JP7031486B2 - 燃料電池セパレータの表面処理方法及び表面処理装置 - Google Patents
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Description
燃料電池セルに使用される燃料電池セパレータの表面にアンチモンドープ酸化スズ膜(ATO膜)を成膜する表面処理方法であって、
高周波誘導加熱方法を用いて前記燃料電池セパレータを加熱し、
アンチモン及びスズを含む溶液を前記燃料電池セパレータに噴霧することによって、前記ATO膜を前記燃料電池セパレータの表面に形成させる。
燃料電池セルに使用される燃料電池セパレータの表面にアンチモンドープ酸化スズ膜(ATO膜)を成膜する燃料電池セパレータの表面処理装置であって、
前記燃料電池セパレータを加熱する高周波誘導加熱コイルと、
アンチモン及びスズを含む溶液を前記燃料電池セパレータに噴霧するノズルと、を備え、
前記ノズルの前記噴霧によって、前記ATO膜を前記燃料電池セパレータの表面に形成させる。
図1を参照して実施の形態1にかかる表面処理装置について説明する。図1は、実施の形態1にかかる表面処理装置を示す概略図である。なお、当然のことながら、図1及びその他の図面に示した右手系xyz座標は、構成要素の位置関係を説明するための便宜的なものである。通常、z軸プラス向きが鉛直上向き、xy平面が水平面であり、図面間で共通である。
次に、図2を参照して、コイル4の一具体例について説明する。図2は、実施の形態1にかかる表面処理装置のコイルの一具体例を示す上面図である。
次に、図1~図3を参照して実施の形態1にかかる表面処理方法について説明する。図3は、実施の形態1にかかる表面処理方法を示すフローチャートである。本表面処理方法では、表面処理装置10を用いることができる。
1 成膜室 1a 内側空間
2 基板保持台
3 ノズル
31 タンク 32 ガスボンベ
4 コイル
4a 一端 4b 中心部
4c 渦巻き状部 4d 外縁部
4e 他端
41 冷却水循環装置 42 高周波電源
5 温調器
L1 噴霧液 W1 ワーク
S1 高周波誘導加熱ステップ S2 噴霧ステップ
Claims (3)
- 燃料電池セルに使用される燃料電池セパレータの表面にアンチモンドープ酸化スズ膜(ATO膜)を成膜する燃料電池セパレータの表面処理方法であって、
高周波誘導加熱方法を用いて前記燃料電池セパレータを加熱し、
アンチモン及びスズを含む溶液を前記燃料電池セパレータに噴霧することによって、前記ATO膜を前記燃料電池セパレータの表面に形成させ、
前記アンチモン及びスズを含む溶液を前記燃料電池セパレータに噴霧したとき、前記燃料電池セパレータの温度は350℃以上、550℃以下の範囲内にある、
燃料電池セパレータの表面処理方法。 - 前記高周波誘導加熱方法では、パンケーキ型形状を有する高周波誘導コイルを用いる、
ことを特徴とする請求項1に記載の燃料電池セパレータの表面処理方法。 - 燃料電池セルに使用される燃料電池セパレータの表面にアンチモンドープ酸化スズ膜(ATO膜)を成膜する燃料電池セパレータの表面処理装置であって、
前記燃料電池セパレータを加熱する高周波誘導加熱コイルと、
アンチモン及びスズを含む溶液を前記燃料電池セパレータに噴霧するノズルと、を備え、
前記ノズルの前記噴霧によって、前記ATO膜を前記燃料電池セパレータの表面に形成させ、
前記ノズルが前記アンチモン及びスズを含む溶液を前記燃料電池セパレータに噴霧したとき、前記燃料電池セパレータの温度は350℃以上、550℃以下の範囲内にある、
燃料電池セパレータの表面処理装置。
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