データに含まれる前記観察条件に、前記計測システムが備える計測装置に設定する少なくとも一つのパラメータの値が含まれていない場合、当該パラメータを補間により算出して、前記ターゲット試料を観察するための前記計測装置の候補観察条件を算出する第五の処理と、
前記計測装置が前記候補観察条件に基づいて行った計測の結果が条件を満たさないと判定された場合、前記候補観察条件に含まれる少なくとも一つのパラメータを調整することによって、新たな候補観察条件を算出する第六の処理と、
前記候補観察条件を提示するための表示データを生成し、当該表示データを出力する第七の処理と、を実行し、
前記第三の処理は、対応する前記第二データが存在しない場合、前記検索された第一データに基づいて前記第二データを生成し、前記変換データベースに登録する処理を含み、
前記第五の処理は、
補間ができない場合、任意のアルゴリズムに基づいて前記パラメータを調整する処理と、
調整後の前記パラメータを含む前記観察条件に基づく前記観察の観察結果が、調整前の前記パラメータを含む前記観察条件に基づく前記観察の観察結果に対して変化している場合、調整後の前記パラメータを含む前記観察条件に基づく前記観察の観察結果を前記候補観察条件として算出する処理と、
調整後の前記パラメータを含む前記観察条件に基づいて前記第二データを生成し、前記変換データベースに登録する処理と、を含むことを特徴とする計測システム。 - 請求項1に記載の計測システムであって、
前記観察条件検索要求は、前記ターゲット試料に関連する検索キーとして、前記ターゲット試料の特性の情報を含み、
前記第一データは、前記試料の特性の情報を含み、
前記第二の処理では、前記制御部は、前記観察条件データベースを参照して、前記観察条件検索要求に含まれる前記ターゲット試料の特性に一致又は類似する試料の特性の情報を含む前記第一データを検索することを特徴とする計測システム。 - 請求項1に記載の計測システムであって、
前記観察条件検索要求は、前記ターゲット試料に関連する検索キーとして、前記ターゲット試料の観察結果として所望する画像を含み、
前記第一データは、前記試料の観察結果として画像を含み、
前記第二の処理では、前記制御部は、前記観察条件データベースを参照して、前記観察条件検索要求に含まれる前記画像に一致又は類似する画像を含む前記第一データを検索することを特徴とする計測システム。 - 請求項3に記載の計測システムであって、
前記観察条件検索要求は、前記画像の一部の領域を指定する情報を含み、
前記第二の処理では、前記制御部は、前記観察条件データベースを参照して、前記観察条件検索要求に含まれる前記画像の一部の領域に一致又は類似する領域を含む画像を含む前記第一データを検索することを特徴とする計測システム。 - 複数のパラメータを含む観察条件に基づいて試料を観察する計測装置を備える計測システムにおける計測装置に設定する観察条件の設定方法であって、
前記計測システムは、試料の観察条件に関する情報を算出する制御部と、試料に関連する検索キー及び前記試料の観察時に設定された観察条件を対応づけた第一データを格納する観察条件データベースと、計測装置の種別の組合せ及び前記観察条件の変換規則を対応づけた第二データを管理する変換データベースと、を有し、
前記観察条件データベースには、過去の操作ログに基づいて生成された前記第一データと、公知の情報に基づいて生成された前記第一データとが格納され、
前記第一データは、計測装置の種別を特定するための第一種別データを含み、
前記観察条件の設定方法は、
前記制御部が、ターゲット試料に関連する検索キー及び前記計測システムが備える計測装置の種別を特定するための第二種別データを含む観察条件検索要求を受け付ける第一のステップと、
前記制御部が、前記観察条件データベースを参照して、前記観察条件検索要求に含まれる前記ターゲット試料に関連する検索キーに一致又は類似する前記第一データを検索する第二のステップと、
前記制御部が、前記変換データベースを参照し、前記検索された第一データに含まれる前記第一種別データ及び前記観察条件検索要求に含まれる前記第二種別データの組合せに対応する前記第二データを検索する第三のステップと、
前記制御部が、前記第二データに基づいて、前記検索された第一データに含まれる前記観察条件を変換する第四のステップと、
前記制御部が、前記変換された第一データに含まれる前記観察条件に、前記計測システムが備える計測装置に設定する少なくとも一つのパラメータの値が含まれていない場合、当該パラメータを補間により算出して、前記ターゲット試料を観察するための前記計測装置の候補観察条件を算出する第五のステップと、
前記制御部が、前記計測装置が前記候補観察条件に基づいて行った計測の結果が条件を満たさないと判定された場合、前記候補観察条件に含まれる少なくとも一つのパラメータを調整することによって、新たな候補観察条件を算出する第六のステップと、
前記制御部が、前記候補観察条件を提示するための表示データを生成し、当該表示データを出力する第七のステップと、を含み、
前記第三のステップは、対応する前記第二データが存在しない場合、前記制御部が、前記検索された第一データに基づいて前記第二データを生成し、前記変換データベースに登録するステップを含み、
前記第五のステップは、
補間ができない場合、前記制御部が、任意のアルゴリズムに基づいて前記パラメータを調整するステップと、
調整後の前記パラメータを含む前記観察条件に基づく前記観察の観察結果が、調整前の前記パラメータを含む前記観察条件に基づく前記観察の観察結果に対して変化している場合、前記制御部が、調整後の前記パラメータを含む前記観察条件に基づく前記観察の観察結果を前記候補観察条件として算出するステップと、
前記制御部が、調整後の前記パラメータを含む前記観察条件に基づいて前記第二データを生成し、前記変換データベースに登録するステップと、を含むことを特徴とする観察条件の設定方法。 - 請求項5に記載の観察条件の設定方法であって、
前記観察条件検索要求は、前記ターゲット試料に関連する検索キーとして、前記ターゲット試料の特性の情報を含み、
前記第一データは、前記試料の特性の情報を含み、
前記第二のステップは、前記制御部が、前記観察条件データベースを参照して、前記観察条件検索要求に含まれる前記ターゲット試料の特性に一致又は類似する試料の特性の情報を含む前記第一データを検索するステップを含むことを特徴とする観察条件の設定方法。 - 請求項5に記載の観察条件の設定方法であって、
前記観察条件検索要求は、前記ターゲット試料に関連する検索キーとして、前記ターゲット試料の観察結果として所望する画像を含み、
前記第一データは、前記試料の観察結果として画像を含み、
前記第二のステップは、前記制御部が、前記観察条件データベースを参照して、前記観察条件検索要求に含まれる前記画像に一致又は類似する画像を含む前記第一データを検索するステップを含むことを特徴とする観察条件の設定方法。 - 請求項7に記載の観察条件の設定方法であって、
前記観察条件検索要求は、前記画像の一部の領域を指定する情報を含み、
前記第二のステップは、前記制御部が、前記観察条件データベースを参照して、前記観察条件検索要求に含まれる前記画像の一部の領域に一致又は類似する領域を含む画像を含む前記第一データを検索するステップを含むことを特徴とする観察条件の設定方法。
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